專利名稱：三端穩(wěn)壓塊快速篩選儀的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型是一種用來測試和快速老化篩選半導(dǎo)體集成電路穩(wěn)壓器(簡稱“三端穩(wěn)壓塊”)的設(shè)備，屬半導(dǎo)體集成電路測試、老化、篩選設(shè)備領(lǐng)域。
至今，各種三端穩(wěn)壓塊測試設(shè)備，只具有測試電壓調(diào)整率、電流調(diào)整率、紋波抑制比、靜態(tài)電流及其變化率等參數(shù)的功能，而無老化篩選功能。對三端穩(wěn)壓塊的老化篩選，則要將器件置于烘箱內(nèi)，使其達(dá)到規(guī)定的結(jié)溫，並恒溫貯存數(shù)小時再測試篩選。這種常規(guī)老化篩選的辦法，不僅費(fèi)電、費(fèi)時、成本高，而且只有熱失效模式而無電熱引力失效模式，其老化效果也不夠理想。最近雖已出現(xiàn)了用微機(jī)控制的穩(wěn)壓二極管和晶體三極管快速篩選儀，但均不能老化篩選三端穩(wěn)壓塊。
本實用新型的目的就在于不用烘箱老化，而提供一種體積小，省電、省時，將測試和老化合一的三端穩(wěn)壓塊快速篩選儀。


圖1是本實用新型的組成框圖。它由連接被測三端穩(wěn)壓塊的插座1、輸入恒壓源2、負(fù)載恒流源3、測試紋波抑制比時用的正弦波振蕩源4、整流電路5、電流表6、電壓表7和選擇測試項目用的功能轉(zhuǎn)換電路K1、K2、K3、K4及電源8組成，輸入恒壓源2接在被測三端穩(wěn)壓塊的輸入側(cè)，負(fù)載恒流源3接在被測三端穩(wěn)壓塊的輸出側(cè)，其要點(diǎn)是在輸入恒壓源2中，接入電壓調(diào)整電路21的除有供測試各種參數(shù)時用的輸入電壓設(shè)定值控制器22外，還有加溫老化時用的輸入電壓設(shè)定值控制器23；在負(fù)載恒流源3中，接入電流調(diào)整電路31的，除有供測試各種參數(shù)時用的負(fù)載電流設(shè)定值控制器32外，還有供老化時用的負(fù)載電流設(shè)定值控制器33。
本實用新型不僅能有來測試三端穩(wěn)壓塊的電壓調(diào)整率、電流調(diào)整率、紋波抑制比、靜態(tài)電流及其變化率等各種參數(shù)，而且還可對被測三端穩(wěn)壓塊進(jìn)行通電，使其結(jié)溫達(dá)到規(guī)定值，進(jìn)行電熱老化，老化后再進(jìn)行參數(shù)測試篩選。這種老化方式既省電又省時，既有熱失效模式，又包括電熱引力失效模式，老化效果也好。
圖2為輸入恒壓源2的實施例電原理圖。市電經(jīng)整流211和限流電路212后，將直流送給帶直流放大器的串聯(lián)型穩(wěn)壓電源，2V9～2V11為調(diào)整管，2V8為直流放大管，2V8的基準(zhǔn)電壓取自輔助電源電路216中2V1的發(fā)射極；市電經(jīng)整流、瀘波和穩(wěn)壓電路215后，為輔助電源電路216提供電源。由電位器2W2、電阻2R7～2R9、三極管2V2、2V3，比較器2N3和繼電J1等組成過流保護(hù)電路217。三端穩(wěn)壓塊2N2為比較器2N3提供基準(zhǔn)電壓。調(diào)節(jié)電位器2W2可調(diào)節(jié)預(yù)置保護(hù)點(diǎn)，輸出電流從取樣電阻R15取得樣值，經(jīng)R16送給比較器2N3。二極管2V12和2V13對比較器起保護(hù)作用。2V1、2R1～2R5及運(yùn)放2N1組成穩(wěn)壓自動調(diào)節(jié)電路216。2N5為運(yùn)放2N1提供基準(zhǔn)電源。調(diào)節(jié)電位器2W1和2W3可分別調(diào)節(jié)恒壓電源2的輸出電壓V的上限和下限。在此，由電位器2W4～2W13組成了測試各種參數(shù)用的輸入電壓設(shè)定值控制器22，2W14作為加溫老化用的輸入電壓設(shè)定值控制器23，以供加溫老化之用。2j41～2j141為控制繼電器(或開關(guān))的接點(diǎn)，作為選擇測試項目或老化之用。
