專利名稱：具有傾斜設(shè)置的端子的功能塊的半導(dǎo)體器件的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及半導(dǎo)體器件，特別是涉及具有選擇連接功能塊的可二維延長的信號線的半導(dǎo)體器件。
半導(dǎo)體集成電路器件具有多個(gè)功能塊，每個(gè)功能塊包含邏輯單元。雖然通過功能塊中的信號線連接邏輯單元和，但是，在一個(gè)功能塊的邏輯單元和另一個(gè)功能塊的邏輯單元之間沒有任何信號線。這意味著要求設(shè)計(jì)者在功能塊之間單獨(dú)地設(shè)定信號通路。
日本的沒審查專利申請公開No.62-120042公開了關(guān)于功能塊之間電連接的自動(dòng)布線系統(tǒng)，

圖1表示日本的沒審查專利申請公開的例子。標(biāo)號1,2,3,4分別表示各功能塊，功能塊1-4集成在半導(dǎo)體襯底上。功能塊1-4有信號端1a-1d,2a/2b,3a/3b,4a/4b，通過多層布線結(jié)構(gòu)5分別連接信號端1a-1d,2a/2b,3a/3b,4a/4b。
多層布線結(jié)構(gòu)5包括第1層導(dǎo)線5a,5b,5c,5d,5e,5f,5g,第2層導(dǎo)線5h,5j,5k,5m,5n,5o,5p,5r互連部分6a,6b,6c,6d,6e,6f,6g,6h,6j,6k,6m。第1導(dǎo)線5a-5g垂直于第2層導(dǎo)線5h-5r延伸，在第1層導(dǎo)線5a-5g和第2層導(dǎo)線5h-5r之間插入層間絕緣層(沒表示)。從而，第1層導(dǎo)線5a-5g和第2層導(dǎo)線5h-5r離開半導(dǎo)體襯底的高度不同。接觸孔形成在層間絕緣層中，并分別插有垂直互連部分6a-6m。
信號端1a,1b,2a分別連到第1層導(dǎo)線5a/5c/5b，第2層導(dǎo)線5h/5j通過互連部分6a/6d和6c連到第1層導(dǎo)線5a/5b和5c。
另一方面，信號端1d/1c,2b,3a/3b,4a/4b分別連到第2層導(dǎo)線5q/5o,5m,5k/5n,5p/5r，第1層導(dǎo)線5g/5f/5e和5d通過垂直互連部分6k/6m,6j/6h,6f/6g，和6d/6e分別連到第2層導(dǎo)線5q/5r,5o/5p,5m/5n,5j/5k。彎曲第1層導(dǎo)線5d以便使其一端和垂直互連部分6d對準(zhǔn)。
在1/2功能塊的邊線上設(shè)置信號端1a/1b和2a，在平行于第2層導(dǎo)線5h-5r的方向延伸，在功能塊1-4的端線上設(shè)置另一個(gè)信號端1c/1d,2b,3a/3b,4a/4b，在平行于第1層導(dǎo)線5a-5g的方向延伸。根據(jù)延伸方向在第1和第2層上選擇地形成導(dǎo)線5a-5r，垂直互連部分在信號端1a-4b之間形成導(dǎo)電通路。
當(dāng)在功能塊端線上設(shè)置信號端時(shí)，圖2所示，多層布線結(jié)構(gòu)和信號端連接。在半導(dǎo)體襯底上集成功能塊11,12和13。沿功能塊11/12/13的端線分別設(shè)置信號端11a/11b/11c/11d,12a/12b/12c/12d和13a/13b/13c/13d，多層布線結(jié)構(gòu)14有選擇地將信號端11a-11d連接到信號端12a-12d,13a-13d，和另一個(gè)功能塊(沒表示)的信號端。多層布線結(jié)構(gòu)包括第1層導(dǎo)線15a/15b/15c/15d，第2層導(dǎo)線16a/16b/16c/16d,17a/17b/17c/17d,18a/18b/18c/18d，和垂直互連部分19a/19b/19c/1d,20a/20b/20c/20d,21a/21b/21c/21d。
