極上施加高頻電壓而對放電管10內(nèi)的激光氣體進行放電激發(fā)。由此，在放電管10內(nèi)引起激光的誘導放出。如圖1所示，本例的放電管10具有具備放電激發(fā)激光的內(nèi)部空間的筒狀放電部11、從放電部11 一側(cè)的端部向外向延伸的筒狀的第一支撐部121、從放電部11另一側(cè)的端部向外向延伸的筒狀的第二支撐部122。如圖1所示，本例的第一支撐部121及第二支撐部122分別相對于送風配管3支撐放電部11。
[0031]如圖1所示，第一支撐部121以及第二支撐部122各自的內(nèi)部空間與放電部11的內(nèi)部空間連接。另外，在位于第一支撐部121以及第二支撐部122的各自上的與放電部11的連接處安裝用于密封放電管10內(nèi)的激光氣體的O環(huán)。并且，第一支撐部121的延伸方向的前端通過第一端壁131而阻塞，在第一端壁131上形成與第一支撐部121平行延伸的圓柱狀貫穿孔141。同樣，第二支撐部122的延伸方向的前端通過第二端壁132而阻塞，在第二端壁132上形成與第二支撐部122平行延伸的圓柱狀貫穿孔142。而且，在筒狀的第一支撐部121的周壁上形成排出通過放電部11的激光氣體的排氣口 EP，在筒狀的第二支撐部122的周壁形成吸入通過送風配管3的激光氣體的吸氣口 IP。
[0032]其次，關于本例的光共振部2進行說明。如圖1所示，本例的光共振部2由以夾持放電管10的方式配置的第一光學部件21及第二光學部件22構(gòu)成。本例的第一光學部件21是將在放電管10內(nèi)產(chǎn)生的激光的大致整體發(fā)射的全反射鏡。更具體地說，本例的第一光學部件21具備安裝于放電管10的第一端壁131外側(cè)上的圓盤狀主體部211、設置于與放電管10對置的主體部211的平面上的圓狀鏡面部212。第一光學部件21的鏡面部212通過相對于如銅制、鍺結(jié)晶制、或者硅結(jié)晶制的主體部211的金屬、鍺、或者氟化合物等的多層膜的真空蒸鍍而形成。第一光學部件21的鏡面部212具有99.5%以上的反射率。
[0033]另外，本例的第二光學部件22是只反射在放電管10內(nèi)產(chǎn)生的激光的一部分的部分反射鏡。更具體地說，本例的第二光學部件22具備安裝于放電管10的第二端壁132的外側(cè)的圓盤狀的主體部221、設置于與放電管10對置的主體部221的平面上的圓狀鏡面部222。第二光學部件22的鏡面部222通過相對于砸化鋅(ZnSe)制的主體部221的鋁或者氟化合物等的多層膜的真空蒸鍍而形成。第二光學部件22的鏡面部222具備10%?80%左右的反射率。具有以上結(jié)構(gòu)的光共振部2通過使在放電管10內(nèi)產(chǎn)生的激光共振而生成規(guī)定輸出的激光束。更具體地說，使用一對鏡面部212、222反復反射由誘導放出而產(chǎn)生的激光而增幅，將其一部分作為激光束從部分反射鏡(即，第二光學部件22)輸出。如此輸出的激光束的光軸用圖1中的箭頭A12表示。
[0034]繼續(xù)參照圖1，形成于放電管10的第一端壁131上的貫穿孔141連接放電管10的內(nèi)部空間和第一光學部件21的鏡面部212之間。即，第一光學部件21的鏡面部212通過貫穿孔141在放電管10的內(nèi)部空間露出。同樣，形成于放電管10的第二端壁132上的貫穿孔142連接放電管10的內(nèi)部空間和第二光學部件22的鏡面部222之間。S卩，第二光學部件22的鏡面部222通過貫穿孔142在放電管10的內(nèi)部空間露出。并且，在放電管10的貫穿孔141、142各處上配置阻塞通過貫穿孔分別向鏡面部212、222的激光氣體的流動的阻塞部件4。更具體地說，在第一端壁131的貫穿孔141上配置阻塞通過放電部11的激光氣體向第一光學部件21的鏡面部212流動的阻礙部件4。同樣，在第二端壁132的貫穿孔142上配置阻礙通過送風配管3的激光氣體向第二光學部件22的鏡面部222流動的阻礙部件4。關于這些阻礙部件4、4的詳細構(gòu)造后述。
