部分電極。
[0049]必要時(shí)存在的、壓電非活性襯底17導(dǎo)電地構(gòu)造是有利的，因?yàn)樵撘r底17于是能夠直接自身被用作單一電極23。在該情況下，免除相應(yīng)電極的分開(kāi)的應(yīng)用。在圖1和2的實(shí)施例中情況如此。
[0050]不過(guò)，容易地存在除了壓電非活性襯底17之外設(shè)置第二電極13的可能性。在圖3的實(shí)施例中存在這種結(jié)構(gòu)形式。在此情況下第二電極13適宜地被布置在壓電體4和壓電非活性襯底17之間。在第二電極13也與第一電極12 —樣以多個(gè)單獨(dú)的部分電極13a的形式實(shí)現(xiàn)時(shí)，該結(jié)構(gòu)形式尤其是特別有意義的。
[0051]壓電體4適宜地單件地以及尤其整體地被構(gòu)造。
[0052]尤其與被構(gòu)造為彎曲轉(zhuǎn)換器的壓電轉(zhuǎn)換器2有關(guān)地，適宜的是，帶狀地以縱向形狀來(lái)構(gòu)造多個(gè)以及尤其全體的單獨(dú)的部分電極12a、13a并且布置在壓電體4上，使得所述部分電極在縱軸8的軸向上伸展并且以橫向間隔在縱向側(cè)并排地布置。這適用于兩個(gè)實(shí)施例。
[0053]自身的電流限制電阻25a、25b、25c與每個(gè)部分電極對(duì)18串聯(lián)，使得每個(gè)電流限制電阻25a、25b、25c尤其在電荷流入到部分電極對(duì)18的情況下、優(yōu)選地但是也在電荷流出該部分電極對(duì)18的情況下由電流流過(guò)。以這種方式，對(duì)于部分電容來(lái)說(shuō)進(jìn)行到以下程度的對(duì)電流強(qiáng)度的限制，所述程度允許壓電執(zhí)行器裝置1也在有爆炸危險(xiǎn)的區(qū)域中的使用。電流限制電阻25a、25b、25c中的每個(gè)是純歐姆電阻。因此也可以談及阻性電流限制。對(duì)于每個(gè)電流限制電阻25a、25b、25c來(lái)說(shuō)，電阻值適宜地為幾千歐。
[0054]不范性地，每個(gè)部分電極對(duì)18與用于電荷傳輸?shù)淖陨淼碾娺B接導(dǎo)體26a、26b、26c接觸，所分配的電流限制電阻25a、25b、25c被接通到所述電連接導(dǎo)體的走向中并且所述電連接導(dǎo)體是已經(jīng)提到的電導(dǎo)體裝置15的組成部件。這些電連接導(dǎo)體26a、26b、26c適宜地共同地連接到電壓源16上。因此所有的部分電極對(duì)18連接到相同的電壓源16上。通過(guò)電壓源16是能夠切換的，存在將全體部分電極對(duì)18同時(shí)施加到操控電壓上或從該操控電壓分離的可能性。執(zhí)行器裝置1優(yōu)選地被運(yùn)行，使得將相同的操控電壓分別同時(shí)地施加到全體部分電極對(duì)18上。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種壓電執(zhí)行器裝置，具有至少一個(gè)壓電轉(zhuǎn)換器(2)，所述壓電轉(zhuǎn)換器擁有至少一個(gè)壓電體(4)以及被分配給該壓電體(4)的、由兩個(gè)被布置在所述壓電體(4)的彼此相對(duì)的側(cè)上的電極(12、13)構(gòu)成的以及具有總電容的電極單元(14)，其特征在于，所述電極單元(14)的兩個(gè)電極(12、13)中的至少一個(gè)被細(xì)分成多個(gè)彼此間隔的單獨(dú)的部分電極(12a、13a)，所述部分電極與位于對(duì)面的電極(13、12)形成多個(gè)分別定義所述總電容的部分電容的部分電極對(duì)(18)，其中在電荷流動(dòng)時(shí)有效的自身的電流限制電阻(25a、25b、25c)與每個(gè)部分電極對(duì)(18)串聯(lián)。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電執(zhí)行器裝置，其特征在于，所述電極單元(14)的兩個(gè)電極(12)中僅僅一個(gè)被細(xì)分成多個(gè)彼此間隔的單獨(dú)的部分電極(12a)，而位于對(duì)面的另一電極(13)是單一電極(23)并且所述單一電極(23)的位于所述單獨(dú)的部分電極(12a、13a)對(duì)面的電極區(qū)段(24)有助于分別形成部分電極對(duì)(18)。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的壓電執(zhí)行器裝置，其特征在于，所述電極單元(14)的兩個(gè)電極(12、13)被細(xì)分成多個(gè)彼此間隔的單獨(dú)的部分電極(12a、13a)，其中所述兩個(gè)電極(12、13)的單獨(dú)的部分電極(12、13)成對(duì)地彼此位于對(duì)面以形成部分電極對(duì)(18)。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓電執(zhí)行器裝置，其特征在于，所述兩個(gè)電極(12、13)被細(xì)分成同樣大數(shù)目的單獨(dú)的部分電極(12a、13a)，其中一個(gè)電極(12、13)的每個(gè)單獨(dú)的部分電極(12a、13a)位于另一電極(13、12)的單獨(dú)的部分電極(13a、12a)對(duì)面以形成部分電極對(duì)(18)。5.