，輔助電極13與陰極12電性接觸，用于向陰極12施加公共電壓。輔助電極13的材料為透明金屬氧化物，如:銦錫氧化物或銦鋅氧化物。
[0049]通過本發(fā)明的技術(shù)方案制得的有源矩陣發(fā)光二極管顯示面板，具有以下優(yōu)點:由于平坦層7與有機材料薄膜和無機材料薄膜均具有良好的粘附性，使得平坦層7與無機絕緣層6不會發(fā)生剝離，從而無機絕緣層6能夠起到抵抗?jié)駳狻⑽畚锖推渌髿饨M分。而平坦層7與導(dǎo)電層9的粘附性好，能夠保證導(dǎo)電層9的電氣性能好，并長期穩(wěn)定。同時，層與層之間良好的粘附性還能夠減輕機械、熱沖擊和震動引起的機械應(yīng)力和張力。
[0050]本發(fā)明實施例中還提供一種顯示基板的制作方法，包括形成平坦層的步驟，該平坦層用于提供平坦的表面。上述形成平坦層的步驟包括:
[0051]制備用于形成平坦層的有機硅；
[0052]通過成膜工藝，形成有機硅薄膜；
[0053]固化有機硅薄膜，形成平坦層。
[0054]上述步驟中，可以通過加熱或常溫環(huán)境下，對有機硅薄膜進行固化。
[0055]當顯示基板包括半導(dǎo)體元件時，所述制作方法還包括:
[0056]形成覆蓋半導(dǎo)體元件的無機絕緣層，進行水氧阻隔，保護上述半導(dǎo)體元件的半導(dǎo)體性能，該無機絕緣層的材料通常包括氮化硅或氧化硅，；
[0057]則具體在所述無機絕緣層上形成平坦層。
[0058]在形成平坦層的步驟之后，上述制作方法還包括:
[0059]在平坦層上形成導(dǎo)電層，該導(dǎo)電層的材料包括金屬、金屬合金或金屬氧化物。
[0060]通過上述步驟形成的平坦層的相鄰薄膜包括無機絕緣層和導(dǎo)電層，由于平坦層的材料有機硅兼具有有機材料和無機材料的性能，使得平坦層與無機絕緣層、導(dǎo)電層均具有良好的粘附性，防止平坦層與無機絕緣層、導(dǎo)電層發(fā)生剝離，保證顯示基板的性能，提高產(chǎn)品品質(zhì)O
[0061]當無機絕緣層由有機絕緣層取代時，同樣能夠防止平坦層與有機絕緣層、導(dǎo)電層發(fā)生剝離。
[0062]其中，有機硅的制備過程很重要，只有保證有機硅具有較好的成膜性，才能保證平坦層的成膜質(zhì)量。
[0063]在一具體的實施方式中，用于形成平坦層的有機硅由硅凝膠溶解于脂肪族或芳香族的烷烴、鹵代烷烴制得。則制備有機硅的步驟包括:
[0064]將硅凝膠溶解于脂肪族或芳香族的烷烴、鹵代烷烴，制得有機硅。
[0065]具體可以采用刮涂法成膜工藝，形成有機硅薄膜。
[0066]上述刮涂法成膜工藝的具體過程為:設(shè)定所述顯示基板的形狀為矩形，成膜設(shè)備的噴嘴為長條狀，將噴嘴對應(yīng)到所述顯示基板的長邊上方，并平行于所述矩形的長邊設(shè)置，驅(qū)動所述噴嘴沿著矩形的寬邊進行均速掃描，以在整個顯示基板上噴涂有機硅，形成有機硅薄膜。
[0067]在另一具體的實施方式中，用于形成平坦層的有機硅由正硅酸乙酯和H2O發(fā)生水解聚合反應(yīng)制得。則制備有機硅的步驟包括:
[0068]將正硅酸乙酯和H2O進行水解聚合反應(yīng)，形成有機硅聚合物溶液。
[0069]具體可以采用甩膠法成膜工藝，形成一定厚度的有機硅薄膜，然后對所述有機硅薄膜進行熱處理。重復(fù)上述操作直到所述有機硅薄膜的厚度達到所需厚度。
[0070]上述水解聚合反應(yīng)中，正硅酸乙酯和H2O的方程式為:
[0071 ] nSi (OR) 4+ (2n_l.5) H2O = (RO) 3_Si_0 (-S1-O) n 2-Si_0H+ (4n_3) HOR
[0072]具體的，將正硅酸乙酯和H2O進行水解聚合反應(yīng)的步驟包括:
[0073]將正硅酸乙酯溶解于無水乙醇中，并加入一定量的H2O和甘油(C3H5(OH)3)，獲得一混合溶液；
[0074]在所述混合溶液中加入一定量濃鹽酸進行攪拌，使得正硅酸乙酯和H2O發(fā)生一次水解聚合反應(yīng)，當溶液變得清澈透明時，加入聚乙烯醇水溶液進行攪拌，使得正硅酸乙酯和H2O發(fā)生二次水解聚合反應(yīng)。
[0075]其中，正硅酸乙酯和比0水解聚合反應(yīng)中，H2O與正硅酸乙酯為等物質(zhì)的量。聚乙烯醇水溶液的體積為10_15ml，聚乙烯醇的質(zhì)量百分比為5%左右。
[0076]在實際制備過程中，上述二次水解聚合反應(yīng)通常持續(xù)60min，然后用慢速濾紙對反應(yīng)溶液進行過濾，可得有機硅聚合物溶液。
[0077]當制備完有機硅聚合物溶液后，具體可以在超凈室，用甩膠機以1800-2200r/min將有機硅聚合物溶液進行成膜20s-40s，然后在340-360°C下熱處理30_35min，升溫速率保持在2-5°C /min，重復(fù)上述操作直到有機硅薄膜的厚度達到所需厚度，最后，將有機硅薄膜在一定溫度下熱處理30-35min。
[0078]本發(fā)明實施例中還提供一種顯示裝置，其包括本發(fā)明實施例中的顯示基板，上述顯示基板的平坦層與相鄰的有機薄膜和無機薄膜都能夠具有較好的粘附性，不會發(fā)生剝離，保證了顯示基板的性能，從而提高了顯示器件的品質(zhì)。
[0079]所述顯示裝置可以包括液晶顯示裝置、有機發(fā)光二極管顯示裝置、觸摸顯示裝置，或其他顯示裝置。具體的，所述顯示裝置包括顯示面板、電子紙、OLED面板、手機、平板電腦、電視機、顯示器、筆記本電腦、數(shù)碼相框、導(dǎo)航儀等任何具有顯示功能的產(chǎn)品或部件。
[0080]以上所述僅是本發(fā)明的優(yōu)選實施方式，應(yīng)當指出，對于本技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員來說，在不脫離本發(fā)明技術(shù)原理的前提下，還可以做出若干改進和替換，這些改進和替換也應(yīng)視為本發(fā)明的保護范圍。
【主權(quán)項】
1.一種顯示基板，包括平坦層，用于提供平坦的表面，其特征在于，所述平坦層的材料包括有機硅，用以增加所述平坦層與有機材料薄膜和無機材料薄膜的粘附性。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述顯示基板還包括無機絕緣層和導(dǎo)電層，所述平坦層覆蓋所述無機絕緣層，所述導(dǎo)電層設(shè)置在所述平坦層上。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的顯示基板，其特征在于，所述無機絕緣層的材料包括氮化硅或氧化硅。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述有機硅由硅凝膠溶解于脂肪族或芳香族的烷烴、鹵代烷烴制得。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的顯示基板，其特征在于，所述有機硅由正硅酸乙酯和10發(fā)生水解聚合反應(yīng)制得。6.