專利名稱：制品的刻印方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及在制品上刻印給定的印字圖形的刻印裝置，更詳細(xì)地說(shuō)，涉及可高速進(jìn)行刻印的制品刻印方法。
這種刻印裝置，是一種在形成印字圖形的掩膜上照射激光，加工對(duì)象的制品一遇到透過的激光，在其表面上即刻印出所述印字圖形的裝置。
通過

圖10，說(shuō)明利用已有刻印裝置對(duì)制品刻印時(shí)的程序。圖10平面地示出制品的配置狀態(tài)，橫軸表示相對(duì)的作業(yè)內(nèi)容。尤其，關(guān)于在刻印與傳送之間所進(jìn)行的透過率反饋(FB)的處理問題，如后所述。
首先，如(a)所示，通過圖中未示出的傳送裝置將載有多數(shù)制品30的引線架32，傳送至可刻印的范圍(以下稱“刻印區(qū)域”)，利用通過圖中未示的光學(xué)系統(tǒng)進(jìn)行掃描的激光，對(duì)各制品30進(jìn)行刻印。
對(duì)制品刻印結(jié)束后，使引線架32自刻印區(qū)域34傳送，如(b)所示，將下一個(gè)引線架36傳送至刻印區(qū)域34。于是，對(duì)新傳送到的引線架36上的制品30，進(jìn)行刻印。
對(duì)制品刻印結(jié)束后，使引線架36由刻印區(qū)域34遷移，如(c)所示，將下一個(gè)引線架38傳送至刻印區(qū)域34。于是，對(duì)新傳送到的引線架38上的制品30，進(jìn)行刻印。
若將上述的刻印動(dòng)作用時(shí)間圖示，則如圖11所示。在利用激光的刻印過程中，停止由傳送裝置進(jìn)行的制品傳送；刻印結(jié)束后，在利用傳送裝置傳送下一個(gè)制品時(shí)，停止激光照射。
但是，在利用刻印裝置進(jìn)行刻印作業(yè)過程中，人們希望縮短間歇時(shí)間(刻印所需的總時(shí)間)。然而，上述的已有刻印方法在從已刻印完畢的制品向下一個(gè)制品交替(傳送)時(shí)，刻印裝置由于不進(jìn)行刻印而處于停止?fàn)顟B(tài)，所以傳送制品時(shí)的作業(yè)時(shí)間被浪費(fèi)了。即是說(shuō)，利用已有技術(shù)的刻印作業(yè)，其作業(yè)效率低，難于縮短間歇時(shí)間。
本發(fā)明的目的在于，提供一種不浪費(fèi)作業(yè)時(shí)間，并盡可能縮短間歇時(shí)間的制品刻印方法。
本發(fā)明的另一目的在于，提供一種在縮短作業(yè)時(shí)間的同時(shí)，并盡可能地減少該刻印制品質(zhì)量的變異性。
本發(fā)明的制品刻印方法是，在并行多條線上配置制品的同時(shí)，所述多條線獨(dú)立地進(jìn)行傳送、停止，在對(duì)停止在刻印區(qū)域內(nèi)線上的制品進(jìn)行刻印時(shí)，至少將其余的一條以上線上的制品傳送至刻印區(qū)域內(nèi)。因此，即使有由一制品向另一制品交替(傳送)的時(shí)間，但由于大體上可連續(xù)輸出激光，所以傳送制品之間的作業(yè)時(shí)間無(wú)浪費(fèi)，并盡可能地縮短間歇時(shí)間。
其次，本發(fā)明的制品刻印方法，在所述掩膜為液晶掩膜時(shí)，以與對(duì)制品的刻印次數(shù)相應(yīng)的頻率，控制該液晶掩膜的透過率。這樣，通過刻印次數(shù)特定液晶掩膜的溫度范圍，可以相應(yīng)于該溫度范圍的計(jì)時(shí)，進(jìn)行透過率的控制，因此不喪失連續(xù)傳送制品的優(yōu)點(diǎn)，且可大體上保持掩膜一定的透過率。
