專利名稱：光電模塊及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域：
本發(fā)明涉及一種層壓件式的光電模塊，該層壓件具有太陽(yáng)能電池系統(tǒng)及其封裝材料。本發(fā)明還公開(kāi)一種制造光電模塊的方法。
現(xiàn)有技術(shù)光電模塊是用于從太陽(yáng)光生產(chǎn)電能。電能是通過(guò)太陽(yáng)能電池系統(tǒng)產(chǎn)生的，該系統(tǒng)最好由硅光電池組成。但是，這種系統(tǒng)只能承受小的機(jī)械負(fù)荷，因此應(yīng)從雙面用封裝材料將其包封。作為封裝材料可采用例如一層或多層玻璃和/或塑料膜和/或塑料膜復(fù)合物。
塑料膜復(fù)合物只要由聚氟乙烯(PVF)和聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)組成，該塑料膜復(fù)合物由申請(qǐng)人制造標(biāo)識(shí)為ICOSOLAR，并根據(jù)WO-A1-94/29106所公開(kāi)的真空層壓方法以制造光電模塊。這種模塊中的太陽(yáng)能電池系統(tǒng)不僅能抗機(jī)械損傷，而且能抗大氣影響，特別是能抗水蒸汽。在ICOSOLAR-膜復(fù)合物中設(shè)置鋁中間層作防水蒸汽的阻擋層。但是這種方法有缺點(diǎn)，中間層與太陽(yáng)能電池系統(tǒng)相連接時(shí)會(huì)導(dǎo)電，致使光電模塊中產(chǎn)生不希望的干擾電流。
發(fā)明敘述因此，本發(fā)明的目的在于提供本文一開(kāi)始提及的光電模塊，該模塊不具這種缺點(diǎn)并能防水蒸汽滲透。
為達(dá)到這個(gè)目的，本發(fā)明提出一種光電模塊，其特征在于，至少包封材料層由一密封層和一阻擋層組成，該阻擋層由一種塑料膜或一種塑料膜復(fù)合物構(gòu)成，其朝向太陽(yáng)能電池系統(tǒng)的面有一層用汽相沉積的無(wú)機(jī)氧化物層。
本發(fā)明的光電模塊的另一優(yōu)點(diǎn)在于，該無(wú)機(jī)氧化物層由元素鋁或硅構(gòu)成，其厚度為30-200nm。該有機(jī)氧化物層也有優(yōu)點(diǎn)，它能透過(guò)可見(jiàn)光波范圍和近紫外(UV)波長(zhǎng)范圍內(nèi)的光線，同時(shí)它能吸收UV波長(zhǎng)范圍內(nèi)的較短波光線。
再次，本發(fā)明的光電模塊的優(yōu)點(diǎn)還在于，密封層置于太陽(yáng)能電池系統(tǒng)和阻擋層之間，而且最好由乙烯乙酸乙烯酯(EVA)或離聚物構(gòu)成。
再次，本發(fā)明的塑料膜是由聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)或乙烯四氟乙烯共聚物(ETFE)構(gòu)成，其上沉積有無(wú)機(jī)氧化物層。
本發(fā)明的光電模塊的另一優(yōu)點(diǎn)在于，無(wú)機(jī)氧化物層朝向太陽(yáng)能電池系統(tǒng)，并與鄰接的密封層直接或經(jīng)一底層相接觸。
再次，本發(fā)明的無(wú)機(jī)氧化物層的兩面皆被塑料膜或塑料膜復(fù)合物所包封，而且至少塑料膜或塑料膜復(fù)合物起阻擋層的作用。其中無(wú)機(jī)氧化物層宜通過(guò)粘合劑層和/或由有機(jī)-無(wú)機(jī)網(wǎng)狀物的雜化層與塑料膜或塑料膜復(fù)合物接觸。
本發(fā)明的無(wú)機(jī)氧化物層由SiOx構(gòu)成，其中硅和氧的原子比x在1.3-1.7范圍內(nèi)。