根據(jù)權(quán)利要求1-5任一項所述的顯示基板，其特征在于，所述顯示基板為有源矩陣有機發(fā)光二極管陣列基板，具體包括: 基底; 設(shè)置在所述基底上的薄膜晶體管； 覆蓋所述薄膜晶體管的無機絕緣層； 覆蓋所述無機絕緣層的平坦層； 設(shè)置在所述平坦層上的像素界定層，用于界定多個像素區(qū)域； 設(shè)置在平坦層上、位于像素區(qū)域內(nèi)的陽極，所述陽極通過貫穿所述平坦層和無機絕緣層的過孔與薄膜晶體管的漏電極電性連接； 設(shè)置在所述陽極上、位于像素區(qū)域內(nèi)的有機發(fā)光層； 覆蓋所述有機發(fā)光層的陰極。7.—種顯示基板的制作方法，包括形成平坦層的步驟，所述平坦層用于提供平坦的表面，其特征在于，所述形成平坦層的步驟包括: 制備用于形成所述平坦層的有機硅； 通過成膜工藝，形成有機硅薄膜； 固化所述有機硅薄膜，形成所述平坦層。8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制作方法，其特征在于，在所述形成平坦層的步驟之前，所述制作方法還包括: 形成無機絕緣層； 具體在所述無機絕緣層上形成所述平坦層； 在所述形成平坦層的步驟之后，所述制作方法還包括: 在所述平坦層上形成導(dǎo)電層。9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的制作方法，其特征在于，所述無機絕緣層的材料包括氮化硅或氧化硅。10.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制作方法，其特征在于，所述制備用于形成所述平坦層的有機硅的步驟包括: 將硅凝膠溶解于脂肪族或芳香族的烷烴、鹵代烷烴，制得有機硅。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的制作方法，其特征在于，所述通過成膜工藝，形成有機硅薄膜的步驟具體為: 采用刮涂法成膜工藝，形成有機硅薄膜。12.根據(jù)權(quán)利要求7所述的制作方法，其特征在于，所述制備用于形成所述平坦層的有機硅的步驟包括: 將正硅酸乙酯和H2O進行水解聚合反應(yīng)，形成有機硅聚合物溶液。13.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制作方法，其特征在于，將正硅酸乙酯和H2O進行水解聚合反應(yīng)的步驟包括: 將正硅酸乙酯溶解于無水乙醇中，并加入一定量的H2O和甘油，獲得一混合溶液；在所述混合溶液中加入一定量濃鹽酸進行攪拌，使得正硅酸乙酯和H2O發(fā)生一次水解聚合反應(yīng)，當溶液變得清澈透明時，加入聚乙烯醇水溶液進行攪拌，使得正硅酸乙酯和H2O發(fā)生二次水解聚合反應(yīng)。14.根據(jù)權(quán)利要求12所述的制作方法，其特征在于，所述通過成膜工藝，形成有機硅薄膜的步驟具體為: 采用甩膠法成膜工藝，形成一定厚度的有機硅薄膜，然后對所述有機硅薄膜進行熱處理； 重復(fù)上述操作直到所述有機硅薄膜的厚度達到所需厚度。15.一種顯示裝置，其特征在于，包括權(quán)利要求1-6任一項所述的顯示基板。
【專利摘要】本發(fā)明涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，公開了一種顯示基板及其制作方法、顯示裝置。所述顯示基板的平坦層由有機硅材料制得，由于有機硅兼具有有機材料和無機材料的性能，能夠增加平坦層與有機材料薄膜和無機材料薄膜的粘附性，防止平坦層與相鄰薄膜的界面發(fā)生脫離，保證顯示基板的性能，提高產(chǎn)品品質(zhì)。
【IPC分類】H01L21/02, H01L27/32
【公開號】CN105206646
【申請?zhí)枴緾N201510564816
【發(fā)明人】胡月, 劉則
【申請人】京東方科技集團股份有限公司
【公開日】2015年12月30日
【申請日】2015年9月7日