再其次，本發(fā)明的制品刻印方法，在所述掩膜為液晶掩膜時(shí)，以相應(yīng)于液晶掩膜周圍的測(cè)定溫度的頻率，控制該液晶掩膜的透過率。這樣，通過直接測(cè)定液晶掩膜周圍的溫度，特定液晶掩膜的溫度范圍，可以相應(yīng)于該溫度范圍的計(jì)時(shí)，進(jìn)行透過率的控制，因此，這不喪失連續(xù)傳送制品的優(yōu)點(diǎn)，且可大體上保持掩膜一定的透過率。
以下為附圖的簡(jiǎn)要說(shuō)明。
圖1為表示刻印時(shí)制品配置的說(shuō)明圖。
圖2為適用本發(fā)明制品刻印方法的刻印裝置的構(gòu)成簡(jiǎn)圖。
圖3為表示激光在顯示圖面上掃描情形的說(shuō)明圖。
圖4為表示交替刻印制品時(shí)的程序模式圖。
圖5為交替刻印動(dòng)作時(shí)間圖。
圖6(a)、(b)、(c)為表示刻印區(qū)域內(nèi)制品位置關(guān)系說(shuō)明圖。
圖7為表示液晶的各驅(qū)動(dòng)電壓中的溫度與透過率關(guān)系的說(shuō)明圖。
圖8為表示通過刻印次數(shù)控制透過率時(shí)的控制器處理程序的流程圖。
圖9為表示通過液晶掩膜周圍的溫度控制透過率時(shí)的控制器處理程序的流程圖。
圖10為表示通過已有的加工裝置對(duì)制品刻印的程序說(shuō)明圖。
圖11為已有的刻印動(dòng)作時(shí)間圖。
以下說(shuō)明本發(fā)明制品刻印方法一實(shí)施例。
圖2為適用本發(fā)明制品刻印方法的刻印裝置的構(gòu)成簡(jiǎn)圖。
圖2中1為振蕩掃描用的激光(例如YAG激光)的激光振蕩器，振蕩的激光照射在作為Y方向偏轉(zhuǎn)器的掃描鏡-2的反射面2a。由反射面2a反射的激光照射在多面反射鏡3的反射面3a。于是，由反射面3a反射的激光L1通過透鏡4，照射在高分子復(fù)合型液晶掩膜5的顯示畫面6上。
這里所述的掃描鏡2的反射面2a通過電動(dòng)機(jī)7沿箭頭AA方向轉(zhuǎn)動(dòng)，所述多面反射鏡3的反射面3a通過電動(dòng)機(jī)8沿箭頭BB方向轉(zhuǎn)動(dòng)。即是說(shuō)，一旦電動(dòng)機(jī)8被驅(qū)動(dòng)控制，反射面3a沿箭頭BB方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，激光沿箭頭x方向?qū)σ壕а谀?的顯示畫面6進(jìn)行主掃描。而若電動(dòng)機(jī)7被驅(qū)動(dòng)控制，反射面2a沿箭頭AA方向轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí)，激光沿箭頭Y方向?qū)σ壕а谀?的顯示畫面6進(jìn)行副掃描。
圖3示出了激光掃描顯示畫面6的情形。如圖3所示，通過使激光沿x方向掃描的同時(shí)，向Y方向遷移的方法，掃描了全部顯示畫面6。
圖2中，檢測(cè)器10及11用于檢測(cè)液晶掩膜5的透過率。由檢測(cè)器10向液晶掩膜5照射激光R1，由檢測(cè)器11接受透光的激光R2，計(jì)量透過率。控制器9通過檢測(cè)器10、11使透過率反饋，控制液晶驅(qū)動(dòng)電壓，以使液晶掩膜5保持一定的透過率。
