一種基座支撐結(jié)構(gòu)以及腔室的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體設(shè)備制造領(lǐng)域，尤其涉及一種基座支撐結(jié)構(gòu)以及腔室。
【背景技術(shù)】
[0002]在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，進行各工藝步驟的腔室中經(jīng)常需要通過基座來承載晶片，同時，在特定的工藝腔室中還可以通過基座對晶片進行精確的溫度控制。通常，通過一個貫穿腔室底壁的基座支撐結(jié)構(gòu)對基座進行支撐，由于基座直接承載晶片，因此，支撐基座時的水平度將影響到一些工藝步驟的質(zhì)量，例如，在氣相沉積的工藝步驟中，如果基座的水平度不佳，則會影響到在晶片上所沉積的薄膜的均勻性。
[0003]現(xiàn)有的基座支撐結(jié)構(gòu)如圖1所示，波紋管3和波紋管底座4固定連接，波紋管底座3通過螺釘8與腔室主體底壁I固定連接，軸承6通過螺釘9固定在墊環(huán)5上，墊環(huán)5通過螺釘7固定在腔室主體底壁I的下表面上，升降桿2用于與基座連接以固定基座且升降桿2能夠穿過波紋管底座4和軸承6豎直移動。
[0004]在上述現(xiàn)有的基座支撐結(jié)構(gòu)中，由于波紋管底座和軸承分別固定在腔室底壁上，難以精確保證波紋管底座和軸承之間的同軸度，若波紋管和軸承之間的同軸度存在偏差，則會導(dǎo)致升降桿的豎直度存在偏差，從而會進一步影響基座的水平度，同時，升降桿的豎直度偏差容易造成與波紋管的刮擦，導(dǎo)致波紋管的損壞。上述基座支撐結(jié)構(gòu)中，固定波紋管底座的螺釘需要在腔室內(nèi)安裝至腔室底壁上，而腔室內(nèi)空間較小，不便于進行安裝操作。此夕卜，在半導(dǎo)體的制造設(shè)備中，腔室的加工較為繁瑣，且加工工期較長，上述基座支撐結(jié)構(gòu)需要在腔室底壁上加工多個螺紋孔，進一步增加了腔室加工的復(fù)雜度，且上述基座支撐結(jié)構(gòu)安裝拆卸較為不便，同時，若有螺紋孔失效，則可能導(dǎo)致整個腔室無法使用，需要重新加工腔室,增加了成本。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]有鑒于此，本發(fā)明的目的在于提供一種基座支撐結(jié)構(gòu)以及腔室，以能夠較好的保證基座支撐結(jié)構(gòu)中升降桿的豎直度，并且使得基座支撐結(jié)構(gòu)便于安裝或拆卸。
[0006]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種基座支撐結(jié)構(gòu)，用于支撐腔室中的基座，所述基座支撐結(jié)構(gòu)包括底座、升降桿、軸承部件，所述底座包括上部和形成在所述上部下端面的下部，所述底座的上部的外邊緣延伸超過所述底座的下部的外邊緣，所述軸承部件和所述底座的下部連接，所述升降桿穿過所述軸承部件和所述底座，以和所述基座相連。
[0007]優(yōu)選地，還包括卡盤，所述卡盤環(huán)繞所述軸承部件設(shè)置，且所述卡盤通過緊固件與所述底座的下部固定連接。
[0008]優(yōu)選地，所述軸承部件包括軸承主體和軸承套，所述軸承主體與所述底座的下部連接，所述軸承套設(shè)置在所述軸承主體外，并通過緊固件與所述底座的下部固定連接。
[0009]優(yōu)選地，所述底座上設(shè)置有貫穿所述底座的通孔，所述軸承主體通過所述通孔與所述底座的下部過盈連接。
