一種顯示基板及其制備方法、透明顯示裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及透明顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種顯示基板及其制備方法、透明顯示 裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 帶通濾光片是指一定的波段內(nèi)，只有中間一小段是高透射率的通帶，而在通帶的 兩側(cè)是高反射率的截止帶，如圖1所示，圖1表征濾光片特征的主要參數(shù)有：
[0003] A。-中心波長(zhǎng)或稱峰值波長(zhǎng)；
[0004] T_-中心波長(zhǎng)的透射率，也即峰值透射率；
[0005] 2 A A -透射率為降值透射率一半的波長(zhǎng)寬度，也即通半寬度，或用2 A A / A。表示 相對(duì)半寬度。
[0006] 通常，帶通濾光片可以有兩種結(jié)構(gòu)形式，一種是由一個(gè)長(zhǎng)波通膜系和一個(gè)短波通 膜系的重疊通帶波段形成帶通濾光片的通帶。這種結(jié)構(gòu)得到的光譜特性是：可以獲得較寬 的截止帶和較深的截止度，但不容易獲得較窄的通帶，所以常用于獲得寬帶通濾光片。第二 種是Fabry-Perot干涉儀形成的濾光膜系，這種結(jié)構(gòu)得到的光譜特性是：可以獲得較窄的 通帶，但截止帶寬度通常也比較窄，截止度也不深，所以大多數(shù)情況下都需要配合使用截止 濾光片來拓寬截止帶和增加截止深度，因此，現(xiàn)有技術(shù)中提供的帶通濾光片的光線的透過 率較低，而且在透明顯示裝置中增加濾光片造成整個(gè)顯示裝置結(jié)構(gòu)復(fù)雜，需要較多的制作 工藝，影響顯示裝置的制作效率。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007] 本發(fā)明提供了一種顯示基板及其制備方法、透明顯示裝置，用以簡(jiǎn)化顯示裝置的 結(jié)構(gòu)，提尚制造效率。
[0008] 本發(fā)明提供了一種顯示基板，該顯示基板包含多個(gè)像素區(qū)域，每個(gè)所述像素區(qū)域 包括多個(gè)子像素區(qū)域，還包括：基板，依次設(shè)置在所述基板上且位于所述子像素區(qū)域的第一 金屬層、鈍化層及第二金屬層，其中，所述第一金屬層及所述第二金屬層均為半透半反射的 金屬層，且位于同一個(gè)所述像素區(qū)域的多個(gè)所述子像素區(qū)域的鈍化層厚度不同；
[0009] 所述第一金屬層、鈍化層及第二金屬層構(gòu)成法泊腔，所述法泊腔根據(jù)所述鈍化層 厚度的不同允許不同波長(zhǎng)的光透過。
[0010] 在上述技術(shù)方案中，通過采用第一金屬層、第二金屬層以及不同厚度的鈍化層形 成法泊腔，法泊腔根據(jù)鈍化層的厚度可以允許不同波長(zhǎng)的光線透過，從而使得顯示裝置無 需使用彩膜濾光片，直接通過顯示基板上的結(jié)構(gòu)即可實(shí)現(xiàn)允許不同的光線通過，減少了顯 示裝置的結(jié)構(gòu)。
[0011] 優(yōu)選的，每個(gè)所述像素區(qū)域包括三個(gè)子像素區(qū)域，對(duì)應(yīng)三個(gè)所述子像素區(qū)域的鈍 化層分別具有第一厚度、第二厚度及第三厚度，且所述第一厚度鈍化層對(duì)應(yīng)的子像素區(qū)域 允許紅色光透過，所述第二厚度鈍化層對(duì)應(yīng)的子像素區(qū)域允許綠色光透過，所述第三厚度 鈍化層對(duì)應(yīng)的子像素區(qū)域允許藍(lán)色光透過。
[0012] 優(yōu)選的，所述鈍化層的厚度滿足以下公式：d = m* A/2n ;其中，m為奇數(shù)，n為鈍化 層折射率，其中，A為該厚度的鈍化層對(duì)應(yīng)的子像素區(qū)域允許通過的光線的波長(zhǎng)。
[0013] 優(yōu)選的，所述第二金屬層為銀，且所述第二金屬層的厚度為35~45nm。
[0014] 優(yōu)選的，所述鈍化層為MgF2、Si02、Si 3N4、Ti02中的任一材料制作的鈍化層。選擇 不同介電材料制作鈍化層。
[0015] 優(yōu)選的，所述第一金屬層為銀；且所述第一金屬層的厚度為35~45nm。
[0016] 優(yōu)選的，所述第二金屬層包括多個(gè)間隔設(shè)置的金屬條，且所述多個(gè)金屬條之間具 有允許光線透過的間隙。
[0017] 本發(fā)明還提供了一種顯示基板的制備方法，該方法包括以下步驟：