還有，控制器9輸出用于在液晶掩膜5上寫入給定形狀的印字圖形的信號(hào)的同時(shí)，控制激光振蕩器1中的激光振蕩，控制向液晶掩膜5中激光XY方向的掃描。即是說(shuō)，控制器9在液晶掩膜5的顯示畫面6上形成印字圖形的同時(shí)，驅(qū)動(dòng)控制上述電動(dòng)機(jī)7、8和激光振蕩器1，進(jìn)行激光L1的掃描。因此，激光L1只透過在液晶掩膜5上所形成的印字圖形部分。于是，透過的激光L2通過反射鏡12和透鏡13導(dǎo)入制品14上，相應(yīng)于印字圖形形狀的文字、圖形等被刻印在制品14的表面上。
再者，反射鏡12和透鏡13是通過以分別獨(dú)立的電動(dòng)機(jī)為驅(qū)動(dòng)源的遷移機(jī)構(gòu)(圖中未示出)驅(qū)動(dòng)的。這些遷移機(jī)構(gòu)，可使所述印字圖形刻印在制品14的刻印位置14a，而且沿XY方向遷移，使通過液晶掩膜5的顯示畫面6的激光L2射入制品14的照射位置，通過控制器9進(jìn)行驅(qū)動(dòng)控制?？刂破?用所述遷移機(jī)構(gòu)驅(qū)動(dòng)控制反射鏡12和透鏡13，以決定X、Y方向的位置。通過所述反射鏡12、透鏡13導(dǎo)出的激光對(duì)以列狀配置在引線架15上的制品14進(jìn)行照射(圖2中只分別示出一個(gè)引線架和制品)。
圖1示出刻印時(shí)制品的配置，是從激光照射方向觀察制品配置的。
傳送裝置20是由并列配置的傳送部22和24、驅(qū)動(dòng)該傳送部(圖中未示)的驅(qū)動(dòng)部、和控制該驅(qū)動(dòng)部動(dòng)作的、圖中未示出的控制部所組成。在傳送部22上裝載有A列的引線架15(15-1至15-3)，而在傳送部24上則裝載有B列的引線架16(16-1至16-3)。各傳送部被分別獨(dú)立地驅(qū)動(dòng)，以使引線架在虛線所示的刻印區(qū)域26內(nèi)停止而被驅(qū)動(dòng)控制。
圖2所示的反射鏡12和透鏡13的光學(xué)系統(tǒng)，通過圖中未示的遷移機(jī)構(gòu)，使激光向圖1中的XY方向遷移。即是說(shuō)，在制品之間遷移激光照射位置時(shí)，光學(xué)系統(tǒng)向Y方向遷移，而在列之間遷移激光照射位置時(shí)，則光學(xué)系統(tǒng)向X方向遷移。
圖4模擬式地示出交替刻印制品時(shí)的程序，將與圖1相同的部分用同一符號(hào)示出。以下參照?qǐng)D4，說(shuō)明交替刻印制品時(shí)的程序(a)-(d)。
首先對(duì)圖4中兩列配置的引線架(A列、B列)交替進(jìn)行刻印的情況進(jìn)行說(shuō)明。還有，對(duì)于圖4刻印動(dòng)作時(shí)的透過率的反饋控制，是根據(jù)需要來(lái)進(jìn)行的。
(a)將A列的引線架15-1傳送至刻印區(qū)域26，對(duì)引線架15-1上的制品進(jìn)行刻印。在進(jìn)行A列刻印期間，將B列中引線架16-1傳送到刻印區(qū)域26，呈待機(jī)狀態(tài)。
(b)A列中制品刻印一旦結(jié)束，將激光照射位置遷移至B列一側(cè)，對(duì)B列引線架16-1上的制品進(jìn)行刻印。此間，在對(duì)A列中刻印完了的引線架15-1進(jìn)行遷移的同時(shí)，將下一個(gè)引線架15-2傳送至刻印區(qū)域26，呈待機(jī)狀態(tài)。
