一種板條式激光器裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種板條式激光器裝置，屬于CO 2激光器技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]所謂激光切割就是將激光束照射到工件表面時(shí)釋放的能量來使工件融化并蒸發(fā)，以達(dá)到切割和雕刻的目的，具有精度高，切割快速，不局限于切割圖案限制，自動(dòng)排版節(jié)省材料，切口平滑，加工成本低等特點(diǎn)，將逐漸改進(jìn)或取代于傳統(tǒng)的金屬切割工藝設(shè)備。目前在電子產(chǎn)品成型加工上，也普遍使用激光切割，現(xiàn)有的CO 2激光器由于通過熱傳導(dǎo)方式進(jìn)行冷卻，因此無法制造出緊湊、高能的激光器結(jié)構(gòu)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]目的:為了克服現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本發(fā)明提供一種板條式激光器裝置。
[0004]技術(shù)方案:為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案為:
一種板條式激光器裝置，包括輸出鏡、波導(dǎo)電板、后腔鏡、射頻激勵(lì)，所述波導(dǎo)電板包括上電板、下電板，均設(shè)置為矩形結(jié)構(gòu)，所述上電板與射頻激勵(lì)輸出端相連接，下電板接地；所述上電板設(shè)置為中空結(jié)構(gòu)，上電板頂部設(shè)置有冷卻水進(jìn)口，冷卻水出口 ；所述上電板、下電板之間形成矩形諧振腔；所述輸出鏡設(shè)置在波導(dǎo)電板前端；所述后腔鏡設(shè)置在波導(dǎo)電板后端。
[0005]還包括光束整形單元，所述光束整形單元設(shè)置在波導(dǎo)電板前端，用于將矩形光束整形為一個(gè)圓形對(duì)稱的激光束。
[0006]作為優(yōu)選方案，所述光束整形單元設(shè)置為水冷式反射光束整形器。
[0007]作為優(yōu)選方案，所述輸出鏡長(zhǎng)度小于后腔鏡長(zhǎng)度。
[0008]作為優(yōu)選方案，所述波導(dǎo)電板采用銅材質(zhì)。
[0009]有益效果:本發(fā)明提供的一種板條式激光器裝置，具有結(jié)構(gòu)緊湊、堅(jiān)固的特點(diǎn)，便于一體化集成設(shè)計(jì)，高的光束質(zhì)量可以帶來小的聚集光斑，從而可獲得精密切割。
【附圖說明】
[0010]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作更進(jìn)一步的說明。
[0012]如圖1所示，一種板條式激光器裝置，包括輸出鏡1、波導(dǎo)電板2、后腔鏡3、射頻激勵(lì)4，所述波導(dǎo)電板2包括上電板21、下電板22，均設(shè)置為矩形結(jié)構(gòu)，所述上電板21與射頻激勵(lì)4輸出端相連接，下電板22接地；所述上電板21設(shè)置為中空結(jié)構(gòu)，上電板21頂部設(shè)置有冷卻水進(jìn)口 23，冷卻水出口 24 ;所述上電板21、下電板22之間形成矩形諧振腔25 ;所述輸出鏡I設(shè)置在波導(dǎo)電板2前端；所述后腔鏡3設(shè)置在波導(dǎo)電板2后端。
[0013]還包括光束整形單元5，所述光束整形單元5設(shè)置在波導(dǎo)電板2前端，用于將矩形光束整形為一個(gè)圓形對(duì)稱的激光束6。
[0014]作為優(yōu)選方案，所述光束整形單元5設(shè)置為水冷式反射光束整形器。
[0015]作為優(yōu)選方案，所述輸出鏡I長(zhǎng)度小于后腔鏡3長(zhǎng)度。
[0016]作為優(yōu)選方案，所述波導(dǎo)電板2采用銅材質(zhì)。
[0017]以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實(shí)施方式，應(yīng)當(dāng)指出:對(duì)于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明原理的前提下，還可以做出若干改進(jìn)和潤(rùn)飾，這些改進(jìn)和潤(rùn)飾也應(yīng)視為本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種板條式激光器裝置，包括輸出鏡、波導(dǎo)電板、后腔鏡，其特征在于:還包括射頻激勵(lì)，所述波導(dǎo)電板包括上電板、下電板，均設(shè)置為矩形結(jié)構(gòu)，所述上電板與射頻激勵(lì)輸出端相連接，下電板接地；所述上電板設(shè)置為中空結(jié)構(gòu)，上電板頂部設(shè)置有冷卻水進(jìn)口，冷卻水出口 ；所述上電板、下電板之間形成矩形諧振腔；所述輸出鏡設(shè)置在波導(dǎo)電板前端；所述后腔鏡設(shè)置在波導(dǎo)電板后端。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種板條式激光器裝置，其特征在于:還包括光束整形單元，所述光束整形單元設(shè)置在波導(dǎo)電板前端，用于將矩形光束整形為一個(gè)圓形對(duì)稱的激光束。
3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種板條式激光器裝置，其特征在于:所述光束整形單元設(shè)置為水冷式反射光束整形器。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種板條式激光器裝置，其特征在于:所述輸出鏡長(zhǎng)度小于后腔鏡長(zhǎng)度。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種板條式激光器裝置，其特征在于:所述波導(dǎo)電板采用銅材質(zhì)。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種板條式激光器裝置，包括輸出鏡、波導(dǎo)電板、后腔鏡、射頻激勵(lì)，所述波導(dǎo)電板包括上電板、下電板，均設(shè)置為矩形結(jié)構(gòu)，所述上電板與射頻激勵(lì)輸出端相連接，下電板接地；所述上電板設(shè)置為中空結(jié)構(gòu)，上電板頂部設(shè)置有冷卻水進(jìn)口，冷卻水出口；所述上電板、下電板之間形成矩形諧振腔；所述輸出鏡設(shè)置在波導(dǎo)電板前端；所述后腔鏡設(shè)置在波導(dǎo)電板后端。本發(fā)明提供的一種板條式激光器裝置，具有結(jié)構(gòu)緊湊、堅(jiān)固的特點(diǎn)，便于一體化集成設(shè)計(jì)，高的光束質(zhì)量可以帶來小的聚集光斑，從而可獲得精密切割。
【IPC分類】H01S3-041, H01S3-02
【公開號(hào)】CN104577649
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201410829733
【發(fā)明人】劉思佳
【申請(qǐng)人】蘇州凱锝微電子有限公司
【公開日】2015年4月29日
【申請(qǐng)日】2014年12月29日