本技術(shù)涉及集成電路換膜，尤其涉及集成電路自動化換膜裝置。

背景技術(shù)：

1、集成電路換膜通常指的是在集成電路制造過程中，更換或移動用于特定工藝步驟的膜片或模具。這些膜片或模具可以是用于光刻過程的掩模板(photomasks)，或者用于其他工藝步驟如蝕刻、沉積等的模具。換膜過程對于保持生產(chǎn)效率和產(chǎn)品質(zhì)量至關(guān)重要，因為不同的工藝步驟可能需要不同的膜片或模具。但目前的技術(shù)需要操作人員手動插入定位柱來固定換模架，這種手動操作依賴于操作人員的注意力和準確性，容易出錯。如果操作人員忘記插入定位柱，換模架在運輸過程中可能會發(fā)生滑動或掉落，這不僅會導(dǎo)致模具損壞，還可能對人員安全構(gòu)成威脅。手動插入定位柱的過程會降低換膜的效率，尤其是在高產(chǎn)量的生產(chǎn)環(huán)境中，這種低效率可能會導(dǎo)致生產(chǎn)延遲。手動操作還可能涉及到安全性問題，特別是在需要頻繁更換模具的大型生產(chǎn)環(huán)境中，頻繁的手動操作增加了事故的風險。

技術(shù)實現(xiàn)思路

1、本實用新型的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)中存在的缺點，而提出的集成電路自動化換膜裝置。

2、為了實現(xiàn)上述目的，本實用新型采用了如下技術(shù)方案：集成電路自動化換膜裝置，包括底板，所述底板上固定安裝有換膜平臺軌道，所述底板上固定安裝有鎖止扣組件，所述換膜平臺軌道上滑動連接有換膜支架，所述換膜平臺軌道包括外層軌道，所述外層軌道固定連接在底板上，所述底板上固定連接有內(nèi)部軌道，所述外層軌道和內(nèi)部軌道的一側(cè)固定連接有限位塊，所述鎖止扣組件包括安裝件，所述安裝件固定安裝在底板上，所述安裝件中轉(zhuǎn)動連接有鎖止卡扣，所述鎖止卡扣為l型，所述鎖止卡扣上設(shè)置有弧形段，所述鎖止卡扣上設(shè)置有直角卡鉤，所述鎖止卡扣的上方固定連接有提拉塊。

3、作為上述技術(shù)方案的進一步描述：

4、所述換膜支架包括支架安裝板，所述支架安裝板在外層軌道和內(nèi)部軌道上滑動，所述支架安裝板上固定連接有支架側(cè)板，所述支架側(cè)板設(shè)有兩個，所述支架側(cè)板上固定連接有拉手，所述支架側(cè)板上開設(shè)有觀察窗，所述支架側(cè)板之間固定連接有下層支架，所述支架側(cè)板之間固定連接有上層支架，所述支架安裝板的一端固定連接有卡環(huán)，所述卡環(huán)與支架側(cè)板固定連接。

5、作為上述技術(shù)方案的進一步描述：

6、所述鎖止卡扣的寬度與卡環(huán)的缺口寬度相匹配，所述鎖止卡扣與卡環(huán)抵觸時與卡環(huán)卡接。

7、作為上述技術(shù)方案的進一步描述：

8、所述安裝件的形狀為“凵”字型，所述鎖止卡扣在安裝件的中間缺口處轉(zhuǎn)動。

9、作為上述技術(shù)方案的進一步描述：

10、所述下層支架設(shè)有相互平行的兩條，所述上層支架設(shè)有相互平行的兩條，所述上層支架設(shè)于下層支架的正上方，所述下層支架與上層支架相互平行。

11、作為上述技術(shù)方案的進一步描述：

12、所述外層軌道設(shè)有相互平行的兩條，所述內(nèi)部軌道設(shè)有相互平行的兩條，所述內(nèi)部軌道設(shè)置在外層軌道的中間，所述外層軌道與內(nèi)部軌道相互平行。

13、作為上述技術(shù)方案的進一步描述：

14、所述拉手在每個支架側(cè)板上各設(shè)有兩個，所述觀察窗在每個支架側(cè)板上各設(shè)有兩個。

15、本實用新型具有如下有益效果：本實用新型中，通過自動鎖止扣的設(shè)計，替代了定位柱的設(shè)計，避免了因人員疏忽而忘記插入定位柱的現(xiàn)象發(fā)生，避免了因換模支架未定位而發(fā)生滑落的風險，本實用新型在操作面，提升了人員和模具的安全性，因此適合在車間推廣使用，從而有效提升換膜操作的便利性。