(c)一旦B列中的制品刻印結(jié)束，將激光照射位置遷移至A列一側(cè)，對(duì)A列引線架15-2上的制品進(jìn)行刻印。此間，在對(duì)B列中刻印完了的引線架16-1進(jìn)行遷移的同時(shí)，將下一個(gè)引線架16-2傳送至刻印區(qū)域26，呈待機(jī)狀態(tài)。
(d)一旦A列中的制品刻印結(jié)束，將激光照射位置遷移至B列一側(cè)，對(duì)B列引線架16-2上的制品進(jìn)行刻印。此間，在對(duì)A列中刻印完了的引線架15-2進(jìn)行遷移的同時(shí)，將下一個(gè)引線架15-3傳送至刻印區(qū)域26，呈待機(jī)狀態(tài)。
這樣，對(duì)于A/B列進(jìn)行上述(a)-(d)的動(dòng)作，即可對(duì)制品進(jìn)行交替刻印。
若將上述的制品交替刻印的動(dòng)作用時(shí)間圖加以表示，如圖5所示。在利用本實(shí)施例的刻印裝置進(jìn)行刻印時(shí)，由于對(duì)兩列配置的制品交替地進(jìn)行傳送與停止(刻印)，所以大體上可連續(xù)地輸出激光。因此，沒有像過去那樣由一制品到另一制品的交替(傳送)之間停止刻印作業(yè)，沒有浪費(fèi)傳送制品之間的作業(yè)時(shí)間。因此，使高速刻印成為可能，并可實(shí)現(xiàn)縮短間歇時(shí)間。
本實(shí)施例刻印裝置為了對(duì)制品進(jìn)行交替刻印，以下列方式控制該刻印制品列的選擇。圖6(a)表示刻印區(qū)域中制品的位置關(guān)系，圖中W1-W5、W6-W10表示了各制品的位置。一旦傳送裝置20(參照?qǐng)D1)將引線架15(16)傳送至刻印區(qū)域26，對(duì)刻印裝置的控制器9(參照?qǐng)D2)輸出請(qǐng)求刻印的信號(hào)和相應(yīng)于該刻印制品列的寫入信號(hào)。接受了信號(hào)的控制器9開始對(duì)寫入信號(hào)為ON的制品列進(jìn)行激光掃描。例如，對(duì)刻印區(qū)域左半部的制品刻印時(shí)，如圖6(b)所示，將向W1-W5寫入的信號(hào)定為ON，除此之外的寫入信號(hào)定為OFF。而對(duì)刻印區(qū)域右半部的制品刻印時(shí)，如圖6(c)所示，將對(duì)W6-W10寫入的信號(hào)定為ON，除此之外的寫入信號(hào)定為OFF。
上述實(shí)施例的刻印裝置中，使用液晶掩膜作為激光的掩蔽手段，但是由于液晶透過率因溫度的不同而有變化，因此為了實(shí)現(xiàn)相同質(zhì)量的刻印，需要穩(wěn)定液晶掩膜的透過率。為此，已有的刻印裝置在一次刻印完畢以后，通過檢測(cè)器使液晶掩膜的透過率反饋，控制液晶驅(qū)動(dòng)電壓，以確保一定的透過率。然而，與上述的交替刻印相同，以定時(shí)進(jìn)行這種控制時(shí)，交替刻印的高速化優(yōu)點(diǎn)就損失盡了。
因此，為了防止由作業(yè)高速化而帶來(lái)的刻印質(zhì)量的降低，需要將進(jìn)行透過率反饋的定時(shí)由每一次變更為數(shù)次一次。以下說(shuō)明根據(jù)刻印次數(shù)或液晶掩膜周圍的溫度進(jìn)行透過率控制的情況。
