具有可變機(jī)械手的四臂搬運(yùn)機(jī)器人的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及具有四個(gè)機(jī)械臂的搬運(yùn)機(jī)器人，尤其涉及一種能夠個(gè)別驅(qū)動(dòng)四個(gè)機(jī)械臂，能夠同時(shí)裝載及提起按既定節(jié)距單位上下裝載的貨物(基板或晶片等)的具有可變機(jī)械手的四臂搬運(yùn)機(jī)器人。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體設(shè)備或液晶顯示裝置等制造工藝中，對(duì)半導(dǎo)體晶片或液晶顯示裝置用玻璃基板等的基板執(zhí)行弓I入及提起過(guò)程。
[0003]基板處理裝置(搬運(yùn)機(jī)器人)為研發(fā)并使用雙臂機(jī)器人、由多臂構(gòu)成的搬運(yùn)機(jī)器人等，并且，一般包括:搬運(yùn)器支撐部，支撐多個(gè)搬運(yùn)器；基板處理部，處理基板；旋轉(zhuǎn)單元，在搬運(yùn)器支撐部和基板處理部之間上下層疊；分度器機(jī)器人(indexer robot)，在各個(gè)旋轉(zhuǎn)單元和搬運(yùn)器支撐部之間搬運(yùn)基板；主搬運(yùn)機(jī)器人，在各個(gè)旋轉(zhuǎn)單元和基板處理部之間搬運(yùn)基板。
[0004]該搬運(yùn)機(jī)器人用于從根本上更有效地輸送晶片、基板或貨物，由此，以縮短作業(yè)節(jié)拍時(shí)間(Tack Time)，提高工藝效率為研發(fā)方向。
[0005]由從用于搬運(yùn)一個(gè)基板的具有一只臂的搬運(yùn)機(jī)器人研發(fā)了具有雙臂的搬運(yùn)機(jī)器人，并以改善雙臂的結(jié)構(gòu)而進(jìn)行更有效的工藝為目的，公開(kāi)有韓國(guó)公開(kāi)專利文獻(xiàn)10-2008-0047205號(hào)(搬運(yùn)基板機(jī)器人)及韓國(guó)公開(kāi)專利文獻(xiàn)10-2012-0007449號(hào)(基板處理裝置及基板搬運(yùn)方法)。
[0006]韓國(guó)公開(kāi)專利文獻(xiàn)10-2008-0047205號(hào)公開(kāi)有能夠獨(dú)立旋轉(zhuǎn)移動(dòng)并同時(shí)上下移動(dòng)的具有多臂而能夠有效實(shí)現(xiàn)搬運(yùn)基板的搬運(yùn)基板機(jī)器人。
[0007]韓國(guó)公開(kāi)專利文獻(xiàn)10-2008-0047205號(hào)，在設(shè)置于東西南北四個(gè)方向而從各個(gè)方向能夠搬運(yùn)貨物的結(jié)構(gòu)這一層面上具有優(yōu)點(diǎn)，但因向東西南北四個(gè)方向獨(dú)立地運(yùn)行，因此，在直線式工藝或向一個(gè)方向進(jìn)行的工藝中，具有不便于使用的缺點(diǎn)。
[0008]韓國(guó)公開(kāi)專利文獻(xiàn)10-2012-0007449號(hào)提供一種用于增加基板處理裝置的吞吐量(through put，單位時(shí)間的基板的處理數(shù)量)，縮短分度器機(jī)器人及主搬運(yùn)機(jī)器人的待機(jī)時(shí)間的搬運(yùn)機(jī)器人。
[0009]韓國(guó)公開(kāi)專利文獻(xiàn)10-2012-0007449號(hào)具有縮短工藝時(shí)間的優(yōu)點(diǎn)，但具有如下缺點(diǎn)，因是單臂上附著有多只機(jī)械手的結(jié)構(gòu)，而必須同時(shí)驅(qū)動(dòng)，并且通過(guò)多只機(jī)械手的結(jié)構(gòu)，只有處于既定間距的情況下，才能搬運(yùn)多個(gè)貨物。
