一種多晶硅太陽能電池混合制絨的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明涉及一種多晶硅太陽能電池混合制絨的方法，屬于太陽能光伏技術(shù)領(lǐng)域。
【背景技術(shù)】
[0002] 近年來，太陽能電池片生產(chǎn)技術(shù)不斷進(jìn)步，生產(chǎn)成本不斷降低，轉(zhuǎn)換效率不斷提 高，使得光伏發(fā)電的應(yīng)用日益普及并迅猛發(fā)展，逐漸成為電力供應(yīng)的重要來源。太陽能電池 片可以在陽光的照射下，把光能轉(zhuǎn)換為電能，實(shí)現(xiàn)光伏發(fā)電。
[0003] 太陽能電池片的生產(chǎn)工藝比較復(fù)雜，簡單說來，太陽能電池的制作過程主要包括： 制絨、擴(kuò)散、刻蝕、鍍膜、印刷和燒結(jié)等。制絨是制備具有減少反射功能的硅表面的方法，在 硅太陽能電池的制作過程中，一般都采用制絨的方式將硅片表面織構(gòu)化，利用表面的陷光 作用促進(jìn)太陽光的吸收，提高電池的轉(zhuǎn)換效率。
[0004] 在現(xiàn)有的生產(chǎn)工藝中，對(duì)于多晶硅硅片一般采用單一的酸制絨方式，得到的絨面 能達(dá)到比較好的織構(gòu)化效果，但是跟本專利中發(fā)明的酸堿混合制絨相比，還是存在較大的 差距。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 本發(fā)明的目的是提供一種多晶硅太陽能電池混合制絨的方法，對(duì)多晶硅硅片進(jìn)行 先堿液制絨后酸液制絨的混合制絨工藝，并根據(jù)硅片的品質(zhì)等級(jí)調(diào)節(jié)堿、酸制絨的工藝，以 達(dá)到最好的綜合制絨效果，增強(qiáng)了硅片表面的陷光作用，一定程度上提升了太陽能電池的 轉(zhuǎn)換效率，該方法成本低廉，工藝簡單，制絨效果好。
[0006] -種多晶硅太陽能電池混合制絨的方法，具體步驟為： (1) 堿制絨 使用NaOH或KOH溶液進(jìn)行堿制絨，加熱至65-85°C，多晶硅片的堿制絨腐蝕深度調(diào)節(jié)在 1-10 μ m，清洗后吹干； (2) 酸制絨 使用HF、圓03與純水配制的混合酸溶液進(jìn)行酸制絨，多晶硅片酸制絨時(shí)制絨溫度為 2_15°C，腐蝕深度調(diào)節(jié)在2_20 μ m，清洗后吹干即得。
[0007] 其中NaOH或KOH溶液的配制方法為：先配制NaOH或KOH飽和溶液，再把NaOH或 KOH飽和溶液用水進(jìn)行兩次稀釋，第一次加水稀釋后配制為NaOH或KOH溶液I，使得NaOH 或KOH飽和溶液的體積分?jǐn)?shù)百分含量為45-50%，第二次加水稀釋后配制為NaOH或KOH溶 液，使得NaOH或KOH溶液I的體積分?jǐn)?shù)百分含量為2-6%。
[0008] 其中混合酸溶液中HF和HNO3的總體積分?jǐn)?shù)百分含量為50-80%，HF和HNO 3的體積 比為1:1-5。
[0009] 本發(fā)明的優(yōu)點(diǎn)是可以根據(jù)硅片的質(zhì)量調(diào)整堿、酸制絨的程度比例，以獲得最佳的 混合制絨效果。常規(guī)單一的酸制絨工藝能將硅片的表面反射率降低至24%左右，經(jīng)本發(fā)明 制絨工藝得到的硅片，反射率均值約為20. 8-23%，較單一酸制絨降低1-4% ;最終電池片轉(zhuǎn) 換效率較單一酸制絨提高0. 03-0. 05%。
【具體實(shí)施方式】
[0010] 為了使本技術(shù)領(lǐng)域的人員更好的理解本專利方案，并使本專利的上述目的、特征 和優(yōu)點(diǎn)能夠更明顯易懂，下面結(jié)合實(shí)施例做進(jìn)一步詳細(xì)說明。所使用的試劑如無特別說明 均為正常生產(chǎn)中所使用的電子級(jí)化學(xué)品。
[0011] 實(shí)施例： 一種多晶硅太陽能電池混合制絨的方法，具體步驟為： 實(shí)驗(yàn)所使用的硅片為電阻率為1-3Ω. cm的156mmX156mm規(guī)格的P型多晶硅片。