(1)根據(jù)刻印次數(shù)控制透過率圖7示出了各驅(qū)動(dòng)電壓下液晶的溫度與透過率的關(guān)系。如圖7所示，液晶的透過率隨溫度提高而穩(wěn)定，而溫度低時(shí)，變化大。根據(jù)這一點(diǎn)，液晶掩膜的透過率在刻印剛開始之后，變化最大，隨著刻印次數(shù)增多而趨于穩(wěn)定。即是說(shuō)，直至液晶的溫度變高之前，需要頻繁地進(jìn)行透過率的控制。因此，采用此法時(shí)，在剛開始刻印后，要勤快地進(jìn)行反饋，隨著刻印次數(shù)增多，要進(jìn)行控制，使之慢慢地減少反饋次數(shù)。
其次，利用圖8中所示的流程圖，對(duì)根據(jù)刻印次數(shù)控制透過率時(shí)的控制器9的處理程序，進(jìn)行說(shuō)明。
再有，模式表中的模式號(hào)1、2、3...表示反饋間隔與返復(fù)次數(shù)。表中，根據(jù)刻印次數(shù)，特定液晶掩膜的溫度范圍，設(shè)定與該溫度范圍相應(yīng)的頻率。(a)是表示進(jìn)行一次反饋前的刻印次數(shù)，而(b)是表示反復(fù)a處理的次數(shù)。例如模式2是表示將以5∶1的比例進(jìn)行反饋的圖形執(zhí)行50次的模式。
該例中，最初以模式1的間隔和次數(shù)進(jìn)行反饋，而后按模式2、3、4...的順序?qū)⒛Ｊ揭菩小５?，在該例中，以模?結(jié)束點(diǎn)定為終點(diǎn)。
首先，作為初值設(shè)定模式＝1、a＝2、b＝100(步驟101)，判斷A列是否刻印(步驟102)。如果是A列刻印，則要進(jìn)行A列刻印與B列的傳送(步驟103)，如果是B列刻印，則進(jìn)行B列的刻印與A列的傳送(步驟104)。然后，將a-1(步驟105)，判斷是否a≤0(步驟106)。這里，如果不是a≤0時(shí)，即刻印次數(shù)未達(dá)到a次時(shí)，則返回到步驟102，進(jìn)行步驟103或步驟104的刻印處理。
在步驟106中當(dāng)a≤0時(shí)，即刻印次數(shù)達(dá)到a次時(shí)，進(jìn)行透過率的反饋(FB)(步驟107)。于是，b-1[步驟108]，判斷是否b≤0(步驟109)。這里，不是b≤0時(shí)，即反饋處理的返復(fù)次數(shù)未達(dá)到b時(shí)，則進(jìn)行步驟113，判斷是否是模式5(步驟113)。如果是模式5，則返回到步驟102，進(jìn)行刻印與反饋處理。
還有，在步驟109，b≤0時(shí)，即反饋處理的返復(fù)次數(shù)達(dá)到b次時(shí)，模式號(hào)+1(步驟110)，分別設(shè)定與新模式號(hào)對(duì)應(yīng)的a與b值(步驟111、112)。然后在步驟113中成為模式5之前，即模式4結(jié)束前，反復(fù)進(jìn)行上述處理。
本實(shí)施例根據(jù)刻印次數(shù)，特定液晶掩膜的溫度范圍，以與該溫度范圍相應(yīng)的頻率，控制透過率。即是說(shuō)，液晶掩膜通過隨時(shí)間與透過率變化的定時(shí)而受到控制。因此，透過率的控制，在不影響刻印質(zhì)量的范圍內(nèi)間歇地進(jìn)行，與過去每進(jìn)行一次刻印都要控制透過率的情況相比，可不喪失連續(xù)傳送制品的優(yōu)點(diǎn)，而使掩膜的透過率大體上保持一定。
(2)根據(jù)液晶掩膜的周圍溫度控制透過率這里，用溫度檢測(cè)器測(cè)定液晶掩膜的周圍溫度，根據(jù)該溫度的變化而變更反饋次數(shù)。即是說(shuō)，液晶溫度低，透過率不穩(wěn)定時(shí)，要勤快地進(jìn)行反饋，隨著溫度變高而透過率穩(wěn)定時(shí)，再進(jìn)行減少反饋次數(shù)的控制。