第2層導(dǎo)線16a/16b/16c/16d直接連接信號端11a/11b/11c/11d到信號端13a/13b/13c/13d，通過垂直互連部分19a/19b/19c/19d連接到第1層導(dǎo)線15a/15b/15c/15d。第1層導(dǎo)線15a/15b/15c/15d通過垂直互連部分20a/20b/20c/20d和第2層導(dǎo)線18a/18b/18c/18d連接到另一個(gè)功能塊的信號端(沒表示)，通過垂直互連部分21a/21b/21c/21d連到第2層導(dǎo)線17a/17b/17c/17d。信號端12a/12b/12c/12d分別連到第2層導(dǎo)線17a/17b/17c/17d。于是，功能塊11通過多層布線結(jié)構(gòu)14提供電信號到功能塊12/13……在這個(gè)例子中，信號端11a-11d,12a-12d,13a-13d只設(shè)置在功能塊11/12/13的端線上，第2層導(dǎo)線16a-16d和17a-17d連接到信號端11a-11d,12a-12d,13a-13d。
另一方面，當(dāng)信號端設(shè)置在功能塊的邊線上時(shí)，如圖3所示，多層布線結(jié)構(gòu)連接到信號端。功能塊31/31集成在半導(dǎo)體襯底上，信號端31a/31b/31c/31d和32a/32b/32c/32d設(shè)置在功能塊31/32的邊線上。多層布線結(jié)構(gòu)33連接信號端31a-31d到信號端32a-32d和另一個(gè)功能塊的信號端(沒表示)。
多層布線結(jié)構(gòu)33包括第1層導(dǎo)線34a/34b/34c/34d，第2層導(dǎo)線35a/35b/35c/35d和垂直互連部分36a/36b/36c/36d。第1層導(dǎo)線34a-34d在左端連接到信號端31a-31d，在右端連接到信號端32a-32d，通過垂直互連部分36a-36d連接到第2層導(dǎo)線35a-35d。第2層導(dǎo)線35a-35d傳輸電信號到另一個(gè)功能塊的信號端(沒表示)。
在這個(gè)例子中，第2層導(dǎo)線35a-35d是0.5μm寬，相互間最小間隔G1為1μm。垂直互連部分36a和36d的通孔與信號端31a和32d相隔至少1μm。信號端31a-31d和32a-32d的每一個(gè)信號端占有面積0.5μm×0.5μm。結(jié)果，要求至少8μm來間隔功能塊31和功能塊32。
但是，如果把信號端31e/31f/31g/31h和32e/32f/32g/32h分別加到功能塊31/32，則第一層導(dǎo)線34e/34f/34g/34h，第2層導(dǎo)線35e/35f/35g/35h和垂直互連部分36e/36f/36g/36h進(jìn)一步和多層布線結(jié)構(gòu)33結(jié)合成一個(gè)整體。信號端31e-31h/32e-32h，第2層導(dǎo)線導(dǎo)線35e-35h，垂直互連部分36e-36h的接觸孔分別與信號端31a-31d/32a-32d，第2層導(dǎo)線35a-35d，垂直互連部分36a-36d的接觸孔尺寸相等。要求至少14μm來隔離功能塊31和功能塊32。于是，間隔G2與在功能塊31/32邊線上設(shè)置的信號端一起增加。
現(xiàn)有技術(shù)中的多層布線結(jié)構(gòu)發(fā)生下述問題，多層布線結(jié)構(gòu)在功能塊之間要求寬的區(qū)域。從圖3和圖4比較可知，當(dāng)增加信號端時(shí)，問題變的嚴(yán)重了。
