一種軟性顯示器的取下方法及其制造方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種軟性顯示器(flexible display)，尤其涉及一種該軟性顯示器的取下方法及其制造方法。
【背景技術】
[0002]軟性顯示器因其輕薄、可撓曲、耐沖擊、安全可靠且不受場合與空間限制的諸多優(yōu)勢，儼然成為下一代極具競爭力的平面顯示器。一般來說，軟性顯示器泛指在可彎曲的塑料薄片、玻璃薄板或金屬薄片等軟性基板上制作的平面顯示器。由于軟性基板具有較佳的機械特性，可解決現(xiàn)有玻璃基板硬、脆、重、不耐沖擊等缺點，故開發(fā)軟性顯示器技術，可利用其輕薄、省電、耐沖擊的特性朝便攜式產(chǎn)品應用發(fā)展。對于部分采用簡化結(jié)構(gòu)與制程的軟性顯示器，其低成本、低耗能的優(yōu)勢，亦可符合未來愈趨嚴苛的環(huán)保訴求。
[0003]在軟性顯示器的分類中，依照應用環(huán)境撓曲的程度來分，可將其劃分為平坦式(flat)、服貼式(conformable)、彎曲式(bendable)與可卷式(rollable)等類別。平坦式軟性顯示器可應用于識別卡、桌牌標簽、壁掛等日常環(huán)境；服貼式軟性顯示器的功能與平坦式顯示器相同，可運用在曲面廣告牌、杯子等固定曲面環(huán)境的產(chǎn)品項目；彎曲式軟性顯示器應用在如電子書、穿戴飾品等在一定曲面范圍且需重復撓曲的產(chǎn)品類別，讓軟性顯示器能更貼近個人應用領域；可卷式軟性顯示器應用在對軟性環(huán)境要求極高的作業(yè)與收藏環(huán)境，如電子地圖或個人可攜式信息裝置等。軟性基板有著許多材料本身的限制，無法完全適用于目前的玻璃基板制程，正因如此，很多適應于軟性基板的制程技術便迅速發(fā)展起來。例如，軟性基板的特性與軟性顯示器技術中，最關鍵的部分就是軟性顯示器如何從玻璃基板取下，而現(xiàn)有技術中的常用解決方案是，使用鐳射剝離技術(Laser Lift Off, LL0)取下及薄膜封裝方式完成軟性顯示器的制作，在玻璃基板與軟性顯示器之間鍍上一層遇特定波長的鐳射光才會反應的高分子材料，此時會進行高強度的鐳射照射。當激光束聚焦于高分子材料時，高分子材料反應產(chǎn)生氣體與碳粉并制造一個微小氣泡，進而使薄膜晶體管(thinfilm transistor, TFT)與基板脫離以實現(xiàn)軟性顯示器的取下。雖然鐳射剝離技術已經(jīng)極大地降低了制程不良率，但還是會發(fā)生高分子材料無法破壞的問題，這將增加軟性顯示器的取下難度。
[0004]有鑒于此，如何設計一種軟性顯示器的取下方法或?qū)ΜF(xiàn)有的鐳射剝離取下方法進行有效改良，以消除現(xiàn)有技術中的上述缺陷或不足，是業(yè)內(nèi)相關技術人員亟待解決的一項課題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]針對現(xiàn)有技術的軟性顯示器的取下方法所存在的上述缺陷，本發(fā)明提供一種新穎的、可有效降低取下之后畫面異?，F(xiàn)象發(fā)生的軟性顯示器的取下方法及其制造方法。
[0006]依據(jù)本發(fā)明的一個方面，提供了一種軟性顯示器的取下(de-bonding)方法，包括以下步驟:
[0007]提供一支撐載板(carrier substrate)，所述支撐載板具有多個毛細孔洞；
[0008]涂布一犧牲層于所述支撐載板的上方，所述犧牲層的上表面具有至少一開口 ；
[0009]涂布一緩沖層于所述犧牲層的上方；
[0010]沉積一軟性顯示器于所述緩沖層的上方；
[0011]對所述犧牲層進行蝕刻，使得所述緩沖層與所述支撐載板之間具有氣隙；以及
[0012]從所述支撐載板取下所述軟性顯示器。
[0013]在其中的一實施例，所述支撐載板為一玻璃基板或一透明塑膠基板。
