凹槽104。在一些實(shí)施例中，凹槽104從鈍化件103的頂面103a向著導(dǎo)電互連件102的上表面102a延伸。在一些實(shí)施例中，凹槽104的底部與導(dǎo)電互連件102的暴露部分102b形成接觸面。在一些實(shí)施例中，暴露部分102b配置為接收導(dǎo)電結(jié)構(gòu)或材料。
[0049]在一些實(shí)施例中，鈍化件103包括復(fù)合結(jié)構(gòu)。在一些實(shí)施例中，鈍化件層103包括介電材料，諸如旋涂玻璃(SOG)、氧化硅、氮氧化硅、氮化硅等。在一些實(shí)施例中，鈍化件103保護(hù)下面的層免受各種環(huán)境的污染。在一些實(shí)施例中，鈍化件103由包括聚酰亞胺材料的保護(hù)層覆蓋。在一些實(shí)施例中，保護(hù)層被圖案化為共形于鈍化件103和凹槽104。
[0050]在一些實(shí)施例中，凸塊下冶金(UBM)焊盤105設(shè)置在鈍化件103上方并且與導(dǎo)電互連件102的暴露部分102b接觸。在一些實(shí)施例中，UBM焊盤105共形于鈍化件103的頂面103a、凹槽104的側(cè)壁104a和導(dǎo)電互連件102的暴露部分102b。
[0051]在一些實(shí)施例中，UBM焊盤105是冶金層或位于鈍化件103之上的冶金堆疊膜。在一些實(shí)施例中，UBM焊盤105包括金屬或金屬合金。UBM焊盤105包括銅或金等。在一些實(shí)施例中，UBM焊盤105配置為將襯底101的電路與襯底101外部的電路電連接。在一些實(shí)施例中，包括重分布層(RDL)以重新布線從導(dǎo)電互連件102至UBM焊盤105的電路的路徑。
[0052]在一些實(shí)施例中，半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)100包括設(shè)置在UBM焊盤105上方的導(dǎo)體106。在一些實(shí)施例中，導(dǎo)體106從UBM焊盤105的頂面105a突出和延伸。在一些實(shí)施例中，導(dǎo)體106包括導(dǎo)電材料，諸如銅、金、镲、銷等
[0053]在一些實(shí)施例中，導(dǎo)體106包括頂面106a。在一些實(shí)施例中，導(dǎo)體106的頂面106a在導(dǎo)體106的俯視圖中是各種截面形狀。在一些實(shí)施例中，頂面106a為圓形、四邊形或多邊形形狀。在一些實(shí)施例中，頂面106a基本上平行于襯底101的頂面101a。在一些實(shí)施例中，頂面106a配置為接收焊料材料以與另一襯底電連接。
[0054]在一些實(shí)施例中，導(dǎo)體106具有從UBM焊盤105至頂面106a的高度。在一些實(shí)施例中，高度H導(dǎo)體為約10 μ m至約30 μ m。在一些實(shí)施例中，高度H導(dǎo)體大于約15 μ m。
[0055]在一些實(shí)施例中，導(dǎo)體106包括第一傾斜外表面106b。在一些實(shí)施例中，第一傾斜外表面106b從頂面106a延伸。在一些實(shí)施例中，第一傾斜外表面106b圍繞導(dǎo)體106的中心軸旋轉(zhuǎn)。
[0056]在一些實(shí)施例中，第一傾斜外表面106b包括第一傾斜度α。在一些實(shí)施例中，第一傾斜外表面106b以第一傾斜度α從第一傾斜外表面106b的端部106d至導(dǎo)體106的頂面106a逐漸變窄。在一些實(shí)施例中，第一傾斜度α是第一傾斜外表面106b和水平軸107之間的角度。在一些實(shí)施例中，第一傾斜度α基本上小于90°，從而使得鄰近導(dǎo)體106的底部的寬度Wfi基本上大于鄰近導(dǎo)體106的頂面106a的寬度Wa。在一些實(shí)施例中，寬度W底比寬度W頂至少大約3 U n1
[0057]在一些實(shí)施例中，第一傾斜外表面106b是以基本上等于90°的第一傾斜度α從頂面106a向著UBM焊盤105延伸的垂直表面，從而使得寬度Wa與寬度Wfi基本上相同。在一些實(shí)施例中，第一傾斜外表面106b基本上垂直于頂面106a。
[0058]在一些實(shí)施例中，導(dǎo)體106包括第二傾斜外表面106c。在一些實(shí)施例中，第二傾斜外表面106c從第一傾斜外表面106b的端部106d向UBM焊盤105延伸。在一些實(shí)施例中，第二傾斜外表面106c圍繞導(dǎo)體106的中心軸旋轉(zhuǎn)。
[0059]在一些實(shí)施例中，第二傾斜外表面106c包括第二傾斜度Θ。在一些實(shí)施例中，第二傾斜外表面106c以第二傾斜度Θ從UBM焊盤105至第一傾斜外表面106c的端部106d逐漸邊窄。