[0010]優(yōu)選地，所述軸承部件還包括彈性擋圈，所述彈性擋圈設(shè)置在所述軸承套內(nèi)壁上并位于所述軸承主體下方，用于固定所述軸承主體。
[0011]優(yōu)選地，所述升降桿的頂端固定設(shè)置有上板，所述上板能夠與所述基座連接。
[0012]優(yōu)選地，所述基座支撐結(jié)構(gòu)還包括波紋管，所述波紋管設(shè)置在所述升降桿外，且所述波紋管的上部與所述上板固定連接，所述波紋管的下部與所述底座的上部固定連接。
[0013]相應(yīng)地，本發(fā)明還提供一種腔室，所述腔室包括腔室主體，所述腔室還包括上述本發(fā)明所提供的基座支撐結(jié)構(gòu)，所述腔室主體的底壁上設(shè)置有固定孔，所述底座的下部設(shè)置在所述固定孔中，所述底座的上部支撐在所述腔室主體的底壁的上表面上。
[0014]優(yōu)選地，所述基座支撐結(jié)構(gòu)包括所述卡盤，所述卡盤與所述底座的下部固定連接，使所述卡盤和所述底座的下部卡合在所述固定孔中，以固定所述基座支撐結(jié)構(gòu)。
[0015]優(yōu)選地，所述底座的上部與所述腔室主體的底壁的上表面之間設(shè)置有密封圈。
[0016]優(yōu)選地，所述底座的下部與所述固定孔側(cè)壁的內(nèi)表面之間設(shè)置有導(dǎo)電線圈。
[0017]上述為對本發(fā)明所提供的基座支撐結(jié)構(gòu)和腔室進行的描述，可以看出，本發(fā)明通過將軸承部件與底座相連，能夠更好地保證軸承部件與底座之間的同軸度，同時，與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明中基座支撐結(jié)構(gòu)的安裝更加便捷，并且，本發(fā)明僅需在腔室底壁上加工一個固定孔而無需加工螺紋孔，避免了現(xiàn)有技術(shù)中可能導(dǎo)致的腔室底壁螺紋孔失效而需要重新加工腔室的問題。
【附圖說明】
[0018]附圖是用來提供對本發(fā)明的進一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與下面的【具體實施方式】一起用于解釋本發(fā)明，但并不構(gòu)成對本發(fā)明的限制。在附圖中:
[0019]圖1為現(xiàn)有的基座支撐結(jié)構(gòu)不例圖；
[0020]圖2為本發(fā)明所提供的基座支撐結(jié)構(gòu)與腔室底壁連接示例圖；
[0021]圖3為本發(fā)明所提供的基座支撐結(jié)構(gòu)示例圖；
[0022]圖4為本發(fā)明所提供的卡盤示例圖。
[0023]附圖標記說明
[0024]1、50_腔室主體底壁；2、20_升降桿；3、22_波紋管；4_波紋管底座；5-墊環(huán)；6-軸承；7、8、9_螺釘；10_底座；11_底座上部；12_底座下部；13_密封圈；14_導(dǎo)電線圈；21_上板；30_軸承部件；31-軸承主體；32_軸承套；33_彈性擋圈；40_卡盤；41_卡盤上部；42-卡盤下部；43_第一安裝孔；60_基座。
【具體實施方式】
[0025]以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的【具體實施方式】進行詳細說明。應(yīng)當理解的是，此處所描述的【具體實施方式】僅用于說明和解釋本發(fā)明，并不用于限制本發(fā)明。
[0026]作為本發(fā)明的一個方面，提供一種基座支撐結(jié)構(gòu)，用于支撐腔室中的基座，如圖2至圖4所示，該基座支撐結(jié)構(gòu)可以包括底座10、升降桿20、軸承部件30，其中，底座10可以包括底座上部11和形成在底座上部11下端面的底座下部12，且底座上部11的外邊緣延伸超過底座下部12的外邊緣，軸承部件30可以和底座下部12連接，升降桿20可以穿過軸承部件30和底座10，以和基座60連接。
