基板盒清洗裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及對基板盒進行清洗的基板盒清洗裝置，該基板盒是在對轉(zhuǎn)印電子部件的電路圖案時使用的掩?；寤蚓劝雽?dǎo)體基板等基板進行保管或者搬運時使用的基板盒。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，作為這種基板盒清洗裝置，已知例如專利文獻I (日本特開2005-109523號公報)中公開的基板盒清洗裝置。如圖22所示，在未設(shè)置基板的狀態(tài)下，該基板盒清洗裝置Sa對由底座Cb和覆蓋該底座Cb的殼Cs構(gòu)成且內(nèi)部容納基板(未圖示)的基板盒C進行清洗?；搴星逑囱b置Sa具備形成潔凈的空間的室200，在該室200內(nèi)設(shè)置有清洗槽201，所述清洗槽201在將底座Cb和殼Cs各部件分離的狀態(tài)下容納并清洗這些部件。清洗槽201具備:槽主體202，其具有向上方敞開的開口 ；和蓋203，其對槽主體202的開口進行開閉。在室200的外部設(shè)置有載置基板盒C的載置臺204。手臂機器人205利用把持柄207把持載置于載置臺204上的基板盒C并搬送到設(shè)置在室200的內(nèi)部的支承臺206。并且，手臂機器人205利用把持柄207把持被支承于支承臺206的基板盒C的殼Cs而搬送并放置于清洗槽201的槽主體202內(nèi)，將基板盒C的底座Cb搬送并放置于清洗槽201的蓋203上。然后，在將蓋203關(guān)閉的狀態(tài)下，殼Cs和底座Cb在槽主體202內(nèi)被清洗。若清洗完畢，則清洗槽201的蓋203被打開，手臂機器人205對基板盒C的底座Cb和殼Cs順次地進行搬送，并在支承臺206上裝配成基板盒C。并且，手臂機器人205再次地將基板盒C從支承臺206上搬送到室200外的載置臺204上。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)文獻
[0004]專利文獻
[0005]專利文獻1:日本特開2005-109523號公報

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]發(fā)明要解決的課題
[0007]然而，例如，在娃片上描繪集成電路圖案的光刻技術(shù)中，隨著LSI (大規(guī)模集成電路)的高集成化而采用了作為在真空中被照射EUV(extreme ultrav1let:極端紫外)光的基板的EUV掩模。如圖20A和圖20B所示，收納保管該EUV掩模的基板盒為雙層結(jié)構(gòu)。該雙層結(jié)構(gòu)的基板盒C具備內(nèi)部容器N和外部容器M。內(nèi)部容器N由內(nèi)部底座Nb和覆蓋該內(nèi)部底座Nb的內(nèi)部殼Ns構(gòu)成，內(nèi)部容納作為基板D的掩模。外部容器M由對內(nèi)部容器N的內(nèi)部底座Nb進行支承的外部底座Mb和覆蓋外部底座Mb的外部殼Ms構(gòu)成，內(nèi)部容納內(nèi)部容器N。這樣，使基板盒C成為雙層結(jié)構(gòu)是為了徹底地防御基板D被外部空氣污染。外部容器M暴露于外部空氣中，但只要不刻意地將外部容器M打開，內(nèi)部容器N就不會暴露在外部空氣中。
[0008]可以考慮在這樣對基板盒C進行清洗的情況下采用上述以往那樣的基板盒清洗裝置Sa來進行清洗。但是，對于以往的清洗裝置Sa，在結(jié)構(gòu)上很難在一個清洗槽201內(nèi)容納并清洗外部容器M和內(nèi)部容器N。即使能夠?qū)⑼獠咳萜鱉和內(nèi)部容器N容納在清洗槽201內(nèi)來進行清洗，也存在這樣的問題:存在附著在暴露于外部空氣中的外部容器M上的污染物質(zhì)在清洗槽201中對內(nèi)部容器N造成二次污染的可能性。由于內(nèi)部容器N直接收納基板D，因此需要更潔凈。
[0009]本發(fā)明正是鑒于上述情況而完成的，提供基板盒清洗裝置，其能夠以避免附著于暴露在外部空氣中的外部容器上的污染物質(zhì)將內(nèi)部容器污染的方式對二者進行清洗，能夠提高清洗精度。
[0010]用于解決課題的手段