[0060]在一些實(shí)施例中，第二傾斜度Θ是第二傾斜外表面106c和UBM焊盤105之間的角度。在一些實(shí)施例中，第二傾斜度Θ基本上小于90°，從而使得鄰近UBM焊盤105的第二傾斜外表面106c的寬度W1^基本上大于寬度Wfi，并且第二傾斜外表面106c以寬度W突a和高度從第一傾斜外表面106b突出。在一些實(shí)施例中，寬度是導(dǎo)體106的最長寬度。在一些實(shí)施例中，寬度基本上大于或等于I μ m。在一些實(shí)施例中，高度基本上大于或等于I μπι。
[0061]如圖1Α，在一些實(shí)施例中，半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)100’包括具有直角的第二傾斜度Θ的第二傾斜外表面106c。在一些實(shí)施例中，第二傾斜外表面106c是以基本上等于90°的第二傾斜度Θ從UBM焊盤105延伸的垂直表面。在一些實(shí)施例中，第二傾斜外表面106c基本上垂直于UBM焊盤105。在一些實(shí)施例中，第二傾斜外表面106c以寬度和高度從第一傾斜外表面106b突出。在一些實(shí)施例中，寬度基本上大于或等于I μπι。在一些實(shí)施例中，高度H9itij基本上大于或等于I μ m。
[0062]回到圖1，第二傾斜度Θ與第一傾斜度α基本不同。在一些實(shí)施例中，第二傾斜度Θ基本上小于第一傾斜度α，從而使得第二傾斜外表面106c從第一傾斜外表面106b突出，并且鄰近UBM焊盤105的第二傾斜外表面106c的寬度W1^基本上大于寬度Wis。在一些實(shí)施例中，寬度是導(dǎo)體106的最長寬度。
[0063]圖2是根據(jù)本發(fā)明的各個實(shí)施例的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)200。半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)200包括襯底101、導(dǎo)電互連件102、鈍化件103和UBM焊盤105，其類似于如圖1和圖1A所示的結(jié)構(gòu)。在一些實(shí)施例中，半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)200與圖1的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)100不同之處在于，半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)200的第一傾斜外表面106b具有基本上大于90°的第一傾斜度α，從而使得鄰近導(dǎo)體106的底部的寬度Wfi基本上小于鄰近導(dǎo)體106的頂面106a的寬度W頂。
[0064]在一些實(shí)施例中，第二傾斜外表面106c具有基本上小于90°的第二傾斜度Θ，從而使得鄰近UBM焊盤105的第二傾斜外表面106c的寬度Wllft基本上大于寬度Wfi和寬度W頂，并且第二傾斜外表面106c以寬度和高度從第一傾斜外表面106b突出。在一些實(shí)施例中，寬度基本上大于或等于I μ m?在一些實(shí)施例中，高度基本上大于或等于 I μ m0
[0065]在一些實(shí)施例中，第二傾斜度Θ與第一傾斜度α基本不同。在一些實(shí)施例中，第二傾斜度Θ基本上小于第一傾斜度α，從而使得第二傾斜外表面106c從第一傾斜外表面106b突出。
[0066]圖3是根據(jù)本發(fā)明的各個實(shí)施例的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)300。半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)300包括襯底101。在一些實(shí)施例中，該半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)300還包括設(shè)置在襯底101的上表面1la上的多個導(dǎo)電互連件(102-1，102-2，102-3)。在一些實(shí)施例中，導(dǎo)電互連件(102-1，102-2，102-3)被鈍化件103部分覆蓋，從而每個導(dǎo)電互連件(102-1，102-2，102-3)具有從鈍化件103暴露的暴露部分。
[0067]在一些實(shí)施例中，半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)300包括分別設(shè)置在鈍化件103上方并且與導(dǎo)電互連件(102-1，102-2，102-3)的暴露部分接觸的多個UBM焊盤(105-1，105-2，105-3)。在一些實(shí)施例中，UBM焊盤(105-1，105-2，105-3)彼此電隔離。
[0068]在一些實(shí)施例中，半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)300包括分別設(shè)置在UBM焊盤(105_1，105-2,105-3)上的多個導(dǎo)體(106-1，106-2，106-3)。在一些實(shí)施例中，導(dǎo)體(106-1，106-2，106-3)具有如圖1所示的類似結(jié)構(gòu)。