[0010]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0011]專利文獻(xiàn)
[0012]專利文獻(xiàn)I韓國(guó)公開(kāi)專利文獻(xiàn)第10-2008-0047205號(hào)
[0013]專利文獻(xiàn)2韓國(guó)公開(kāi)專利文獻(xiàn)第10-2012-0007449號(hào)

【發(fā)明內(nèi)容】

_4] 發(fā)明要解決的問(wèn)題
[0015]本發(fā)明的目的為提供一種按相同水平方向的直線運(yùn)動(dòng)，能夠同時(shí)或個(gè)別地搬運(yùn)貨物的具有可變機(jī)械手的四臂搬運(yùn)機(jī)器人。
[0016]并且，本發(fā)明的目的為提供一種在直線式(In-Line)工藝及按一個(gè)方向連續(xù)的工藝中，通過(guò)同時(shí)輸送一張至四張貨物，引導(dǎo)進(jìn)行快速的工藝流程，縮短工藝時(shí)間并提高工藝效率的具有可變機(jī)械手的四臂搬運(yùn)機(jī)器人。
[0017]并且，本發(fā)明的目的為提供一種將四個(gè)機(jī)械臂以上下左右排列，能夠?qū)C(jī)械手改變水平位置的具有可變機(jī)械手的四臂搬運(yùn)機(jī)器人。
_8] 用于解決問(wèn)題的方案
[0019]為了解決如上所述問(wèn)題，本發(fā)明的具有可變機(jī)械手的四臂搬運(yùn)機(jī)器人包括:第I至第4機(jī)械臂，該第I至第4機(jī)械臂在內(nèi)部分別形成有位置可變塊，該第I至第4機(jī)械臂上下及左右排列，并且能夠在前后方向上進(jìn)行直線運(yùn)動(dòng)；以及第I至第4機(jī)械手，該第I至第4機(jī)械手分別與所述位置可變塊接合，能夠在預(yù)定范圍內(nèi)改變左右寬度；將貨物同時(shí)或分從預(yù)定位置提起、搬運(yùn)或裝載至另一預(yù)定位置，由此能夠同時(shí)搬運(yùn)多個(gè)貨物，并能夠分別對(duì)應(yīng)工藝設(shè)備或箱子的各個(gè)節(jié)距，以提高工藝效率。
[0020]在此，所述位置可變塊分別在所述第I至第4機(jī)械臂的前端面具有開(kāi)口部，并分別在所述第I至第4機(jī)械臂的內(nèi)部形成有位置可變導(dǎo)軌，在所述第I至第4機(jī)械手的前端分別形成有與所述位置可變導(dǎo)軌進(jìn)行導(dǎo)軌接合的可變滑動(dòng)器。
[0021]在此，優(yōu)選的是，所述第I及第3機(jī)械臂上下配置，所述第2及第4機(jī)械臂上下配置，各個(gè)所述第I及第3機(jī)械臂的可變滑動(dòng)器形成于相對(duì)的位置，各個(gè)所述第2及第4機(jī)械臂的可變滑動(dòng)器形成于相對(duì)的位置，由此實(shí)現(xiàn)上下對(duì)稱的結(jié)構(gòu)。
[0022]在此，所述第I至第4機(jī)械臂的外側(cè)面分別以能夠滑動(dòng)的方式接合于第I至第4水平導(dǎo)軌，所述第I及第2水平導(dǎo)軌的內(nèi)側(cè)面分別安裝于上端垂直滑動(dòng)器，所述第3及第4水平導(dǎo)軌的內(nèi)側(cè)面分別安裝于下端垂直滑動(dòng)器，所述上端垂直滑動(dòng)器和所述下端垂直滑動(dòng)器相對(duì)于垂直形狀的垂直體進(jìn)行導(dǎo)軌接合，并且所述上端垂直滑動(dòng)器和所述下端垂直滑動(dòng)器為上下關(guān)系。