本發(fā)明還涉及一種制造光電模塊的方法，其中有利的是a)塑料膜或復(fù)合塑料膜上有一層由汽相沉積的無(wú)機(jī)氧化物層，b)一種模塊組件，它由太陽(yáng)能電池系統(tǒng)以及包封材料堆疊構(gòu)成，密封層從兩面包封太陽(yáng)能電池系統(tǒng)，c)將該模塊組件送入工藝設(shè)備的接料端，其中它保持的溫度低于密封層的軟化溫度，d)將該模塊堆層輸送到該設(shè)備的抽成真空的真空層壓器中，在該層壓器中將模塊組件加熱至密封層的軟化溫度，以及e)在真空層壓器通入空氣之后，在無(wú)中間冷卻下將由模塊組件形成組合物輸送至硬化爐，在硬化爐中密封層硬化，從而形成光電模塊的層疊件，經(jīng)再冷卻后從連續(xù)的流水線上卸出。
附圖簡(jiǎn)述本發(fā)明的敘述是根據(jù)

圖1-4圖1表示本發(fā)明的光電模塊1的結(jié)構(gòu)，該模塊由太陽(yáng)能電池系統(tǒng)2和包封太陽(yáng)能電池系統(tǒng)的包封材料3、3′構(gòu)成。太陽(yáng)能電池系統(tǒng)是由多個(gè)硅光電池8構(gòu)成，這些硅光電池由接觸絲9串聯(lián)焊接。包封材料3′由塑料密封層4′和塑料膜或塑料膜復(fù)合物6構(gòu)成，其朝向太陽(yáng)能電池系統(tǒng)2的表面上涂有汽相沉積的氧化物層7。這種層結(jié)構(gòu)用1表示。包封材料3由例如層5和塑料-密封層4組成，該層與可以是類似于6的玻璃層或塑料膜復(fù)合物。
此外，圖1a和1b表示能代替層結(jié)構(gòu)I的方案1a和1b。
根據(jù)方案1a(圖1a)，無(wú)機(jī)氧化物層7經(jīng)粘接劑層10和/或有機(jī)-無(wú)機(jī)網(wǎng)狀物與另一塑料膜或塑料膜復(fù)合物11連接。
根據(jù)方案1b(圖1b)，無(wú)機(jī)氧化物層7有一附加底層12，此底層用于與密封層4′的連接。
圖2表示按照本發(fā)明將圖1所示的各個(gè)層進(jìn)行層壓以制造光電模塊1的設(shè)備它表示出接料端14，其中模塊組件1置于籍助傳輸系統(tǒng)16移動(dòng)的承載板15上，以及帶有固定的上部件18和通過(guò)液壓裝置20上升和下降的下部件19的真空層壓器17。溫度、壓力和停留時(shí)間由調(diào)節(jié)系統(tǒng)22控制。此外，圖2示出硬化爐23，其溫度由調(diào)節(jié)系統(tǒng)24控制；冷卻區(qū)25，其溫度由調(diào)節(jié)系統(tǒng)26控制，以及卸料區(qū)27。
圖3表示帶有汽相沉積的無(wú)機(jī)氧化物層17的塑料膜6在不同波長(zhǎng)范圍內(nèi)的透光度。
圖4表示本發(fā)明的光電模塊1經(jīng)汽相沉積的氧化物層7后的抗水蒸汽阻擋作用的改進(jìn)。
實(shí)施本發(fā)明的一種途徑現(xiàn)在按照實(shí)施例對(duì)本發(fā)明作較詳細(xì)的解釋在第一個(gè)工序中形成阻擋層6，該阻擋層有無(wú)機(jī)氧化物層7。其結(jié)構(gòu)可根據(jù)下表選擇，其順序?yàn)閺耐庀騼?nèi)，即向太陽(yáng)能電池系統(tǒng)的方向。
表(例a-d)例a-阻擋層6聚氟乙烯(PVF)和聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)的復(fù)合膜-無(wú)機(jī)氧化物層7SiOx或Al2O3-密封層4′例b-阻擋層6乙烯四氟乙烯共聚物(ETFE)的塑料膜-無(wú)機(jī)氧化物層7SiOx或Al2O3-密封層4′例c-阻擋層6PVF和PET的塑料膜復(fù)合物-無(wú)機(jī)氧化物層7SiOx或Al2O3
