一種晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉一種晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝，屬于太陽能電池制造技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002]太陽能是人類取之不盡用之不竭的可再生能源，也是清潔能源，不產(chǎn)生任何的環(huán)境污染。在太陽能的有效利用當中；大陽能光電利用是近些年來發(fā)展最快，最具活力的研宄領(lǐng)域，是其中最受矚目的項目之一。為此，人們研制和開發(fā)了太陽能電池。制作太陽能電池主要是以半導(dǎo)體材料為基礎(chǔ)，其工作原理是利用光電材料吸收光能后發(fā)生光電于轉(zhuǎn)換反應(yīng)，根據(jù)所用材料的不同。
[0003]太陽能電池轉(zhuǎn)換效率的高低是評價一塊太陽能電池的重要指標。而太陽能電池轉(zhuǎn)換效率的高低不僅與太陽能電池的材料、結(jié)構(gòu)有關(guān)，還與太陽能電池的生產(chǎn)工藝有重要的聯(lián)系。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于提供一種晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝，它工藝流程簡單、合理，生產(chǎn)效率高，能有效提高太陽能電池轉(zhuǎn)換效率。
[0005]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題采取以下技術(shù)方案來實現(xiàn):
一種晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝，它包括以下幾個步驟:
(1)清洗、制絨:用化學堿或酸腐蝕硅片，以去除硅片表面機械損傷層，并進行硅片表面織構(gòu)化，形成金字塔結(jié)構(gòu)的絨面從而減少光反射；
(2)擴散、刻蝕:先將清洗后的硅片使用離心甩干機進行甩干，再將甩干后的硅片放置在擴散設(shè)備上進行擴散，最后用腐蝕磷硅玻璃和等離子刻蝕邊緣電流通路；
(3)檢測:對擴散、刻蝕后的硅片進行檢測，看是否滿足工藝要求，剔出不合格產(chǎn)品；
(4)減反射膜沉積:采用等離子體增強型化學氣相沉積技術(shù)在電池表面沉積一層氮化硅減反射膜，不僅可以減少光的反射，而且有大量的氫原子進入，因此也起到了很好的表面鈍化和體鈍化的效果；
(5)印刷、燒結(jié):為了從電池上獲取電流，一般在電池的正、背兩面制作電極。正面柵網(wǎng)電極的形式和厚度要求一方面要有高的透過率，另一方面要保證柵網(wǎng)電極有一個盡可能低的接觸電阻。背面做成BSF結(jié)構(gòu)，以減小表面電子復(fù)合，印刷后要進行高溫燒結(jié)；
(6)檢測分選:為了保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性，通常要對每個電池片測試，并按電流和功率大小進行分類，也可根據(jù)電池效率進行分級；
(7)包裝入庫:將分選好的電池片一部分可以進行包裝，入庫。
[0006]上述步驟(2)中對硅片進行離心甩干，是在真空條件下進行的。
[0007]上述步驟(2)中擴散設(shè)備工作溫度為800-900°C。
[0008]本發(fā)明的有益效果是:本發(fā)明工藝流程簡單、合理，能有效提高產(chǎn)品質(zhì)量及成品率，節(jié)約資源；降低了對制作太陽能電池材料的要求，提高了電池短路電流和開路電壓。
【附圖說明】
[0009]圖1為本發(fā)明工藝流程圖。
【具體實施方式】
[0010]為了對本發(fā)明的技術(shù)手段、創(chuàng)作特征、達成目的與功效易于明白了解，下面結(jié)合具體圖示，進一步闡述本發(fā)明。
[0011]如圖1所示，一種晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝，它包括以下幾個步驟:
(1)清洗、制絨:用化學堿或酸腐蝕硅片，以去除硅片表面機械損傷層，并進行硅片表面織構(gòu)化，形成金字塔結(jié)構(gòu)的絨面從而減少光反射；
(2)擴散、刻蝕:先將清洗后的硅片使用離心甩干機進行甩干，再將甩干后的硅片放置在擴散設(shè)備上進行擴散，最后用腐蝕磷硅玻璃和等離子刻蝕邊緣電流通路；
(3)檢測:對擴散、刻蝕后的硅片進行檢測，看是否滿足工藝要求，剔出不合格產(chǎn)品；