本發(fā)明的主要目的是提供一種半導(dǎo)體器件，其布線結(jié)構(gòu)和現(xiàn)有技術(shù)相比，結(jié)構(gòu)簡單，占有面積較小。
本發(fā)明考慮到現(xiàn)有技術(shù)多層布線結(jié)構(gòu)的固有問題，注意到信號端位置限定與其相連的導(dǎo)線的延伸方向。例如，信號端1a/1b/1c和31a-31d只和平行于功能塊端線延伸的導(dǎo)線相連，信號端1c/1d,2b,3a/3b,4a/4b,11a-11d,12a-12d,13a-13d只和平行于功能塊端線延伸的導(dǎo)線相連。當(dāng)設(shè)計(jì)者改變信號通路的方向，設(shè)計(jì)者增加垂直于直接連接到信號端導(dǎo)線的導(dǎo)線，因此上述的限制增加導(dǎo)線和信號通路所占的面積。本發(fā)明人得出結(jié)論消除上述限制可獲得占用更窄面積的布線結(jié)構(gòu)。
為了達(dá)到上述的目的，提出了傾斜設(shè)置信號端，使信號端和在不同層上延伸的導(dǎo)線相連。
按照本發(fā)明的一個(gè)方案，提供一種半導(dǎo)體器件，至少包括產(chǎn)生電信號的一個(gè)功能塊和布線結(jié)構(gòu)，該功能塊包括具有沿第1虛擬線(virtual line)設(shè)置的第1個(gè)信號端的多個(gè)信號端，用于和另一個(gè)功能塊電通信，該第1虛擬線相對于相互垂直的第2虛擬線傾斜延伸，該布線結(jié)構(gòu)連接到第1信號端，用于在前述至少一個(gè)功能塊和另一個(gè)功能塊之間傳輸電信號，包括設(shè)置在第1層的和相對于第1虛擬線傾斜延伸的第1導(dǎo)線，設(shè)置在不同于第1層的第2層上的和相對于第1虛擬線和第1導(dǎo)線傾斜延伸的第2導(dǎo)線，選擇程度連接第1信號端到第1和第2導(dǎo)線的第1互連部分。
通過參照下列附圖進(jìn)行說明將更清楚的理解半導(dǎo)體器件的特征和優(yōu)點(diǎn)圖1是表示日本沒審查的專利申請公開N0.62-120042公開的現(xiàn)有技術(shù)布線結(jié)構(gòu)的平面圖；圖2是表示現(xiàn)有技術(shù)布線結(jié)構(gòu)第2實(shí)例的平面圖；圖3是表示現(xiàn)有技術(shù)布線結(jié)構(gòu)的第3實(shí)例的平面圖；圖4是表示具有比第3實(shí)例較多信號端的現(xiàn)有技術(shù)布線結(jié)構(gòu)的平面圖；圖5是表示按照本發(fā)明的半導(dǎo)體集成電路器件的平面圖；圖6是表示按照本發(fā)明另一個(gè)的半導(dǎo)體集成電路器件的平面圖；圖7是表示按照本發(fā)明又一個(gè)的半導(dǎo)體集成電路器件的平面圖；圖8是表示在功能塊之間設(shè)置的布線結(jié)構(gòu)的平面圖；圖9是表示在功能塊之間設(shè)置的再一個(gè)布線結(jié)構(gòu)的平面圖。
第1實(shí)施例參照圖5說明在半導(dǎo)體襯底42上集成的具有布線結(jié)構(gòu)43的功能塊41。雖然在圖5沒有表示，多個(gè)邏輯單元形成功能塊41，功能塊41通過邏輯單元的邏輯次序達(dá)到預(yù)定的任務(wù)。功能塊41占有大致矩形的區(qū)域，具有一對端線41a和一對垂直于端線41a的邊線41b。但是，在圖5中只表示功能塊41的1/4，一個(gè)端線41a和一個(gè)邊線41b部分地限定功能塊41的1/4部分。端線41a延伸在X方向，邊線41b延伸在Y方向。
端線41a通過之字線連到邊線41b，之字線在直角坐標(biāo)X-Y中傾斜地延伸。第1子線41c在X方向相互隔離，第2子線41d在Y方向相互隔離。第1子線41c交替地和第2子線41d相連，以便形成之字線，其在端線41a和邊線41b之間傾斜地延伸。
