基板容納容器、加載端口裝置以及基板處理裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ] 本發(fā)明涉及容納半導(dǎo)體晶片、光掩模用的玻璃基板、液晶顯示裝置用玻璃基板、光盤(pán)用基板等(以下僅稱為“基板”)的基板容納容器、能夠應(yīng)用于該基板容納容器的加載端口(load port)裝置以及基板處理裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]以往，存在將基板以兩種方式支撐的基板容納容器(例如在日本特開(kāi)2007-227941號(hào)公報(bào)公開(kāi))。該基板容納容器具有框體、蓋、擱板和緩沖器(cush1n)?？蝮w能夠容納多個(gè)基板。蓋相對(duì)于框體能夠裝卸。擱板和緩沖器設(shè)置在框體的內(nèi)部。擱板以基板的下表面與擱板接觸的狀態(tài)來(lái)載置基板。緩沖器以基板與擱板分離且基板無(wú)法移動(dòng)的狀態(tài)來(lái)保持基板。這樣，基板容納容器以擱板支撐基板的方式以及緩沖器支撐基板的方式來(lái)支撐基板。
[0003]在蓋從框體卸下時(shí)，擱板對(duì)基板進(jìn)行支撐。由此，在基板容納器的外部設(shè)置的外部搬送機(jī)構(gòu)能夠搬出基板容納容器內(nèi)的基板或向基板容納容器內(nèi)搬入基板。在蓋安裝在框體上時(shí)，緩沖器對(duì)基板進(jìn)行支撐。由此，在輸送基板容納容器時(shí)能夠適當(dāng)?shù)乇Ｗo(hù)基板。這樣，擱板支撐基板的方式和緩沖器支撐基板的方式因蓋相對(duì)于框體的裝卸而相互切換。
[0004]但是，在具有這種結(jié)構(gòu)的以往例的情況下，發(fā)明者發(fā)現(xiàn)存在如下的問(wèn)題。
[0005]S卩，存在如下情況:即使蓋從基板容納容器離開(kāi)，緩沖器也保持著基板，基板不從緩沖器脫離。其原因在于，認(rèn)為存在在緩沖器的表面上形成的損傷、在緩沖器上堆積的緩沖器和基板的摩耗粉等。
[0006]在蓋從基板容納容器離開(kāi)時(shí)而基板不從緩沖器脫離的情況下，基板無(wú)法恰當(dāng)?shù)剌d置在擱板上，無(wú)法適當(dāng)?shù)卮_?；灞舜说拈g隔。因此，外部搬送機(jī)構(gòu)難以進(jìn)入基板彼此的間隙，難以搬出基板容納容器內(nèi)的基板。另外，在蓋從基板容納容器離開(kāi)時(shí)基板不從緩沖器脫離的情況下，基板的移動(dòng)被緩沖器限制。例如，基板被緩沖器卡住而難以移動(dòng)。因此，外部搬送機(jī)構(gòu)難以保持基板，難以搬出基板容納容器內(nèi)的基板。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]本發(fā)明是鑒于上述情況而提出的，其目的在于能夠恰當(dāng)?shù)卦试S基板的搬出的基板容納容器、加載端口裝置以及基板處理裝置。
[0008]本發(fā)明為了實(shí)現(xiàn)上述目的，而采用如下的結(jié)構(gòu)。
[0009]S卩，本發(fā)明的基板容納容器，其中，所述容器具有:
[0010]框體，在該框體的內(nèi)部能夠容納基板，且在該框體的前表面具有開(kāi)口，
[0011]擱板構(gòu)件，設(shè)置在所述框體的內(nèi)部，用于與基板的下表面接觸，將基板載置為大致水平姿勢(shì)，
[0012]框體用支撐構(gòu)件，設(shè)置在所述框體的內(nèi)部，用于對(duì)基板的端部進(jìn)行支撐，
[0013]移動(dòng)機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述框體的內(nèi)部，用于使基板移動(dòng)，
[0014]蓋，能夠相對(duì)于所述框體裝卸，來(lái)對(duì)所述開(kāi)口進(jìn)行開(kāi)閉，
[0015]蓋用支撐構(gòu)件，安裝在所述蓋的后面表，用于對(duì)基板的端部進(jìn)行支撐；
[0016]所述框體用支撐構(gòu)件具有將基板的端部支撐為不能向上方移動(dòng)的約束部，
[0017]在所述蓋安裝在所述框體上的狀態(tài)下，所述框體用支撐構(gòu)件和所述蓋用支撐構(gòu)件以基板的下表面不與所述擱板構(gòu)件接觸的狀態(tài)夾持基板的端部，且所述框體用支撐構(gòu)件利用所述約束部對(duì)基板的端部進(jìn)行支撐，
