基板盒清洗裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對基板盒進(jìn)行清洗的基板盒清洗裝置，該基板盒是在對轉(zhuǎn)印電子部件的電路圖案時使用的掩模基板或晶片等半導(dǎo)體基板等基板進(jìn)行保管或者搬運時使用的基板盒。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為這種基板盒清洗裝置，已知例如專利文獻(xiàn)I (日本特開2005-109523號公報)中公開的基板盒清洗裝置。如圖22所示，在未設(shè)置基板的狀態(tài)下，該基板盒清洗裝置Sa對由底座Cb和覆蓋該底座Cb的殼Cs構(gòu)成且內(nèi)部容納基板(未圖示)的基板盒C進(jìn)行清洗?；搴星逑囱b置Sa具備形成潔凈的空間的室200，在該室200內(nèi)設(shè)置有清洗槽201，所述清洗槽201在將底座Cb和殼Cs各部件分離的狀態(tài)下容納并清洗這些部件。清洗槽201具備:槽主體202，其具有向上方敞開的開口 ；和蓋203，其對槽主體202的開口進(jìn)行開閉。在室200的外部設(shè)置有載置基板盒C的載置臺204。手臂機(jī)器人205利用把持柄207把持載置于載置臺204上的基板盒C并搬送到設(shè)置在室200的內(nèi)部的支承臺206。并且，手臂機(jī)器人205利用把持柄207把持被支承于支承臺206的基板盒C的殼Cs而搬送并放置于清洗槽201的槽主體202內(nèi)，將基板盒C的底座Cb搬送并放置于清洗槽201的蓋203上。然后，在將蓋203關(guān)閉的狀態(tài)下，殼Cs和底座Cb在槽主體202內(nèi)被清洗。若清洗完畢，則清洗槽201的蓋203被打開，手臂機(jī)器人205對基板盒C的底座Cb和殼Cs順次地進(jìn)行搬送，并在支承臺206上裝配成基板盒C。并且，手臂機(jī)器人205再次地將基板盒C從支承臺206上搬送到室200外的載置臺204上。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn)
[0004]專利文獻(xiàn)
[0005]專利文獻(xiàn)1:日本特開2005-109523號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明要解決的課題
[0007]然而，在上述以往的基板盒清洗裝置Sa中，在清洗基板盒時，使手臂機(jī)器人205在室200內(nèi)待機(jī)，在清洗后，手臂機(jī)器人205再次把持基板盒C進(jìn)行搬送。手臂機(jī)器人205的把持柄在把持各部件時，有時附著于各部件的污染物質(zhì)轉(zhuǎn)移而附著到把持柄上而污染把持柄。在該情況下，在把持并搬送清洗后的各部件時，有時污染物質(zhì)再次附著而污染被凈化的各部件。
[0008]本發(fā)明正是鑒于上述情況而完成的，提供基板盒清洗裝置，其能夠防止在基板盒被清洗后污染物質(zhì)從把持柄轉(zhuǎn)移而污染基板盒的情況。
[0009]用于解決課題的手段
[0010]本發(fā)明的基板盒清洗裝置為如下的結(jié)構(gòu):在未設(shè)置基板的狀態(tài)下對基板盒進(jìn)行清洗，該基板盒具備底座和覆蓋該底座的殼，并且在內(nèi)部容納上述基板，其中，該基板盒清洗裝置具備:室，其形成潔凈的空間；清洗槽，其設(shè)置在該室內(nèi)，在將上述基板盒的底座和殼各部件分離的狀態(tài)下容納并清洗這些部件；和搬送機(jī)構(gòu)，其利用把持柄把持上述基板盒的各部件而將這些部件相對于清洗槽進(jìn)行搬送；以及清洗單元，在清洗上述基板盒時使上述把持柄在室內(nèi)的待機(jī)位置處待機(jī)，在清洗上述各部件時該清洗單元對上述把持柄進(jìn)行清洗。
[0011]由此，雖然有時由于把持各部件而使附著于各部件的污染物質(zhì)轉(zhuǎn)移而附著并污染把持柄，但由于能夠借助清洗單元來進(jìn)行凈化，因此，在把持著搬送清洗后的各部件時，能夠防止再次污染被凈化了的各部件的情況。此外，由于在清洗各部件時進(jìn)行把持柄的清洗，因此能夠在每次清洗各部件時進(jìn)行清洗，能夠可靠地防止清洗后的各部件被污染。
[0012]并且，根據(jù)需要，上述清洗單元可以為如下結(jié)構(gòu):其具備:噴射嘴，其對上述把持柄噴射氣體；和排氣扇，其將從該噴射嘴噴射出的氣體從上述室內(nèi)排出。作為氣體，可以采用例如空氣、氮氣等。由于從噴射嘴噴射氣體而將附著于把持柄的污染物質(zhì)去掉，因此能夠可靠地除去污染物質(zhì)。并且，由于被除去的污染物質(zhì)通過排氣扇被排出到室外，因此能夠始終使室內(nèi)保持潔凈。
[0013]發(fā)明效果
[0014]根據(jù)本發(fā)明的基板盒清洗裝置，雖然有時由于把持各部件而使附著于各部件的污染物質(zhì)轉(zhuǎn)移而附著并污染把持柄，但由于能夠借助清洗單元進(jìn)行凈化，因此，在把持著搬送清洗后的各部件時，能夠防止再次污染被凈化了的各部件的情況。此外，由于在清洗各部件時進(jìn)行把持柄的清洗，因此能夠在每次清洗各部件時進(jìn)行清洗，能夠可靠地防止清洗后的各部件被污染。
【附圖說明】
[0015]圖1是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的側(cè)剖視圖。
[0016]圖2是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的俯視剖視圖。
[0017]圖3是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的橫剖視圖。
[0018]圖4是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的主視圖。
[0019]圖5是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的載置臺的立體圖。
[0020]圖6A是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的支承臺的立體圖。
[0021]圖6B是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的支承臺對基板盒進(jìn)行支承的狀態(tài)的圖。
[0022]圖7是將本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的支承臺和把持機(jī)構(gòu)與其作用一同示出的圖。
