的第一曲線、以及與上述第一曲線對置 并與上述第一直線以及上述第二直線連續(xù)的第二曲線。
[0082] 在這樣的面發(fā)光激光器中，在第一直線以及第二直線與第一曲線連續(xù)的位置，與 第一曲線為直線形狀的情況相比，應(yīng)力不集中。因此，在該位置不容易產(chǎn)生裂縫。另外，由 于相同的理由，在第一直線以及第二直線與第二曲線連續(xù)的位置不容易產(chǎn)生裂縫。
[0083] 在本發(fā)明的面發(fā)光激光器中，
[0084] 也可以在上述俯視時，上述第一形變賦予部與上述第一曲線從上述共振部觀察位 于同一側(cè)，
[0085] 在上述俯視時，將上述第一直線與上述第一曲線連接的端作為第一端，并將上述 第二直線與上述第一曲線連接的端作為第二端的情況下，畫出通過第一端與第二端的第一 虛擬直線時，上述第一形變賦予部的端部從上述第一虛擬直線觀察位于上述共振部側(cè)。
[0086] 在這樣的面發(fā)光激光器中，即使假設(shè)在第一直線以及第二直線與第一曲線連續(xù)的 位置產(chǎn)生了裂縫，第一形變賦予部的端部與該位置相比也位于內(nèi)側(cè)亦即第三部分側(cè)，所以 能夠抑制該裂縫到達第一形變賦予部。因此，能夠提高針對層疊體的保護性能。
[0087] 在本發(fā)明的面發(fā)光激光器中，
[0088] 也可以上述層疊體還包含被設(shè)置在上述第一反射鏡層與上述第二反射鏡層之間 的電流狹窄層、包含與上述第一反射鏡層連續(xù)而設(shè)置的多個氧化層的第一區(qū)域、以及包含 與上述第二反射鏡層連續(xù)而設(shè)置的多個氧化層的第二區(qū)域，
[0089] 在上述俯視時，由上述層疊體的上述第一形變賦予部的上述第一區(qū)域和上述第二 區(qū)域構(gòu)成氧化區(qū)域，
[0090] 在上述俯視時，將上述氧化區(qū)域的寬度設(shè)為W1，并將上述第一形變賦予部的上述 第二反射鏡層的上表面的寬度設(shè)為W2時，W2/W1 < 3. 3。
[0091] 在這樣的面發(fā)光激光器中，通過氧化區(qū)域能夠使活性層產(chǎn)生較大的形變，能夠使 激光的偏振方向穩(wěn)定（詳細后述）。
[0092] 在本發(fā)明的面發(fā)光激光器中，
[0093] 也可以 W2/W1 彡 2. 2。
[0094] 在這樣的面發(fā)光激光器中，能夠進一步使激光的偏振方向穩(wěn)定。
[0095] 在本發(fā)明的面發(fā)光激光器中，
[0096] 也可以 1. 3 彡 W2/W1。
[0097] 在這樣的面發(fā)光激光器中，能夠進一步使激光的偏振方向穩(wěn)定。
[0098] 在本發(fā)明的面發(fā)光激光器中，
[0099] 也可以在上述俯視時，在上述第一形變賦予部上畫出與上述第一方向正交的第二 虛擬直線的情況下，上述第二反射鏡層的上述上表面的寬度亦即W2位于上述第二虛擬直 線上。
[0100] 在這樣的面發(fā)光激光器中，能夠使激光的偏振方向穩(wěn)定。
[0101] 在本發(fā)明的面發(fā)光激光器中，
[0102] 也可以在上述俯視時，上述氧化區(qū)域的第一部分與第二部分以夾著上述第二反射 鏡層的上述上表面的方式存在于與上述第二虛擬直線重疊的位置，
[0103] 上述氧化區(qū)域的寬度亦即W1是上述氧化區(qū)域的上述第一部分的寬度，
[0104] 上述氧化區(qū)域的寬度亦即W1位于上述第二虛擬直線上。
[0105] 在這樣的面發(fā)光激光器中，能夠使激光的偏振方向穩(wěn)定。
[0106] 在本發(fā)明的面發(fā)光激光器中，
[0107] 也可以上述層疊體還包含被設(shè)置在上述第一反射鏡層與上述第二反射鏡層之間 的電流狹窄層、包含與上述第一反射鏡層連續(xù)而設(shè)置的多個氧化層的第一區(qū)域、以及與包 含上述第二反射鏡層連續(xù)而設(shè)置的多個氧化層的第二區(qū)域，
