速調(diào)管電子槍除氣臺的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空電子學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種速調(diào)管電子槍除氣臺。
【背景技術(shù)】
[0002]電子槍是速調(diào)管最重要的部件之一，由陰極-熱子組件、聚焦極組件、陽極和陽極支撐筒組件、電子槍絕緣段組件、陰極熱子引線組件和電子槍底座組件等部分組成，其功能是產(chǎn)生和形成一定形狀的電子注。
[0003]在速調(diào)管研制過程中，電子槍組件的裝配和焊接，保證了陰極、聚焦極和陽極間的距離和對中，而真空除氣是決定電子管品質(zhì)最為重要的工序之一。電子槍組件真空預(yù)除氣保證電子槍具有良好的潔凈度，為長壽命、高質(zhì)量、具有良好電氣性能的大功率真空電子器件提供保障。其主要作用是:對陰極進(jìn)行預(yù)加熱，獲得燈絲伏安特性與溫度的關(guān)系，模擬電子槍正常工作時的電流、電壓及所需真空度；陰極被加熱使得陰極材料蒸散，減小電子槍材料工作時的放氣速率。目前，電真空器件真空排氣系統(tǒng)的研宄報告較多，而對微波管電子槍真空除氣特性的研宄及用于電流、電壓和溫度測量的裝置鮮有報道。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004](一 )要解決的技術(shù)問題
[0005]鑒于上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種速調(diào)管電子槍除氣臺，以實現(xiàn)高質(zhì)量的速調(diào)管電子槍除氣。
[0006]( 二 )技術(shù)方案
[0007]根據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種速調(diào)管電子槍除氣臺。該速調(diào)管電子槍除氣臺包括:臺架I ;第一工作臺39和第二工作臺40，相互獨立地設(shè)置于臺架I的工作臺面23上，用于容置待除氣的速調(diào)管電子槍；真空系統(tǒng)，用于對兩工作臺抽真空；電極系統(tǒng)，用于為容置于兩工作臺內(nèi)的速調(diào)管電子槍提供電流和電壓；以及電氣控制系統(tǒng)，用于對第一工作臺39和第二工作臺40內(nèi)真空度進(jìn)行監(jiān)測，并對真空系統(tǒng)和電極系統(tǒng)進(jìn)行控制。
[0008](三)有益效果
[0009]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明速調(diào)管電子槍除氣臺具有以下有益效果:
[0010](I)電子槍預(yù)除氣臺通過真空系統(tǒng)能夠獲得超高真空，極限真空度優(yōu)于2 X KT7Pa0
[0011](2)雙工位工作臺能夠獨立或同時工作，且其中一工位放大氣后，另一工位的真空度不低于6X 10_6Pa，有效縮短了電子槍的制作周期，提高了工藝效率；
[0012](3)預(yù)除氣工作臺可以通過石英鐘罩監(jiān)測電子槍在不同電流和時間時的溫度曲線，獲得的實驗數(shù)據(jù)為速調(diào)管后續(xù)工序提供依據(jù)；
[0013](4)短粗直的真空管道與真空泵構(gòu)成的雙工位結(jié)構(gòu)緊湊，占用空間小，操作方便，制作成本低。
【附圖說明】
[0014]圖1為根據(jù)本發(fā)明實施例速調(diào)管電子槍出氣臺中真空系統(tǒng)的示意圖；
[0015]圖2是圖1中電子槍除氣臺真空系統(tǒng)的左視圖；
[0016]圖3為根據(jù)本發(fā)明實施例速調(diào)管電子槍出氣臺中電氣控制系統(tǒng)的示意圖。
[0017]【主要元件】
[0018]1-臺架；2-分子泵 FF200/1200C ； 3-不銹鋼螺栓 M8*35 ；