功能塊41還包括信號端44a,44b,44c,44d,44e,44f,44g,44h，邏輯單元選擇地和信號端44a-44h相連，以便通過布線結(jié)構(gòu)43和另一功能塊(沒表示)通信。
布線結(jié)構(gòu)43包括垂直互連部分45a,45b,45c,45d,45e,45f,45g,45h，第1層導(dǎo)線46a，第2層導(dǎo)線46b，和多層層間絕緣結(jié)構(gòu)。第1層導(dǎo)線46a在Y方向延伸，第2層導(dǎo)線46b在X方向延伸。雖然在圖5沒有表示，第1層間絕緣層和第2層間絕緣層形成在半導(dǎo)體襯底42的上面，第1層間絕緣層和第2層間絕緣層插入在信號端44a-44h和第1層導(dǎo)線46a之間，及第1層導(dǎo)線46a和第2層導(dǎo)線46b之間。換句話說，第1層導(dǎo)線46a在第1層間絕緣層上延伸，第2層導(dǎo)線46b在第2層間絕緣層上延伸。第1層間絕緣層和第2層間絕緣層形成多層層間絕緣結(jié)構(gòu)。
在多層層間絕緣結(jié)構(gòu)中形成通孔，使信號端44a-44h分別露出通孔。每個(gè)通孔僅僅穿透第1層間絕緣層或第1層間絕緣層和第2層間絕緣層，垂直互連部分45a-45h分別填充通孔。因此，各垂直互連部分45a-45h連接相關(guān)的信號端到第1層導(dǎo)線46a和/或第2層導(dǎo)線46b。于是，通過垂直互連部分45a-45h選擇地連接信號端44a-44h到第1層導(dǎo)線46a和第2層46b。結(jié)果，從信號端44a-44h沿Y方向和/或X方向傳送電信號，不是現(xiàn)有技術(shù)而是在本實(shí)施例減少了垂直互連部分45a-45h。減少垂直互連部分使布線結(jié)構(gòu)占有面積較小，按照本發(fā)明的布線結(jié)構(gòu)比現(xiàn)有技術(shù)的布線結(jié)構(gòu)簡單。
第2實(shí)施例圖6表示本發(fā)明實(shí)施的另一個(gè)半導(dǎo)體集成電路器件，在該半導(dǎo)體集成電路器件中含有另一個(gè)布線結(jié)構(gòu)50。功能塊51類似于功能塊41，用相應(yīng)于功能塊41的信號端的相同標(biāo)號表示信號端，不再詳述。信號端44a-44h通過布線結(jié)構(gòu)50連接到另一個(gè)功能塊(沒表示)的信號端。
布線結(jié)構(gòu)50包括第1層導(dǎo)線50a，第2層導(dǎo)線50b/50c，第3層導(dǎo)線50d，和垂直互連部分52a-52h。雖然在圖6中只看到第1層導(dǎo)線50aa，但是其他第1層導(dǎo)線50a在第3層導(dǎo)線下面延伸，因此在圖6中不能看見。第1層導(dǎo)線50a和第3層導(dǎo)線50d在X方向延伸。第2層導(dǎo)線50b/50c在Y方向延伸。在多層層間絕緣結(jié)構(gòu)中(沒表示)覆蓋布線結(jié)構(gòu)50，多層層間絕緣結(jié)構(gòu)具有第1層間絕緣層，插入在信號端44a-44h和第1層導(dǎo)線50a之間，第2層間絕緣層，插入在第1層導(dǎo)線50a和第2層導(dǎo)線50b/50c之間，第3層間絕緣層，插入在第2層導(dǎo)線50b/50c和第3層導(dǎo)線50d之間。
在多層層間絕緣結(jié)構(gòu)中形成通孔(沒表示)，使信號端44a-44h分別露出各通孔。用垂直互連部分52a-52h分別填充各通孔。