[0012] (1)堿制絨 使用KOH溶液進(jìn)行堿制絨，加熱至75°C，多晶硅片的堿制絨腐蝕深度調(diào)節(jié)在3-4. 5 μ m， 清洗后吹干； (2)酸制絨 使用HF、圓03與純水配制的混合酸溶液進(jìn)行酸制絨，多晶硅片酸制絨時(shí)制絨溫度為 8°C，腐蝕深度調(diào)節(jié)在5-6 μ m，清洗后吹干即得。
[0013] 其中KOH溶液的配制方法為：先配制KOH飽和溶液，再把KOH飽和溶液用水進(jìn)行 兩次稀釋，第一次加水稀釋后配制為KOH溶液I，使得KOH飽和溶液的體積分?jǐn)?shù)百分含量為 50%，第二次加水稀釋后配制為KOH溶液，使得KOH溶液I的體積分?jǐn)?shù)百分含量為3%。
[0014] 其中混合酸溶液中HF和HNO3的總體積分?jǐn)?shù)百分含量為67%，HF和HNO 3的體積比 為 1:5〇
[0015] 對(duì)比例： 實(shí)驗(yàn)所使用的硅片為電阻率為1-3Ω. cm的156mmX156mm規(guī)格的P型多晶硅片。
[0016] 酸制絨：選擇HF、HNO3與純水配制酸制絨液，混合酸的體積百分含量為67%，HF與 HNO3的體積比為1:5,硅片酸制絨時(shí)制絨溫度為8°C，調(diào)節(jié)制絨時(shí)間使硅片的腐蝕深度為 6-8um〇
[0017] 實(shí)施例制絨采取的是本專利中的混合制絨工藝，對(duì)比例制絨方式為正常生產(chǎn)的酸 制線工藝制線后反射率低，表;吸收光越多，提1? Isc (A)，進(jìn)而提1?轉(zhuǎn)化效率Eta (%) D
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 一種多晶硅太陽能電池混合制絨的方法，其特征在于：對(duì)多晶硅太陽能電池使用酸 喊兩步制域。2. 一種多晶娃太陽能電池混合制域的方法，其特征在于：對(duì)多晶娃娃片米取先喊液制 絨，后酸液制絨。3. -種多晶硅太陽能電池混合制絨的方法，其特征在于：具體步驟為： (1) 堿制絨 使用NaOH或KOH溶液進(jìn)行堿制絨，加熱至65-85°C，多晶硅片的堿制絨腐蝕深度調(diào)節(jié)在 1-10ym，清洗后吹干； (2) 酸制絨 使用HF、圓03與純水配制的混合酸溶液進(jìn)行酸制絨，多晶硅片酸制絨時(shí)制絨溫度為 2_15°C，腐蝕深度調(diào)節(jié)在2_20ym，清洗后吹干即得。4. 如權(quán)利要求3所述的一種多晶硅太陽能電池混合制絨的方法，其特征在于：其中 NaOH或KOH溶液的配制方法為：先配制NaOH或KOH飽和溶液，再把NaOH或KOH飽和溶液 用水進(jìn)行兩次稀釋，第一次加水稀釋后配制為NaOH或KOH溶液I，使得NaOH或KOH飽和溶 液的體積分?jǐn)?shù)百分含量為45-50%，第二次加水稀釋后配制為NaOH或KOH溶液，使得NaOH或 KOH溶液I的體積分?jǐn)?shù)百分含量為2-6%。5. 如權(quán)利要求3所述的一種多晶硅太陽能電池混合制絨的方法，其特征在于：其中混 合酸溶液中HF和HNO3的總體積分?jǐn)?shù)百分含量為50-80%，HF和HNO3的體積比為1:1-5。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種多晶硅太陽能電池混合制絨的方法，用于改善多晶硅太陽能電池制絨效果的方法，屬于半導(dǎo)體制造領(lǐng)域。該方法是使用酸堿混合制絨，對(duì)多晶硅太陽能電池表面織構(gòu)進(jìn)行優(yōu)化，降低表面反射率，一定程度上提升了太陽能電池的轉(zhuǎn)換效率，該方法工藝簡單，整體制絨效果好。
【IPC分類】H01L31/0236
【公開號(hào)】CN105206688
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201510660019
【發(fā)明人】易敏華, 陳園, 楊曉琴, 張明明, 王晗, 蔣洋洋, 曹江偉
【申請(qǐng)人】江西展宇新能源股份有限公司
【公開日】2015年12月30日
【申請(qǐng)日】2015年10月14日