[0018]在所述蓋從所述框體離開(kāi)時(shí)，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)使由所述約束部支撐的基板移動(dòng)，來(lái)使基板的端部從所述約束部脫離，使基板以大致水平姿勢(shì)載置在所述擱板構(gòu)件上。
[0019]在蓋安裝在框體上的狀態(tài)下，框體用支撐構(gòu)件以及蓋用支撐構(gòu)件分別支撐基板的端部。特別是，框體用支撐構(gòu)件利用約束部對(duì)基板的端部進(jìn)行支撐。由此，框體用支撐構(gòu)件和蓋用支撐構(gòu)件夾持基板。在蓋從框體離開(kāi)的狀態(tài)下，擱板構(gòu)件載置基板。
[0020]在蓋從框體離開(kāi)時(shí)，移動(dòng)機(jī)構(gòu)使由約束部支撐的基板移動(dòng)。即，移動(dòng)機(jī)構(gòu)使基板的端部從約束部脫離。由此，基板能夠向上方移動(dòng)。進(jìn)而，移動(dòng)機(jī)構(gòu)將基板以大致水平姿勢(shì)載置在擱板構(gòu)件上。由此，適當(dāng)確保基板間的在上下方向上的間隙。因此，在蓋從框體脫離的狀態(tài)下，在基板容納容器的外部設(shè)置的搬送機(jī)構(gòu)能夠恰當(dāng)進(jìn)入例如基板容納容器內(nèi)，能夠恰當(dāng)保持基板容納容器內(nèi)的基板。這樣，基板容納容器能夠允許恰當(dāng)搬出基板容納容器內(nèi)的基板。
[0021]此外，移動(dòng)機(jī)構(gòu)既可以使未由約束部支撐的基板移動(dòng)，也可以不使未由約束部支撐的基板移動(dòng)。在此，“未由約束部支撐的基板”例如是與蓋離開(kāi)的同時(shí)，自然地(利用自重)從約束部脫離的基板。
[0022]另外，直到基板以大致水平姿勢(shì)載置在擱板構(gòu)件上為止，移動(dòng)機(jī)構(gòu)既可以與基板持續(xù)接觸，也可以不持續(xù)接觸。即，如果能夠使基板以大致水平姿勢(shì)載置在擱板構(gòu)件上，則可以在基板以大致水平姿勢(shì)載置在擱板構(gòu)件上之前，移動(dòng)機(jī)構(gòu)從基板離開(kāi)。
[0023]進(jìn)而，在蓋從框體離開(kāi)的狀態(tài)下，框體用支撐構(gòu)件既可以利用除了約束部以外的部位與基板接觸，也可以使框體用支撐構(gòu)件整體與基板分離。
[0024]在上述的發(fā)明中，優(yōu)選所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)具有能夠彈性變形的彈性構(gòu)件，在所述蓋安裝在所述框體上的狀態(tài)下，所述彈性構(gòu)件以能夠利用所述約束部對(duì)基板進(jìn)行支撐的方式進(jìn)行彈性變形，在所述蓋從所述框體離開(kāi)時(shí)，所述彈性構(gòu)件通過(guò)進(jìn)行回復(fù)來(lái)使基板移動(dòng)。移動(dòng)機(jī)構(gòu)具有彈性構(gòu)件，因此無(wú)需使移動(dòng)機(jī)構(gòu)另外具有用于使基板移動(dòng)的機(jī)構(gòu)。因此，能夠使移動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化、小型化。
[0025]在上述的發(fā)明中，優(yōu)選所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)具有使所述蓋相對(duì)于所述框體的移動(dòng)和所述彈性構(gòu)件的彈性變形連動(dòng)的連桿構(gòu)件。連桿構(gòu)件利用蓋的裝卸時(shí)的移動(dòng)，來(lái)使彈性構(gòu)件動(dòng)作。因而，能夠使移動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)更簡(jiǎn)化、小型化。
[0026]在上述的發(fā)明中，優(yōu)選所述彈性構(gòu)件能夠與基板直接接觸。能夠使移動(dòng)機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)進(jìn)一步簡(jiǎn)化。
[0027]在上述的發(fā)明中，優(yōu)選所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)還具有接觸構(gòu)件，該接觸構(gòu)件與所述彈性構(gòu)件連結(jié)，并且能夠與基板直接接觸。接觸構(gòu)件是與彈性構(gòu)件不同的構(gòu)件，彈性構(gòu)件不會(huì)與基板直接接觸。因而，能夠良好地保護(hù)基板。