-有機(jī)-無(wú)機(jī)網(wǎng)狀雜混層10′-粘接劑層10例如聚氨基甲酸酯-塑料膜或塑料膜復(fù)合物11聚氟乙烯(PVF)、聚偏1，1-二氟乙烯(PVDF)、乙烯四氟乙烯共聚物(ETFE)、聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)-密封層4′例d-阻擋層6PVF和PET的塑料膜復(fù)合物-無(wú)機(jī)氧化物層7SiOx或Al2O3-底層12例如聚氨基甲酸酯、乙烯乙酸乙烯酯(EVA)、聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)-密封層4′從表可以看出，阻擋層6在例b)中由單一塑料膜構(gòu)成，在例a)中由復(fù)合塑料膜構(gòu)成。
作為密封層4′，宜采用乙烯乙酸乙烯酯(EVA)-膜，該膜在熱處理過(guò)程中只微有流動(dòng)，結(jié)果交聯(lián)，從而避免了塑料的蠕變。
離聚物具有將收的密封性，它涉及帶離子基團(tuán)的聚合物，該聚合物除有良好的粘接性能之外，還表現(xiàn)出極小的水汽穿透性。
在PET塑料膜上(見(jiàn)表例a))用真空(未示出)蒸汽沉積形成厚度為30-200nm的無(wú)機(jī)氧化物層7。為此可采用真空沉積設(shè)備(未示出)。為了能保證在塑料膜表面和無(wú)機(jī)氧化物之間產(chǎn)生滿意的附著，塑料膜的表面在氧氣(純度為99.995％)等離子體中進(jìn)行預(yù)處理。
作為無(wú)機(jī)涂復(fù)材料，可采用化學(xué)式量的氧化鋁(純度為99.9％)或氧化硅(純度為99.9％)，并在真空中用電子輻射蒸發(fā)。蒸發(fā)所用的能量為10keV，發(fā)射率可達(dá)220mA。通過(guò)變化蒸發(fā)率或由輥帶動(dòng)的塑料膜或塑料膜復(fù)合物的速度可將SiOx-或Al2O3層的厚度控制在30-200nm的范圍內(nèi)。
例如實(shí)驗(yàn)室規(guī)模制造100nm厚的SiOx層其速度可選為5m/min，而制造40nm厚的Al2O3層，速度則應(yīng)選為2.5m/min，這時(shí)蒸發(fā)速率為70nm/s；蒸發(fā)時(shí)所施壓力約為5×10-2Pa。工業(yè)規(guī)模的制造時(shí)，速度可以控制在其100倍和100倍以上。
帶無(wú)機(jī)氧化物層的塑料膜，例如PET可與另一種塑料膜，例如PVF(見(jiàn)表例a)復(fù)合形成塑料膜復(fù)合物。
在本發(fā)明的根據(jù)例a)和b)的方案中，無(wú)機(jī)氧化物層7(宜用硅氧化物層)直接與密封層接觸，由此保證其間的滿意附著。在這種情況下硅和氧之間的原子比可任意變化。
如果還要籍助無(wú)機(jī)氧化物層(優(yōu)選硅氧化物層)使本發(fā)明的光電模塊補(bǔ)充具有UV過(guò)濾作用，則必須在蒸發(fā)中控制硅/氧比，使氧的份額x在1.3-1.7之間。
除了上述準(zhǔn)則之外，還可選擇初始原料的化學(xué)式量比例或蒸發(fā)速度，以及在蒸發(fā)時(shí)以反應(yīng)性氣體形式引入補(bǔ)充的氧。這氧就可生成在可見(jiàn)光波長(zhǎng)范圍內(nèi)有高透明性的氧化物層，該氧化物層還能吸收UV射線，從而使對(duì)UV射線的密封層4′達(dá)到附加的保護(hù)。
這點(diǎn)將根據(jù)圖3詳細(xì)解釋。
圖3表示一種有厚度為320nm的SiOx層作無(wú)機(jī)氧化物層的ETFE塑料膜的透光度。從圖可以看出，涂復(fù)有SiOx的塑料膜實(shí)際上不透過(guò)350nm波長(zhǎng)以下的UV范圍內(nèi)的光。但同樣組成但未涂復(fù)的塑料膜(未示)也會(huì)吸收這個(gè)范圍內(nèi)的光。涂復(fù)有SiOx的ETFE膜從350nm的波長(zhǎng)開(kāi)始透過(guò)入射光。從可見(jiàn)光譜的藍(lán)紫部分的約450nm處開(kāi)始可觀察到甚大的透明度。在其余的可見(jiàn)光范圍內(nèi)可觀察到高的透射，這種現(xiàn)象只在紅外范圍重新減弱。