[0023]在此，所述第I至第4機(jī)械臂的外側(cè)面分別以能夠滑動(dòng)的方式接合于第I至第4水平導(dǎo)軌，所述第I及第2水平導(dǎo)軌的內(nèi)側(cè)面分別安裝于上端垂直滑動(dòng)器，所述第3及第4水平導(dǎo)軌的內(nèi)側(cè)面分別安裝于下端垂直滑動(dòng)器，所述上端垂直滑動(dòng)器和所述下端垂直滑動(dòng)器相對(duì)于垂直形狀的垂直體進(jìn)行導(dǎo)軌接合，并且所述上端垂直滑動(dòng)器和所述下端垂直滑動(dòng)器為上下關(guān)系，所述垂直體的下端連接于進(jìn)行圓周運(yùn)動(dòng)的旋轉(zhuǎn)體。
[0024]在此，所述第I至第4機(jī)械臂的外側(cè)面分別與第I至第4水平滑動(dòng)器接合，所述第I至第4水平滑動(dòng)器分別以能夠滑動(dòng)的方式接合于第I至第4水平導(dǎo)軌，所述第I至第4水平導(dǎo)軌的外側(cè)面形成有導(dǎo)軌
[0025]發(fā)明效果
[0026]上述本發(fā)明的結(jié)構(gòu)具有如下優(yōu)點(diǎn)，能夠以相同水平方向的直線運(yùn)動(dòng)，同時(shí)或個(gè)別地搬運(yùn)貨物，在直線式(In-Line)工藝及一個(gè)方向連續(xù)的工藝中，通過(guò)個(gè)別或同時(shí)輸送一張至四張貨物，而引導(dǎo)進(jìn)行快速工藝流程，并縮短工藝時(shí)間，以提高工藝效率。
【附圖說(shuō)明】
[0027]圖1為本發(fā)明的具有可變機(jī)械手的四臂搬運(yùn)機(jī)器人的剖視圖；
[0028]圖2為本發(fā)明的具有可變機(jī)械手的四臂搬運(yùn)機(jī)器人的平面圖；
[0029]圖3為本發(fā)明的具有可變機(jī)械手的四臂搬運(yùn)機(jī)器人的正面圖；
[0030]圖4為本發(fā)明的具有可變機(jī)械手的四臂搬運(yùn)機(jī)器人的側(cè)面圖；
[0031]圖5為顯示本發(fā)明的具有可變機(jī)械手的四臂搬運(yùn)機(jī)器人的機(jī)械手的改變水平位置動(dòng)作的狀態(tài)圖；
[0032]圖6為本發(fā)明的具有可變機(jī)械手的四臂搬運(yùn)機(jī)器人的第I機(jī)械臂的水平前進(jìn)狀態(tài)圖；
[0033]圖7為本發(fā)明的具有可變機(jī)械手的四臂搬運(yùn)機(jī)器人的第I及第2機(jī)械臂的水平前進(jìn)狀態(tài)圖；
[0034]圖8為本發(fā)明的具有可變機(jī)械手的四臂搬運(yùn)機(jī)器人的第I至第3機(jī)械臂的水平前進(jìn)狀態(tài)圖；
[0035]圖9為本發(fā)明的具有可變機(jī)械手的四臂搬運(yùn)機(jī)器人的第I至第4機(jī)械臂的水平前進(jìn)狀態(tài)圖。
[0036]附圖標(biāo)記說(shuō)明
[0037]10:搬運(yùn)機(jī)器人11:底座框架
[0038]12:滑動(dòng)器底座13:導(dǎo)軌盒子
[0039]14:導(dǎo)軌15:旋轉(zhuǎn)體
[0040]16:垂直體 17a、17b:垂直滑動(dòng)器
[0041]18a、18b、18c、18d:水平導(dǎo)軌
[0042]19a、19b、19c、19d:水平滑動(dòng)器
[0043]20a、20b、20c、20d:機(jī)械臂
[0044]21a、21b、21c、21d:機(jī)械手
[0045]22a,22b,22c,22d:位置可變塊
【具體實(shí)施方式】
[0046]下面，參照附圖對(duì)本發(fā)明的具有可變機(jī)械手的四臂搬運(yùn)機(jī)器人的結(jié)構(gòu)及作用效果進(jìn)行說(shuō)明。
[0047]圖1為本發(fā)明的具有可變機(jī)械手的四臂搬運(yùn)機(jī)器人的剖視圖，圖2為本發(fā)明的具有可變機(jī)械手的四臂搬運(yùn)機(jī)器人的平面圖，圖3為本發(fā)明的具有可變機(jī)械手的四臂搬運(yùn)機(jī)器人的正面圖，圖4為本發(fā)明的具有可變機(jī)械手的四臂搬運(yùn)機(jī)器人的側(cè)面圖。