[0019]4-無氧銅墊圈200; 5-第一插板閥；6-真空管道；
[0020]7-第一固定座； 8-電極；9-接料盤支柱；
[0021 ]10-接料盤；11-快接不銹鋼波紋管；
[0022]12-刀口法蘭波紋管CF35-150 ；13-無氧銅密封圈35 ；
[0023]14-石英玻璃罩； 15-刀口法蘭；18-熱偶規(guī)管；
[0024]16-超高真空全金屬角閥CD-J35 ；17-電離規(guī)管；
[0025]19-放氣閥；20-卡箍 KF40 ；21-離子泵 SP1000 ；
[0026]22-機(jī)械泵排氣口； 23-不銹鋼工作臺面； 24-機(jī)械泵TRP-48 ;
[0027]25-報警指示燈； 26-分子泵啟動允許指示燈；
[0028]27-離子泵啟動允許指示燈；28-燈絲電源開允許指示燈；
[0029]29-觸摸顯示屏； 30-真空計；
[0030]31-燈絲電源；32-穩(wěn)壓電源；33-分子泵電源；
[0031 ]34-離子泵電源； 35-壓差式充氣閥GYC-JQ40 ;36_三通KF40 ；
[0032]37-三通連接管； 38-不銹鋼管；39_第一工作臺；40_第二工作臺；
[0033]41-第二固定座；42_第二插板閥；43_第二插板閥；44_第四插板閥。
【具體實施方式】
[0034]本發(fā)明提供了一種具有雙工位工作臺的速調(diào)管電子槍除氣臺，其具有結(jié)構(gòu)緊湊、可靠性高、測量參數(shù)全等優(yōu)點，可有效縮短電子槍的制作周期。
[0035]為使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點更加清楚明白，以下結(jié)合具體實施例，并參照附圖，對本發(fā)明進(jìn)一步詳細(xì)說明。
[0036]在本發(fā)明的一個示例性實施例中，提供了一種速調(diào)管電子槍除氣臺。本實施例速調(diào)管電子槍除氣臺包括:臺架I ;第一工作臺39和第二工作臺40，相互獨立地設(shè)置于所述臺架I的工作臺面23上，用于容置待除氣的速調(diào)管電子槍；真空系統(tǒng)，用于對兩個工作臺進(jìn)行抽真空；電極系統(tǒng)，用于為容置于兩工作臺上的處于真空狀態(tài)的速調(diào)管電子槍提供電流和電壓；電氣控制系統(tǒng)，用于對兩工作臺的真空度進(jìn)行監(jiān)測，并對真空系統(tǒng)和電極系統(tǒng)進(jìn)行控制，實現(xiàn)對容置于兩工作臺上的速調(diào)管電子槍的除氣。
[0037]本實施例中，臺架I為具有一工作臺面的架體，在不銹鋼工作臺面上對稱設(shè)置兩個工作臺-第一工作臺39和第二工作臺40。兩個接料盤支柱9 一端分別與相應(yīng)的工位焊接固定，另一端與接料盤焊接固定。
[0038]在工作臺面23上兩工作臺的位置上分別安裝石英鐘罩14。石英鐘罩與下方的工作臺面采用L型氟橡膠密封圈密封連接，構(gòu)成密封的工作臺。在工作臺的下方，設(shè)置有相應(yīng)的固定座，用于工作臺和真空系統(tǒng)之間的真空連接，及和電極系統(tǒng)的電性連接。其中，第一固定座7對應(yīng)第一工作臺39 ;第二固定座41對應(yīng)第二工作臺40。
[0039]真空系統(tǒng)通過固定座對工作臺進(jìn)行抽真空獲得超高真空。石英鐘罩要求承受一定壓力和溫度，因此主體是直立的圓筒形回轉(zhuǎn)體，底部端口形狀為圓形平面，頂部為半球形。
[0040]電極系統(tǒng)用于為容置于兩工作臺上的速調(diào)管電子槍提供電流和電壓，包括:設(shè)置于工作臺面23下方，對應(yīng)工作臺位置的兩電極8。固定座7與電極8通過刀口法蘭15連接。工作臺上放置的速調(diào)管電子槍的電性連接設(shè)置于工作臺面下方相應(yīng)的電極8上。該兩電極8的前端分別通過相應(yīng)的固定座連入真空系統(tǒng)內(nèi)，為處于真空狀態(tài)的速調(diào)管電子槍提供電流和電壓。