為了使本發(fā)明的光電模塊具有下列特性，如在可見(jiàn)光和近UV范圍內(nèi)高的透光性、同時(shí)在短波UV范圍的阻光作用、以及對(duì)水蒸汽的高阻擋作用等，可利用下列靈活性1.無(wú)機(jī)氧化物層的厚度變化在這種情況下按朗伯-比耳定律能很好地近似表示對(duì)透光度的影響。
ln(I/I0)＝-4πkdλ-1
其中I＝透過(guò)的光強(qiáng)，I0＝入射強(qiáng)度，k＝與波長(zhǎng)有關(guān)的吸收系統(tǒng)，d＝蒸汽沉積的無(wú)機(jī)氧化物層的厚度λ＝光波長(zhǎng)2.無(wú)機(jī)氧化物層，優(yōu)選SiOx層中的氧含量(x)按照?qǐng)D3，通過(guò)另外的蒸汽沉積條件將x的值從1.3增加到更高的值，則無(wú)需變化層厚，即能使材料對(duì)400nm左右的光波范圍具有較高的透射。
添加氧的同時(shí)以微波射線的形式引入電磁能，可使x值調(diào)整到1.7左右。
這樣的變化層厚和氧含量參數(shù)可同時(shí)使可見(jiàn)光范圍內(nèi)的透射、紫外光范圍內(nèi)的阻止作用和對(duì)水蒸汽的阻止作用達(dá)到最佳化。
此外，本發(fā)明的光電模塊的室外應(yīng)用時(shí)，除了達(dá)到硅/氧原子比外還應(yīng)保證其耐氣候性，其措施是用塑料膜或塑料膜復(fù)合物包封無(wú)機(jī)氧化物層7的兩面。
例如，這可根據(jù)圖1的方案1a來(lái)實(shí)現(xiàn)，其阻擋層6具有無(wú)機(jī)氧化物層7，它又通過(guò)粘接劑層10與另一塑料膜或塑料膜復(fù)合物11相粘。其中粘接劑層10可以是單獨(dú)的，或者與一由有機(jī)無(wú)機(jī)網(wǎng)狀物構(gòu)成的雜混層組合在一起。這類網(wǎng)狀物可以是以烷氧基硅氧烷為基礎(chǔ)的無(wú)機(jī)-有機(jī)雜混系統(tǒng)。它所有相近的交聯(lián)密度，因此對(duì)水蒸汽的阻止作用高，同時(shí)對(duì)SiOx層的附著令人滿意。
此外，可相應(yīng)選擇表中例c)的塑料膜，它可補(bǔ)充起到保護(hù)太陽(yáng)能電池系統(tǒng)不受氣候影響的職能。而且根據(jù)圖1/1a的太陽(yáng)能電池系統(tǒng)也可選擇這樣的結(jié)構(gòu)，即使阻擋層6緊靠密封層4′，而用塑料膜或塑料膜復(fù)合物11構(gòu)成模塊組件的最外層。
再次，通過(guò)塑料底層使其具有滿意的耐氣候性，根據(jù)表中例d)及圖1/1b方案，該底層置于密封層4′和無(wú)機(jī)氧化物層7之間。
籍助圖2設(shè)備13，可在層壓工藝中采用各種方案用來(lái)制造光電模塊1。
下面示例性地介紹一個(gè)方案，但不限于此
如圖1所示，有無(wú)機(jī)氧化物層7的阻擋層6與塑料密封層4′、太陽(yáng)能電池系統(tǒng)2、另一塑料密封層4以及玻璃層5層合。同樣可用PET/PVF塑料膜復(fù)合物代替玻璃層5。
此外，層5，特別是在室外應(yīng)用時(shí)應(yīng)是耐氣候的并有裝飾作用，例中起裝飾作用的涂復(fù)有丙烯酸酯層的商品名為MAXEXTERIOR的層壓是適用的。
這種模塊組件送入圖2所示的設(shè)備13中進(jìn)行層壓，其間模塊組件1在接料端14置于承載板15上，其溫度保持室溫，但最高保持在80℃。
模塊組件的上面和下面設(shè)有分離膜(未示)，以便避免在承載板15和其它的設(shè)備部件上粘連。
