本技術(shù)涉及半導(dǎo)體，尤其涉及一種傳輸晶圓的機(jī)構(gòu)。

背景技術(shù)：

1、晶圓，也被稱為硅晶圓，是硅半導(dǎo)體集成電路制作所用的硅晶片，是制造半導(dǎo)體元器件的基礎(chǔ)原材料。由于其形狀為圓形，故稱為晶圓。在硅晶片上可加工制作成各種電路元件結(jié)構(gòu)，而成為有特定電性功能之ic產(chǎn)品。

2、經(jīng)檢索現(xiàn)有專利公告號為cn106449510b公開的一種晶圓傳輸裝置，包括晶圓夾持組件；豎直移動組件，所述豎直移動組件設(shè)置成驅(qū)動所述晶圓夾持組件豎直移動；水平移動組件，所述水平移動組件設(shè)置成驅(qū)動所述豎直移動組件水平移動。

3、但是該發(fā)明在實際使用中，需要將晶圓傳輸給后方并進(jìn)行清洗包裝，但該裝置無法在傳輸過程中同時清洗晶圓，導(dǎo)致晶圓包裝時間過長，降低了傳輸效率。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型技術(shù)方案針對于現(xiàn)有技術(shù)解決過于單一的技術(shù)問題，提供了顯著不同于現(xiàn)有技術(shù)的解決方案。為了克服現(xiàn)有技術(shù)的上述缺陷，本實用新型提供新的解決方案，以解決上述背景技術(shù)中提出的問題。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術(shù)方案：一種傳輸晶圓的機(jī)構(gòu)，包括支架，所述支架從上到下一次安裝有頂板和底板，所述底板上方設(shè)有晶圓托板，所述晶圓托板上放置有晶圓本體，所述支架外側(cè)安裝有防護(hù)箱體，所述防護(hù)箱體內(nèi)部設(shè)有正反轉(zhuǎn)電機(jī)，所述正反轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出端連接絲桿，所述絲桿上貫穿螺紋連接有移動塊，所述移動塊兩側(cè)各自連接有第一連桿和第二連桿，所述第二連桿連接外側(cè)的水泵，所述水泵靠近晶圓本體一側(cè)設(shè)有多個噴嘴，所述頂板下方同樣設(shè)置有防護(hù)箱體，所述防護(hù)箱體內(nèi)部輸出端連接真空負(fù)壓機(jī)，所述真空負(fù)壓機(jī)底部輸出端設(shè)有吸盤。

3、可選的，所述防護(hù)箱體兩側(cè)靠近第一連桿和第二連桿均開設(shè)有限位槽，兩個所述限位槽內(nèi)部各自滑動連接有第一連桿和第二連桿。

4、可選的，所述第一連桿設(shè)計成u字型，且末端連接有氣體噴射器，所述氣體噴射器輸出端靠近噴嘴。

5、可選的，所述防護(hù)箱體內(nèi)部設(shè)有軸承，所述軸承內(nèi)轉(zhuǎn)動連接有絲桿。

6、可選的，所述頂板下方的防護(hù)箱體內(nèi)部同樣設(shè)有正反轉(zhuǎn)電機(jī)、絲桿、第二連桿。

7、可選的，所述噴嘴和氣體噴射器的輸出方向垂直于吸盤吸附方向。

8、可選的，所述噴嘴和氣體噴射器的輸出點相同。

9、可選的，所述支架四根支桿底部均安裝有橡膠塊。

10、與現(xiàn)有技術(shù)相比，本實用新型的優(yōu)點和積極效果在于，

11、本實用新型中，通過正反轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動絲桿旋轉(zhuǎn)，絲桿帶動移動塊進(jìn)行平移運(yùn)動，移動塊受限于限位槽，僅能沿絲桿方向左右移動，這一系統(tǒng)使得真空負(fù)壓機(jī)能夠精準(zhǔn)地移動至晶圓托板上，并將晶圓本體牢固吸附，隨后，晶圓本體被帶動向后傳輸，同時水泵和晶圓本體同時運(yùn)行，多個噴嘴噴灑清潔劑對晶圓本體進(jìn)行清潔，從而在傳輸過程中實現(xiàn)了晶圓本體的同時清洗，無需額外的清洗步驟，提高了傳輸效率。

