一種剝離液供給系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造加工技術(shù)領(lǐng)域，具體地說，涉及一種剝離液供給系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]在一般薄膜晶體管TFT制造工藝流程中，采用4?5道光罩工藝逐次形成所需的電路圖案，其中每道工藝幾乎均需進(jìn)行剝離作業(yè)。剝離作業(yè)通常通過剝離機(jī)實(shí)現(xiàn)。剝離機(jī)中藥液儲(chǔ)槽的藥液補(bǔ)給一般由化學(xué)品中央供給系統(tǒng)CCSS實(shí)現(xiàn)。藥液補(bǔ)給結(jié)束后，用栗從藥液儲(chǔ)槽抽取藥液，經(jīng)過濾器過濾，供給到各剝離設(shè)備單元的噴淋系統(tǒng)，將藥液噴灑在基板上，溶解去除光阻。
[0003]目前常見剝離機(jī)的藥液供給系統(tǒng)不利于藥液統(tǒng)一管理及成本降低。另外，由于各剝離機(jī)獨(dú)自控制藥液使用，增加了各機(jī)臺(tái)的栗、過濾器等設(shè)備的投資。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為解決以上問題，本發(fā)明提供了一種剝離液供給系統(tǒng)，用以對(duì)藥液進(jìn)行統(tǒng)一管理并降低剝離成本。
[0005]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，提供了一種剝離液供給系統(tǒng)，包括:
[0006]若干藥槽，用于盛放剝離液；
[0007]多個(gè)剝離設(shè)備單元，基于預(yù)定原則分組，且分組后同一組內(nèi)的剝離設(shè)備單元連接至同一藥槽，用以接收藥槽供給的剝離液來對(duì)被剝離物進(jìn)行剝離處理。
[0008]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，基于預(yù)定原則分組包括:將具有相同剝離液種類、剝離液濃度和噴射條件的剝離設(shè)備單元分為一組。
[0009]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，同一組內(nèi)的所述剝離設(shè)備單元各通過一條連接管路與同一藥槽連接，并且在各個(gè)連接管路上設(shè)置一用以從所述藥槽中抽取剝離液的栗。
[0010]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，在各個(gè)所述剝離設(shè)備單元與所述藥槽的連接管路上設(shè)置有一位于所述栗與所述剝離設(shè)備單元之間的過濾器，用以對(duì)從所述藥槽中抽取的剝離液進(jìn)行過濾。
[0011]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，同一組內(nèi)的各個(gè)所述剝離設(shè)備單元與所述藥槽的連接管路匯集為一公用連接管路，通過所述公用連接管路與所述藥槽連接，并在所述共用連接管路上配置一用以從所述藥槽中抽取剝離液的栗。
[0012]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，在所述共用連接管路上設(shè)置有一位于所述栗與各個(gè)所述剝離設(shè)備單元之間的過濾器，用以對(duì)從所述藥槽中抽取的剝離液進(jìn)行過濾。
[0013]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，在各個(gè)所述剝離設(shè)備單元與所述過濾器之間的連接管路上各設(shè)置一自動(dòng)閥，用以控制連接管路的開/閉。
[0014]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，通過控制與所述剝離設(shè)備單元連接的自動(dòng)閥及所述剝離設(shè)備單元與所述藥槽連接管路上的栗協(xié)同工作，以實(shí)現(xiàn)從所述藥槽中抽取剝離液并將剝離液送至對(duì)應(yīng)的剝離設(shè)備單元。
[0015]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，若干所述藥槽基于其內(nèi)部剝離液種類和雜質(zhì)濃度的大小通過連接管道依次連通，用以在所述藥槽中的剝離液達(dá)到更換條件后實(shí)現(xiàn)所述藥槽間的級(jí)聯(lián)換液。
