本技術(shù)屬于晶圓加工，具體涉及一種晶圓貼膜裝置。

背景技術(shù)：

1、晶圓貼膜設(shè)備用于在晶圓表面覆蓋一層保護(hù)膜來(lái)保護(hù)晶圓，防止其在切割中被損壞。

2、申請(qǐng)?zhí)枮閏n202222904570.6的中國(guó)專利公開了一種防靜電晶圓貼膜機(jī)，其包括機(jī)架、吸附臺(tái)、滑動(dòng)架、轉(zhuǎn)動(dòng)連接在滑動(dòng)架上的按壓膠輥及離子風(fēng)機(jī)，當(dāng)藍(lán)膜從拉入至吸附臺(tái)表面時(shí)，按壓膠輥與藍(lán)膜遠(yuǎn)離吸附臺(tái)的一側(cè)表面抵接，當(dāng)藍(lán)膜覆蓋至吸附臺(tái)表面時(shí)，按壓膠輥能夠隨滑動(dòng)架做水平方向的滑動(dòng)，此時(shí)按壓膠輥與吸附臺(tái)滑動(dòng)抵接，由附圖可知滑動(dòng)架需通過(guò)其上的拉手進(jìn)行人工拉動(dòng)，然而人工操作比較繁瑣，且操作過(guò)程中經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)用力不均勻的情況，導(dǎo)致滑動(dòng)架發(fā)生歪斜或者卡滯，使得壓膜效果不佳。

技術(shù)實(shí)現(xiàn)思路

1、本實(shí)用新型要解決的技術(shù)問(wèn)題是：為了解決現(xiàn)有技術(shù)中的滑動(dòng)架需通過(guò)其上的拉手進(jìn)行手動(dòng)拉動(dòng)，然而手工操作比較繁瑣，且操作過(guò)程中經(jīng)常會(huì)出現(xiàn)用力不均勻的情況，導(dǎo)致滑動(dòng)架發(fā)生歪斜或者卡滯，使得壓膜效果不佳的問(wèn)題，現(xiàn)提供一種晶圓貼膜裝置。

2、本實(shí)用新型解決其技術(shù)問(wèn)題所采用的技術(shù)方案是：一種晶圓貼膜裝置，包括：

3、載臺(tái)，用于承載晶圓；

4、壓膜組件，包括壓膜滾柱及用于驅(qū)動(dòng)壓膜滾柱沿x軸方向往復(fù)運(yùn)動(dòng)的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，所述驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)、與所述旋轉(zhuǎn)電機(jī)的輸出端連接的驅(qū)動(dòng)帶輪、通過(guò)第一同步帶與驅(qū)動(dòng)帶輪連接的中間帶輪、與中間帶輪同軸設(shè)置的驅(qū)動(dòng)桿、設(shè)置在驅(qū)動(dòng)桿兩端的同步帶輪及通過(guò)第二同步帶與同步帶輪連接的從動(dòng)帶輪，所述壓膜滾柱兩端與第二同步帶之間設(shè)有連接塊，且所述壓膜滾柱與連接塊彈性連接；

5、及切膜組件，其包括彈性設(shè)置的旋轉(zhuǎn)切膜機(jī)構(gòu)及直線切膜機(jī)構(gòu)

6、進(jìn)一步的，所述壓膜滾柱兩端均設(shè)有安裝塊，所述連接塊開設(shè)有供安裝塊安裝的容置槽，且安裝塊與容置槽的槽頂之間設(shè)有彈性件

7、進(jìn)一步的，所述安裝塊沿其x軸方向的兩端均凸出形成有與所述容置槽槽壁滑動(dòng)配合的滑軌。

8、進(jìn)一步的，所述壓膜組件還包括沿x軸方向設(shè)置的x軸導(dǎo)軌與滑動(dòng)設(shè)置在x軸導(dǎo)軌上的x軸滑塊，所述x軸滑塊與連接塊固定連接。

9、進(jìn)一步的，所述旋轉(zhuǎn)切膜機(jī)構(gòu)包括蓋板、設(shè)置在蓋板上的旋轉(zhuǎn)手輪、與旋轉(zhuǎn)手輪的輸出軸連接的旋轉(zhuǎn)塊、與旋轉(zhuǎn)塊彈性連接的旋轉(zhuǎn)桿、設(shè)置在旋轉(zhuǎn)桿一端的滾輪及設(shè)置在旋轉(zhuǎn)桿另一端的旋轉(zhuǎn)切刀。

10、進(jìn)一步的，所述旋轉(zhuǎn)桿的兩端均開設(shè)有沿y軸方向延伸的u型槽，所述滾輪滑動(dòng)安裝在其中一個(gè)u型槽上并通過(guò)螺栓鎖定，所述旋轉(zhuǎn)切刀滑動(dòng)安裝在另一個(gè)u型槽上并通過(guò)螺栓鎖定。

11、進(jìn)一步的，所述直線切膜機(jī)構(gòu)包括沿y軸方向設(shè)置的y軸導(dǎo)軌、滑動(dòng)設(shè)置在y軸導(dǎo)軌上的y軸滑塊、固定在y軸滑塊固定的固定塊及彈性設(shè)置在固定塊上的直線切刀。

12、進(jìn)一步的，所述載臺(tái)包括鋼圈定位板、彈性設(shè)置在鋼圈定位板中間部位的吸附盤及位于鋼圈定位板底部的加熱板，所述鋼圈定位板上開設(shè)有用于定位鋼圈的定位孔。

