專利名稱：用于夾緊并抓住一個平基片的裝置的制作方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種裝置，它用于夾緊并抓住一個平的，最好是具有中心孔的圓盤形基片，例如一個光盤。這種裝置包括有多個支承于一個機(jī)體內(nèi)的夾鉗，這些夾鉗置于機(jī)體的空腔內(nèi)并得以導(dǎo)向。夾鉗允許橫向垂直于殼體的垂直軸運動，在這些夾鉗的端部各固定安置有磁鐵，它們與在機(jī)體中央的位于磁鐵上方的電磁鐵相互作用，其磁場軸線與機(jī)體的垂直軸相重合，而且根據(jù)電磁鐵的極性使裝有磁鐵的夾鉗在兩個止擋塊之間來回運動。
在真空作業(yè)技術(shù)中，尤其是在薄涂層技術(shù)中，已知對圓盤形的基片，例如玻璃盤或鋁盤進(jìn)行涂層以用于磁性的或磁-光的信息載體。這些圓盤形的基片作為存儲介質(zhì)以各種方式被應(yīng)用于數(shù)字式信息技術(shù)。在濺涂作業(yè)中例如用一層鋁涂覆到壓印處理過的塑料盤上。這里所采用的濺涂覆層設(shè)備總是具有一種自動化的處理裝置，用于在真空室之前、之內(nèi)和之后運送這些基片。
例如處理裝置的一個擺臂就把這些基片從一個緩沖器起運送到真空室內(nèi)。然后在真空內(nèi)把這些基片放置在一個旋轉(zhuǎn)盤上，并與此盤一起穿過真空室的單個工位。為了裝卸這些帶有基片的旋轉(zhuǎn)盤，在目前技術(shù)狀況下已經(jīng)知道有許多種用于夾緊和保持的裝置了。
至今為止在真空室內(nèi)大多還一直應(yīng)用這種借助于真空-滑動絕緣套管而從真空室外面進(jìn)行操作的夾鉗。
這些已知的裝置的缺點是，它們大多包含有太多的運動件，因而由于在滑動絕緣套管里的滑動運動會產(chǎn)生不希望的顆粒，這些顆粒以后就會到達(dá)涂層腔內(nèi)，從而對涂層結(jié)果帶來不利的影響。另外對于這種移動引入線來說總是能夠在一定的運行時間之后發(fā)現(xiàn)密封磨損，這種磨損總是造成了真空室的泄漏，因而要進(jìn)行費時，費錢的修理。
因此有人已經(jīng)建議一種裝置(G9307263.5)，用于夾緊和保持一個平的，最好是圓盤形的基片，這種裝置主要包括多個指形夾鉗和一個由彈性材料制成的薄膜，該薄膜封閉住了一個布置在一個耐壓殼體內(nèi)的孔，同時在薄膜的前面和后面可以調(diào)定各種不同的壓力，而且布置這薄膜時使得在施加壓力差時薄膜從其靜止位置產(chǎn)生一個偏移，并在壓力相等時通過一個壓力彈簧又可以回復(fù)到它的靜止位置。夾鉗以其各自的一端機(jī)械地與此薄膜相連接，從而使夾鉗以其另外的自由端完成一個擺動運動，以便夾緊和保持或松開基片這種運動與薄膜的偏移是成比例的。
已經(jīng)公開的還有(DE19529945C2)一種裝置，它用于夾緊和保持一個光盤，這種裝置包括多個指狀的，在機(jī)體內(nèi)可擺動地支承的夾鉗。夾鉗被保持在機(jī)體頭部的孔或開口中并得以導(dǎo)向，它可以圍繞橫向垂直于機(jī)體縱軸的軸線作擺動運動，此時所有夾鉗的擺動軸都在一個平面內(nèi)延伸并共同形成了一個圍住此縱軸線的多角形。同時在夾鉗的離開基片的端部各自都固定裝設(shè)有磁鐵，這些磁鐵與一個在機(jī)體內(nèi)位于磁鐵上方的電磁鐵互相作用，其磁場軸線與機(jī)體的縱軸線重合，而且電磁鐵按照其極性使裝有磁鐵的夾鉗端部在兩個止擋之間來回運動。
本發(fā)明的任務(wù)就是提供一種裝置，它可以在真空室之內(nèi)和之外極其迅速并特別可靠地夾緊和保持住基片。此外應(yīng)該使此裝置合理地保持并導(dǎo)向，以補(bǔ)償在基片送入時的微小的不均勻性和不精確性，因而避免了對敏感的基片產(chǎn)生損傷。
按照本發(fā)明這個任務(wù)是通過以下方法完成的機(jī)體至少部分地由一個具有中心孔的支座以一定間隙圍夾?。煌瑫r在支座和機(jī)體之間在由支座圍夾住的機(jī)體部分里規(guī)定有分布的由彈性材料制成的零件，它們一方面以其各自的一半位于機(jī)體的一個凹窩內(nèi)，而另一方面以其各自的另外一半位于該凹窩對面的支座的凹窩內(nèi)，在此，用于夾鉗的空腔在一個橫向垂直于機(jī)體垂直軸線的平面內(nèi)并徑向向外延伸。夾鉗各具有兩個邊腳，其中之一構(gòu)成滑塊被保持于空腔內(nèi)，并被導(dǎo)向可以滑動，而其中對于第一個邊腳來說的另一個邊腳則平行于機(jī)體軸線向下延伸，并在其自由端具有切槽用于夾緊基片中心孔的邊緣。