圖3為負(fù)載恒流源3的實施例電原理圖，3N1為運(yùn)算放大器，3N2為三端穩(wěn)壓塊。這是一個以運(yùn)算放大器3N1為主體的串聯(lián)型電流負(fù)反饋放大器。調(diào)節(jié)電位器3W10可控制負(fù)載電流設(shè)定值的大小，電位器3W1～3W8為測試各種參數(shù)時用的負(fù)載電流設(shè)定值控制器32，電位器3W9為加溫老化時用的電壓設(shè)定值控制器33，3j1～3j9為控制繼電器的動合接點(diǎn)(或手動開關(guān))，以供選擇測試項目或加溫老化之用。
為了提高本設(shè)備的自動化程度，可以由微機(jī)系統(tǒng)進(jìn)行控制。圖4為采用微機(jī)控制的三端穩(wěn)壓塊快速篩選儀的實施例電原理圖。為了實行自動控制和自動測量，故以繼電器接點(diǎn)來代替手動轉(zhuǎn)換開關(guān)，並通過采樣電路來獲取測試結(jié)果。因此在輸入回路里，在輸入恒壓源2和被測三端穩(wěn)壓塊插座1之間接入了繼電器常閉接點(diǎn)j11、j31和輸入電流采樣電阻R9，並在R9上跨接有常閉接點(diǎn)j21；電壓表7經(jīng)常閉接點(diǎn)j51b和j52b跨接在輸入恒壓源2上，並通過常開接點(diǎn)j51a和j52a跨接在整流電路5的輸出端，這樣電壓表7既可測輸入電壓，還可測輸入正弦波電壓；正弦波振蕩源4的輸出，通過常開接點(diǎn)j32和j33跨接在常閉接點(diǎn)j31上，以便使用時接入。在輸出側(cè)的負(fù)載回路里，串入了負(fù)載電流采樣電阻R10，並在R10上跨接有繼電器常閉接點(diǎn)j22。為了進(jìn)一步擴(kuò)大應(yīng)用范圍，在輸出側(cè)，通過繼電器常閉接點(diǎn)j61和常閉接點(diǎn)j62的轉(zhuǎn)換，可串入附加直流電壓9，此外加電壓一般為5伏。這種用繼電器接點(diǎn)組成的功能轉(zhuǎn)換電路，就可由計算機(jī)16按測試(或老化)程序控制繼電器工作，可實行自動化測試。為了能將測試數(shù)據(jù)輸入微機(jī)，故將采樣電阻R9和R10中取得的輸入電流和負(fù)載電流樣值，經(jīng)繼電器常開接點(diǎn)j101和j102及j81和j82送入放大器11；輸出直流電壓送入放大器12；正弦波振蕩源4送出的正弦波電壓，經(jīng)整流電路5整流后，再經(jīng)常開接點(diǎn)j91和j92送入放大器12；輸出側(cè)的紋波電壓經(jīng)繼電器常開接點(diǎn)j121和j122及整流電路10后送入放大器13。放大器11、12、13的輸出經(jīng)繼電器接點(diǎn)j131、j141和j151送入電壓／頻率轉(zhuǎn)換電路15，將電壓值轉(zhuǎn)換為頻率后送入微機(jī)16，並由微機(jī)系統(tǒng)的顯示器18或打印機(jī)19輸出測量結(jié)果。測試指令可通過鍵盤17輸入。
為了使該儀器能測試和老化篩選不同極性的三端穩(wěn)壓塊，在輸入回路、負(fù)載回路及放大器11、12和13的輸入側(cè)，分別接入了繼電器轉(zhuǎn)換接點(diǎn)組j211和j212、j221和j222、j231和j232以及j241和j242。
