和門之間的密封，以及通過偏轉(zhuǎn)所述C形的上支腿收縮所述C形部件，并壓縮核心部件。所述密封件在所述密封特征和所述限定凹槽的表面116之間具有六個(gè)定義的密封嚙合區(qū)域。
[0031]參照?qǐng)D8，具有一個(gè)正常位置110的進(jìn)一步的指形件，在偏轉(zhuǎn)位置沿內(nèi)壁平直放置，在清潔過程中提供加強(qiáng)保護(hù)防止水侵入密封空腔114內(nèi)。
[0032]參照?qǐng)D9，所述實(shí)施例具有五個(gè)不同的和分開的密封部分，具有凹槽表面和舌片118防止1?、封件移除。
[0033]所述容器部件可由注射模制聚合物，例如聚碳酸酯，形成。密封件由熱塑性彈性體形成，具有30-60硬度計(jì)的邵氏(Shore)A硬度。
[0034]在本申請(qǐng)的所有部分中的上述參考文獻(xiàn)在此通過引用全部并入本文，用于所有目的。
[0035]本說明書(包括引用的參考文獻(xiàn)，包括任何所附的權(quán)利要求、摘要和附圖)中公開的所有特征，和/或所公開的任何方法或過程的所有步驟，可以以任何組合方式組合，除非組合中至少一些這樣的特征和/或步驟相互排斥。
[0036]在本說明書(包括引用的參考文獻(xiàn)，權(quán)利要求書、摘要和附圖)中公開的每個(gè)特征可由實(shí)現(xiàn)相同、等同或類似目的的其他特征替換，除非另有明確說明。因此，除非另有說明，否則所披露的每個(gè)特征僅是一個(gè)實(shí)施例的一個(gè)通用系列的等效物或類似的特征。
[0037]本發(fā)明并不局限于前述的具體實(shí)施例的細(xì)節(jié)。本發(fā)明延伸至本說明書(包括引入作為參考的任一參考文獻(xiàn)，權(quán)利要求書、摘要和附圖)中公開的任何新的特征，或任何新的特征的組合，或者所公開的方法或者過程中的任何新的步驟，或者任何新的步驟的組合。上述本申請(qǐng)的所有部分中的參考文獻(xiàn)在此通過引用全部并入本文。
[0038]盡管在此示出并描述了具體實(shí)施例，但要理解，對(duì)于本領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，任何經(jīng)預(yù)測(cè)以實(shí)現(xiàn)相同目的的布置可以代替所示的具體實(shí)施例。本專利申請(qǐng)旨在涵蓋本發(fā)明主題的變型或變化。因此，希望本發(fā)明由所附的權(quán)利要求及其合法等效物來限定，以及以下說明性方面。本發(fā)明的上述方面、實(shí)施方式僅僅是敘述它的原理并不應(yīng)被認(rèn)為是限制性的。此處所公開的本發(fā)明的其它修改將被相應(yīng)領(lǐng)域的技術(shù)人員想到，并且所有這些修改都被認(rèn)為是在本發(fā)明的范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種基片容器，具有容器部件，所述容器部件帶有限定開口側(cè)的門框和鎖到門框上并關(guān)閉開口側(cè)的門，門和門框中的一個(gè)具有圍繞所述門和門框中的一個(gè)的邊緣延伸的凹槽，并且密封件安裝在所述凹槽中，所述密封件與門和門框中的另一個(gè)嚙合，從而將門密封到容器部件上，所述密封件具有固定在凹槽底部的基座部件，從基座到所述密封件頂部延伸的核心部件，從核心部件延伸的多個(gè)相對(duì)的成對(duì)的突起用于嚙合凹槽的相對(duì)的側(cè)壁，至少一對(duì)突起的尺寸在與所述至少一對(duì)突起相對(duì)應(yīng)的位置上大于所述凹槽，由此所述突起向上傾斜并阻止密封件從凹槽中移除。
2.一種前開式晶片容器，包括容器部件和門，所述容器部件和所述門中的一個(gè)具有徑向安裝的密封件，所述密封件帶有多個(gè)相對(duì)的橫向突起，當(dāng)密封件安裝到凹槽中時(shí)，橫向突起在偏離安裝方向的方向上相對(duì)正常位置偏轉(zhuǎn)，在密封件安裝到凹槽中之后，橫向突起防止密封件的移除。