[0011]本發(fā)明的基板盒清洗裝置在未設(shè)置基板的狀態(tài)下對基板盒進行清洗，所述基板盒具備:內(nèi)部容器，其由內(nèi)部底座和覆蓋該內(nèi)部底座的內(nèi)部殼構(gòu)成，并且在內(nèi)部容納上述基板；和外部容器，其由對該內(nèi)部容器的內(nèi)部底座進行支承的外部底座和覆蓋該外部底座的外部殼構(gòu)成，并且在內(nèi)部容納該內(nèi)部容器，其中，所述基板盒清洗裝置為如下的結(jié)構(gòu):其具備:室，其形成潔凈的空間；第一清洗槽，其設(shè)置在該室內(nèi)，在將上述外部容器的外部底座和外部殼各部件分離的狀態(tài)下容納并清洗這些部件；第二清洗槽，其設(shè)置在上述室內(nèi)，在將上述內(nèi)部容器的內(nèi)部底座和內(nèi)部殼各部件分離的狀態(tài)下容納并清洗這些部件；和搬送機構(gòu)，其將上述外部容器和上述內(nèi)部容器的各部件相對于對應(yīng)的上述第一清洗槽和上述第二清洗槽進行搬送。
[0012]由此，在對基板盒進行清洗時，搬送機構(gòu)將外部容器的外部底座和外部殼各部件搬送到第一清洗槽，并且將內(nèi)部容器的內(nèi)部底座和內(nèi)部殼各部件搬送到第二清洗槽。然后，在第一清洗槽和第二清洗槽中分別清洗外部容器和內(nèi)部容器的各部件。在該情況下，由于外部容器和內(nèi)部容器分別在各自的清洗槽中被清洗，因此，能夠防止附著于暴露在外部空氣中的外部容器上的污染物質(zhì)對內(nèi)部容器造成二次污染的情況，能夠提高清洗精度。然后，若清洗結(jié)束，則利用搬送機構(gòu)從第一清洗槽中將外部容器的外部底座和外部殼各部件取出并進行搬送，并且從第二清洗槽中將內(nèi)部容器的內(nèi)部底座和內(nèi)部殼各部件取出并進行搬送。
[0013]并且，在本發(fā)明的基板盒清洗裝置中，可以為如下的結(jié)構(gòu):設(shè)置有支承臺，所述支承臺在上述室內(nèi)在使上述外部底座或者上述外部殼處于下方地裝配成能夠在垂直方向上分離的狀態(tài)下支承上述基板盒，在上述基板盒以上述外部底座處于下方的方式被支承于上述支承臺的情況下，在清洗上述基板盒前，上述搬送機構(gòu)按外部殼、內(nèi)部殼、內(nèi)部底座、外部底座的順序?qū)⑦@些部件從上述支承臺搬送到各自對應(yīng)的上述第一清洗槽內(nèi)和上述第二清洗槽內(nèi)，在對該基板盒清洗后，按外部底座、內(nèi)部底座、內(nèi)部殼、外部殼的順序?qū)⑦@些部件從對應(yīng)的上述第一清洗槽內(nèi)和上述第二清洗槽內(nèi)搬送到上述支承臺上進行裝配，在上述基板盒以上述外部殼處于下方的方式被支承于上述支承臺的情況下，在清洗上述基板盒前，上述搬送機構(gòu)按外部底座、內(nèi)部底座、內(nèi)部殼、外部殼的順序?qū)⑦@些部件從上述支承臺搬送到各自對應(yīng)的上述第一清洗槽內(nèi)和上述第二清洗槽內(nèi)，在對該基板盒清洗后，按外部殼、內(nèi)部殼、內(nèi)部底座、外部底座的順序?qū)⑦@些部件從對應(yīng)的上述第一清洗槽內(nèi)和上述第二清洗槽內(nèi)搬送到上述支承臺上進行裝配。
[0014]由此，在清洗前能夠利用搬送機構(gòu)將外部容器和內(nèi)部容器的各部件順次地搬送到對應(yīng)的第一清洗槽和第二清洗槽中，在清洗后能夠利用搬送機構(gòu)將外部容器和內(nèi)部容器的各部件順次地從對應(yīng)的第一清洗槽和第二清洗槽中取出并進行搬送，因此，能夠?qū)⑼獠咳萜骱蛢?nèi)部容器的各部件可靠地分離并進行裝配。
[0015]此外，在本發(fā)明的基板盒清洗裝置中，可以為如下的結(jié)構(gòu):上述第一清洗槽和上述第二清洗槽分別具備:槽主體，其具有向上方敞開的開口 ；和能夠開閉的蓋，在搬送上述基板盒的外部容器或者內(nèi)部容器的各部件時，該蓋使該槽主體的開口打開，在對該各部件清洗時，該蓋使該槽主體的開口關(guān)閉，上述支承臺、上述第一清洗槽和上述第二清洗槽在一個水平方向上串聯(lián)地排列，上述搬送機構(gòu)具備:把持機構(gòu)，其能夠分別把持上述外部容器的外部底座和外部殼、上述內(nèi)部容器的內(nèi)部底座和內(nèi)部殼；升降機構(gòu)，其使該把持機構(gòu)在垂直方向上升降移動；行進移動機構(gòu)，其使該把持機構(gòu)在一個水平方向上行進移動；和控制部，其對上述把持機構(gòu)、上述升降機構(gòu)和上述行進移動機構(gòu)進行驅(qū)動控制。