[0016]根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例，若干所述藥槽與化學(xué)品中央供給系統(tǒng)連接，所述化學(xué)品中央供給系統(tǒng)用于向所述藥槽提供剝離液。
[0017]本發(fā)明的有益效果:
[0018]本發(fā)明通過將符合一定原則的藥槽合并或?qū)⒎弦欢ㄔ瓌t的剝離設(shè)備單元分至同一組后連接至同一藥槽，可以減化藥槽使用數(shù)量，減化設(shè)備硬件結(jié)構(gòu)，降低設(shè)備投資。將同一組內(nèi)的各個(gè)剝離設(shè)備單元與藥槽的連接管路匯集為一公用連接管路，并在該共用連接管路上設(shè)置一個(gè)栗和過濾器，可以進(jìn)一步降低設(shè)備投資。另外，由同一藥槽向同一組內(nèi)的剝離設(shè)備單元供液，有利于藥液統(tǒng)一管理，并具有較好的藥液濃度等均勻性，從而間接改善了藥液導(dǎo)致的產(chǎn)品作業(yè)均勻性。此外，由于藥液便于管理，藥液中雜質(zhì)容易控制，從而有利于改善剝離液中雜質(zhì)導(dǎo)致的光阻殘留。
[0019]本發(fā)明的其它特征和優(yōu)點(diǎn)將在隨后的說明書中闡述，并且，部分地從說明書中變得顯而易見，或者通過實(shí)施本發(fā)明而了解。本發(fā)明的目的和其他優(yōu)點(diǎn)可通過在說明書、權(quán)利要求書以及附圖中所特別指出的結(jié)構(gòu)來實(shí)現(xiàn)和獲得。
【附圖說明】
[0020]為了更清楚地說明本發(fā)明實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對(duì)實(shí)施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要的附圖做簡單的介紹:
[0021]圖1是現(xiàn)有技術(shù)中的半導(dǎo)體/TFT制造工藝流程圖；
[0022]圖2是現(xiàn)有技術(shù)中的剝離機(jī)的藥液供給系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖；
[0023]圖3是根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的剝離液供給系統(tǒng)示意圖；以及
[0024]圖4是根據(jù)本發(fā)明的另一個(gè)實(shí)施例的剝離液供給系統(tǒng)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0025]以下將結(jié)合附圖及實(shí)施例來詳細(xì)說明本發(fā)明的實(shí)施方式，借此對(duì)本發(fā)明如何應(yīng)用技術(shù)手段來解決技術(shù)問題，并達(dá)成技術(shù)效果的實(shí)現(xiàn)過程能充分理解并據(jù)以實(shí)施。需要說明的是，只要不構(gòu)成沖突，本發(fā)明中的各個(gè)實(shí)施例以及各實(shí)施例中的各個(gè)特征可以相互結(jié)合，所形成的技術(shù)方案均在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
[0026]如圖1所示為現(xiàn)有技術(shù)中一般半導(dǎo)體/TFT制造工藝流程圖。如圖1所示，在一般半導(dǎo)體/TFT的制造工藝流程中，采用4?5道光罩工藝逐次形成所需的電路圖案。對(duì)應(yīng)于每一道光罩工藝，都要依次經(jīng)歷洗凈、成膜、黃光、蝕刻和剝離幾個(gè)步驟。由此可知，對(duì)應(yīng)每一道工藝均需進(jìn)行剝離作業(yè)。
[0027]現(xiàn)有技術(shù)中，通常采用剝離機(jī)進(jìn)行剝離作業(yè)。如圖2所示為現(xiàn)有技術(shù)中一般剝離機(jī)的藥液供給系統(tǒng)結(jié)構(gòu)示意圖，虛線框內(nèi)為現(xiàn)有的一般剝離機(jī)(對(duì)應(yīng)剝離單元)的結(jié)構(gòu)示意圖，以下參考圖2來對(duì)現(xiàn)有的剝離機(jī)結(jié)構(gòu)及工作原理進(jìn)行說明。
