一種改善選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片噴蠟斷線的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片的制造技術(shù)，具體地涉及一種改善選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片噴蠟斷線的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]選擇性發(fā)射極(SE)太陽(yáng)能電池即在金屬柵線(電極)與硅片接觸部位進(jìn)行重?fù)诫s，在電極之間位置進(jìn)行輕摻雜。該工藝既可以保證金屬柵線區(qū)有比較好的接觸電阻，在非柵線區(qū)的輕摻雜又能改善擴(kuò)散后的死層問(wèn)題。目前大多數(shù)公司采用的SE工藝流程如下:清洗制絨，低方阻擴(kuò)散，噴涂掩膜，背刻蝕和正面刻蝕，PECVD鍍膜，印刷燒結(jié)。該工藝流程可以使金屬柵線區(qū)保證高濃度、較深的PN結(jié)，非柵線區(qū)由于正面刻蝕的原因，將硅片去掉約1nm左右的一層，最終得到低濃度、較淺的PN結(jié)。該工序經(jīng)常發(fā)生由于噴頭堵塞導(dǎo)致的圖形斷線問(wèn)題，且生存過(guò)程中不易發(fā)現(xiàn)。在實(shí)際生產(chǎn)中噴涂的掩膜為石蠟，該斷線問(wèn)題使得掩膜缺失，使本該被掩膜保護(hù)的區(qū)域被刻蝕掉，導(dǎo)致該區(qū)域形成低濃度、較淺的PN結(jié)，印刷金屬柵線后影響接觸電阻，使得電池片的串聯(lián)電阻上升從而導(dǎo)致電池片的效率降低。噴蠟過(guò)程中小的斷線很難被及時(shí)發(fā)現(xiàn)，導(dǎo)致大量低效率電池片的產(chǎn)生。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的是提供一種改善選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片噴蠟斷線的方法，降低電池片的低效比例。
[0004]為了解決上述技術(shù)問(wèn)題，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是提供一種改善選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片噴蠟斷線的方法，具體步驟如下:
(1)在噴蠟機(jī)臺(tái)的正上方安裝兩個(gè)紫光燈，分別位于機(jī)臺(tái)的左右或者前后兩側(cè)，同時(shí)要保證兩個(gè)紫光燈打在機(jī)臺(tái)上的光區(qū)有交叉區(qū)域，紫光燈需安裝在載片臺(tái)上I?1.2m高的位置；
(2)在制備掩膜的過(guò)程中，打開紫光燈，按照噴蠟圖形采用帶有熒光成分的石蠟進(jìn)行噴蠟制備掩膜，在紫光燈下發(fā)出熒光，與非掩膜區(qū)域會(huì)形成非常鮮明的對(duì)比，如果此時(shí)掩膜圖形存在斷線問(wèn)題將會(huì)被及時(shí)發(fā)現(xiàn)。
[0005]本發(fā)明的有益效果是在選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片制備掩膜的過(guò)程中極易發(fā)現(xiàn)斷線問(wèn)題，使電池片中低效片的比例降低8%。
【附圖說(shuō)明】
[0006]附圖1本發(fā)明提供的技術(shù)方案實(shí)施時(shí)的示意圖。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種改善選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片噴蠟斷線的方法，其特征在于，具體步驟如下: 第一步:在噴蠟機(jī)臺(tái)的正上方安裝兩個(gè)紫光燈； 第二步:在制備掩膜的過(guò)程中，打開紫光燈，按照噴蠟圖形進(jìn)行噴蠟制備掩膜。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片噴蠟斷線的方法，其特征在于:所述的兩個(gè)紫光燈分別位于機(jī)臺(tái)的左右或者前后兩側(cè)，同時(shí)要保證兩個(gè)紫光燈打在機(jī)臺(tái)上的光區(qū)有交叉區(qū)域。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片噴蠟斷線的方法，其特征在于:所述的紫光燈需安裝在載片臺(tái)上I?1.2m高的位置。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種改善選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片噴蠟斷線的方法，其特征在于:所述的制備掩膜過(guò)程中使用的石蠟需帶有熒光成分。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種改善選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片噴蠟斷線的方法，具體步驟如下：在噴蠟機(jī)臺(tái)的正上方安裝兩個(gè)紫光燈，分別位于機(jī)臺(tái)的左右或者前后兩側(cè)，同時(shí)要保證兩個(gè)紫光燈打在機(jī)臺(tái)上的光區(qū)有交叉區(qū)域，紫光燈需安裝在載片臺(tái)上1～1.2m高的位置；在制備掩膜的過(guò)程中，打開紫光燈，按照噴蠟圖形采用帶有熒光成分的石蠟進(jìn)行噴蠟制備掩膜，在紫光燈下發(fā)出熒光，與非掩膜區(qū)域會(huì)形成非常鮮明的對(duì)比，如果此時(shí)掩膜圖形存在斷線問(wèn)題將會(huì)被及時(shí)發(fā)現(xiàn)。本發(fā)明的有益效果是在選擇性發(fā)射極太陽(yáng)能電池片制備掩膜的過(guò)程中極易發(fā)現(xiàn)斷線問(wèn)題，使電池片中低效片的比例降低8%。
【IPC分類】H01L31-18
【公開號(hào)】CN104638054
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201310558755
【發(fā)明人】周艷霞
【申請(qǐng)人】浙江鴻禧能源股份有限公司
【公開日】2015年5月20日
【申請(qǐng)日】2013年11月12日