一種用于提高電池效率的背結(jié)方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及一種提高電池效率的方法,具體涉及一種用于提高電池效率的背結(jié)方法。
【背景技術(shù)】
[0002]目前,太陽能電池是一種基于光伏效應(yīng)直接將光能轉(zhuǎn)化為電能的半導(dǎo)體器件。傳統(tǒng)P型硅襯底太陽能電池的基本工藝流程包括制絨、擴(kuò)散、去邊結(jié)和PSG、PEARC、絲網(wǎng)印刷、燒結(jié)。常規(guī)電池的背部只是通過簡單絲網(wǎng)印刷鋁漿,經(jīng)過燒結(jié)后形成鋁背場,這種結(jié)構(gòu)對(duì)長波吸收的提高是有限度的。如何提高長波的吸收利用,并可以進(jìn)一步降低硅片的厚度,從而降低成本,提高效率,且讓該技術(shù)能與電池實(shí)際生產(chǎn)工藝相兼容,有著很高的實(shí)際意義。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0003]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題是提供一種用于提高電池效率的背結(jié)方法,可以大大增加長波的吸收和利用,且可降低硅片的厚度,從而節(jié)約了成本,提高了效率,該方法可適合于大規(guī)模生產(chǎn)。
[0004]本發(fā)明解決技術(shù)問題所采用的技術(shù)方案是:一種用于提高電池效率的背結(jié)方法,其特征在于:利用雙面擴(kuò)散在P型硅的正反兩面制備N型層,去除邊結(jié)之后利用PECVD技術(shù)在雙面生長SiNx薄膜,然后利用激光在電池背面開槽形成鋁背場,所述背面開槽處為P型,未開槽處為N型,即形成P-N結(jié)。
[0005]作為一種優(yōu)選,所述開槽深度為600~700 nm,開槽寬度為50~150 um。
[0006]本發(fā)明的有益效果是:(I)電池背部采用局部P-N結(jié)代替常規(guī)的BSF背場結(jié),從而可以更加有效地增加長波的吸收。(2)該方法可以應(yīng)用于厚度更薄的硅片,從而降低了成本。(3)背部具有P-N結(jié),可以作為雙面電池。(4)背部存在的P-N結(jié)可以起到場鈍化的效果,增加少子壽命,對(duì)提高電池效率具有有益的效果。
【附圖說明】
[0007]圖1為本發(fā)明方法制備的太陽能電池背部結(jié)構(gòu)示意圖。
[0008]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說明。
【具體實(shí)施方式】
[0009]實(shí)施例1:一種用于提高電池效率的背結(jié)方法,P型硅完成制絨后,利用雙面擴(kuò)散在P型硅的正反兩面制備N型層,去除邊結(jié)之后利用PECVD技術(shù)在雙面生長SiNx薄膜,然后利用激光在電池背面開槽形成鋁背場,所述背面開槽處為P型,未開槽處為N型,即形成P-N結(jié)。開槽后再進(jìn)行絲網(wǎng)印刷,燒結(jié)測試。所述開槽深度為600 nm,開槽寬度為50um。所制備的太陽能電池背部結(jié)構(gòu)如圖1所示,它包括P型硅1,N型層2,SiNx薄膜3,鋁背場4和槽5。
[0010]實(shí)施例2:所述開槽深度為650 nm,開槽寬度為lOOum。其它與實(shí)施例1相同。
[0011]實(shí)施例3:所述開槽深度為700 nm,開槽寬度為150um。其它與實(shí)施例1相同。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于提高電池效率的背結(jié)方法,其特征在于:利用雙面擴(kuò)散在P型硅的正反兩面制備N型層,去除邊結(jié)之后利用PECVD技術(shù)在雙面生長SiNx薄膜,然后利用激光在電池背面開槽形成鋁背場,所述背面開槽處為P型,未開槽處為N型,即形成P-N結(jié)。
2.如權(quán)利要求1所述的用于提高電池效率的背結(jié)方法,其特征在于:所述開槽深度為600?700 nm,開槽寬度為50?150 um。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種用于提高電池效率的背結(jié)方法,利用雙面擴(kuò)散在P型硅的正反兩面制備N型層,去除邊結(jié)之后利用PECVD技術(shù)在雙面生長SiNx薄膜,然后利用激光在電池背面開槽形成鋁背場,所述背面開槽處為P型,未開槽處為N型,即形成P-N結(jié)。本發(fā)明可以大大增加長波的吸收和利用,且可降低硅片的厚度,從而節(jié)約了成本,提高了效率,該方法可適合于大規(guī)模生產(chǎn)。
【IPC分類】H01L31-18
【公開號(hào)】CN104681666
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510066216
【發(fā)明人】郝彥磊, 蔣方丹, 金浩, 陳康平
【申請(qǐng)人】浙江晶科能源有限公司, 晶科能源有限公司
【公開日】2015年6月3日
【申請(qǐng)日】2015年2月9日