本發(fā)明的其它細(xì)節(jié)和特征在從屬權(quán)利要求中更詳細(xì)地標(biāo)明和敘述。
本發(fā)明允許有許多不同的實施方法，其中之一則簡明地表示于附圖之中。這些簡圖中

圖1、圖3表示了按此發(fā)明的具有三個徑向可移動地支承的夾鉗的一個裝置的縱剖面以及圖2表示從下面所看到的視圖。
這裝置主要包括一個具有中心盲孔4的法蘭狀機(jī)體3，在此中心盲孔內(nèi)放了一個圓盤形的導(dǎo)向件5，在此導(dǎo)向件上切出了三個徑向延伸的溝槽或空腔4,4′,4″。
夾鉗5,…可滑動支承在空腔4,…內(nèi)，每個夾鉗5,…都有兩個邊腳5a,5b，其中總是一個5b設(shè)計為滑塊，并在其上面的窄面上裝有一個磁鐵6,…?？涨?,…橫向垂直于機(jī)體3的垂直軸H而延伸，也就是在徑向方向上延伸。若是圖中所表示的實施例情形規(guī)定總共有三個槽形空腔4,…，夾角分別為120°?？涨?,…都是在圓盤形零件7里加工出來，零件7和盆形的包住電磁鐵線圈16的機(jī)體零件8一起都被保持在法蘭9里面，同時這圓盤形零件7，盆形零件8和法蘭9一起構(gòu)成了機(jī)體3，它由一個支座10圍住夾緊，也就是說要在法蘭9和支座10之間保留一個間隙S。在法蘭9和支座10之間在孔17范圍內(nèi)規(guī)定有球窩形的凹窩11,…，在圓周上分布，這些凹窩分別位于支座10上同樣的球形凹窩12,…的對面。在一對相對布置的凹窩11,12,…里置入一個由彈性材料制成的球形零件13,…，在此，所有零件13,…與機(jī)體3一起在支座10處止動住，也就是說機(jī)體3能夠相對于支座10實現(xiàn)一個小的擺動運動，或者翻轉(zhuǎn)運動。
在構(gòu)成一個磁鐵軛的機(jī)體3的盆形零件8里設(shè)置一個磁鐵線圈16，并將其推移到垂直延伸的軸桿19上，在此，軸桿19形成了一個止擋a。當(dāng)這套裝置處于松開位置時，這三個夾鉗5,5′,…就靠在這止擋上。圖3是圖1視圖的一個斷面，但用放大比例表示，圖中的夾鉗5,…處于夾緊位置，在此，垂直的邊腳5a,…也就是其槽口18,…包住基片14或者光盤(CD)的中心孔15的邊緣，因而它的能夠由運輸裝置的臂10抬起和運輸。在夾緊位置時各自與水平布置的邊腳5b,…固定連接的棒狀磁鐵6,…則緊靠在止擋b上。
如圖1所示，法蘭9封閉住了真空室壁22上的孔20，或者使孔20開通至該裝置，因而機(jī)體3和法蘭9就構(gòu)成了一個真空閘門。當(dāng)磁鐵線圈16停留在大氣側(cè)時，夾鉗5,…位于在真空區(qū)內(nèi)的封閉位置。
權(quán)利要求
1．用于夾緊和抓住一個平的，最好是具有中心孔(15)的圓盤形基片(14)，例如一個光盤的裝置，包括多個支承在一個機(jī)體里的夾鉗(5,…)；在此，這些夾鉗(5,…)保持在機(jī)體(3)的空腔(4,…)內(nèi)并被導(dǎo)向，它們允許這些夾鉗(5,…)橫向垂直于機(jī)體(3)的垂直軸線(H)運動；在此，在這些夾鉗上(5,…)分別固定布置了磁鐵(6,…)，這些磁鐵與一個在殼體(3)中央，在磁鐵(6)上方布置的電磁鐵(16)相互作用，電磁鐵的磁場軸線與機(jī)體(3)的垂直軸線(H)相重合，并且使配有磁鐵(6,…)的夾鉗(5,…)按照電磁鐵(16,…)的極性而在兩個止擋(a,b)之間來回運動，其特征在于機(jī)體(3)至少部分地由一個具有中心孔(17)的支座(10)以一定間隙圍夾?。煌瑫r在支座(10)和機(jī)體(3)之間，在由支座(10)所圍夾住的機(jī)體(3)的零件(9)里規(guī)定有分配布置的，由彈性材料制成的零件(13,…)；它們一方面以其各自的一半位于機(jī)體零件(9)的一個凹窩(11,…)內(nèi)，而另一方面它們又以其各自的另一半位于該凹窩(11,…)對面的支座(10)的凹窩(12,…)內(nèi)，而且用于夾鉗(5,…)的空腔(4,…)在一個橫向垂直于機(jī)體垂直軸線(H)的平面內(nèi)并沿徑向向外延伸；在此，夾鉗(5,…)各具有兩個邊腳(5a,5b,…)，其中之一(5b,…)構(gòu)成滑塊保持于空腔(4)內(nèi)，并被徑向可滑動地導(dǎo)向，而另外的垂直于第一種邊腳(5b,…)并平行于機(jī)體軸線(H)的邊腳(5a,…)則向下延伸，并在其自由端具有切槽(18)用于夾緊基片(14)中心孔(15)的邊緣。