模塊組件1置于承載板15之后，由輸送系統(tǒng)16，例如一種鏈?zhǔn)酵七M(jìn)器，送入真空層壓器17。其中加熱板21的溫度由一外調(diào)節(jié)系統(tǒng)22調(diào)到相當(dāng)于在密封層所用塑料材料的軟化溫度。通過(guò)液壓設(shè)備20將加熱板21壓向承載板15，這樣，通過(guò)承載板內(nèi)部的熱流使模塊組件中的塑料密封層4、4′達(dá)到其軟化溫度。
在層壓器17關(guān)閉后，經(jīng)外調(diào)節(jié)設(shè)備22施以真空，通過(guò)抽真空使模塊組件中的空氣及其它揮發(fā)組分排出，這樣就保證了層壓件不含氣泡。然后通入空氣，從而將柔性膜(未示)壓到模塊組件上。
模塊組件1在真空層壓器17中經(jīng)過(guò)一定的停留時(shí)間后通入空氣，并在無(wú)附加壓力下將模塊組件輸送入硬化爐23。爐籍助調(diào)節(jié)系統(tǒng)24保持一定的溫度，致使模塊組件中的密封層在一定的停留時(shí)間內(nèi)硬化并形成層壓件，然后層壓件在冷卻區(qū)25冷卻到室溫。硬化的層壓件在卸料區(qū)27中以承載板卸出，經(jīng)冷卻的承載板可再回到接料端14。
本發(fā)明的光電模塊1亦可采用所謂的薄層太陽(yáng)能電池代替晶硅光電池作太陽(yáng)能電池系統(tǒng)。在這種情況下太陽(yáng)能電池系統(tǒng)與封裝材料3、3′例如可籍助于壓合或砑光連接。這種薄層太陽(yáng)能電池雖然不易破碎，但對(duì)水敏感，這種情況下本發(fā)明的解決方案具有特別的價(jià)值。
光電模塊組件例如可具有下列結(jié)構(gòu)例e)層5玻璃太陽(yáng)能電池系統(tǒng)2無(wú)定形硅的薄層太陽(yáng)能電池密封層4′EVA
阻擋層6有無(wú)機(jī)SiO2氧化層7的ETFE塑料膜例f)層5玻璃太陽(yáng)能電池系統(tǒng)2碲化鎘薄層太陽(yáng)能電池密封層4′EVA阻擋層6PVF/PET塑料膜復(fù)合物以及無(wú)機(jī)SiOx氧化物層7在例e)和f)中，薄層太陽(yáng)能電池系統(tǒng)用阻擋層6防水蒸汽。因?yàn)樵撓到y(tǒng)不易破碎，附加的密封層4可以省去。工業(yè)適用性按本發(fā)明的方法制造的光電模塊的可用于從太陽(yáng)光產(chǎn)生電能，它的用途甚廣，從與建筑物一體化的房頂和立面上的報(bào)警塔或活動(dòng)房屋的小能源裝置到大裝置和太陽(yáng)能電站。
其室外應(yīng)用表明，對(duì)水蒸汽的阻擋作用是籍助汽相沉積的氧化物層得到實(shí)質(zhì)性的改善。這可根據(jù)圖4進(jìn)行較詳細(xì)的解釋。
在這種情況下無(wú)涂復(fù)的膜(橫軸左面所示)與涂復(fù)有SiOx的膜(橫軸右面所示)以其水蒸汽穿透性(g/m2d)為標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行比較。
從這種比較可以看出，在RN12型的PET的情況下，水蒸汽穿透性值可降低到未涂復(fù)材料的約十分之一，在RN75型的情況下可降低到未涂復(fù)材料的約1/25。對(duì)于材料厚度為20rm的ETFE水蒸汽的穿透性甚至降低100倍。
權(quán)利要求
1.一種層壓件式的光電模塊1，該模塊以太陽(yáng)能電池系統(tǒng)工作核心層，其兩面涂復(fù)包封材料3、3′，其特征在于，至少一層包封材料層3′由密封層4′和阻擋層6構(gòu)成，而且阻擋層6由塑料膜或塑料膜復(fù)合物構(gòu)成，該膜具有汽相沉積的無(wú)機(jī)氧化物層7。
2.權(quán)利要求1的光電模塊，其特征在于，無(wú)機(jī)氧化物層由元素鋁或硅組成，其厚度為30-200nm。