[0028]在上述的發(fā)明中，優(yōu)選所述基板容納容器具有將所述接觸構(gòu)件的移動(dòng)方向限制在一個(gè)方向上的引導(dǎo)構(gòu)件。在蓋從框體離開(kāi)時(shí)，接觸構(gòu)件能夠使基板恰當(dāng)?shù)匾苿?dòng)。由此，基板容納容器能夠更適宜地允許基板的搬出。
[0029]在上述的發(fā)明中，優(yōu)選所述基板容納容器具有限制構(gòu)件，該限制構(gòu)件規(guī)定所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)的可動(dòng)范圍，使得所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)帶動(dòng)基板移動(dòng)的范圍恒定。限制構(gòu)件使移動(dòng)機(jī)構(gòu)對(duì)基板的移動(dòng)范圍恒定。由此，能夠使在蓋從框體離開(kāi)時(shí)的基板的位置恒定。換言之，能夠防止每當(dāng)蓋從框體離開(kāi)時(shí)基板的位置出現(xiàn)偏差。由此，基板容納容器能夠更適宜地允許基板的搬出。
[0030]在上述的發(fā)明中，優(yōu)選所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)具有:
[0031]氣體動(dòng)作部，利用氣體的供給以及排出進(jìn)行動(dòng)作；
[0032]連接口，能夠與基板容納容器的外部設(shè)備連接；
[0033]氣體流路，連接所述氣體動(dòng)作部和所述連接口。
[0034]由于移動(dòng)機(jī)構(gòu)具有氣體動(dòng)作部，所以能更精細(xì)地管理基板的移動(dòng)。此外，“外部設(shè)備”是在基板容納容器的外部設(shè)置的設(shè)備。
[0035]在上述的發(fā)明中，優(yōu)選所述蓋用支撐構(gòu)件能夠相對(duì)于所述蓋升降。由于蓋用支撐構(gòu)件相對(duì)于蓋升降，在蓋用支撐構(gòu)件和基板之間不滑動(dòng)的情況下，蓋用支撐構(gòu)件使基板升降。由此，能夠抑制基板和蓋用支撐構(gòu)件之間產(chǎn)生塵埃。
[0036]在上述的發(fā)明中，優(yōu)選所述基板容納容器具有使所述蓋用支撐構(gòu)件相對(duì)于所述蓋升降的蓋用升降機(jī)構(gòu)。由于具有蓋用升降機(jī)構(gòu)，所以能夠恰當(dāng)?shù)厥股w用支撐構(gòu)件升降。
[0037]在上述的發(fā)明中，優(yōu)選所述基板容納容器具有將所述蓋固定在所述框體上的鎖定機(jī)構(gòu)，
[0038]所述蓋用升降機(jī)構(gòu)與所述鎖定機(jī)構(gòu)連動(dòng)連結(jié)，所述蓋用升降機(jī)構(gòu)與所述鎖定機(jī)構(gòu)的動(dòng)作連動(dòng)來(lái)使所述蓋用支撐構(gòu)件相對(duì)于所述蓋升降。
[0039]蓋用升降機(jī)構(gòu)能夠利用鎖定機(jī)構(gòu)的動(dòng)作來(lái)使蓋用支撐構(gòu)件升降。由此，能夠使蓋用升降機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化、小型化。
[0040]在上述的發(fā)明中，優(yōu)選所述蓋用升降機(jī)構(gòu)與相對(duì)于所述框體裝卸的所述蓋的移動(dòng)連動(dòng)，來(lái)使所述蓋用支撐構(gòu)件相對(duì)于所述蓋升降。蓋用升降機(jī)構(gòu)能夠利用在裝卸時(shí)的蓋相對(duì)于框體的動(dòng)作，來(lái)使蓋用支撐構(gòu)件升降。由此，能夠使蓋用升降機(jī)構(gòu)的結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)化、小型化。
[0041]在上述的發(fā)明中，優(yōu)選所述蓋用支撐構(gòu)件能夠相對(duì)于所述蓋在大致水平方向上移動(dòng)。在蓋安裝在框體上的狀態(tài)下，框體用支撐構(gòu)件和蓋用支撐構(gòu)件能夠更適宜地夾持基板。
[0042]在上述的發(fā)明中，優(yōu)選所述蓋用支撐構(gòu)件的材質(zhì)是具有彈性的樹(shù)脂。蓋用支撐構(gòu)件能夠與框體用支撐構(gòu)件一起可靠地保持基板。
[0043]另外，本發(fā)明的加載端口裝置，其中，
[0044]所述裝置具有:
[0045]載置臺(tái)，能夠載置基板容納容器，