2．用于夾緊和抓住一個平的，最好是具有中心孔(15)的圓盤形基片(14)，例如一個光盤的裝置包括有多個支承在一個機(jī)體里的夾鉗(5,…)；這些夾鉗(5,…)保持在機(jī)體(3)的空腔(4,…)內(nèi)并被導(dǎo)向，它們允許這些夾鉗(5,…)橫向垂直于機(jī)體(3)的垂直軸線(H)運動；同時在這些夾鉗上(5,…)分別固定布置了磁鐵(6,…)，這些磁鐵與一個在機(jī)體(3)中央，在磁鐵(6)上方布置的電磁鐵(16)相互作用，電磁鐵的磁場軸線與機(jī)體(3)的垂直軸線(H)相重合，并且配有磁鐵(6,…)的夾鉗(5,…)按照電磁鐵(5)的極性在兩個止擋(a,b)之間來回運動，其特征在于，機(jī)體(3)至少部分地由一個具有中心孔(17)的支座(10)以一定間隙圍夾??；同時在支座(10)和機(jī)體(3)之間，在由支座(10)所圍夾住的機(jī)體(3)的零件(9)里規(guī)定有分布的，由彈性材料制成的零件(13,…)，它們一方面以其各自的一半位于機(jī)體零件(9)的一個凹窩(11,…)內(nèi)，而另一方面它們又以其各自的另一半位于該凹窩(11,…)對面的支座(10)的凹窩(12,…)內(nèi)。
3．用于夾緊和抓住一個平的，最好是具有中心孔(15)的圓盤形基片(14)，例如一個光盤的裝置，包括多個支承在一個機(jī)體里的夾鉗(5,…)；在此，這些夾鉗(5,…)保持在機(jī)體(3)的空腔(4,…)內(nèi)并被導(dǎo)向，它們允許這些夾鉗(5,…)橫向垂直于機(jī)體(3)的垂直軸線(H)運動；在此，在這些夾鉗上(5,…)分別固定布置了磁鐵(6,…)，這些磁鐵與一個在殼體(3)中央，在磁鐵(6)上方布置的電磁鐵(16)相互作用，電磁鐵的磁場軸線與機(jī)體(3)的垂直軸線(H)相重合，并且使配有磁鐵(6,…)的夾鉗(5,…)按照電磁鐵(16,…)的極性而在兩個止擋(a,b)之間來回運動，其特征在于用于夾鉗(5,…)的空腔(4,…)在一個橫向垂直于機(jī)體垂直軸線(H)的平面內(nèi)并沿徑向向外延伸；夾鉗(5,…)各有兩個邊腳(5a,5b)，其中之一(5b,…)構(gòu)成滑塊保持于空腔(4)內(nèi)，并被徑向可滑動地導(dǎo)向，而另外的垂直于第一種邊腳(5b,…)并平行于機(jī)體軸線(H)的邊腳(5a,…)則向下延伸，并在其自由端具有切槽(18,…)用于夾緊基片(14)中心孔(15)的邊緣。
全文摘要
用于夾緊和抓住一種光盤(14)的裝置包括有多個支承在一個機(jī)體內(nèi)并配有磁鐵(6，…)的夾鉗(5，…)，這些夾鉗保持在機(jī)體(3)的空腔(4，…)內(nèi)并被導(dǎo)向，它們允許這些夾鉗(5，…)橫向垂直于機(jī)體(3)的垂直軸線(H)運動，并與一個電磁鐵(16)互相作用，電磁鐵的磁場軸線與機(jī)體(3)的垂直軸線(H)相重合，并使得夾鉗(5，…)按照電磁鐵(16，…)的極性而在兩個止擋(a,b)之間來回運動。機(jī)體(3)由一個支座(10)以一定間隙圍夾住，而在支座(10)和機(jī)體(3)之間，在由支座(10)所圍夾住的機(jī)體(3)的零件(9)里規(guī)定有分布的，由彈性材料制成的零件(13，…)。而且夾鉗(5，…)各有兩個邊腳(5a,5b)，其中之一(5a，…)垂直于第一種邊腳(5b，…)向下延伸，并以其自由端夾住基片(14)中心孔(15)的邊緣。
文檔編號H01L21/677GK1239063SQ9910478
公開日1999年12月22日 申請日期1999年4月2日 優(yōu)先權(quán)日1998年4月2日
發(fā)明者M·柯尼希, J·博伊爾, S·班格特 申請人:萊博德系統(tǒng)股份有限公司