這樣，以繼電器控制電路代替手動開關(guān)，再加入采樣、放大和電壓／頻率轉(zhuǎn)換電路后，就能使該儀器實行由微機(jī)控制的，自動化程度很高的，測試和老化篩選合一的現(xiàn)代化三端穩(wěn)壓塊快速篩選儀。
權(quán)利要求1.一種用來測試和老化篩選半導(dǎo)體集成電路穩(wěn)壓器的三端穩(wěn)壓塊快速篩選儀，由連接被測三端穩(wěn)壓塊的插座、輸入恒壓源、負(fù)載恒流源、測試紋波抑制比用的正弦波振蕩源、整流電路、電壓表、電流表、選擇測試項目用的功能轉(zhuǎn)換電路和電源電路組成，其特征是在輸入恒壓源(2)中，接入電壓調(diào)整電路21的除有供測試各種參數(shù)時用的輸入電壓設(shè)定值控制器(22)外，還有供加溫老化時用的輸入電壓設(shè)定控制器(23)，在負(fù)載恒流源(3)中，接入電流調(diào)整電路(31)的除有供測試各種參數(shù)時用的負(fù)載電流設(shè)定值控制器(32)外，還有供加溫老化時用的負(fù)載電流設(shè)定值控制器(33)。
2.如權(quán)利要求1所述的三端穩(wěn)壓塊快速篩選儀，其特征是采用以運(yùn)算放大器(3N1)為主體的串聯(lián)型電流負(fù)反饋放大器作為負(fù)載恒流源(3)。
3.如權(quán)利要求2所述的三端穩(wěn)壓塊快速篩選儀，其特征是在輸入側(cè)的輸入恒壓源(2)和被測三端穩(wěn)壓塊插座(1)之間接有繼電器常閉接點(diǎn)(j11)、(j31)和輸入電流采樣電阻(R，)，並在R9上跨接有常閉接點(diǎn)(j21)，電壓表(7)經(jīng)常閉接點(diǎn)(j51b)和(j52b)跨接在輸入恒壓源(2)上，並通過常開接點(diǎn)(j51a)和(j52a)可跨接在整流電路(5)的輸出端，正弦波振蕩源(4)的輸出，通過常開接點(diǎn)(j32)和(j33)跨接在常閉接點(diǎn)(j31)上，在輸出側(cè)的負(fù)載回路里，串入了負(fù)載電流采樣電阻(R10)，並在(R10)上跨接有常閉接點(diǎn)(j22)，以繼電器接點(diǎn)構(gòu)成功能轉(zhuǎn)換電路。
4.如權(quán)利要求3所述的三端穩(wěn)壓塊快速篩選儀，其特征是輸入電流和負(fù)載電流分別通過采樣電阻(R，)和(R10)，將樣值經(jīng)常開接點(diǎn)(j101)和(j102)及(j81)和(j82)送至放大器(11)，輸出直流電壓送至放大器(12)，輸入正弦波振蕩源(4)送出的正弦波電壓，經(jīng)整流電路(5)和常開接點(diǎn)(j91)與(j92)送至放大器(12)，輸出側(cè)的紋波電壓經(jīng)常開接點(diǎn)(j121)與(j122)及整流電路(10)后送至放大器(13)，放大器(11)、(12)和(13)的輸出，經(jīng)電壓／頻率轉(zhuǎn)換電路(15)后送入微機(jī)(16)，並由微機(jī)系統(tǒng)的顯示器(18)或打印機(jī)(19)輸出測量結(jié)果。
專利摘要本實用新型是一種用來測試和老化篩選半導(dǎo)體集成電路穩(wěn)壓器的設(shè)備，由輸入恒壓源、負(fù)載恒流源、電流表、電壓表和電源等組成，在輸入恒壓源(2)和負(fù)載恒流源中，不僅有供測試各種參數(shù)時用的輸入電壓設(shè)定值控制器(22)和負(fù)載電流設(shè)定值控制器(32)，而且還有供加溫老化時用的設(shè)定值控制器(23)和(33)。將測試和老化合為一體，以通電加溫老化代替烘箱貯存老化，既省電，又省時，而且老化效果好。
文檔編號H01L21/46GK2096817SQ91216960
公開日1992年2月19日 申請日期1991年6月24日 優(yōu)先權(quán)日1991年6月24日
發(fā)明者徐國榮, 韋峻 申請人:徐國榮, 韋峻