技術(shù)特征：

1.集成電路自動化換膜裝置，包括底板(1)，其特征在于：所述底板(1)上固定安裝有換膜平臺軌道(2)，所述底板(1)上固定安裝有鎖止扣組件(3)，所述換膜平臺軌道(2)上滑動連接有換膜支架(4)，所述換膜平臺軌道(2)包括外層軌道(21)，所述外層軌道(21)固定連接在底板(1)上，所述底板(1)上固定連接有內(nèi)部軌道(22)，所述外層軌道(21)和內(nèi)部軌道(22)的一側(cè)固定連接有限位塊(23)，所述鎖止扣組件(3)包括安裝件(31)，所述安裝件(31)固定安裝在底板(1)上，所述安裝件(31)中轉(zhuǎn)動連接有鎖止卡扣(32)，所述鎖止卡扣(32)為l型，所述鎖止卡扣(32)上設(shè)置有弧形段(33)，所述鎖止卡扣(32)上設(shè)置有直角卡鉤(34)，所述鎖止卡扣(32)的上方固定連接有提拉塊(35)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路自動化換膜裝置，其特征在于：所述換膜支架(4)包括支架安裝板(41)，所述支架安裝板(41)在外層軌道(21)和內(nèi)部軌道(22)上滑動，所述支架安裝板(41)上固定連接有支架側(cè)板(42)，所述支架側(cè)板(42)設(shè)有兩個，所述支架側(cè)板(42)上固定連接有拉手(43)，所述支架側(cè)板(42)上開設(shè)有觀察窗(44)，所述支架側(cè)板(42)之間固定連接有下層支架(45)，所述支架側(cè)板(42)之間固定連接有上層支架(46)，所述支架安裝板(41)的一端固定連接有卡環(huán)(47)，所述卡環(huán)(47)與支架側(cè)板(42)固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路自動化換膜裝置，其特征在于：所述鎖止卡扣(32)的寬度與卡環(huán)(47)的缺口寬度相匹配，所述鎖止卡扣(32)與卡環(huán)(47)抵觸時與卡環(huán)(47)卡接。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路自動化換膜裝置，其特征在于：所述安裝件(31)的形狀為“凵”字型，所述鎖止卡扣(32)在安裝件(31)的中間缺口處轉(zhuǎn)動。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成電路自動化換膜裝置，其特征在于：所述下層支架(45)設(shè)有相互平行的兩條，所述上層支架(46)設(shè)有相互平行的兩條，所述上層支架(46)設(shè)于下層支架(45)的正上方，所述下層支架(45)與上層支架(46)相互平行。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的集成電路自動化換膜裝置，其特征在于：所述外層軌道(21)設(shè)有相互平行的兩條，所述內(nèi)部軌道(22)設(shè)有相互平行的兩條，所述內(nèi)部軌道(22)設(shè)置在外層軌道(21)的中間，所述外層軌道(21)與內(nèi)部軌道(22)相互平行。

7.根據(jù)權(quán)利要求2所述的集成電路自動化換膜裝置，其特征在于：所述拉手(43)在每個支架側(cè)板(42)上各設(shè)有兩個，所述觀察窗(44)在每個支架側(cè)板(42)上各設(shè)有兩個。

技術(shù)總結(jié)
本技術(shù)涉及集成電路換膜技術(shù)領(lǐng)域的集成電路自動化換膜裝置，包括底板，所述底板上固定安裝有換膜平臺軌道，所述底板上固定安裝有鎖止扣組件，所述換膜平臺軌道上滑動連接有換膜支架，所述換膜平臺軌道包括外層軌道，所述外層軌道固定連接在底板上，所述底板上固定連接有內(nèi)部軌道，所述外層軌道和內(nèi)部軌道的一側(cè)固定連接有限位塊，所述鎖止扣組件包括安裝件，所述安裝件固定安裝在底板上。本技術(shù)通過自動鎖止扣的設(shè)計，替代了定位柱的設(shè)計，避免了因人員疏忽而忘記插入定位柱的現(xiàn)象發(fā)生，避免了因換模支架未定位而發(fā)生滑落的風險，本技術(shù)在操作面提升了人員和模具的安全性，因此適合在車間推廣使用，從而有效提升換膜操作的便利性。

技術(shù)研發(fā)人員：劉揚,張國富
受保護的技術(shù)使用者：日月新半導(dǎo)體（蘇州）有限公司
技術(shù)研發(fā)日：20240527
技術(shù)公布日：2025/1/9