[0108] 在剖視時，上述第一區(qū)域的多個氧化層中、最下層的氧化層具有對置于和上述第 一形變賦予部的上述第一反射鏡層連接的端的第一端，
[0109] 在上述剖視時，上述第二區(qū)域的多個氧化層中、最上層的氧化層具有與上述第一 形變賦予部的上述第二反射鏡層連接的第二端，
[0110] 在上述俯視時，將從上述第一端到上述第二端的寬度設(shè)為W1，并將上述第一形變 賦予部的上述第二反射鏡層的上表面的寬度設(shè)為W2時，W2/W1彡3. 3。
[0111] 在這樣的面發(fā)光激光器中，通過氧化區(qū)域能夠使活性層產(chǎn)生較大的形變，能夠使 激光的偏振方向穩(wěn)定（詳細后述）。
[0112] 在本發(fā)明的面發(fā)光激光器中，
[0113] 也可以 W2/W1 彡 2. 2。
[0114] 在這樣的面發(fā)光激光器中，能夠進一步使激光的偏振方向穩(wěn)定。
[0115] 在本發(fā)明的面發(fā)光激光器中，
[0116] 也可以 1. 3 彡 W2/W1。
[0117] 在這樣的面發(fā)光激光器中，能夠進一步使激光的偏振方向穩(wěn)定。
[0118] 在本發(fā)明的面發(fā)光激光器中，
[0119] 也可以在上述俯視時，在上述第一形變賦予部上畫出與上述第一方向正交的第二 虛擬直線的情況下，上述第二反射鏡層的上表面的寬度亦即W2位于上述第二虛擬直線上。
[0120] 在這樣的面發(fā)光激光器中，能夠使激光的偏振方向穩(wěn)定。
[0121] 在本發(fā)明的面發(fā)光激光器中，
[0122] 也可以在上述剖視時，上述第一區(qū)域的第一部分與第二部分以夾著上述層疊體的 上述第一形變賦予部的上述第一反射鏡層的方式存在，
[0123] 在上述剖視時，在上述第一區(qū)域的上述第一部分的上方上述第二區(qū)域的第一部 分、與在上述第一區(qū)域的上述第二部分的上方上述第二區(qū)域的第二部分以夾著上述層疊體 的上述第一形變賦予部的上述第二反射鏡層的方式存在，
[0124] 上述第一區(qū)域的上述第一部分具有上述最下層的氧化層，
[0125] 上述第二區(qū)域的上述第一部分具有上述最上層的氧化層，
[0126] 從上述最下層的氧化層的上述第一端到上述最上層的氧化層的上述第二端的寬 度亦即W1位于上述第二虛擬直線上。
[0127] 在這樣的面發(fā)光激光器中，能夠使激光的偏振方向穩(wěn)定。
[0128] 在本發(fā)明的面發(fā)光激光器中，
[0129] 也可以在上述俯視時，上述樹脂層是相對于通過上述共振部的中心的上述第二方 向的第三虛擬直線線對稱的形狀。
[0130] 在這樣的面發(fā)光激光器中，能夠使激光的偏振方向穩(wěn)定。
[0131] 在本發(fā)明的面發(fā)光激光器中，
[0132] 也可以在上述俯視時，上述樹脂層不是相對于通過上述共振部的中心的上述第二 方向的第三虛擬直線線對稱的形狀。
[0133] 在這樣的面發(fā)光激光器中，能夠使激光的偏振方向穩(wěn)定。
[0134] 在本發(fā)明的面發(fā)光激光器中，
[0135] 也可以上述樹脂層的材質(zhì)為聚酰亞胺。
[0136] 在這樣的面發(fā)光激光器中，樹脂層能夠賦予共振部（第三部分）較大的應(yīng)力。因 此，能夠使激光的偏振方向穩(wěn)定。
[0137] 本發(fā)明的原子振蕩器包含本發(fā)明的面發(fā)光激光器。
[0138] 在這樣的原子振蕩器中，包含本發(fā)明的面發(fā)光激光器，所以例如，能夠經(jīng)由入/4 板，向氣體電池穩(wěn)定地照射圓偏振光的光，能夠提高原子振蕩器的頻率穩(wěn)定性。
【附圖說明】
[0139] 圖1是示意地表示第一實施方式的面發(fā)光激光器的俯視圖。
[0140] 圖2是示意地表示第一實施方式的面發(fā)光激光器的剖視圖。
[0141] 圖3是示意地表示第一實施方式的面發(fā)光激光器的俯視圖。