3.如權(quán)利要求1或2所述的前開式晶片容器，其中，所述相對(duì)的突起被構(gòu)造成需要壓縮，并朝著安裝方向逆向偏轉(zhuǎn)，以便從所述凹槽中移除所述密封件。
4.如以上任一項(xiàng)權(quán)利要求所述的所述前開式晶片容器，其中，所述密封件具有固定在所述凹槽的底部的基座部件，所述凹槽具有朝著所述底部逐漸變小的側(cè)壁表面。
5.如權(quán)利要求1或2所述的前開式晶片容器，其中，所述密封件在門中，并且具有與所述門框嚙合的C形部件。
6.一種用于盛放至少300mm的大直徑晶片的前開式晶片容器，所述晶片容器包括容器部件，所述容器部件帶有由門框限定的前開口，用于密封的門在門框中鎖緊到所述容器部件，所述門具有繞門邊緣延伸的用于接收密封件的凹槽，凹槽中具有密封件，所述密封件在門密封中具有與門接觸的至少五個(gè)不同的和分離的區(qū)域。
7.如權(quán)利要求6所述的前開式晶片容器，其中，所述密封件具有舌片，當(dāng)密封件插入到所述凹槽中時(shí)，所述舌片可釋放地將密封件鎖定在適當(dāng)位置。
8.如權(quán)利要求6所述的前開式容器，其中，當(dāng)門被插入到門框中時(shí)，所述容納密封件的凹槽面向容器部件。
9.如權(quán)利要求6所述的前開式容器，其中，所述密封件具有C形部件，當(dāng)門被密封嚙合并鎖定到容器部件時(shí)，所述C形部件被壓縮。
10.如權(quán)利要求6所述的前開式容器，其中，所述凹槽由內(nèi)壁和外壁限定，并且其中所述外壁在所述密封件頂端的下面具有肩部部件，其中所述密封件具有橫向突起與所述肩部部件的表面嚙合。
11.如權(quán)利要求6所述的前開式晶片容器，其中，在所述密封件和限定所述凹槽的表面之間具有七個(gè)不同的、分離的密封嚙合件。
12.一種用于盛放多個(gè)晶片的可密封的容器，所述容器包括: 容器部件，其具有頂部、底部、左側(cè)和右側(cè)限定的內(nèi)部空間以容納所述晶片，所述容器部件在內(nèi)部具有相對(duì)的架子鄰接左側(cè)和右側(cè)，所述容器部件具有定位于所述容器部件的底部的運(yùn)動(dòng)耦合，所述容器部件具有由門框限定的開口側(cè)，所述門框鄰接頂部、底部、左側(cè)和右側(cè)，并與角部密封部件呈現(xiàn)出框的邊緣，所述角部密封部件包括向前的平面表面，以及從向前的平面表面向后延伸形成的向內(nèi)的平面表面，并且形成角部； 可容納在門框中的門，用于密封地關(guān)閉容器部件的開口側(cè)，所述門具有內(nèi)部側(cè)面并與凹槽形成門的邊緣，所述凹槽向內(nèi)延伸進(jìn)入門內(nèi)并與門邊緣鄰接，當(dāng)門裝配到門框內(nèi)時(shí)所述凹槽面對(duì)容器部件的內(nèi)部，其中，所述凹槽構(gòu)造為通道，由底部固定表面和兩個(gè)相對(duì)的側(cè)表面以及上部凸緣部件形成，所述上部凸緣部件與兩個(gè)相對(duì)側(cè)面中的一個(gè)在角部鄰接； 彈性密封件設(shè)置在門內(nèi)側(cè)，圍繞門邊緣并向內(nèi)，所述密封件的尺寸設(shè)置保持在所述凹槽中，所述彈性密封件的橫截面具有中央核心部件，所述中央核心部件從所述密封件的底部延伸到所述密封件的頂部，所述密封件具有放置在所述中央核心部件的底部的底部基座部件，從中央核心部件向外橫向突起的一對(duì)相對(duì)的舌片，所述舌片的尺寸與所述凹槽相對(duì)應(yīng)，以在所述密封件插入到所述凹槽時(shí)舌片向上偏轉(zhuǎn)，從而使舌片壓縮夾緊側(cè)壁，并提供阻力防止密封件從凹槽中移除， 第一和第二橫向突起的上凹槽嚙合突起，所述第一凹槽嚙合突起與所述凹槽的側(cè)表面嚙合，所述第二凹槽嚙合部件具有凹口部件，與所述凹槽的相對(duì)側(cè)表面嚙合，并在所述凹口部件結(jié)合上部凸緣，所述第一凹槽嚙合突起、所述第二凹槽嚙合部件以及位于所述第一和第二凹槽嚙合部件中間的中央核心橫向壓縮在凹槽的兩個(gè)相對(duì)側(cè)表面之間，所述密封件進(jìn)一步包括從中央核心部件傾斜并橫向延伸的指形件，設(shè)置在上部凸緣部件的上方； 其中，當(dāng)所述門被容納在門框中關(guān)閉所述容器部件的前開口時(shí)，所述角部密封部件嚙合到傾斜延伸的指形部件，使所述指形件向下偏轉(zhuǎn)并進(jìn)一步在所述核心部件與所述密封件的頂部嚙合， 其中，所述凹槽被構(gòu)造成通道，由底部固定表面，兩個(gè)相對(duì)的側(cè)表面，和上部凸緣部件限定，所述上部凸緣部件與兩個(gè)相對(duì)側(cè)面中的一個(gè)側(cè)面在角部鄰接。