[0014]在其中的一實施例，所述犧牲層為電性絕緣的氧化硅(S1x)材質(zhì)。
[0015]在其中的一實施例，所述犧牲層的厚度為1微米。
[0016]在其中的一實施例，所述緩沖層為具有導電能力的氧化銦錫(ΙΤ0)材質(zhì)。
[0017]在其中的一實施例，上述對所述犧牲層進行蝕刻使得所述緩沖層與所述支撐載板之間具有氣隙的步驟還包括:提供一蝕刻溶劑；以及利用所述蝕刻溶劑對所述犧牲層進行化學溶解，以保留所述緩沖層。
[0018]在其中的一實施例，所述軟性顯示器為一有機發(fā)光二極管軟性顯示器(0LEDFlexible Display)或一微米發(fā)光二極管顯示器(μ LED Flexible Display)。
[0019]依據(jù)本發(fā)明的另一個方面，提供了一種軟性顯示器的制造方法，包括以下步驟:
[0020]提供一支撐載板，所述支撐載板具有多個毛細孔洞，以及所述支撐載板為一玻璃基板或一透明塑膠基板；
[0021]涂布一氧化硅層于所述支撐載板的上方，所述氧化硅層的上表面具有至少一開P ;
[0022]涂布一透明導電層于所述氧化硅層的上方；
[0023]沉積一軟性顯示器于所述透明導電層的上方；
[0024]對所述氧化硅層進行蝕刻，使得所述透明導電層與所述支撐載板之間具有氣隙；以及
[0025]從所述支撐載板取下所述軟性顯示器。
[0026]在其中的一實施例，所述氧化硅層的厚度為1微米。
[0027]在其中的一實施例，所述軟性顯示器為一有機發(fā)光二極管軟性顯示器(0LEDFlexible Display)或一微米發(fā)光二極管顯示器(μ LED Flexible Display)。
[0028]采用本發(fā)明的軟性顯示器的取下方法及其制造方法，首先提供具有多個毛細孔洞的支撐載板，然后依次涂布一犧牲層于支撐載板的上方以及涂布一緩沖層于犧牲層的上方，接著沉積一軟性顯示器于緩沖層的上方，并對上述犧牲層進行蝕刻使得緩沖層與支撐載板之間具有氣隙，最后再從支撐載板取下軟性顯示器。相比于現(xiàn)有技術，本發(fā)明將軟性顯示器的制程在特殊的支撐載板上操作，免除了需要鐳射剝離取下的后續(xù)制程。并且，由于特殊支撐載板有毛細孔洞的設計，可預先在將要制作的軟性顯示器尺寸的下方對應地制作毛細孔洞，從而兼容多種不同形狀與尺寸的軟性顯示器。此外，由于氧化硅層被蝕刻而保留緩沖層之后，在緩沖層與支撐載板之間存在氣隙，當施加外力于軟性顯示器時，可輕易地將軟性顯示器從支撐載板取下，進而有效避免或降低產(chǎn)品取下之后所出現(xiàn)的畫面異常等不良情形。
【附圖說明】
[0029]讀者在參照附圖閱讀了本發(fā)明的【具體實施方式】以后，將會更清楚地了解本發(fā)明的各個方面。其中，
[0030]圖1示出依據(jù)本發(fā)明的一實施方式的軟性顯示器的取下方法的流程框圖；
[0031]圖2A至圖2F分別示出圖1的軟性顯示器的取下方法的步驟分解示意圖；以及
[0032]圖3示出依據(jù)本發(fā)明另一實施方式的軟性顯示器的制造方法的流程框圖。
【具體實施方式】
[0033]為了使本申請所揭示的技術內(nèi)容更加詳盡與完備，可參照附圖以及本發(fā)明的下述各種具體實施例，附圖中相同的標記代表相同或相似的組件。然而，本領域的普通技術人員應當理解，下文中所提供的實施例并非用來限制本發(fā)明所涵蓋的范圍。此外，附圖僅僅用于示意性地加以說明，并未依照其原尺寸進行繪制。
[0034]下面參照附圖，對本發(fā)明各個方面的【具體實施方式】作進一步的詳細描述。
[0035]圖1示出依據(jù)本發(fā)明的一實施方式的軟性顯示器的取下方法的流程框圖。圖2A至圖2F分別示出圖1的軟性顯示器的取下方法的步驟分解示意圖。
[0036]如前文【背景技術】部分所述，在現(xiàn)有技術中，往往使用鐳射剝離技術(Laser LiftOff, LL0)取下及薄膜封裝方式完成軟性顯示器的制作。當激光束