和信號端44a-44d相關(guān)的通孔穿過第1層間絕緣層，第1和第2層間絕緣層，或第1，第2，第3層間絕緣層，信號端44a 44d連到第1層導(dǎo)線50a,第2層導(dǎo)電線50b和/或第3層導(dǎo)電線50d。另一方面，和信號端44e-44h相關(guān)的通孔穿過第1層間絕緣層，或第1和第2層間絕緣層，信號端44e-44h可連到第1層導(dǎo)線50a，和/或第2層導(dǎo)電線50c。由信號端44a-44h在Y方向和/或X方向傳送電信號。第2實(shí)施例的布線結(jié)構(gòu)達(dá)到第1實(shí)施例的全部優(yōu)點(diǎn)。
第3實(shí)施例圖7表示本發(fā)明實(shí)施的另一個(gè)半導(dǎo)體集成電路器件。布線結(jié)構(gòu)60類似于布線結(jié)構(gòu)43，用對應(yīng)于第1實(shí)施例的部分的相同標(biāo)記表示布線和互連部分，不用詳細(xì)說明。布線結(jié)構(gòu)60連到功能塊61上，功能塊61除了第2子線61a以外類類似于功能塊41，形成之字線部分，在端線61b和邊線61c之間傾斜地延伸。雖然第2子線61b和第2子線41d同樣短，但是延長了第2子線61a,信號端44a-44d和信號端44e-44h相互分離。第1子線61c和第1子線41c同樣短，第1子線61c交替地連到第2子線61a/61b。第1子線61c和第子線61a/61b形成之字線，在端線61b和邊線61c之間傾斜地延伸。
布線結(jié)構(gòu)60達(dá)到了第1實(shí)施例的全部優(yōu)點(diǎn)。
實(shí)例利用布線結(jié)構(gòu)43,50,60中的任意一個(gè)布線結(jié)構(gòu)，如下所述相互連接各功能塊。
圖8表示第1例。在半導(dǎo)體襯底73上和其他功能塊(沒表示)一起集成功能塊71/72，布線結(jié)構(gòu)74類似于圖5所示的布線結(jié)構(gòu)43。信號端75a,75b,75c,75d傾斜地設(shè)置在端線71a和邊線71b之間，信號端76a,76b,76c,76d傾斜地設(shè)置在端線72a和邊線72b之間。
布線結(jié)構(gòu)包括垂直互連部分74a/74b/74c/74d/74e//74f/74g/74h，第1層導(dǎo)線77a/77b/77c/77d，第2層導(dǎo)線78a/78b/78c/78d。信號端75a/75b/75c/75d通過垂直互連部分74a/74b/74c/74d分別連接到第1層導(dǎo)線77a/77b/77c/77d和第2層導(dǎo)線78a/78b/78c/78d，信號端76a/76b/76c/76d通過垂直互連部分74e//74f/74g/74h分別連接到第1層導(dǎo)線77a/77b/77c/77d。于是，信號端75a-75d通過第1層導(dǎo)線77a-77d提供電信號到信號端76a-76d，通過第2層導(dǎo)線78a-78d提供電信號到另一個(gè)功能塊的信號端(沒表示)。
第2層導(dǎo)線78a-78d相互隔離1μm的間距Q，具有寬度8μm。信號端和通孔之間最小間隙是1μm，相鄰信號端之間最小間隙也是1μm。信號端75a-75d/76a-76d的每一個(gè)信號端是0.5m×0.5μm。垂直互連部分74a-74d和74e-74h分別設(shè)置在邊線71b的左側(cè)和邊線72b的右側(cè)，在垂直互連部分74a-74d和垂直互連部分74e-74h之間要求任意的垂直互連部分。因此，布線結(jié)構(gòu)74在功能塊71和72之間不需要任何間隔，功能塊71鄰近功能塊72。比較圖8和圖3，知道本發(fā)明的布線結(jié)構(gòu)74是簡單的，要求的面積比現(xiàn)有技術(shù)的布線結(jié)構(gòu)較小。
