專利名稱：射頻板條式二氧化碳激光器的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本實用新型涉及氣體激光器技術(shù)。
已有的射頻二氧化碳波導(dǎo)激光器，其輸出功率較小，最大只有200瓦左右；已有的射頻波導(dǎo)陣列二氧化碳激光器，其輸出功率雖能達(dá)到1000瓦，但因光束不能聚焦成圓點而不能實用。
本實用新型的目的在于，設(shè)計一種輸出功率可達(dá)到2000瓦，輸出光束質(zhì)量優(yōu)良，可用于工業(yè)加工的射頻板條式二氧化碳激光器。
以下結(jié)合附圖，對本實用新型作詳細(xì)說明。
本實用新型的結(jié)構(gòu)見附圖1，在腔體(8)內(nèi)的底座(7)上面的中間處，放置下電極(3)，在底座(7)上，靠下電極(3)的兩側(cè)豎有四根鋼支柱(6)，在鋼支柱(6)上部與之垂直地橫架兩塊石英玻璃(11)，上電極(1)固定在兩塊石英玻璃(11)上，懸掛在下電極(3)的上方，在上電極(1)的上面接有電極引線(10)；在上、下電極(1)、(3)的兩端頭，空開一段距離的底座(7)上，安有左、右鏡座(15)、(4)，在右鏡座(4)上安有柱面凸反鏡(2)，在左鏡座(15)上安有柱面凹反鏡(13)；在上、下電極(1)、(3)之間，等距離地并聯(lián)若干線圈(12)，在腔體(8)的左端頭安有法蘭(14)，在腔體(8)右端頭的法蘭中間開有輸出窗(5)；在底座(7)，上、下電極(1)、(3)以及左右鏡座(15)、(4)中間都開有冷卻水通道(9)，接冷卻水。
本實用新型的上、下電極(1)、(3)的形狀都是長方形平板且都是銅制做的，在上、下電極(1)、(3)相對的平面上鍍金。
本實用新型的左右鏡座(15)、(4)中鑲?cè)攵鄩K磁體，以磁力和螺釘保證柱面凹、凸反鏡所需的多維運動，避免了機械調(diào)節(jié)的螺紋間隙，確保柱面鏡的精確定位。
本實用新型工作時，先將電極引線通過射頻匹配器，接上射頻電源，再在抽過真空的腔體內(nèi)充入二氧化碳等激光工作氣體，等充到一定的工作氣壓后，打開冷卻水，使上、下電極之間加入射頻高壓，電極之間產(chǎn)生α形的氣體輝光放電，產(chǎn)生激光經(jīng)輸出窗輸出。
本實用新型的優(yōu)點是，上、下電極四周開放，便于氣體對流，再加上電極上鍍的金對二氧化碳?xì)怏w復(fù)合催化作用，提高激光功率，延長激光器壽命，激光輸出功率較射頻波導(dǎo)激光器的輸出功率大得多，可達(dá)到2000瓦，加之輸出光束質(zhì)量好，可以聚焦成圓點，因而可廣泛應(yīng)用于激光加工。


附圖1是本實用新型的結(jié)構(gòu)圖。
1、上電極；、2、柱面凸反鏡；3、下電極；4、右鏡座；5、輸出窗；6、鋼支柱；7、底座；8、腔體；9、冷卻水通道；10、電極引線；11、石英玻璃；12、線圈；13、柱面凹反鏡；14法蘭；15、左鏡座。
權(quán)利要求1.一種由腔體，電極等組成的射頻板條式二氧化碳激光器，其特征在于，在腔體內(nèi)的底座上面的中間處，放置下電極，在底座上靠下電極的兩側(cè)豎有四根鋼支柱，在鋼支柱上部與之垂直地橫架兩塊石英玻璃，上電極固定在兩塊石英玻璃上，懸掛在下電極的上方，在上電極的上面接有電極引線，在上、下電極的兩端頭，空開一段距離的底座上，安有左、右鏡座，在右鏡座上安有柱面凸反鏡，在左鏡座上安有柱面凹反鏡；在上、下電極之間，等距離地并聯(lián)著線圈；在腔體的左、右兩端頭安有法蘭，在腔體右端的法蘭中間開有輸出窗；在底座，上、下電極以及左、右鏡座中間都開有冷卻水通道。
2.如權(quán)利要求1所述的激光器，其特征在于，所述上、下電極的形狀都是長方形平板，且都是用銅制做的，在上、下電極相對的平面上鍍金。
3.如權(quán)利要求1所述的激光器，其特征在于，所述左、右鏡座中，鑲?cè)攵鄩K磁體。
專利摘要本實用新型涉及氣體激光器技術(shù)。本實用新型在激光器內(nèi)部上、下兩平板條電極以懸掛式結(jié)構(gòu)安裝，在左、右鏡座上鑲有磁塊，以磁調(diào)諧機構(gòu)調(diào)整光學(xué)諧振腔，激光器以射頻激勵。本實用新型的輸出功率可達(dá)2000瓦，輸出光束質(zhì)量好，可聚焦成圓點。本實用新型可廣泛應(yīng)用于激光工業(yè)加工。
文檔編號H01S3/02GK2255681SQ9623212
公開日1997年6月4日 申請日期1996年6月19日 優(yōu)先權(quán)日1996年6月19日
發(fā)明者高允貴, 吳春雷, 呂惠敏 申請人:中國科學(xué)院安徽光學(xué)精密機械研究所