其次，結(jié)合圖9所示的流程圖，說(shuō)明根據(jù)液晶掩膜的周圍溫度控制透過率時(shí)的控制器的處理程序。這里，溫度表中的a是表示在各溫度范圍內(nèi)，進(jìn)行一次反饋前的刻印次數(shù)，例如，在25℃-30℃范圍內(nèi)，表不以5∶1的比例進(jìn)行反饋。
首先，作為初值設(shè)定a＝2(步驟201)、判斷是否A列刻印(步驟202)。如果是A列刻印，則要進(jìn)行A列刻印和B列傳送(步驟203)，如果是B列刻印，則進(jìn)行B列的刻印與A列的傳送(步驟204)。然后，a-1(步驟205)，判斷是否a≤0(步驟206)。這里，不是a≤0時(shí)，即刻印次數(shù)未達(dá)到a次時(shí)，則返回步驟202，進(jìn)行步驟203或204的刻印處理。
在步驟206，a≤0時(shí)，即刻印次數(shù)達(dá)到a次時(shí)，判斷是否作業(yè)結(jié)束(步驟207)，如果結(jié)束了，則進(jìn)行透過率的反饋處理(步驟208)。然后，用溫度檢測(cè)器測(cè)定液晶掩膜周圍的溫度(步驟209)，設(shè)定與測(cè)定的溫度相應(yīng)的a值(步驟210)。這之后，在作業(yè)結(jié)束前，用步驟207反復(fù)進(jìn)行上述處理。
本實(shí)施例測(cè)定液晶掩膜周圍的溫度，并以與該溫度范圍相應(yīng)的頻率控制透過率。即是說(shuō)，液晶掩膜通過實(shí)際溫度變化的定時(shí)而受到控制。因此，透過率的控制，在不影響刻印質(zhì)量范圍內(nèi)間歇地進(jìn)行，與過去每進(jìn)行一次刻印都要控制透過率的情況相比，可不喪失連續(xù)傳送制品的優(yōu)點(diǎn)，而使掩膜的透過率大體上保持一定。
再有，上述實(shí)施例中雖然只說(shuō)明了在兩列配置的引線架A列、B列上進(jìn)行交替刻印的例子，但是在有三列配置的引線架的情況下，也可適用同樣的方法。而且，引線架上的制品數(shù)，只要在刻印區(qū)域內(nèi)，則無(wú)特定量的限制。尤其，傳送裝置只要是可依順序傳送引線架，則不受圖1所示的帶狀結(jié)構(gòu)的限制。
還有，本發(fā)明不受圖示及解說(shuō)的實(shí)施例限制，在本專利權(quán)利要求的范圍內(nèi)，可考慮有各種的可變形實(shí)施例。
如上所述，本發(fā)明的制品刻印方法適用于在制品上刻印給定的印字圖形的刻印裝置。
權(quán)利要求書按照條約第19條的修改1.(刪除)2.(刪除)3.一種制品的刻印方法，在形成給定形狀的印字圖形的液晶掩膜上，照射激光，通過該激光在所述液晶掩膜上掃描，將所述液晶掩膜上所形成的印字圖形刻印在制品上，在這樣的刻印裝置中，其特征在于，包括第一和第二工藝過程第一工藝過程是，在并行的多條線上配置制品的同時(shí)，所述多條線獨(dú)立地進(jìn)行傳送、停止，在對(duì)停止在刻印區(qū)域內(nèi)線上的制品進(jìn)行刻印時(shí)，至少將其余的一條以上線上的制品傳送至刻印區(qū)域內(nèi)；第二工藝過程是，與所述第一工藝過程并行，以與對(duì)制品刻印次數(shù)相應(yīng)的頻率，控制所述液晶掩膜的透過率。