技術(shù)特征：

1.一種傳輸晶圓的機(jī)構(gòu)，包括支架(1)，其特征在于：所述支架(1)從上到下一次安裝有頂板(2)和底板(3)，所述底板(3)上方設(shè)有晶圓托板(4)，所述晶圓托板(4)上放置有晶圓本體(5)，所述支架(1)外側(cè)安裝有防護(hù)箱體(6)，所述防護(hù)箱體(6)內(nèi)部設(shè)有正反轉(zhuǎn)電機(jī)(10)，所述正反轉(zhuǎn)電機(jī)(10)的輸出端連接絲桿(11)，所述絲桿(11)上貫穿螺紋連接有移動塊(12)，所述移動塊(12)兩側(cè)各自連接有第一連桿(13)和第二連桿(14)，所述第二連桿(14)連接外側(cè)的水泵(8)，所述水泵(8)靠近晶圓本體(5)一側(cè)設(shè)有多個噴嘴(9)，所述頂板(2)下方同樣設(shè)置有防護(hù)箱體(6)，所述防護(hù)箱體(6)內(nèi)部輸出端連接真空負(fù)壓機(jī)(17)，所述真空負(fù)壓機(jī)(17)底部輸出端設(shè)有吸盤(18)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種傳輸晶圓的機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述防護(hù)箱體(6)兩側(cè)靠近第一連桿(13)和第二連桿(14)均開設(shè)有限位槽(7)，兩個所述限位槽(7)內(nèi)部各自滑動連接有第一連桿(13)和第二連桿(14)。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種傳輸晶圓的機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述第一連桿(13)設(shè)計成u字型，且末端連接有氣體噴射器(16)，所述氣體噴射器(16)輸出端靠近噴嘴(9)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種傳輸晶圓的機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述防護(hù)箱體(6)內(nèi)部設(shè)有軸承(15)，所述軸承(15)內(nèi)轉(zhuǎn)動連接有絲桿(11)。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種傳輸晶圓的機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述頂板(2)下方的防護(hù)箱體(6)內(nèi)部同樣設(shè)有正反轉(zhuǎn)電機(jī)(10)、絲桿(11)、第二連桿(14)。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種傳輸晶圓的機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述噴嘴(9)和氣體噴射器(16)的輸出方向垂直于吸盤(18)吸附方向。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種傳輸晶圓的機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述噴嘴(9)和氣體噴射器(16)的輸出點相同。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種傳輸晶圓的機(jī)構(gòu)，其特征在于：所述支架(1)四根支桿底部均安裝有橡膠塊(19)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)提供一種傳輸晶圓的機(jī)構(gòu)，涉及半導(dǎo)體技術(shù)領(lǐng)域，包括支架，所述支架從上到下一次安裝有頂板和底板，所述底板上方設(shè)有晶圓托板，所述晶圓托板上放置有晶圓本體，所述支架外側(cè)安裝有防護(hù)箱體，所述防護(hù)箱體內(nèi)部設(shè)有正反轉(zhuǎn)電機(jī)，所述正反轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出端連接絲桿。本技術(shù)，通過正反轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動絲桿旋轉(zhuǎn)，絲桿帶動移動塊進(jìn)行平移運(yùn)動，移動塊受限于限位槽，僅能沿絲桿方向左右移動，使得真空負(fù)壓機(jī)能夠精準(zhǔn)地移動至晶圓托板上，并將晶圓本體牢固吸附，隨后，晶圓本體被帶動向后傳輸，同時水泵和晶圓本體同時運(yùn)行，多個噴嘴噴灑清潔劑對晶圓本體進(jìn)行清潔，從而在傳輸過程中實現(xiàn)了晶圓本體的同時清洗。

技術(shù)研發(fā)人員：閔中華,王野,肖博翰,王印勛,畢厚海
受保護(hù)的技術(shù)使用者：上海芯東來半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240522
技術(shù)公布日：2025/1/6