口 127，以容納MEMS芯片10和觀察下層130的狀況；在上窗口127的前后兩側(cè)安裝有上固定夾板128和上活動(dòng)夾板124，上固定夾板128固定在上板122上，上固定夾板128上有上固定夾頭128a，上活動(dòng)夾板124位于上活動(dòng)槽126中，上活動(dòng)夾板124上有上活動(dòng)夾頭124a，上螺絲125 —端伸入上活動(dòng)槽126中，并與上固定夾板128連接，上螺絲125用于調(diào)節(jié)上活動(dòng)夾板124的位置，上板122上還有上固定扣123，上固定扣123位置與頂固定扣114位置對(duì)應(yīng)，用于固定彈簧150 ;上板122由上板凸起122a和平層部分122b組成，上固定夾板128、上活動(dòng)夾板124、上窗口 127、上活動(dòng)槽126和上螺絲125位于上板凸起122a處，平層部分122b安裝在下板131上方，上板凸起122a則位于下窗口 136中，這樣，安裝在上板凸起122a上的上固定夾板128和上活動(dòng)夾板124就不受下固定夾板132、下活動(dòng)夾板133的厚度影響而能夠夾住MEMS芯片10。
[0050]在實(shí)施開(kāi)蓋作業(yè)時(shí)，MEMS芯片10置于上窗口 127中，同時(shí)也位于下窗口 136中，如圖10所示，調(diào)節(jié)上螺絲125，帶動(dòng)上活動(dòng)夾板124運(yùn)動(dòng)，上活動(dòng)夾板124的運(yùn)動(dòng)方向與下活動(dòng)夾板133的運(yùn)動(dòng)方向相垂直，將MEMS芯片10固定在上固定夾頭128a和上活動(dòng)夾頭124a之間，MEMS芯片10的蓋板11與上固定夾頭128a和上活動(dòng)夾頭124a接觸，而MEMS芯片10的底板14和MEMS結(jié)構(gòu)層12不與上固定夾頭128a和上活動(dòng)夾頭124a接觸，在開(kāi)蓋時(shí)，MEMS芯片10的蓋板11隨上層120在彈簧150的拉動(dòng)下向上運(yùn)動(dòng)，而底板14和MEMS結(jié)構(gòu)層12則隨下層130在原位不動(dòng)，這樣就完成了蓋板11的分離。
[0051]需要說(shuō)明的是，在本實(shí)施例中，導(dǎo)向桿140的數(shù)量還可以是兩個(gè)或三個(gè)。頂螺絲113至少有一個(gè)，其數(shù)量可以跟導(dǎo)向桿140數(shù)量相同，也可以不相同。
[0052]實(shí)施例二
[0053]實(shí)施例二與實(shí)施例一的不同之處僅在于真空系統(tǒng)不同，如圖11所示，圓片級(jí)封裝的MEMS芯片的開(kāi)蓋裝置，由真空系統(tǒng)、電爐200、開(kāi)蓋夾具100組成，開(kāi)蓋夾具100置于電爐200上，并置于真空室309中。
[0054]所述真空系統(tǒng)由真空泵301、真空管道和密封容器305組成，真空泵301通過(guò)軟管302、硬管303連接密封容器305，可以抽出密封容器305內(nèi)的空氣，軟管301是為了減少真空泵301在工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)開(kāi)蓋夾具100的影響，硬管303上安裝有抽氣閥304，在抽真空時(shí)開(kāi)啟，在關(guān)停真空泵301前關(guān)閉，以維持真空室309內(nèi)的氣壓；密封容器305上安裝有放氣管306，放氣管306上安裝有放氣閥307，在MEMS芯片10的蓋板11與MEMS結(jié)構(gòu)層12分離后，打開(kāi)放氣閥307，空氣通過(guò)放氣管306進(jìn)入密封容器309中，使密封容器309內(nèi)外氣壓相同，從而開(kāi)啟密封門(mén)，取出開(kāi)蓋夾具100 ;密封容器309 —側(cè)裝有密封門(mén)311，密封門(mén)311是透明的，既可以作為門(mén)，也可以作為觀察窗，密封門(mén)311可以用厚的鋼化玻璃或有機(jī)玻璃制作，密封門(mén)311通過(guò)密封圈310與密封容器305圍成密封室309，用于容納電爐200及開(kāi)蓋夾具100，同時(shí)可以監(jiān)控開(kāi)蓋過(guò)程及電爐200的溫度。
[0055]實(shí)施例三
[0056]實(shí)施例三與實(shí)施例一的不同之處僅在于用滑輪裝置代替彈簧，如圖12所示，圓片級(jí)封裝的MEMS芯片的開(kāi)蓋裝置，由真空系統(tǒng)、電爐200、開(kāi)蓋夾具100組成，開(kāi)蓋夾具100置于電爐200上，并置于真空室309中。
