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一種激光器封裝結(jié)構(gòu)的制作方法

文檔序號(hào):40508737發(fā)布日期:2024-12-31 13:17閱讀:12來源:國知局
一種激光器封裝結(jié)構(gòu)的制作方法

本技術(shù)涉及激光器,具體為一種激光器封裝結(jié)構(gòu)。


背景技術(shù):

1、半導(dǎo)體芯片的封裝具有保護(hù)、支撐、連接、散熱和可靠性的作用,只有嚴(yán)格的工作環(huán)境管控、良好的支撐固定便于電路的連接和外形的機(jī)械保護(hù)以及增強(qiáng)的散熱等措施才可以保證芯片的穩(wěn)定性和工作壽命,因此,封裝對半導(dǎo)體芯片起著重要的作用,半導(dǎo)芯片封裝技術(shù)大都是在分立器件封裝技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展與演變而來的,不同芯片類型具有很大的特殊性,半導(dǎo)體激光器封裝是完成輸出電信號(hào),保護(hù)芯片正常工作,最終實(shí)現(xiàn)激光輸出功能,既有電氣互聯(lián)和芯片保護(hù),又有光學(xué)輸出的設(shè)計(jì)及技術(shù)要求,無法簡單的將分立器件的封裝用于半導(dǎo)體激光器。

2、現(xiàn)有封裝激光器技術(shù)中使用的熱沉,主要傾向于導(dǎo)熱散熱的設(shè)計(jì),不涉及光學(xué)結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),但是針對由于激光器出光面腔面膜波導(dǎo)限制效應(yīng)和外延結(jié)構(gòu)的漏光現(xiàn)象二者共同導(dǎo)致的激射光斑面積擴(kuò)大,嚴(yán)重劣化激光光束質(zhì)量,現(xiàn)有熱沉無法滿足封裝后提高激光器光束質(zhì)量的需求。


技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、針對現(xiàn)有技術(shù)的不足,本實(shí)用新型提供了一種激光器封裝結(jié)構(gòu),解決了現(xiàn)有熱沉無法滿足封裝后提高激光器光束質(zhì)量需求的問題。

2、為實(shí)現(xiàn)上述目的,本實(shí)用新型提供如下技術(shù)方案:一種激光器封裝結(jié)構(gòu),包括光學(xué)調(diào)控新型熱沉和支架,所述光學(xué)調(diào)控新型熱沉包括共晶區(qū)、隔離區(qū)和阻擋區(qū),所述共晶區(qū)頂部且位于隔離區(qū)遠(yuǎn)離阻擋區(qū)的一側(cè)固定安裝有激光器芯片;

3、所述支架包括熱沉固定平臺(tái)和電極引腳。

4、進(jìn)一步,所述光學(xué)調(diào)控新型熱沉在發(fā)光方向上為共晶區(qū)、隔離區(qū)和阻擋區(qū),所述共晶區(qū)、隔離區(qū)和阻擋區(qū)的加工方式為刻蝕或激光燒蝕。

5、進(jìn)一步,所述阻擋區(qū)的厚度c小于激光器芯片的厚度d,所述阻擋區(qū)與激光器芯片的厚度為10-30μm且滿足激光器芯片出光面與隔離區(qū)近激光器芯片端點(diǎn)距離≤(d-c)/tanθ⊥-e-w,所述d為激光器芯片的厚度,所述c為阻擋區(qū)的厚度,所述θ⊥為快軸發(fā)散半角,所述w為阻擋區(qū)的底邊寬度。

6、進(jìn)一步,所述阻擋區(qū)平行于激光器芯片腔長方向的截面形狀為幾何圖形,所述阻擋區(qū)的光接觸面為粗糙面。

7、進(jìn)一步,所述隔離區(qū)為條形凹槽。

8、進(jìn)一步,所述光學(xué)調(diào)控新型熱沉適配to封裝、cob封裝、c/f-mount封裝和塑封。

9、與現(xiàn)有技術(shù)相比,本實(shí)用新型提供了一種激光器封裝結(jié)構(gòu),具備以下有益效果:

10、1、該激光器封裝結(jié)構(gòu),通過在熱沉上加工出共晶區(qū)、隔離區(qū)和阻擋區(qū),激光器芯片正裝在共晶區(qū)上,激光器芯片的出光腔面至透鏡間存在阻擋區(qū)的遮擋,可以有效阻擋激光器芯片出光面無效區(qū)域的發(fā)光,進(jìn)而減小激射光斑中腔面無效區(qū)域的發(fā)光提高光束質(zhì)量,通過設(shè)置阻擋區(qū)的高度小于激光器芯片的厚度,使得阻擋區(qū)略低于激光器發(fā)光中心,不影響激光出射,從而實(shí)現(xiàn)封裝后提高激光器光束質(zhì)量的目的。

11、2、該激光器封裝結(jié)構(gòu),通過設(shè)置隔離區(qū),隔離區(qū)為凹槽的形式,可以對激光器共晶時(shí)多余的金錫焊料提供留存空間,避免金錫焊料將熱沉與激光器芯片的內(nèi)部結(jié)構(gòu)層線性連接,提高器件的穩(wěn)定性能。



技術(shù)特征:

1.一種激光器封裝結(jié)構(gòu),包括光學(xué)調(diào)控新型熱沉(1)和支架(3),其特征在于:所述光學(xué)調(diào)控新型熱沉(1)包括共晶區(qū)(11)、隔離區(qū)(12)和阻擋區(qū)(13),所述共晶區(qū)(11)頂部且位于隔離區(qū)(12)遠(yuǎn)離阻擋區(qū)(13)的一側(cè)固定安裝有激光器芯片(2);

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光器封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述光學(xué)調(diào)控新型熱沉(1)在發(fā)光方向上為共晶區(qū)(11)、隔離區(qū)(12)和阻擋區(qū)(13),所述共晶區(qū)(11)、隔離區(qū)(12)和阻擋區(qū)(13)的加工方式為刻蝕或激光燒蝕。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光器封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述阻擋區(qū)(13)的厚度小于激光器芯片(2)的厚度,所述阻擋區(qū)(13)與激光器芯片(2)的厚度差為10-30μm且滿足激光器芯片(2)出光面與隔離區(qū)(12)近激光器芯片(2)端點(diǎn)距離≤(d-c)/tanθ⊥-e-w,所述d為激光器芯片(2)的厚度,所述c為阻擋區(qū)(13)的厚度,所述θ⊥為快軸發(fā)散半角,所述w為阻擋區(qū)(13)的底邊寬度。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光器封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述阻擋區(qū)(13)平行于激光器芯片(2)腔長方向的截面形狀為幾何圖形,所述阻擋區(qū)(13)的光接觸面為粗糙面。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光器封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述隔離區(qū)(12)為條形凹槽。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種激光器封裝結(jié)構(gòu),其特征在于:所述光學(xué)調(diào)控新型熱沉(1)適配to封裝、cob封裝、c/f-mount封裝和塑封。


技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及一種激光器封裝結(jié)構(gòu),包括光學(xué)調(diào)控新型熱沉和支架,所述光學(xué)調(diào)控新型熱沉包括共晶區(qū)、隔離區(qū)和阻擋區(qū),所述共晶區(qū)頂部且位于隔離區(qū)遠(yuǎn)離阻擋區(qū)的一側(cè)固定安裝有激光器芯片;所述支架包括熱沉固定平臺(tái)和電極引腳。該激光器封裝結(jié)構(gòu),通過在熱沉上加工出共晶區(qū)、隔離區(qū)和阻擋區(qū),激光器芯片正裝在共晶區(qū)上,激光器芯片的出光腔面至透鏡間存在阻擋區(qū)的遮擋,可以有效阻擋激光器芯片出光面無效區(qū)域的發(fā)光,進(jìn)而減小激射光斑中腔面無效區(qū)域的發(fā)光提高光束質(zhì)量,通過設(shè)置阻擋區(qū)的厚度小于激光器芯片的厚度,使得阻擋區(qū)略低于激光器發(fā)光中心,不影響激光出射,從而實(shí)現(xiàn)封裝后提高激光器光束質(zhì)量的目的。

技術(shù)研發(fā)人員:羅鄭彪,孟令海,付建波,宗華,蔣盛翔,胡曉東
受保護(hù)的技術(shù)使用者:廣西颶芯科技有限責(zé)任公司
技術(shù)研發(fā)日:20240522
技術(shù)公布日:2024/12/30
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