[0027]上述結(jié)構(gòu)中，基座支撐結(jié)構(gòu)的底座10和軸承部件30直接相連，與現(xiàn)有技術(shù)相比，能夠較好的保證底座10和軸承部件30之間的同軸度。并且，在上述結(jié)構(gòu)中，底座上部11的外邊緣延伸超過底座下部12的外邊緣(例如，當?shù)鬃捎铆h(huán)形結(jié)構(gòu)時，底座上部11的外徑大于底座下部12的外徑)，這樣，在將該基座支撐結(jié)構(gòu)用于支撐腔室中的基座60時，可以使得底座下部12能夠設(shè)置在腔室底壁的固定孔中，而底座上部11能夠支撐在固定孔周圍的腔室底壁的上表面上，以穩(wěn)定整個基座支撐結(jié)構(gòu)，同時，可以通過軸承部件30與底座下部12的配合以使得軸承部件30和底座下部12能夠卡合在腔室底壁的固定孔中，以使整個基座支撐結(jié)構(gòu)更加穩(wěn)固。
[0028]此外，與現(xiàn)有技術(shù)相比，采用上述結(jié)構(gòu)也便于在腔室中進行安裝，具體地，可以將升降桿20與基座60連接后，與底座10 —起從腔室內(nèi)安裝在腔室底壁的固定孔上，之后，可以將軸承部件30在腔室外由下至上安裝在固定孔中，并使軸承部件30和底座下部12連接，使得軸承部件30和底座下部12卡合在固定孔中以穩(wěn)定基座支撐結(jié)構(gòu)，最后可以將升降桿與外部升降裝置連接以能夠支撐基座60。軸承部件30可以通過緊固件從下至上與底座下部12連接，與現(xiàn)有技術(shù)相比，采用上述結(jié)構(gòu)，無需在腔室內(nèi)安裝螺釘，減少了安裝復(fù)雜度。
[0029]更進一步地，該基座支撐結(jié)構(gòu)還可以包括卡盤40，該卡盤40可以環(huán)繞軸承部件30設(shè)置，且該卡盤40可以通過緊固件與底座下部12固定連接。
[0030]S卩，作為另一種實施方式，同時，也為了能夠使的上述基座支撐結(jié)構(gòu)在支撐基座60時更加穩(wěn)固，可以設(shè)置卡盤40，并且該卡盤40與底座下部12連接后，二者相互配合后能夠使卡盤40與底座下部12卡合在固定孔中以穩(wěn)固基座支撐結(jié)構(gòu)。具體地，可以如圖4所示，卡盤40可以采用與底座10類似的結(jié)構(gòu)，即，卡盤40可以包括卡盤上部41和卡盤下部42，其中，卡盤下部42的外邊緣延伸超過卡盤上部41的外邊緣，這樣，卡盤上部41能夠設(shè)置在腔室底壁的固定孔中并與底座下部12連接，并且和底座下部12卡合在固定孔中，而卡盤下部42能夠支撐在固定孔周圍的腔室底壁的下表面上，以使整個基座支撐結(jié)構(gòu)更加穩(wěn)固。
[0031]具體地，卡盤40上可以設(shè)置有第一安裝孔43，底座下部12上可以設(shè)置有第二安裝孔，卡盤40可以通過第一安裝孔43和第二安裝孔并利用緊固件與底座的下部固定連接，可以如圖4所示，第一安裝孔43可以設(shè)置在卡盤上部41上。
[0032]采用上述結(jié)構(gòu)，無需對軸承部件30做特殊的加工以將軸承部件30和底座下部12卡合在固定孔中，而能夠通過單獨設(shè)置的卡盤40來和底座下部12卡合在固定孔中。實際安裝時，可以將底座10、軸承部件30、升降桿20和基座60按對應(yīng)關(guān)系連接后，從腔室內(nèi)安裝在固定孔中，之后在腔室外由下至