[0041]圖1為根據(jù)本發(fā)明實施例速調(diào)管電子槍出氣臺中真空系統(tǒng)的示意圖。請參照圖1，真空系統(tǒng)包括:機(jī)械泵24、分子泵2和離子泵21。其中，分子泵2位于第一工作臺39的下部。離子泵21位于第二工作臺40的下部。
[0042]機(jī)械泵24的進(jìn)氣口連接至與分子泵2的出氣口 ；分子泵2的進(jìn)氣口連接到第一工作臺39。離子泵21的進(jìn)氣口連接至第二工作臺40。分子泵2的進(jìn)氣口和離子泵21的進(jìn)氣口通過真空管道連接。在實際工作中，可以根據(jù)需要開啟相應(yīng)的真空泵，對第一工作臺39和第二工作臺40抽真空。
[0043]請參照圖1，真空管道6為“H”型的真空管道。分子泵2的進(jìn)氣口通過無氧銅墊圈4、第一插板閥5和不銹鋼螺栓3與真空管道6的第一端口連接。真空管道6的第二端口通過第二插板閥42、第一固定座7與第一個工作臺39連接。其中，第一端口和第二端口為處于同一垂線的端口。
[0044]離子泵21的進(jìn)氣口通過第三插板閥43連接至真空管道6的第三端口，真空管道6的第四端口通過第四插板閥44和第二固定座41與第二工作臺連接。其中，第三端口和第四端口為處于同一垂線的端口。
[0045]圖2是圖1中電子槍除氣臺真空系統(tǒng)的左視圖。如圖2所示，速調(diào)管電子槍除氣臺還包括:三通件36。機(jī)械泵24的進(jìn)氣口通過壓差式充氣閥35、三通件36的第一端口、三通連接管37與分子泵2的出氣口端連接。機(jī)械泵24通過壓差式充氣閥35、三通件36的第三端口、快接不銹剛波紋管11和不銹鋼管38與兩個超高真空全金屬角閥16連接。兩個超高真空全金屬角閥16分別通過刀口法蘭與兩個固定座7連接，快接不銹剛波紋管11和三通件36通過卡箍20固定。刀口法蘭波紋管12和不銹鋼管38通過螺栓固定。放氣閥19通過卡箍20與不銹鋼管38固定連接。
[0046]機(jī)械泵24、壓差式充氣閥35、三通件36、快接不銹剛波紋管11、刀口法蘭波紋管12、不銹鋼管38和金屬角閥16分別與兩個工作臺連接，組成真空系統(tǒng)的旁路系統(tǒng)，通過金屬角閥的開啟和關(guān)閉實現(xiàn)兩個工作臺的預(yù)抽真空達(dá)到分子泵的啟動要求。
[0047]其中，第一插板閥5、第二插板閥42、第三插板閥43和第四插板閥44均為超高真空手動插板閥。在各個工作狀態(tài)下，插板閥的開合狀態(tài)如下:
[0048](I)當(dāng)?shù)谝还ぷ髋_獨立工作時，開啟第一插板閥5、第二插板閥42和第三插板閥43，關(guān)閉第四插板閥44 ；
[0049](2)當(dāng)?shù)诙ぷ髋_獨立工作時，開啟第一插板閥5、第三插板閥43和第四插板閥44，關(guān)閉第二插板閥42 ；
[0050](3)當(dāng)?shù)谝缓偷诙ぷ髋_同時工作時，開啟第一插板閥5、第二插板閥42、第三插板閥43和第四插板閥44。
[0051]所述真空計的真空度測量通過4個CC-200超高真空插板閥的轉(zhuǎn)換，實現(xiàn)每個工作臺可以單獨工作或兩工作臺同時工作，且其中一工作臺放大氣后，另一位的真空度不低于6 X KT6Pa0
[0052]圖3為根據(jù)本發(fā)明實施例速調(diào)管電子槍出氣臺中電氣控制系統(tǒng)的示意圖。請參照圖3，電氣控制系統(tǒng)是PLC控制系統(tǒng)，機(jī)械泵24，分子泵2，壓差式充氣閥35，離子泵電源34，電子槍燈絲電源30和真空計30均通過控制線路與電氣控制系統(tǒng)連接。該電氣控制系統(tǒng)包括:真空計30、分子泵電源33、穩(wěn)壓電源32、離子泵電源34、燈絲電源31及觸摸屏29。
[0053]分子泵電源33與分子泵連接，用于控制分子泵2的啟動和關(guān)閉。
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