[0016]由此，搬送機構(gòu)只要通過控制部的控制使把持機構(gòu)在垂直方向(Z軸方向)和一個水平方向(Y軸方向)這兩個軸方向上移動就能夠搬送各部件，因此，與以往的手臂機器人相比，能夠使結(jié)構(gòu)簡易，能夠使各部件的分離搬送容易。此外，也可以不較寬地占用空間，能夠節(jié)省空間。
[0017]并且，在本發(fā)明的基板盒清洗裝置中，可以為如下的結(jié)構(gòu):上述把持機構(gòu)具備:把持柄，其具備能夠在與上述一個水平方向垂直的另一水平方向上彼此接近和分離的一對柄單體；和驅(qū)動部，其使該把持柄的上述一對柄單體接近和分離，通過上述控制部的控制而使上述把持柄的上述一對柄單體個別地把持上述外部容器的外部底座和外部殼、內(nèi)部容器的內(nèi)部底座和內(nèi)部殼。由此，通過控制部的控制而能夠使把持機構(gòu)在一個水平方向(Y軸方向)和垂直方向(Z軸方向)這兩個軸方向上移動并定位，僅使把持柄在另一水平方向(X軸方向)上移動就能夠把持各部件，而且，由于利用一對柄單體就能夠把持所有的部件，因此能夠使結(jié)構(gòu)簡單。
[0018]在該情況下，根據(jù)需要，可以為如下的結(jié)構(gòu):上述把持柄的上述一對柄單體具備卡定部，所述卡定部與上述外部容器的外部底座和外部殼、內(nèi)部容器的內(nèi)部底座和內(nèi)部殼的各把持部的形狀相應(yīng)地對它們進行卡定。由此，由于利用卡定部卡定各部件，因此把持變得可靠。
[0019]發(fā)明效果
[0020]根據(jù)本發(fā)明的基板盒清洗裝置，由于對基板盒的外部容器和內(nèi)部容器分別在各自的清洗槽中進行清洗，因此，能夠防止附著于暴露在外部空氣中的外部容器處的污染物質(zhì)對內(nèi)部容器造成二次污染的情況，相應(yīng)地能夠提高清洗精度。
【附圖說明】
[0021]圖1是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的側(cè)剖視圖。
[0022]圖2是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的俯視剖視圖。
[0023]圖3是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的橫剖視圖。
[0024]圖4是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的主視圖。
[0025]圖5是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的載置臺的立體圖。
[0026]圖6A是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的支承臺的立體圖。
[0027]圖6B是示出本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的支承臺對基板盒進行支承的狀態(tài)的圖。
[0028]圖7是將本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的支承臺和把持機構(gòu)與其作用一同示出的圖。
[0029]圖8A是將本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的移載機構(gòu)與其動作一同示出的工序圖(其一)。
[0030]圖SB是將本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的移載機構(gòu)與其動作一同示出的工序圖(其二)。
[0031]圖SC是將本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的移載機構(gòu)與其動作一同示出的工序圖(其三)。
[0032]圖8D是將本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的移載機構(gòu)與其動作一同示出的工序圖(其四)。
[0033]圖SE是將本發(fā)明的實施方式的基板盒清洗裝置的移載機構(gòu)與其動作一