[0069]在一些實(shí)施例中，導(dǎo)體106-1具有第一傾斜外表面106b_l和第二傾斜外表面106c-l。在一些實(shí)施例中，第二傾斜外表面106c-l包括第二傾斜度Θ I。在一些實(shí)施例中，第二傾斜外表面106c-l以第二傾斜度Θ從UBM焊盤105-1至第一傾斜外表面106b_l的端部106d逐漸變窄。
[0070]在一些實(shí)施例中，第二傾斜度Θ I是第二傾斜外表面106c-l和UBM焊盤105_1之間的角度。在一些實(shí)施例中，第二傾斜度Θ I基本上小于90°，從而使得第二傾斜外表面106c-l從第一傾斜外表面106b-l突出。
[0071]在一些實(shí)施例中，寬度W導(dǎo)體^基本上大于頂面106a_l的寬度W頂< 和鄰近導(dǎo)體106-1的底部的寬度在一些實(shí)施例中，第二傾斜外表面106c-l以寬度和高度從第一傾斜外表面106b-l突出。在一些實(shí)施例中，寬度W _ 基本上大于或等于I μ mo在一些實(shí)施例中，高度基本上大于或等于I μ mo
[0072]在一些實(shí)施例中，導(dǎo)體106-2包括以第二傾斜度Θ 2從第一傾斜外表面106b_2突出的第二傾斜外表面106c-2。在一些實(shí)施例中，第二傾斜度Θ 2與導(dǎo)體106-1的第二傾斜度Θ I基本上相同或不同。在一些實(shí)施例中，寬度1帛#_2基本上大于頂面106a-2的寬度W頂-2和鄰近導(dǎo)體106-2的底部的寬度W底_2。
[0073]在一些實(shí)施例中，第二傾斜外表面106c-2以寬度_2和高度_2從第一傾斜外表面106b-2突出。在一些實(shí)施例中，寬度_2和高度H ^ _2分別與寬度W _ 和高度
基本上相同或不同。在一些實(shí)施例中，寬度_2基本上大于或等于I μπι。在一些實(shí)施例中，高度_2基本上大于或等于I μ m?
[0074]在一些實(shí)施例中，導(dǎo)體106-3包括以第二傾斜度Θ 3從第一傾斜外表面106b_3突出的第二傾斜外表面106c-3。在一些實(shí)施例中，第二傾斜度Θ 3與導(dǎo)體106-2的第二傾斜度Θ 2基本上相同或不同。在一些實(shí)施例中，第二傾斜度Θ 3與導(dǎo)體106-1的第二傾斜度Θ I基本上相同或不同。在一些實(shí)施例中，寬度_3基本上大于頂面106a-3的寬度W頂_3和鄰近導(dǎo)體106-3的底部的寬度Wis _3。
[0075]在一些實(shí)施例中，第二傾斜外表面106c-3以寬度_3和高度_3從第一傾斜外表面106b-3突出。在一些實(shí)施例中，寬度_3和高度H ^ _3分別與寬度W _ 和高度
基本上相同或不同。在一些實(shí)施例中，寬度W _ _3和高度H _ _3分別與寬度W _ _2和高度_2基本上相同或不同。在一些實(shí)施例中，寬度_3基本上大于或等于I μπι。在一些實(shí)施例中，高度_3基本上大于或等于I μπι。
[0076]在一些實(shí)施例中，導(dǎo)體106-1的寬度W導(dǎo)體^，導(dǎo)體106-2的寬度W導(dǎo)體_2，以及導(dǎo)體106-3的寬度W神_3基本上彼此相同或不同。在一些實(shí)施例中，導(dǎo)體106-1的高度導(dǎo)體106-2的高度H11^2以及導(dǎo)體106-3的高度_3基本上彼此相同或不同。在一些實(shí)施例中，尚度H導(dǎo)彳本，尚度H導(dǎo)彳本_2以及導(dǎo)體106_3的尚度H導(dǎo)體_3分別大于約15 y m。
[0077]圖4是根據(jù)本發(fā)明的一些實(shí)施例的半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)400。半導(dǎo)體結(jié)構(gòu)400包括襯底101、導(dǎo)電互連件102、鈍化件103、UBM焊盤105、和導(dǎo)體106，其類似于如圖1的結(jié)構(gòu)。在一些實(shí)施例中，導(dǎo)電層108設(shè)置在導(dǎo)體106的頂面106a上方。在一些實(shí)施例中，導(dǎo)電層108包括金、銀、鉑或它們的組合。
[0078]在一些實(shí)施例中，將金屬間化合物(MC)層109設(shè)置在導(dǎo)電層108上方。在一些實(shí)施例中，IMC層109包括諸如銅的金屬和諸如錫或鉛的焊料材料。
[0079]在一些實(shí)施例中，焊料材料110設(shè)置在MC層109上。在一些實(shí)施例中，焊料材料110包括錫、鉛、高鉛材料、錫基焊料、無鉛焊料、錫-銀焊料、錫-銀-銅焊料或其他合適的導(dǎo)電材料。在一些實(shí)施例中