3.權(quán)利要求1或2的光電模塊，其特征在于，無(wú)機(jī)氧化物層7能穿透可見(jiàn)光波范圍和近UV波長(zhǎng)范圍內(nèi)的光，而它吸收UV波長(zhǎng)范圍內(nèi)的較短波長(zhǎng)光。
4.權(quán)利要求1-3中之一項(xiàng)的光電模塊，其特征在于，在太陽(yáng)能電池系統(tǒng)2和阻擋層6之間置有密封層4′。
5.權(quán)利要求4的光電模塊，其特征在于，密封層4′由乙烯乙酸乙烯酯(EVA)構(gòu)成。
6.權(quán)利要求4的光電模塊，其特征在于，密封層4′由離聚物構(gòu)成。
7.權(quán)利要求1-6中之一項(xiàng)的光電模塊，其特征在于，在其上沉積有無(wú)機(jī)氧化物的塑料膜是由聚對(duì)苯二甲酸乙二酯(PET)或乙烯四氟乙烯共聚物(ETFE)組成。
8.權(quán)利要求1-7中之一項(xiàng)的光電模塊，其特征在于，無(wú)機(jī)氧化物層7朝向太陽(yáng)能電池系統(tǒng)2，并與鄰接的密封層4′直接接觸。
9.權(quán)利要求1-7中之一項(xiàng)的光電模塊，其特征在于，無(wú)機(jī)氧化物層7朝向太陽(yáng)能電池系統(tǒng)2，并通過(guò)底層12與鄰接的密封層4′接觸。
10.權(quán)利要求1-7中之一項(xiàng)的光電模塊，其特征在于，無(wú)機(jī)氧化物層7兩面被塑料膜或塑料膜復(fù)合物6、11包封，而且至少一層塑料膜或一層塑料膜復(fù)合物起阻擋層6的作用。
11.權(quán)利要求10的光電模塊，其特征在于，無(wú)機(jī)氧化物層7通過(guò)粘接劑層10和/或由有機(jī)-無(wú)機(jī)網(wǎng)狀物構(gòu)成的雜混層10′與塑料膜或塑料膜復(fù)合物11接觸。
12.權(quán)利要求1-11中之一項(xiàng)的光電模塊，其特征在于，無(wú)機(jī)氧化物層7由SiOx構(gòu)成，而且硅和氧的原子比x在1.3-1.7范圍內(nèi)。
13.一種制造權(quán)利要求1-12中之一項(xiàng)的光電模塊的方法，其特征在于，a)塑料膜或塑料膜復(fù)合物6上以氣相沉積一層無(wú)機(jī)氧化物層7，b)模塊組件1由太陽(yáng)能電池系統(tǒng)2以及包封材料3，3′的層合，其方式是密封層4、4′從兩面包封太陽(yáng)能電池系統(tǒng)2，c)這種模塊組件送入設(shè)備13的接料端14，接料端的溫度保持在密封層4，4′的軟化溫度以下，d)模塊組件輸送入設(shè)備13的真空層壓器17，該層壓器軸真空，模塊組件在其中加熱至密封層4，4′的軟化溫度，e)在真空層壓器17通入空氣后，無(wú)需冷卻地將模塊組件生成的組合物輸送入硬化爐23，在其中密封層4，4′硬化，結(jié)果形成光電模塊的層壓件2，該層壓件在冷卻后可從連續(xù)的工藝流水線上卸出。
全文摘要
本發(fā)明涉及一種層壓式的光電模塊(1),該模塊具有的核心層為一太陽(yáng)能電池系統(tǒng)(2),以及涂覆于其兩面的包封材料(3,3′)。根據(jù)本發(fā)明,包封材料(3′)至少由一密封層(4′)和一阻擋層(6)構(gòu)成,該阻擋層由塑料膜或塑料膜復(fù)合物構(gòu)成,而且在其上有經(jīng)汽相沉積的無(wú)機(jī)氧化物層(7)。
文檔編號(hào)H01L31/04GK1273697SQ99801075
公開(kāi)日2000年11月15日 申請(qǐng)日期1999年6月30日 優(yōu)先權(quán)日1998年7月3日
發(fā)明者A·普萊辛, H·C·蘭戈夫斯基, U·穆謝默 申請(qǐng)人:伊索沃爾塔奧地利絕緣材料廠股份公司, 弗勞恩霍弗實(shí)用研究促進(jìn)協(xié)會(huì)