13、進(jìn)一步的，兩個(gè)連接塊之間設(shè)有連接板，所述連接板上設(shè)置有拉手。

14、進(jìn)一步的，所述x軸導(dǎo)軌兩端端部均設(shè)有用于限制x軸滑塊行程的限位塊。

15、本實(shí)用新型的有益效果是：本實(shí)用新型中旋轉(zhuǎn)電機(jī)依次通過(guò)驅(qū)動(dòng)帶輪、第一同步、中間帶輪、驅(qū)動(dòng)桿、同步帶輪及第二同步帶帶動(dòng)兩側(cè)的連接塊同步運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)兩個(gè)連接塊之間的壓膜滾柱沿x軸往復(fù)運(yùn)動(dòng)來(lái)壓住保護(hù)膜使保護(hù)膜與晶圓貼合完成貼膜，代替了人工操作，提高了壓膜效果，且彈性設(shè)置的壓膜滾柱可起到緩沖作用，避免將晶圓壓壞。

16、通過(guò)以下參照附圖對(duì)本申請(qǐng)的示例性實(shí)施例的詳細(xì)描述，本申請(qǐng)的其它特征及其優(yōu)點(diǎn)將會(huì)變得清楚。

技術(shù)特征：

1.一種晶圓貼膜裝置，其特征在于：包括：

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓貼膜裝置，其特征在于：所述壓膜滾柱(201)兩端均設(shè)有安裝塊(211)，所述連接塊(210)開設(shè)有供安裝塊(211)安裝的容置槽(2101)，且安裝塊(211)與容置槽(2101)的槽頂之間設(shè)有彈性件(212)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的晶圓貼膜裝置，其特征在于：所述安裝塊(211)沿其x軸方向的兩端均凸出形成有與所述容置槽(2101)槽壁滑動(dòng)配合的滑軌(2111)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓貼膜裝置，其特征在于：所述壓膜組件(2)還包括沿x軸方向設(shè)置的x軸導(dǎo)軌(213)與滑動(dòng)設(shè)置在x軸導(dǎo)軌(213)上的x軸滑塊(214)，所述x軸滑塊(214)與連接塊(210)固定連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓貼膜裝置，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)切膜機(jī)構(gòu)(301)包括蓋板(3011)、設(shè)置在蓋板(3011)上的旋轉(zhuǎn)手輪(3012)、與旋轉(zhuǎn)手輪(3012)的輸出軸連接的旋轉(zhuǎn)塊(3013)、與旋轉(zhuǎn)塊(3013)彈性連接的旋轉(zhuǎn)桿(3014)、設(shè)置在旋轉(zhuǎn)桿(3014)一端的滾輪(3015)及設(shè)置在旋轉(zhuǎn)桿(3014)另一端的旋轉(zhuǎn)切刀(3016)。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的晶圓貼膜裝置，其特征在于：所述旋轉(zhuǎn)桿(3014)的兩端均開設(shè)有沿y軸方向延伸的u型槽(3017)，所述滾輪(3015)滑動(dòng)安裝在其中一個(gè)u型槽(3017)上并通過(guò)螺栓鎖定，所述旋轉(zhuǎn)切刀(3016)滑動(dòng)安裝在另一個(gè)u型槽(3017)上并通過(guò)螺栓鎖定。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓貼膜裝置，其特征在于：所述直線切膜機(jī)構(gòu)(302)包括沿y軸方向設(shè)置的y軸導(dǎo)軌(3021)、滑動(dòng)設(shè)置在y軸導(dǎo)軌(3021)上的y軸滑塊(3022)、固定在y軸滑塊(3022)固定的固定塊(3023)及彈性設(shè)置在固定塊(3023)上的直線切刀(3024)。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓貼膜裝置，其特征在于：所述載臺(tái)(1)包括鋼圈定位板(101)、彈性設(shè)置在鋼圈定位板(101)中間部位的吸附盤(102)及位于鋼圈定位板(101)底部的加熱板，所述鋼圈定位板(101)上開設(shè)有用于定位鋼圈的定位孔。

9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的晶圓貼膜裝置，其特征在于：兩個(gè)連接塊(210)之間設(shè)有連接板(215)，所述連接板(215)上設(shè)置有拉手(216)。

10.根據(jù)權(quán)利要求4所述的晶圓貼膜裝置，其特征在于：所述x軸導(dǎo)軌(213)兩端端部均設(shè)有用于限制x軸滑塊(214)行程的限位塊(217)。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)屬于晶圓加工技術(shù)領(lǐng)域，具體涉及一種晶圓貼膜裝置，包括載臺(tái)、壓膜組件及切膜組件，壓膜組件包括壓膜滾柱及用于驅(qū)動(dòng)壓膜滾柱的驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)，驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)包括旋轉(zhuǎn)電機(jī)、驅(qū)動(dòng)帶輪、中間帶輪、驅(qū)動(dòng)桿、同步帶輪及從動(dòng)帶輪，壓膜滾柱兩端與第二同步帶之間設(shè)有連接塊，且壓膜滾柱與連接塊彈性連接，切膜組件包括彈性設(shè)置的旋轉(zhuǎn)切膜機(jī)構(gòu)及直線切膜機(jī)構(gòu)；本技術(shù)中旋轉(zhuǎn)電機(jī)依次通過(guò)驅(qū)動(dòng)帶輪、第一同步、中間帶輪、驅(qū)動(dòng)桿、同步帶輪及第二同步帶帶動(dòng)兩側(cè)的連接塊同步運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)兩個(gè)連接塊之間的壓膜滾柱往復(fù)運(yùn)動(dòng)來(lái)使保護(hù)膜與晶圓貼合完成貼膜，代替了人工操作，提高了壓膜效果，且彈性設(shè)置的壓膜滾柱可起到緩沖作用，避免將晶圓壓壞。

技術(shù)研發(fā)人員：莫文亮,姚偉
受保護(hù)的技術(shù)使用者：江蘇優(yōu)柯半導(dǎo)體科技有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240523
技術(shù)公布日：2025/1/9