13.—種在用于大直徑晶片的容器的門的凹槽中安裝密封件的方法，所述方法包括，插入具有橫向舌片的密封件，舌片偏離插入方向偏轉(zhuǎn)，并且與所述限定凹槽的側(cè)壁嚙合，從而可移除地將所述密封件鎖定在凹槽中。
14.一種用于晶片容器的密封件，所述密封件被構(gòu)造為環(huán)，并且在橫截面中，包括基座部件用于固定在凹槽的底部中，從核心部件延伸的核心部件，所述核心部件具有向內(nèi)側(cè)和向外側(cè)，從向內(nèi)側(cè)延伸的多個(gè)突起，從向外側(cè)延伸的多個(gè)突起，由彈性材料形成的所述密封件和構(gòu)成整體的所有部件。
15.如權(quán)利要求14所述的密封件，其中，從向外側(cè)延伸的兩個(gè)突起包括C形部件，所述C形部件具有上支腿用于密封地嚙合門框。
16.如權(quán)利要求14所述的密封件，其中，所述核心的向內(nèi)側(cè)具有三個(gè)向內(nèi)延伸的突起，包括所述基座部件。
17.如權(quán)利要求14所述的密封件，其中，所述核心的向內(nèi)側(cè)具有四個(gè)向內(nèi)延伸的突起，包括所述基座部件。
18.如權(quán)利要求14-17中任一項(xiàng)所述的密封件，其中，所述核心的向外側(cè)具有三個(gè)突起，包括所述基座。
19.如權(quán)利要求18所述的密封件，其中，與所述基座部件距離最遠(yuǎn)的突起包括指形件。
20.如權(quán)利要求14所述的密封件，其中，基座部件被構(gòu)造成具有一個(gè)柱和兩個(gè)相對(duì)的指形部件。
21.一種用于晶片容器的密封件，所述密封件被構(gòu)造為具有四個(gè)側(cè)邊段部件的環(huán)，四個(gè)角部部件連接四個(gè)側(cè)邊段，并且，在橫截面中，包括:基底部件，用于固定在凹槽的底部中，從核心部件延伸的核心部件，所述核心部件具有向內(nèi)側(cè)和向外側(cè)，從向內(nèi)側(cè)延伸的多個(gè)突起，從向外側(cè)延伸的多個(gè)突起，由彈性材料形成的所述密封件和構(gòu)成整體的所有部件。
【專利摘要】本發(fā)明解決了工業(yè)上對(duì)于一種性能更好的和更持久的用于晶片容器的密封結(jié)構(gòu)的需求，通過提供一種彈性密封件，在分離容器的內(nèi)部和外部方面具有增強(qiáng)的密封性能，具有增強(qiáng)的在槽中密封件的保持特性，并且通過密封件增強(qiáng)凹槽的密封性，以阻止密封件-凹槽嚙合處的泄漏，并使在洗滌期間最小化或消除水進(jìn)入所述凹槽。晶片容器可以是前開口式晶片容器，包括容器部件和門，容器部件和門中的一個(gè)具有容易安裝的密封件，所述密封件具有多個(gè)相對(duì)的橫向突起，當(dāng)密封件插入凹槽時(shí)，突起從安裝方向上偏離相對(duì)正常位置偏轉(zhuǎn)，在密封件固定到凹槽中之后，橫向突起防止密封件的移除。當(dāng)門固定到容器部件中時(shí)，核心部件和懸臂式指形件嚙合門與容器部件的其他部件。密封件上的其他橫向突起有效密封所述密封件和凹槽表面的通道。
【IPC分類】H01L21-673
【公開號(hào)】CN104620369
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201380034747
【發(fā)明人】巴里·格里格爾森, 馬修·A·富勒
【申請(qǐng)人】恩特格里公司
【公開日】2015年5月13日
【申請(qǐng)日】2013年5月6日
【公告號(hào)】EP2845223A1, US20150122699, WO2013166514A1