根據(jù)權(quán)利要求3或4所述的壓電執(zhí)行器裝置，其特征在于，在形成部分電極對(duì)(18)的情況下分別彼此位于對(duì)面的單獨(dú)的部分電極(12a、13a)是同樣大的。6.根據(jù)權(quán)利要求1至5之一所述的壓電執(zhí)行器裝置，其特征在于，屬于相同的電極(12,13)的單獨(dú)的部分電極(12a、13a)位于共同的平面內(nèi)。7.根據(jù)權(quán)利要求1至6之一所述的壓電執(zhí)行器裝置，其特征在于，每個(gè)被細(xì)分成單獨(dú)的部分電極(12a、13a)的電極(12、13)的多個(gè)以及適宜地全體的單獨(dú)的部分電極(12a、13a)被帶狀地構(gòu)造并且以橫向間隔在縱向側(cè)上并排地布置。8.根據(jù)權(quán)利要求1至7之一所述的壓電執(zhí)行器裝置，其特征在于，所述壓電轉(zhuǎn)換器(2)被構(gòu)造為具有縱向形狀的彎曲轉(zhuǎn)換器，其中每個(gè)被細(xì)分成單獨(dú)的部分電極(12a、13a)的電極(12、13)的單獨(dú)的部分電極(12a、13a)橫向于所述彎曲轉(zhuǎn)換器的縱向以間隔并排地布置。9.根據(jù)權(quán)利要求1至8之一所述的壓電執(zhí)行器裝置，其特征在于，所述至少一個(gè)壓電體(4)單件地以及尤其整體地被構(gòu)造。10.根據(jù)權(quán)利要求1至9之一所述的壓電執(zhí)行器裝置，其特征在于，所述壓電體(4)被布置在壓電非活性、適宜地有彈簧彈性的襯底(17 )上。11.根據(jù)權(quán)利要求10所述的壓電執(zhí)行器裝置，其特征在于，所述壓電非活性襯底(17)具有導(dǎo)電特性并且直接形成所述電極單元(14)的單一電極(23)。12.根據(jù)權(quán)利要求1至11之一所述的壓電執(zhí)行器裝置，其特征在于，每個(gè)部分電極對(duì)(18 )與用于電荷傳輸?shù)淖陨淼碾娺B接導(dǎo)體(26a、26b、26c )接觸，所分配的串聯(lián)的電流限制電阻(25a、25b、25c)接通到所述電連接導(dǎo)體的走向中。13.根據(jù)權(quán)利要求1至12之一所述的壓電執(zhí)行器裝置，其特征在于，所述壓電執(zhí)行器裝置具有用于提供用于操縱所述至少一個(gè)壓電轉(zhuǎn)換器(2)的操控電壓的電壓源(16)，全體的部分電極對(duì)(18)與所述電壓源同時(shí)連接或能夠連接。14.根據(jù)權(quán)利要求13所述的壓電執(zhí)行器裝置，其特征在于，全體的部分電極對(duì)(18)從相同的電壓源(16)被供應(yīng)電流，使得能夠同時(shí)將相同的操控電壓施加到所述全體的部分電極對(duì)(18)上。15.用于控制流體的閥門，所述閥門具有壓電執(zhí)行器裝置(1)，所述壓電執(zhí)行器裝置包含至少一個(gè)壓電轉(zhuǎn)換器(2)，所述壓電轉(zhuǎn)換器擁有至少一個(gè)壓電體(4)以及被分配給該壓電體(4)的、由兩個(gè)被布置在所述壓電體(4)的彼此相對(duì)的側(cè)上的電極(12、13)構(gòu)成的以及具有總電容的電極單元(14)，其中所述壓電轉(zhuǎn)換器(2)形成閥門構(gòu)件或者用于閥門構(gòu)件的驅(qū)動(dòng)元件，其特征在于，所述電極單元(14)的兩個(gè)電極(12、13)中的至少一個(gè)被細(xì)分成多個(gè)彼此間隔的單獨(dú)的部分電極(12a、13a)，所述部分電極與位于對(duì)面的電極(13、12)形成多個(gè)分別定義所述總電容的部分電容的部分電極對(duì)(18 )，其中在電荷流動(dòng)時(shí)有效的自身的電流限制電阻(25a、25b、25c)與每個(gè)部分電極對(duì)(18)串聯(lián)。16.根據(jù)權(quán)利要求15所述的閥門，其特征在于，所述壓電執(zhí)行器裝置(1)根據(jù)權(quán)利要求2至14的特征中的一個(gè)或多個(gè)來(lái)構(gòu)造。
【專利摘要】提出一種壓電執(zhí)行器裝置（1），所述壓電執(zhí)行器裝置具有至少一個(gè)壓電轉(zhuǎn)換器（2），所述壓電轉(zhuǎn)換器擁有至少一個(gè)壓電體（4）以及被分配給該壓電體（4）的、由兩個(gè)彼此位于對(duì)面的電極（12、13）構(gòu)成的電極單元（14），所述電極單元具有總電容。所述兩個(gè)電極（12、13）中的至少一個(gè)被細(xì)分成多個(gè)彼此間隔的單獨(dú)的部分電極（12a、13a），所述部分電極與位于對(duì)面的電極（13、12）形成多個(gè)分別定義所述總電容的部分電極對(duì)（18）。在電荷流動(dòng)時(shí)有效的自身的電流限制電阻（25a、25b、25c）與每個(gè)部分電極對(duì)（18）串聯(lián)。此外提出配備有這種執(zhí)行器裝置（1）的、用于控制流體的閥門。
【IPC分類】H01L41/047, H01L41/04
【公開(kāi)號(hào)】CN105378956
【申請(qǐng)?zhí)枴緾N201480032710
【發(fā)明人】G.帕勒莫, J.安德勒, H.維爾特爾, G.霍伊茨
【申請(qǐng)人】費(fèi)斯托股份有限兩合公司
【公開(kāi)日】2016年3月2日
【申請(qǐng)日】2014年5月22日
【公告號(hào)】DE102013009646A1, EP2984689A1, US20160118573, WO2014194986A1