[0057]所述開(kāi)蓋夾具100由頂層110、上層120、下層130、導(dǎo)向桿140和滑輪裝置組成，四根導(dǎo)向桿140的下端均固定在下層130上，上端由頂層110固定，上層120可沿導(dǎo)向桿140在垂直方向自由滑動(dòng)?；喲b置包括定滑輪160，金屬線170和重物180，定滑輪160固定在頂層100的頂板112上，金屬線170 —端固定在上層120的上板122上，另一端繞過(guò)定滑輪160并與重物180連接，通過(guò)改變重物180的重量，來(lái)調(diào)節(jié)上層120相對(duì)下層130的距離，從而將被上層120夾住蓋板11與MEMS結(jié)構(gòu)層12分離。頂層110用于固定四根導(dǎo)向桿140，使其相互平行且都垂直于下層130，以保證上層120可以沿導(dǎo)向桿140在垂直方向自由滑動(dòng)。上層120用于夾住MEMS芯片10的蓋板11，在重物180的拉動(dòng)下，上層120沿導(dǎo)向桿140向上垂直滑動(dòng)，將蓋板11與MEMS結(jié)構(gòu)層12分離；下層130用于夾住MEMS芯片10的底板14，為分離蓋板11提供反作用力，同時(shí)，用于固定四根導(dǎo)向住140，為整個(gè)開(kāi)蓋夾具100提供支撐。
[0058]實(shí)施例四
[0059]實(shí)施例四與實(shí)施例二的不同之處僅在于用滑輪裝置代替彈簧，如圖13所示，圓片級(jí)封裝的MEMS芯片的開(kāi)蓋裝置，由真空系統(tǒng)、電爐200、開(kāi)蓋夾具100組成，開(kāi)蓋夾具100置于電爐200上，并置于真空室309中。
[0060]所述真空系統(tǒng)由真空泵301、真空管道和密封容器305組成，真空泵301通過(guò)軟管302、硬管303連接密封容器305，可以抽出密封容器305內(nèi)的空氣，軟管301是為了減少真空泵301在工作時(shí)產(chǎn)生的振動(dòng)對(duì)開(kāi)蓋夾具100的影響，硬管303上安裝有抽氣閥304，在抽真空時(shí)開(kāi)啟，在關(guān)停真空泵301前關(guān)閉，以維持真空室309內(nèi)的氣壓；密封容器305上安裝有放氣管306，放氣管306上安裝有放氣閥307，在MEMS芯片10的蓋板11與MEMS結(jié)構(gòu)層12分離后，打開(kāi)放氣閥307，空氣通過(guò)放氣管306進(jìn)入密封容器309中，使密封容器309內(nèi)外氣壓相同，從而開(kāi)啟密封門(mén)，取出開(kāi)蓋夾具100 ;密封容器309 —側(cè)裝有密封門(mén)311，密封門(mén)311是透明的，既可以作為門(mén)，也可以作為觀察窗，密封門(mén)311可以用厚的鋼化玻璃或有機(jī)玻璃制作，密封門(mén)311通過(guò)密封圈310與密封容器305圍成密封室309，用于容納電爐200及開(kāi)蓋夾具100，同時(shí)可以監(jiān)控開(kāi)蓋過(guò)程及電爐200的溫度。
[0061]所述開(kāi)蓋夾具100由頂層110、上層120、下層130、導(dǎo)向桿140和滑輪裝置組成，四根導(dǎo)向桿140的下端均固定在下層130上，上端由頂層110固定，上層120可沿導(dǎo)向桿140在垂直方向自由滑動(dòng)。滑輪裝置包括定滑輪160，金屬線170和重物180，定滑輪160固定在頂層100的頂板112上，金屬線170 —端固定在上層120的上板122上，另一端繞過(guò)定滑輪160并與重物180連接，通過(guò)改變重物180的重量，來(lái)調(diào)節(jié)上層120相對(duì)下層130的距離，從而將被上層120夾住蓋板11與MEMS結(jié)構(gòu)層12分離。頂層110用于固定四根導(dǎo)向桿140，使其相互平行且都垂直于下層130，以保證上層120可以沿導(dǎo)向桿140在垂直方向自由滑動(dòng)。上層120用于夾住MEMS芯片10的蓋板11，在重物180的拉動(dòng)下，上層120沿導(dǎo)向桿140向上垂直滑動(dòng)，將蓋板11與MEMS結(jié)構(gòu)層12分離；下層130用于夾住MEMS芯片10的底板14，為分離蓋板11提供反作用力，同時(shí)，用于固定四根導(dǎo)向住140，為整個(gè)開(kāi)蓋夾具100提供支撐。
[0062]實(shí)施例五
[0063]圓片級(jí)封裝的MEMS芯片的開(kāi)蓋方法，以實(shí)施例一的開(kāi)該裝置為依據(jù)，包括以下步驟:
[0064](I)將開(kāi)蓋夾具100置于電爐200上，松開(kāi)開(kāi)蓋夾具100的頂螺絲113，調(diào)節(jié)頂層100在垂直方