4.一種制品的刻印方法，在形成給定形狀的印字圖形的液晶掩膜上，照射激光，通過該激光在所述液晶掩膜上掃描，將所述液晶掩膜上所形成的印字圖形刻印在制品上，在這樣的刻印裝置中，其特征在于，包括第一和第二工藝過程第一工藝過程是，在并行的多條線上配置制品的同時(shí)，所述多條線獨(dú)立地進(jìn)行傳送、停止，在對(duì)停止在刻印區(qū)域內(nèi)線上的制品進(jìn)行刻印時(shí)，至少將其余的一條以上線上的制品傳送至刻印區(qū)域；第二工藝過程是，與所述第一工藝過程并行，以與該液晶掩膜周圍的測(cè)定溫度相應(yīng)的頻率，控制所述液晶掩膜的透過率。
權(quán)利要求
1.一種制品的刻印方法，在形成給定形狀的印字圖形的掩膜上，照射激光，通過該激光在所述掩膜上掃描，將所述掩膜上所形成的印字圖形刻印在制品上，在這樣的刻印裝置中，其特征在于，在并行的多條線上配置制品的同時(shí)，所述多條線獨(dú)立地進(jìn)行傳送、停止，在對(duì)停止在刻印區(qū)域內(nèi)線上的制品進(jìn)行刻印時(shí)，至少將其余的一條以上線上的制品傳送至刻印區(qū)域內(nèi)。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的制品的刻印方法，其特征在于，所述掩膜為液晶掩膜。
3.一種制品的刻印方法，在形成給定形狀的印字圖形的液晶掩膜上，照射激光，通過該激光在所述液晶掩膜上掃描，將所述液晶掩膜上所形成的印字圖形刻印在制品上，在這樣的刻印裝置中，其特征在于，包括第一和第二工藝過程第一工藝過程是，在并行的多條線上配置制品的同時(shí)，所述多條線獨(dú)立地進(jìn)行傳送、停止，在對(duì)停止在刻印區(qū)域內(nèi)線上的制品進(jìn)行刻印時(shí)，至少將其余的一條以上線上的制品傳送至刻印區(qū)域內(nèi)；第二工藝過程是，與所述第一工藝過程并行，以與對(duì)制品刻印次數(shù)相應(yīng)的頻率，控制所述液晶掩膜的透過率。
4.一種制品的刻印方法，在形成給定形狀的印字圖形的液晶掩膜上，照射激光，通過該激光在所述液晶掩膜上掃描，將所述液晶掩膜上所形成的印字圖形刻印在制品上，在這樣的刻印裝置中，其特征在于，包括第一和第二工藝過程第一工藝過程是，在并行的多條線上配置制品的同時(shí)，所述多條線獨(dú)立地進(jìn)行傳送、停止，在對(duì)停止在刻印區(qū)域內(nèi)線上的制品進(jìn)行刻印時(shí)，至少將其余的一條以上線上的制品傳送至刻印區(qū)域；第二工藝過程是，與所述第一工藝過程并行，以與該液晶掩膜周圍的測(cè)定溫度相應(yīng)的頻率，控制所述液晶掩膜的透過率。
全文摘要
本發(fā)明的制品刻印方法是，在向A列引線架(15-1)上的制品刻印時(shí)，將B列引線架(16-1)傳送至刻印區(qū)域待機(jī)，在所述A列引線架(15-1)刻印結(jié)束時(shí)，進(jìn)行B列引線架(16-1)上制品的刻印，此間，將A列的下一引線架(15-2)傳送至刻印區(qū)域(26)待機(jī)，這種工作在并行的多條線中，至少有兩條線是如此交替進(jìn)行的。于是，既使由一制品向另一制品交替?zhèn)魉推陂g，由于大體上連續(xù)輸出激光，所以使傳送制品的作業(yè)時(shí)間無(wú)浪費(fèi)，并盡可能地縮短了間歇時(shí)間。
文檔編號(hào)H01L23/00GK1158581SQ95194511
公開日1997年9月3日 申請(qǐng)日期1995年5月26日 優(yōu)先權(quán)日1994年8月17日
發(fā)明者三杉幸司 申請(qǐng)人:小松制作所株式會(huì)社