[0023]圖8A是將本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的移載機(jī)構(gòu)與其動作一同示出的工序圖(其一)。
[0024]圖SB是將本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的移載機(jī)構(gòu)與其動作一同示出的工序圖(其二)。
[0025]圖SC是將本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的移載機(jī)構(gòu)與其動作一同示出的工序圖(其三)。
[0026]圖8D是將本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的移載機(jī)構(gòu)與其動作一同示出的工序圖(其四)。
[0027]圖SE是將本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的移載機(jī)構(gòu)與其動作一同示出的工序圖(其五)。
[0028]圖9是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的第一清洗槽(第二清洗槽)的內(nèi)部結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0029]圖1OA是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的第一清洗槽對外部殼進(jìn)行支承的狀態(tài)的俯視圖。
[0030]圖1OB是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的第一清洗槽對外部殼進(jìn)行支承的狀態(tài)的側(cè)剖視圖。
[0031]圖1lA是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的第一清洗槽對外部底座進(jìn)行支承的狀態(tài)的俯視圖。
[0032]圖1lB是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的第一清洗槽對外部底座進(jìn)行支承的狀態(tài)的側(cè)剖視圖。
[0033]圖12A是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的第二清洗槽對內(nèi)部殼進(jìn)行支承的狀態(tài)的俯視圖。
[0034]圖12B是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的第二清洗槽對內(nèi)部殼進(jìn)行支承的狀態(tài)的側(cè)剖視圖。
[0035]圖13A是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的第二清洗槽對內(nèi)部底座進(jìn)行支承的狀態(tài)的俯視圖。
[0036]圖13B是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的第二清洗槽對內(nèi)部底座進(jìn)行支承的狀態(tài)的側(cè)剖視圖。
[0037]圖14A是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的、內(nèi)部容器被支承于第二清洗槽的狀態(tài)的俯視圖。
[0038]圖14B是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的、內(nèi)部容器被支承于第二清洗槽的狀態(tài)的側(cè)剖視圖。
[0039]圖15A是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的、外部容器被支承于第一清洗槽的狀態(tài)的俯視圖。
[0040]圖15B是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的、外部容器被支承于第一清洗槽的狀態(tài)的側(cè)剖視圖。
[0041]圖16A是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的搬送機(jī)構(gòu)中的把持機(jī)構(gòu)和升降機(jī)構(gòu)的立體圖。
[0042]圖16B是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的搬送機(jī)構(gòu)中的把持機(jī)構(gòu)的把持柄的要部的要部立體圖。
[0043]圖17A是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的把持機(jī)構(gòu)把持外部殼的狀態(tài)的圖。
[0044]圖17B是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的把持機(jī)構(gòu)把持外部底座的狀態(tài)的圖。
[0045]圖18A是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的把持機(jī)構(gòu)把持內(nèi)部殼的狀態(tài)的圖。
[0046]圖18B是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的把持機(jī)構(gòu)把持內(nèi)部底座的狀態(tài)的圖。
[0047]圖19是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的保持部的結(jié)構(gòu)的立體圖。
[0048]圖20A是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置處理的基板盒的整體立體圖。
[0049]圖20B是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置處理的基板盒的分解立體圖。
[0050]圖21是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置處理的基板盒的外部底座的外側(cè)面的圖。
[0051]圖22是示出以往的基板盒清洗裝置的一個示例的圖。
【具體實施方式】
[0052]下面，