一種保持質(zhì)譜內(nèi)部真空條件下更換離子源的質(zhì)譜儀的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及質(zhì)譜儀領(lǐng)域，具體涉及一種保持質(zhì)譜內(nèi)部真空條件下更換離子源的質(zhì)譜儀。
【背景技術(shù)】
[0002]在線質(zhì)譜儀在連續(xù)運(yùn)行的過程中，離子源容易損壞，需要更換、拆裝離子源，以便對(duì)離子源進(jìn)行維修或更換。以往在拆換離子源時(shí)，必須停電；在拆換的過程中破壞了質(zhì)譜內(nèi)部的真空狀態(tài)，使質(zhì)譜內(nèi)部的壓力恢復(fù)到常壓；待離子源重新安裝完畢后，再重新對(duì)質(zhì)譜儀抽真空，抽真空過程往往耗時(shí)較長(zhǎng)，嚴(yán)重影響了在線質(zhì)譜儀在生產(chǎn)中的使用。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]為解決上述問題，本發(fā)明提供了一種保持質(zhì)譜內(nèi)部真空條件下更換離子源的質(zhì)譜儀，目的是為了減少質(zhì)譜發(fā)生室內(nèi)的真空狀態(tài)在離子源拆裝時(shí)的受破壞程度。
[0004]本發(fā)明公開了一種保持質(zhì)譜內(nèi)部真空條件下更換離子源的質(zhì)譜儀，其特征在于，包括電離室、質(zhì)譜發(fā)生室和真空封堵接口組件，所述真空封堵接口組件為兩端開口的管道結(jié)構(gòu)；電離室的離子出口通道、真空封堵接口組件和質(zhì)譜發(fā)生室的離子進(jìn)入通道之間密封串接；所述真空封堵接口組件的管道內(nèi)設(shè)置隔板，隔板的中部開有貫通的封堵口 ；
[0005]所述真空封堵接口組件還包括封堵板和驅(qū)動(dòng)組件，所述驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)所述封堵板移動(dòng)至所述封堵口處，所述封堵板在負(fù)壓下封堵所述封堵口。
[0006]所述驅(qū)動(dòng)組件包括:縱向調(diào)節(jié)桿和導(dǎo)向組件；
[0007]所述縱向調(diào)節(jié)桿一端伸入到所述管道內(nèi)，并在該端部連接所述導(dǎo)向組件；
[0008]所述導(dǎo)向組件，用于引導(dǎo)所述封堵板在垂直于所述縱向調(diào)節(jié)桿的方向上移動(dòng)至所述封堵口處。
[0009]所述縱向調(diào)節(jié)桿伸入到所述管道內(nèi)的一端設(shè)有第二通孔；
[0010]所述導(dǎo)向組件包括螺桿，螺桿垂直于縱向調(diào)節(jié)桿，自第二通孔穿過，安裝在縱向調(diào)節(jié)桿上；
[0011 ] 所述封堵板固定在螺桿的一端。
[0012]所述真空封堵接口組件還包括:復(fù)位彈簧，所述復(fù)位彈簧套在封堵板與縱向調(diào)節(jié)桿之間的螺桿上，復(fù)位彈簧的兩端分別與封堵板、縱向調(diào)節(jié)桿固定連接。
[0013]所述封堵板上設(shè)有與封堵口緊密貼合的圓臺(tái)形結(jié)構(gòu)。
[0014]所述導(dǎo)向組件包括曲柄，所述縱向調(diào)節(jié)桿伸入到所述管道內(nèi)的一端固定所述曲柄，所述曲柄的活動(dòng)端通過連接桿固定連接所述封堵板。
[0015]所述真空封堵接口組件還包括壓板，所述管道的上方開有第一通孔，所述壓板將所述第一通孔密封，所述壓板的中部開有第三通孔，供所述驅(qū)動(dòng)組件密封穿過。
[0016]所述真空封堵接口組件還包括限位組件，所述限位組件固定在所述壓板上；