圖9表示第2例。功能塊90,91,92和其他功能塊(沒表示)一起集成在單片的半導(dǎo)體襯底93上。布線結(jié)構(gòu)94電連接功能塊90,91,92和另一個(gè)功能塊。功能塊90,91,92分別具有信號端90a/90b/90c/90d,91a/91b/91c/91d,92a/92b/92c/92d。
布線結(jié)構(gòu)94是類似于布線結(jié)構(gòu)43，包括第1層導(dǎo)線95a/95b/95c/95d,第2層導(dǎo)線96a/96b/96c/96d和97a/97b/97c/97d及垂直互連部分98a/98b/98c/98d,99a/99b/99c/99d,100a/100b/100c/100d。通過垂直互連部分98a-98d，第2層導(dǎo)線96a-96d和垂直互連部分99a-99d連接信號端90a-90d到信號端91a-91d，接著通過第1層導(dǎo)線95a-95d和垂直互連部分1090a-100d把信號端91a-91d連接到信號端92a-92d，接著通過第2層導(dǎo)線97a-97d再把信號端92a-92d連接到另一個(gè)功能塊(沒表示)的信號端。于是功能塊90通過布線結(jié)構(gòu)94提供電信號到功能塊91/92和另一個(gè)功能塊。
比較圖9和圖2，現(xiàn)有技術(shù)布線結(jié)構(gòu)14需要6組垂直互連部分，本發(fā)明布線結(jié)構(gòu)94只需要3組垂直互連部分。于是按照本發(fā)明的布線結(jié)構(gòu)比現(xiàn)有技術(shù)布線結(jié)構(gòu)14較簡單，和現(xiàn)有技術(shù)相比，功能塊90-92相互比較鄰近。
互連部分選擇地連接到不同層的各導(dǎo)線上。當(dāng)然設(shè)計(jì)者不能將互連部分連接到不同層導(dǎo)線中的一個(gè)導(dǎo)線上。按照本發(fā)明的布線設(shè)置適于半定制的集成電路，例如，ASICS。
由前述可知，按照本發(fā)明的布線結(jié)構(gòu)具有傾斜設(shè)置的信號端，該信號端允許垂直互連部分連接信號端到相互垂直延伸的各導(dǎo)線，相互之間不干擾。于是垂直互連部分使布線結(jié)構(gòu)簡單，允許設(shè)計(jì)者高密度地設(shè)置各功能塊。
雖然表示和敘述了本發(fā)明的特別的實(shí)施例，但是本領(lǐng)域的技術(shù)人員顯而易見在不脫離本發(fā)明的精神和保護(hù)范圍的情況下，可進(jìn)行各種變化和修改。
布線結(jié)構(gòu)50/60中的每一個(gè)類似于布線結(jié)構(gòu)43，對于各功能塊之間的互連部分是有效的。
布線結(jié)構(gòu)可能具有多于3層導(dǎo)線的導(dǎo)線。
第1層導(dǎo)線以相對于第2層導(dǎo)線某個(gè)角度延伸，該角度可不是90度。
權(quán)利要求
1．一種半導(dǎo)體器件，其包括至少一個(gè)功能塊(41；51；61；71/72；90/91/92)，產(chǎn)生電信號和包括具有第1信號端(44a-44h；44e-44h；75a-75d/76a-76d；90a-90d/91a-91d/92a-92d)的多個(gè)信號端，用于和另一個(gè)功能塊進(jìn)行電通信，布線結(jié)構(gòu)(43；50；60；74；94)，連接到所述第1信號端，用于在所述至少一個(gè)功能塊和所述另一個(gè)功能塊之間傳送所述電信號，包括第1導(dǎo)線(46b；50a；77a-77d；95a-95d)設(shè)置在第1層和相對于所述第1虛擬線傾斜地延伸，第2導(dǎo)線(46a；50b；78a-78d；97a-97d)設(shè)置在不同于所述第1層的第2層上，相對于所述第1虛擬線和所述第1導(dǎo)線傾斜地延伸，其特征在于還包括第1互連部分(45a-45h；52a-52h；74a-74h；98a-98d/99a-99d/100a-100d)選擇地連接所述第1信號端到所述第1和第2導(dǎo)線，還在于沿相對于彼此垂直的第2虛擬線(X/Y)傾斜地延伸的第1虛擬線設(shè)置所述第1信號端。