[0142] 圖4是示意地表示第一實施方式的面發(fā)光激光器的剖視圖。
[0143] 圖5是示意地表示第一實施方式的面發(fā)光激光器的俯視圖。
[0144] 圖6是示意地表示第一實施方式的面發(fā)光激光器的制造工序的剖視圖。
[0145] 圖7是示意地表示第一實施方式的面發(fā)光激光器的制造工序的剖視圖。
[0146] 圖8是示意地表示第一實施方式的面發(fā)光激光器的制造工序的剖視圖。
[0147] 圖9是示意地表示第一實施方式的面發(fā)光激光器的制造工序的剖視圖。
[0148] 圖10是不意地表不第一實驗例的面發(fā)光激光器Ml的俯視圖。
[0149] 圖11是不意地表不參考例的面發(fā)光激光器M2的俯視圖。
[0150] 圖12是不意地表不參考例的面發(fā)光激光器M3的俯視圖。
[0151] 圖13是不意地表不參考例的面發(fā)光激光器M4的俯視圖。
[0152] 圖14是表示第一實驗例的面發(fā)光激光器Ml的實驗結(jié)果的直方圖。
[0153] 圖15是表示參考例的面發(fā)光激光器M2的實驗結(jié)果的直方圖。
[0154] 圖16是表示參考例的面發(fā)光激光器M3的實驗結(jié)果的直方圖。
[0155] 圖17是表示參考例的面發(fā)光激光器M4的實驗結(jié)果的直方圖。
[0156] 圖18是第二實驗例所使用的面發(fā)光激光器的照片。
[0157] 圖19是第二實驗例所使用的面發(fā)光激光器的照片。
[0158] 圖20是第二實驗例所使用的面發(fā)光激光器的照片。
[0159] 圖21是第二實驗例所使用的面發(fā)光激光器的照片。
[0160] 圖22是表示合格品的面發(fā)光激光器的電流與輸出的關(guān)系的圖。
[0161] 圖23是表示NG品的面發(fā)光激光器的電流與輸出的關(guān)系的圖。
[0162] 圖24是示意地表示第一實施方式的第一變形例的面發(fā)光激光器的俯視圖。
[0163] 圖25是不意地表不本實驗例的面發(fā)光激光器M5的俯視圖。
[0164] 圖26是表示本實驗例的面發(fā)光激光器M5的實驗結(jié)果的直方圖。
[0165] 圖27是示意地表示第一實施方式的第二變形例的面發(fā)光激光器的剖視圖。
[0166] 圖28是示意地表示第二實施方式的面發(fā)光激光器的俯視圖。
[0167] 圖29是示意地表示第二實施方式的面發(fā)光激光器的俯視圖。
[0168] 圖30是示意地表示第二實施方式的面發(fā)光激光器的變形例的俯視圖。
[0169] 圖31是第三實施方式的原子振蕩器的功能框圖。
[0170] 圖32是表示共振光的光譜的圖。
[0171] 圖33是表示堿金屬原子的A型三能級模型與第一邊帶波以及第二邊帶波的關(guān)系 的圖。
【具體實施方式】
[0172] 以下，使用附圖對本發(fā)明的優(yōu)選實施方式進行詳細的說明。此外，以下所說明的實 施方式并未不恰當(dāng)?shù)叵薅ㄒ蟊Ｗo的范圍所記載的本發(fā)明的內(nèi)容。另外，并非以下所說明 的構(gòu)成的全部均為本發(fā)明的必須構(gòu)成要件。
[0173] 1?第一實施方式
[0174] 1.1.面發(fā)光激光器
[0175] 首先，參照附圖對第一實施方式的面發(fā)光激光器進行說明。圖1是示意地表示第 一實施方式的面發(fā)光激光器100的俯視圖。圖2是不意地表不第一實施方式的面發(fā)光激光 器100的圖1中的II一II線剖視圖。圖3是示意地表示第一實施方式的面發(fā)光激光器 100的俯視圖。圖4是示意地表示第一實施方式的面發(fā)光激光器100的圖3中的IV-IV 線剖視圖。
[0176] 此外，為了方便，在圖2中，簡化圖示了層疊體2。另外，在圖3中，省略面發(fā)光激光 器100的層疊體2以外的部件的圖示。另外，在圖1~圖4中，圖示X軸、Y軸、以及Z軸， 作為相互正交的三個軸。