[0017]所述限位組件包括限位螺釘和調(diào)節(jié)限位塊；所述調(diào)節(jié)限位塊固定在第三通孔的外偵牝限位螺釘穿過限位調(diào)節(jié)塊與縱向調(diào)節(jié)桿上設(shè)有的限位孔相配合。
[0018]所述壓板包括上壓板和下壓板；所述上壓板和下壓板上下堆疊，通過螺栓固定在管道外壁上。
[0019]所述上壓板與下壓板之間設(shè)有至少2個(gè)密封圈，其中I個(gè)密封圈緊貼縱向調(diào)節(jié)桿設(shè)置。
[0020]與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果為:
[0021]本發(fā)明提供的一種保持質(zhì)譜內(nèi)部真空條件下更換離子源的質(zhì)譜儀，通過縱向調(diào)節(jié)桿將封堵板移到工作位置，堵住管道內(nèi)隔板上的封堵口 ；隨著拆除離子源的過程，電離室內(nèi)趨于常壓，封堵板兩側(cè)壓差增大，復(fù)位彈簧被拉伸，封堵板緊緊的貼在封堵口上，使質(zhì)譜發(fā)生室內(nèi)部真空基本不受影響；重新裝上離子源過程中，抽出離子源區(qū)域內(nèi)的空氣，電離室內(nèi)趨于真空，促使封堵板兩側(cè)壓力逐漸變小，封堵板和管道隔板處的封堵口之間的貼合度逐漸減小，復(fù)位彈簧回縮，帶動(dòng)封堵板回到初始位置；待兩側(cè)真空度基本持平后，最終實(shí)現(xiàn)封堵板與封堵口脫離；調(diào)節(jié)縱向調(diào)節(jié)桿將封堵板移到非工作位置；本發(fā)明公開的質(zhì)譜儀在盡量減小質(zhì)譜發(fā)生室內(nèi)真空狀態(tài)破壞程度的情況下，實(shí)現(xiàn)了離子源的拆裝；而且，離子源更換后，只需要抽取離子源所在區(qū)域的真空，該區(qū)域體積較小，抽真空的時(shí)間明顯縮短，提高了生產(chǎn)效率；
[0022]通過封堵板上設(shè)有與封堵口緊密貼合的圓臺(tái)形結(jié)構(gòu)，上述配合結(jié)構(gòu)在受外力的作用下保證封堵板不易滑落；
[0023]通過設(shè)置密封圈，實(shí)現(xiàn)縱向調(diào)節(jié)桿與第三通孔的緊密貼合；提高了密封性。
【附圖說明】
[0024]圖1為本發(fā)明一種實(shí)施例公開的一種保持質(zhì)譜內(nèi)部真空條件下更換離子源的質(zhì)譜儀的結(jié)構(gòu)圖。
[0025]圖中:1:上壓板；2:下壓板；3:密封圈；4:縱向調(diào)節(jié)桿；5:螺桿；6:限位調(diào)節(jié)塊；7:限位螺釘；8:封堵板；9:復(fù)位彈簧；10、管道；11、管道隔板。
【具體實(shí)施方式】
[0026]為使本發(fā)明實(shí)施例的目的、技術(shù)方案和優(yōu)點(diǎn)更加清楚，下面將結(jié)合本發(fā)明實(shí)施例中的附圖，對(duì)本發(fā)明實(shí)施例中的技術(shù)方案進(jìn)行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實(shí)施例是本發(fā)明的一部分實(shí)施例，而不是全部的實(shí)施例?；诒景l(fā)明中的實(shí)施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動(dòng)的前提下所獲得的所有其他實(shí)施例，都屬于本發(fā)明保護(hù)的范圍。
[0027]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步的詳細(xì)描述:
[0028]實(shí)施例1:
[0029]—種保持質(zhì)譜內(nèi)部真空條件下更換離子源的質(zhì)譜儀，其特征在于，包括電離室、質(zhì)譜發(fā)生室和真空封堵接口組件，真空封堵接口組件為兩端開口的管道結(jié)構(gòu)；電離室的離子出口通道、真空封堵接口組件和質(zhì)譜發(fā)生室的離子進(jìn)入通道之間密封串接，真空封堵接口組件的管道結(jié)構(gòu)內(nèi)設(shè)置隔板，隔板的中部開有貫通封堵口 ；
[0030]真空封堵接口組件還包括封堵板和驅(qū)動(dòng)組件，驅(qū)動(dòng)組件驅(qū)動(dòng)封堵板移動(dòng)至封堵口處，封堵板在負(fù)壓下封堵封堵口。驅(qū)動(dòng)組件包括:縱向調(diào)節(jié)桿和導(dǎo)向組件；縱向調(diào)節(jié)桿一端伸入到管道內(nèi)，并在該端部連接導(dǎo)向組件；導(dǎo)向組件，用于驅(qū)動(dòng)封堵板在垂直于縱向調(diào)節(jié)桿的方向上移動(dòng)至封堵口處。
[0031]導(dǎo)向組件選用螺桿時(shí)，其具體設(shè)計(jì)如下:
[0032]如圖1所示，本發(fā)明公開了一種保持質(zhì)譜內(nèi)部真空條件下更換離子源的質(zhì)譜儀，電離室管道上開有第一通孔；縱向調(diào)節(jié)桿4 一端穿過第一通孔，并在該端部開有第二通孔；垂直于縱向調(diào)節(jié)桿4的螺桿5自第二通孔穿過，通過螺母安裝在縱向調(diào)節(jié)桿4上，螺桿5可以在第二通孔內(nèi)滑動(dòng)，具體滑動(dòng)的行程根據(jù)具體情況進(jìn)行設(shè)定；封堵板8固定在螺桿5的一端，位于管道隔板11與縱向調(diào)節(jié)桿4之間；復(fù)位彈簧9套在封堵板8與縱向調(diào)節(jié)桿4之間的螺桿5上，復(fù)位彈簧9的兩端分別與封堵板8、縱向調(diào)節(jié)桿4固定連接。本發(fā)明通過設(shè)置復(fù)位彈簧9保證了在重新安裝離子源后，在復(fù)位彈簧9的作用下，封堵板8可以自動(dòng)回到初始位置，實(shí)現(xiàn)封堵板8上的圓臺(tái)形結(jié)構(gòu)與封堵口脫離；方便縱向調(diào)節(jié)桿將封堵板移到非工作位置；在盡量減小質(zhì)譜發(fā)生室內(nèi)真空狀態(tài)破壞程度的情況下，實(shí)現(xiàn)了離子源的拆裝；而且，離子源更換后，只需要抽取離子源所在區(qū)域的真空，該區(qū)域體積較小，抽真空的時(shí)間明顯縮短，提高了生產(chǎn)效率。
[0033]為了提高縱向調(diào)節(jié)桿與第一通孔之間的密封性；本發(fā)明還在第一通孔的外側(cè)設(shè)置用于密封第一通孔的壓板；壓板包括中心開設(shè)第三通孔的上壓板I和下壓板2，上壓板I和下壓板2上下對(duì)齊堆疊、上壓板I的第三通孔與下壓板2的第三通孔相對(duì)應(yīng)，通過螺栓固定在管道外壁上；縱向調(diào)節(jié)桿4穿過第三通孔，上壓板I與下壓板2之間設(shè)有至少2個(gè)密封圈，其中I個(gè)密封圈緊貼縱向調(diào)節(jié)桿設(shè)置；用于密封第三通孔與縱向調(diào)節(jié)桿4之間的空隙，提高質(zhì)譜儀的密封性。
[0034]在封堵板移動(dòng)工作位置時(shí)，為了實(shí)現(xiàn)縱向調(diào)節(jié)桿在該位置的固定；本發(fā)明在壓板上設(shè)有限位組件，限位組件包括限位螺釘7和調(diào)節(jié)限位塊6，調(diào)節(jié)限位塊6固定在第三通孔的外側(cè)，限位螺釘7穿過限位調(diào)節(jié)塊6與縱向調(diào)節(jié)桿4上開設(shè)的限位孔相配合；用于將縱向調(diào)節(jié)桿4固定在指定的位置。
[0035]為了保證封堵板在受外力的情況下不易滑落；本發(fā)明