2．按照權(quán)利要求1的半導(dǎo)體器件，其中，所述第1導(dǎo)線(46b；50a；77a-77d；95a-95d)平行于一個(gè)所述第2虛擬線(X)的方向延伸，所述第2導(dǎo)線(46a；50b；78a-78d；97a-97d)平行于另一個(gè)所述第2虛擬線(Y)延伸。
3．按照權(quán)利要求2的半導(dǎo)體器件，其中，所述至少一個(gè)功能塊(41；51；61；71/72；90/91/92)占有大致為矩形的區(qū)域，具有平行于所述一個(gè)所述第2虛擬線(X)的一對端線(41a；61b；71a/72a)和具有一對平行于所述另一個(gè)第2虛擬線的邊線(41b；61b；71b/72b)，和所述第1虛擬線在一個(gè)所述端線與一個(gè)所述邊線之間延伸。
4．按照權(quán)利要求3的半導(dǎo)體器件，其中，所述第1虛擬線在之字線上面延伸，第1虛擬線由短于每個(gè)邊線(41b；61b；71b/72b)的和在所述一個(gè)第2虛擬線(X)的方向相互隔離的多個(gè)第1子線(41c；61c)，及短于每個(gè)端線的在所述另一個(gè)所述第2虛擬線(Y)方向上相互隔離的交替連接到所述多個(gè)第1子線的多個(gè)第2子線(41d；61b)組成。
5．按照權(quán)利要求4的半導(dǎo)體器件，其中，所述多個(gè)第2子線中的一個(gè)子線(61a)長于所述多個(gè)第2子線中的其它子線(61b)。
6．按照權(quán)利要求1的半導(dǎo)體器件，其中，所述第1互連部分的至少一個(gè)互連部分(74e-74h)連接到所述第1導(dǎo)線中的一個(gè)導(dǎo)線上。
7．按照權(quán)利要求6的半導(dǎo)體器件，其中，所述第1互連部分的另一個(gè)互連部分(45a-45h；74a-7dh；99a-99d/100a-100d)連接到所述第1導(dǎo)線中的一個(gè)和所述第2導(dǎo)線中的一個(gè)。
8．按照權(quán)利要求1的半導(dǎo)體器件，其中，所述第1互連部分的至少一個(gè)(98a-98d)連接到所述第2導(dǎo)線中的一個(gè)。
9．按照權(quán)利要求1的半導(dǎo)體器件，還包括設(shè)置在不同于所述第1層和所述第2層的第3層上的第3導(dǎo)線(50d)，在平行于所述第1導(dǎo)線(50a)的方向上延伸，以及在所述多個(gè)信號端中的第2信號端(44a-44d)和第1，第2，第3導(dǎo)線(50a/50b/50d)之間選擇地連接第2互連部分(52a-52d)。
全文摘要
多層布線結(jié)構(gòu)(43)電連接功能塊(41)的信號端(44a－44h)到另一個(gè)功能塊的信號端,相對于限定由功能塊占有的區(qū)域的邊線(41b)和端線(41a)傾斜地設(shè)置信號端(44a－44h),使垂直互連部分(45a－45h)連接信號端到第1層導(dǎo)線(46b)和第2層導(dǎo)線(46a),不受干擾,由此減少垂直互連部分和功能塊之間的區(qū)域。
文檔編號H01L23/538GK1212460SQ9811720
公開日1999年3月31日 申請日期1998年7月16日 優(yōu)先權(quán)日1997年7月16日
發(fā)明者瀧口理惠 申請人:日本電氣株式會社