[0048]如圖1至圖4所示，本發(fā)明的具有可變機(jī)械手的四臂搬運(yùn)機(jī)器人(10)包括:底座框架(11)、滑動(dòng)器底座(12)、導(dǎo)軌盒子(13)、導(dǎo)軌(14)、旋轉(zhuǎn)體(15)、垂直體(16)、上下端垂直滑動(dòng)器(17a、17b)、第I至第4水平導(dǎo)軌(18a至18d)、第I至第4水平滑動(dòng)器(19a至19d)、第I至第4機(jī)械臂(20a至20d)及第I至第4機(jī)械手(21a至21d)。
[0049]底座框架(11)支撐搬運(yùn)機(jī)器人(10)并形成為四角框架形狀，根據(jù)需要，安裝有便于移動(dòng)的滑輪，并安裝有多個(gè)固定裝置，以防止機(jī)器人運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)移動(dòng)。
[0050]并且，為了確認(rèn)搬運(yùn)機(jī)器人(10)的左右移動(dòng)距離，底座框架(11)安裝有限位器。
[0051]滑動(dòng)器底座(12)形成于底座框架(11)的內(nèi)側(cè)，底座框架(11)的兩側(cè)上形成有用于水平移動(dòng)滑動(dòng)器底座(12)的導(dǎo)軌(14)。
[0052]導(dǎo)軌(14)通過(guò)導(dǎo)軌盒子(13)覆蓋，在導(dǎo)軌盒子(13)內(nèi)安裝有傳輸電源及控制信號(hào)的線纜(未圖示)。
[0053]滑動(dòng)器底座(12)與兩側(cè)的導(dǎo)軌(14)連接，能夠進(jìn)行左右水平移動(dòng)，并且，旋轉(zhuǎn)體
(15)形成于中心上端，旋轉(zhuǎn)體(15)的前端安裝有垂直體(16)。
[0054]旋轉(zhuǎn)體(15)的中心形成有旋轉(zhuǎn)中心軸，旋轉(zhuǎn)體(15)以旋轉(zhuǎn)中心軸為基準(zhǔn)旋轉(zhuǎn)。
[0055]旋轉(zhuǎn)體(15)以旋轉(zhuǎn)中心軸為基準(zhǔn)，使第I至第4機(jī)械臂(20a至20d)旋轉(zhuǎn)360度，垂直體(16)能夠使第I至第4機(jī)械臂(20a至20d)進(jìn)行上下往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)。
[0056]導(dǎo)軌形成于垂直體(15)的一側(cè)面，該導(dǎo)軌上下接合有上端垂直滑動(dòng)器(17a)和下端垂直滑動(dòng)器(17b)，上下端垂直滑動(dòng)器(17a、17b)同時(shí)進(jìn)行上下往復(fù)直線運(yùn)動(dòng)。
[0057]第I及第2水平導(dǎo)軌(18a、18b)安裝于上下端垂直滑動(dòng)器(17a、17b)的外側(cè)的一面，第3及第4水平導(dǎo)軌(18c、18d)安裝于上下端垂直滑動(dòng)器(17a、17b)的外側(cè)的另一面。
[0058]第I至第4水平導(dǎo)軌(18a至18d)向外側(cè)形成有導(dǎo)軌，具有長(zhǎng)條狀，以便機(jī)械臂的水平移動(dòng)。
[0059]第I及第3水平導(dǎo)軌(18a、18c)為上下排列，第2及第4水平導(dǎo)軌(18b、18d)也具有上下排列的形狀。
[0060]第I至第4水平滑動(dòng)器(19a至19d)能夠前后滑動(dòng)地接合于各個(gè)第I至第4水平導(dǎo)軌(18a至18d)的導(dǎo)軌。
[0061]第I至第4機(jī)械臂(20a至20d)分別安裝于各個(gè)第I至第4水