[0028]如圖2所示，該剝離機(jī)主要由化學(xué)品中央供給系統(tǒng)和剝離單元構(gòu)成。其中，化學(xué)品中央供給系統(tǒng)用于向剝離單元提供剝離液?，F(xiàn)有的供給系統(tǒng)包括CCSS系統(tǒng)。剝離單元是剝離機(jī)的主要部分，包括多個(gè)藥液儲(chǔ)槽(如圖2中的Tank-1、Tank-2、Tank-3)和對(duì)應(yīng)的設(shè)備單元(如圖 2 中的 Unit-1、Unit-2、Unit-3)。
[0029]藥液儲(chǔ)槽存儲(chǔ)化學(xué)品中央供給系統(tǒng)提供的剝離液，用于向?qū)?yīng)的設(shè)備單元提供剝離液。將需剝離光阻的基板依次放入各設(shè)備單元中進(jìn)行光阻剝離。基于光阻的剝離條件、剝離液種類等劃分為不同的設(shè)備單元。如圖2中所示，設(shè)備單元可劃分為高壓剝離設(shè)備單元和常壓剝離設(shè)備單元。為方便各設(shè)備單元從藥槽中抽取剝離液，在各設(shè)備單元與對(duì)應(yīng)的藥槽的連接管路上設(shè)置有栗和過濾器，栗用于從藥槽中抽取藥液，過濾器用于去除藥液中的顆粒。另外，在各設(shè)備單元中還設(shè)置有噴淋系統(tǒng)，用于向基板上噴淋藥液。
[0030]在該剝離機(jī)工作時(shí)，首先將基板搬入高壓剝離設(shè)備單元中，高壓剝離設(shè)備單元將從藥槽Tank-1中抽取剝離液，剝離液經(jīng)過濾器過濾后，供給到Unit-1單元的噴淋系統(tǒng)，將藥液噴灑在基板上，溶解去除光阻。在Unit-1單元中剝離完成后，基板上還是會(huì)殘留光阻，接下來依次進(jìn)入常壓剝離設(shè)備單元Unit-2和Unit-3中，分別進(jìn)行類似Unit-1單元中的光阻剝離處理。光阻剝離處理完成后，對(duì)基板進(jìn)行水洗及干燥處理后，將基板搬出。在各剝離設(shè)備單元使用的剝離液種類相同時(shí)，可以將藥液Tank-1、Tank-2、Tank-3進(jìn)依次連接，形成級(jí)聯(lián)換液系統(tǒng)。
[0031]圖2所示的剝離機(jī)供液系統(tǒng)不利于藥液統(tǒng)一管理及成本降低。另外，由于各剝離機(jī)內(nèi)部的各剝離設(shè)備單元獨(dú)自控制藥液使用，此方法增加了剝離機(jī)的栗、過濾器等設(shè)備的投資。因此，本發(fā)明提出了一種新的剝離機(jī)藥液供給系統(tǒng)，用以減化設(shè)備硬件結(jié)構(gòu)，降低設(shè)備投資，有利于藥液統(tǒng)一管理。
[0032]如圖3所示為根據(jù)本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例的剝離機(jī)供液系統(tǒng)的結(jié)構(gòu)示意圖，以下參考圖3來對(duì)本發(fā)明進(jìn)行詳細(xì)說明。
[0033]如圖3所示，該剝離液供給系統(tǒng)包括若干藥槽及多個(gè)剝離設(shè)備單元。其中，藥槽用于盛放剝離液。多個(gè)剝離設(shè)備單元首先基于預(yù)定原則分組，分組后同一組內(nèi)的剝離設(shè)備單元連接至同一藥槽，用以接收藥槽供給的剝離液來對(duì)被剝離物進(jìn)行剝離處理。
[0034]具體的，在基于預(yù)定原則對(duì)多個(gè)剝離設(shè)備單元進(jìn)行分組時(shí)，將具有相同剝離液種類、剝離液濃度和噴射條件(噴淋系統(tǒng)的噴淋流量及壓力)的剝離設(shè)備單元分為一組。將依據(jù)以上原則分組后的一組剝離設(shè)備單元(如圖3中的Strp l#Unit-l、StrpNfflJnit-1等))連接至同一藥槽。或者，也可以將具有相同剝離液種類、剝離液濃度和噴射條件的剝離設(shè)備單元對(duì)應(yīng)的藥槽合并為一個(gè)藥槽(如圖3中的Tank-1、Tank-2和Tank-N)，由這個(gè)藥槽向該組內(nèi)的剝離設(shè)備單元統(tǒng)一提供剝離液。這樣，就不需要設(shè)置與剝離設(shè)備單元一一對(duì)應(yīng)、相同數(shù)量的藥槽，有利于減化設(shè)備硬件結(jié)構(gòu)，降低設(shè)備投資。由同一藥槽向同一組內(nèi)的多個(gè)剝離設(shè)備單元供液，有利于藥液統(tǒng)一管理，能更有效地改善剝離殘留。如某個(gè)藥槽作業(yè)的N個(gè)剝離設(shè)備單元中，