[0035]接著，關于本例的送風配管3進行說明。如圖1所示，本例的送風配管3具備連接于放電管10的排氣口 EP的第一連接口 31、連接于放電管10的吸氣口 IP的第二連接口 32。即，本例的送風配管3形成將通過放電管10的放電部11從排氣口 EP排出的激光氣體送風至吸氣口 IP的激光氣體的循環(huán)路徑。如圖1所示，在本例的送風配管3的大致中間地點上，沿用圖中箭頭All表示的循環(huán)路徑設置使激光氣體循環(huán)的送風機33。另外，由于在放電管10內(nèi)放電激發(fā)的激光氣體是高溫的，所以，在位于送風配管3中的送風機33的上游及下游規(guī)定的地點分別設置冷卻通過放電管10的激光氣體的熱交換機34、35。而且，在位于送風配管3中的上游側(cè)的熱交換器34和送風機33之間連接將通過放電管10的激光氣體的一部分從循環(huán)路徑排出的排氣栗36，在排氣栗36和送風機33之間通過過濾器F及閥V連接向循環(huán)路徑供給清潔的激光氣體的氣體儲氣瓶等的激光氣體供給源37。
[0036]接著，關于上述的一對阻礙部件4、4的詳細構(gòu)造進行詳細說明。并且，由本例而產(chǎn)生的一對阻礙部件4、4由于具有共同的構(gòu)造，以下，只對配置于位于放電管10中的第一端壁131的貫穿孔141的阻礙部件4進行說明。圖2是將圖1中的放電管10的第一端壁131的周圍擴大并表示的局部放大圖。圖2中的箭頭A20表示激光氣體的循環(huán)路徑的一部分。如圖2所示，通過本例的阻礙部件4配置于第一端壁131的貫穿孔141上，由于垂直于貫穿孔141的延伸方向的方向的截面積縮小，因此會阻礙通過貫穿141向鏡面部212的激光氣體流動的一部分。其結(jié)果，由于通過貫穿孔141到達鏡面部212的激光氣體的流量減少，因此能夠防止混入激光氣體的塵埃附著于鏡面部212、損傷鏡面部212自身。
[0037]圖3是沿圖2中II1-1II的剖視圖。如圖2及圖3所示，本例的阻礙部件4具有與筒狀的放電管10平行配置的圓筒狀的形態(tài)，在其外周面設置向半徑方向的外向突出的多個肋部件5。如圖3所示，在本例的阻礙部件4的外周面設置沿圓周方向等間距配置的四個肋部件5。這些肋部件5可以粘接或焊接于阻礙部件4的外周面，也可以與阻礙部件4一體形成。并且，通過這些肋部件5各自的前端面與貫穿孔141的內(nèi)周面接觸，將阻礙部件4安裝于貫穿孔141上。
[0038]如圖2及圖3所示，由本例而產(chǎn)生的四個肋部件5由于具有共同的尺寸及形狀，所以，圓筒狀的阻礙部件4與圓柱狀的貫穿孔141同心狀配置。另外，本例的阻礙部件4在放電管10的內(nèi)部空間露出(參照圖2)。由于在該內(nèi)部空間產(chǎn)生由誘導放出而產(chǎn)生的高能量的激光，所以，本例的阻礙部件4優(yōu)選由熱傳導性優(yōu)越的材料制成。本例的阻礙部件4由銅、黃銅或者鋁等金屬材料、或者氧化鋁那樣的熱傳導性優(yōu)越的陶瓷材料而形成。并且，上述的阻礙部件4的安裝結(jié)構(gòu)只不過為一例，本實施方式的激光振蕩裝置L可采用與本例不同的多種安裝結(jié)構(gòu)。關于阻礙部件4的安裝結(jié)構(gòu)的變形例后述。
[0039]如圖3所示，在圓筒狀的阻礙部件4的外周面和圓柱狀的貫穿孔141的內(nèi)周面之間形成與肋部件5對應的尺寸的空隙G，該空隙G發(fā)揮使混入激光氣體的塵埃附著于鏡面部212的概率降低的效果。關于該效果以下詳細說明。圖4是將圖2中阻礙部件4的周圍進一步放大并表示的局部放大圖。圖4中的多個箭頭表示通過圓筒狀的阻礙部件4的內(nèi)側(cè)的激光氣體的流動。如圖4所示，從阻礙部件4的一側(cè)的開口部41流入的激光氣體在阻礙部件4的內(nèi)側(cè)被加壓時，通過在相反側(cè)的開口部42產(chǎn)生的噴氣流，通過阻礙部件4內(nèi)側(cè)的激光氣體的流動被減速的同時，該流動的一部分流入上述的空隙G中。由此，由于到達鏡面部212的激光氣體的流量減少，因此能夠降低混入激光氣體的塵埃附著于鏡面部212的概率，其結(jié)果，能夠延長第一光學部件21的壽命。
[0040]再次參照圖2及圖3，關于本例的阻礙部件4的具體尺寸進行說明。首先，為了不遮蔽在光共振部2的鏡面部212、222間往復的激光的光軸，圓筒狀的阻礙部件4的內(nèi)徑與圓狀的鏡面部212的直徑Cl1大致相等?；蛘?，考慮阻礙部件4及鏡面部212等的尺寸公差，阻礙部件4的內(nèi)徑&1也可以比鏡面部212的直徑d 1大5%左右(這種情況下a 1 =
1.0SXd1) ο而且，為了促進通過放電部11的激光氣體不是流入貫穿孔141而是流入送風配管3，圓筒狀的阻礙部件4的內(nèi)徑&1也要比送風配管3的第一連接口 31的內(nèi)徑D i足夠小。更具體地說，本例的阻