(4)減反射膜沉積:采用等離子體增強型化學氣相沉積技術(shù)在電池表面沉積一層氮化硅減反射膜，不僅可以減少光的反射，而且有大量的氫原子進入，因此也起到了很好的表面鈍化和體鈍化的效果；
(5)印刷、燒結(jié):為了從電池上獲取電流，一般在電池的正、背兩面制作電極。正面柵網(wǎng)電極的形式和厚度要求一方面要有高的透過率，另一方面要保證柵網(wǎng)電極有一個盡可能低的接觸電阻。背面做成BSF結(jié)構(gòu)，以減小表面電子復(fù)合，印刷后要進行高溫燒結(jié)；
(6)檢測分選:為了保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性，通常要對每個電池片測試，并按電流和功率大小進行分類，也可根據(jù)電池效率進行分級；
(7)包裝入庫:將分選好的電池片一部分可以進行包裝，入庫。
[0012]上述步驟(2)中對硅片進行離心甩干，是在真空條件下進行的。
[0013]上述步驟(2)中擴散設(shè)備工作溫度為800-900°C。
[0014]本發(fā)明工藝流程簡單、合理，能有效提高產(chǎn)品質(zhì)量及成品率，節(jié)約資源；降低了對制作太陽能電池材料的要求，提高了電池短路電流和開路電壓。
[0015]以上顯示和描述了本發(fā)明的基本原理和主要特征和本發(fā)明的優(yōu)點。本行業(yè)的技術(shù)人員應(yīng)該了解，本發(fā)明不受上述實施例的限制，在不脫離本發(fā)明精神和范圍的前提下，本發(fā)明還會有各種變化和改進，這些變化和改進都落入要求保護的本發(fā)明范圍內(nèi)。本發(fā)明要求保護范圍由所附的權(quán)利要求書及其等效物界定。
【主權(quán)項】
1.一種晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝，其特征在于:它包括以下幾個步驟:(1)清洗、制絨:用化學堿或酸腐蝕硅片，以去除硅片表面機械損傷層，并進行硅片表面織構(gòu)化，形成金字塔結(jié)構(gòu)的絨面從而減少光反射；(2)擴散、刻蝕:先將清洗后的硅片使用離心甩干機進行甩干，再將甩干后的硅片放置在擴散設(shè)備上進行擴散，最后用腐蝕磷硅玻璃和等離子刻蝕邊緣電流通路；(3)檢測:對擴散、刻蝕后的硅片進行檢測，看是否滿足工藝要求，剔出不合格產(chǎn)品；(4)減反射膜沉積:采用等離子體增強型化學氣相沉積技術(shù)在電池表面沉積一層氮化硅減反射膜，不僅可以減少光的反射，而且有大量的氫原子進入，因此也起到了很好的表面鈍化和體鈍化的效果；(5)印刷、燒結(jié):為了從電池上獲取電流，一般在電池的正、背兩面制作電極，正面柵網(wǎng)電極的形式和厚度要求一方面要有高的透過率，另一方面要保證柵網(wǎng)電極有一個盡可能低的接觸電阻，背面做成BSF結(jié)構(gòu)，以減小表面電子復(fù)合，印刷后要進行高溫燒結(jié)；(6)檢測分選:為了保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性，通常要對每個電池片測試，并按電流和功率大小進行分類，也可根據(jù)電池效率進行分級；(7)包裝入庫:將分選好的電池片一部分可以進行包裝、入庫。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝，其特征在于:所述步驟(2)中對硅片進行離心甩干，是在真空條件下進行的。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝，其特征在于:所述步驟(2)中擴散設(shè)備工作溫度為800-900 °C。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種晶體硅太陽能電池生產(chǎn)工藝，它包括以下幾個步驟：（1）清洗、制絨；（2）擴散、刻蝕；（3）檢測；（4）減反射膜沉積；（5）印刷、燒結(jié)；（6）檢測分選；（7）包裝入庫；為了保證產(chǎn)品質(zhì)量的一致性，通常要對每個電池片測試，并按電流和功率大小進行分類，也可根據(jù)電池效率進行分級；對硅片進行離心甩干，是在真空條件下進行的；擴散設(shè)備工作溫度為800-900℃。本發(fā)明工藝流程簡單、合理，能有效提高產(chǎn)品質(zhì)量及成品率，節(jié)約資源；降低了對制作太陽能電池材料的要求，提高了電池短路電流和開路電壓。
【IPC分類】H01L31/18
【公開號】CN104900761
【申請?zhí)枴緾N201510287576
【發(fā)明人】楊道祥, 楊波, 李偉業(yè), 王娜
【申請人】安徽旭能光伏電力有限公司
【公開日】2015年9月9日
【申請日】2015年5月29日