[0018] 提供一基板；
[0019] 在所述基板上的像素區(qū)域形成第一金屬層；
[0020] 在第一金屬層上形成鈍化層，且位于同一個(gè)所述像素區(qū)域的多個(gè)所述子像素區(qū)域 的鈍化層厚度不同；
[0021] 在鈍化層上形成第二金屬層；且第一金屬層、鈍化層及第二金屬層構(gòu)成法泊腔，所 述法泊腔根據(jù)所述鈍化層厚度的不同允許不同波長(zhǎng)的光透過。
[0022] 在上述技術(shù)方案中，通過采用第一金屬層、第二金屬層以及不同厚度的鈍化層形 成法泊腔，法泊腔根據(jù)鈍化層的厚度可以允許不同波長(zhǎng)的光線透過，從而使得顯示裝置無 需使用彩膜濾光片，直接通過顯示基板上的結(jié)構(gòu)即可實(shí)現(xiàn)允許不同的光線通過，減少了顯 示裝置的結(jié)構(gòu)。
[0023] 優(yōu)選的，所述在第一金屬層上形成鈍化層，且位于同一個(gè)所述像素區(qū)域的多個(gè)所 述子像素區(qū)域的鈍化層厚度不同具體為：
[0024] 使用同一張掩膜板在第一位置，沉積時(shí)間tl，得到第一厚度的鈍化層；
[0025] 在第二位置，沉積時(shí)間t2,得到第二厚度的鈍化層；
[0026] 在第三位置，沉積時(shí)間t3,得到第三厚度的鈍化層。形成不同厚度的鈍化層。
[0027] 優(yōu)選的，所述鈍化層的厚度滿足以下公式：
[0028]d=m*A/2n;其中，m為奇數(shù)，n為鈍化層折射率，其中，A為該厚度的鈍化層對(duì)應(yīng) 的子像素區(qū)域允許通過的光線的波長(zhǎng)。
[0029] 優(yōu)選的，所述鈍化層的材料為MgF2、Si0 2、Si3N4、Ti02中的任一種。采用不同介電 材料制作鈍化層。
[0030] 優(yōu)選的，所述第二金屬層包括多個(gè)間隔設(shè)置的金屬條，且所述多個(gè)金屬條之間具 有允許光線透過的間隙。
[0031] 本發(fā)明還提供了一種透明顯示裝置，包括上述任一項(xiàng)所述的顯示基板。
[0032] 在上述技術(shù)方案中，通過采用第一金屬層、第二金屬層以及不同厚度的鈍化層形 成法泊腔，法泊腔根據(jù)鈍化層的厚度可以允許不同波長(zhǎng)的光線透過，從而使得顯示裝置無 需使用彩膜濾光片，直接通過顯示基板上的結(jié)構(gòu)即可實(shí)現(xiàn)允許不同的光線通過，減少了顯 示裝置的結(jié)構(gòu)，提高了制作效率，且能夠?qū)崿F(xiàn)透明顯示。
【附圖說明】
[0033]圖1為本發(fā)明實(shí)施例提供的帶通濾波片特性示意圖；
[0034] 圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的顯示基板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0035] 圖3a~圖3e為本發(fā)明實(shí)施例提供的顯不基板的制備流程圖；
[0036]圖4a~圖4c為本發(fā)明實(shí)施例提供的鈍化層的制備流程圖。
[0037] 附圖標(biāo)記：
[0038] 1-基板2-薄膜晶體管21-柵極
[0039] 22-柵極絕緣層23-有源層24-源極 [0040]25-漏極3-第一金屬層4-第二金屬層
[0041] 5-鈍化層51-第一厚度的鈍化層52-第二厚度的鈍化層
[0042] 53-第三厚度的鈍化層6-掩膜板
【具體實(shí)施方式】
[0043] 為了使得透明顯示裝置獲得較窄的色域，以及較高的透射率，本發(fā)明實(shí)施例提供 了一種顯示基板及其制備方法、透明顯示裝置，在本發(fā)明的技術(shù)方案中，通過采用不同的鈍 化層實(shí)現(xiàn)濾光，并且通過第二金屬層之間的間隙使得光線通過，從而提高了顯示基板的透 光性。為了方便對(duì)本發(fā)明技術(shù)方案的理解，下面結(jié)合附圖及具體實(shí)施例對(duì)本發(fā)明的技術(shù)方 案進(jìn)行詳細(xì)的說明。
[0044] 如圖2及圖4c所不，圖2為本發(fā)明實(shí)施例提供的顯不基板的結(jié)構(gòu)不意圖，圖4c不 出了形成后的鈍化層5的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0045] 本發(fā)明實(shí)施例提供了一種顯示基板，該顯示基板包括：包含多個(gè)像素區(qū)域，每個(gè)所 述像素區(qū)域包括多個(gè)子像素區(qū)域，還包括：基板，依