[0046]蓋開(kāi)閉機(jī)構(gòu)，對(duì)在所述載置臺(tái)上載置的所述基板容納容器的所述蓋進(jìn)行開(kāi)閉；
[0047]所述基板容納容器具有:
[0048]框體，在該框體的內(nèi)部能夠容納基板，且在該框體的前表面具有開(kāi)口，
[0049]擱板構(gòu)件，設(shè)置在所述框體的內(nèi)部，用于與基板的下表面接觸，將基板載置為大致水平姿勢(shì)，
[0050]框體用支撐構(gòu)件，設(shè)置在所述框體的內(nèi)部，用于對(duì)基板的端部進(jìn)行支撐，
[0051]移動(dòng)機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述框體的內(nèi)部，用于使基板移動(dòng)，
[0052]蓋，能夠相對(duì)于所述框體裝卸，來(lái)對(duì)所述開(kāi)口進(jìn)行開(kāi)閉，
[0053]蓋用支撐構(gòu)件，安裝在所述蓋的后面表，用于對(duì)基板的端部進(jìn)行支撐；
[0054]所述框體用支撐構(gòu)件具有將基板的端部支撐為不能向上方移動(dòng)的約束部，
[0055]在所述蓋安裝在所述框體上的狀態(tài)下，所述框體用支撐構(gòu)件和所述蓋用支撐構(gòu)件以基板的下表面不與所述擱板構(gòu)件接觸的狀態(tài)夾持基板的端部，且所述框體用支撐構(gòu)件利用所述約束部對(duì)基板的端部進(jìn)行支撐，
[0056]在所述蓋從所述框體離開(kāi)時(shí)，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)使由所述約束部支撐的基板移動(dòng)，來(lái)使基板的端部從所述約束部脫離，使基板以大致水平姿勢(shì)載置在所述擱板構(gòu)件上。
[0057]根據(jù)本發(fā)明的加載端口裝置，能夠適宜地載置上述的基板容納容器。
[0058]另外，本發(fā)明的基板處理裝置，其中，
[0059]所述基板處理裝置具有:
[0060]載置臺(tái)，能夠載置基板容納容器，
[0061]蓋開(kāi)閉機(jī)構(gòu)，對(duì)在所述載置臺(tái)上載置的所述基板容納容器的所述蓋進(jìn)行開(kāi)閉，
[0062]處理單元，對(duì)基板進(jìn)行處理，
[0063]搬送機(jī)構(gòu)，從在載置臺(tái)上載置的所述基板容納容器搬出基板，并向所述處理單元搬入基板；
[0064]所述基板容納容器具有:
[0065]框體，在該框體的內(nèi)部能夠容納基板，且在該框體的前表面具有開(kāi)口，
[0066]擱板構(gòu)件，設(shè)置在所述框體的內(nèi)部，用于與基板的下表面接觸，將基板載置為大致水平姿勢(shì)，
[0067]框體用支撐構(gòu)件，設(shè)置在所述框體的內(nèi)部，用于對(duì)基板的端部進(jìn)行支撐，
[0068]移動(dòng)機(jī)構(gòu)，設(shè)置在所述框體的內(nèi)部，用于使基板移動(dòng)，
[0069]蓋，能夠相對(duì)于所述框體裝卸，來(lái)對(duì)所述開(kāi)口進(jìn)行開(kāi)閉，
[0070]蓋用支撐構(gòu)件，安裝在所述蓋的后面表，用于對(duì)基板的端部進(jìn)行支撐；
[0071]所述框體用支撐構(gòu)件具有將基板的端部支撐為不能向上方移動(dòng)的約束部，
[0072]在所述蓋安裝在所述框體上的狀態(tài)下，所述框體用支撐構(gòu)件和所述蓋用支撐構(gòu)件以基板的下表面不與所述擱板構(gòu)件接觸的狀態(tài)夾持基板的端部，且所述框體用支撐構(gòu)件利用所述約束部對(duì)基板的端部進(jìn)行支撐，
[0073]在所述蓋從所述框體離開(kāi)時(shí)，所述移動(dòng)機(jī)構(gòu)使由所述約束部支撐的基板移動(dòng)，來(lái)使基板的端部從所述約束部脫離，使基板以大致水平姿勢(shì)載置在所述擱板構(gòu)件上。
[0074]根據(jù)本發(fā)明的基板處理裝置，能夠?qū)υ谏鲜龅幕迦菁{容器容納的基板進(jìn)行處理。
【附圖說(shuō)明】
[0075]圖1A是表示蓋安裝在框體上時(shí)的基板容納容器的外觀的立體圖，圖1B是表示蓋未安裝在框體上時(shí)的基板容納容器的外觀的立體圖。
[0076]圖2A是表示框體的內(nèi)部的俯視圖，圖2B是表示框體的內(nèi)部的側(cè)視圖，圖2C是表示框體的內(nèi)部的主視圖。
[0077]圖3A是表示蓋以及蓋用支撐構(gòu)件的立體圖，圖3B是表示蓋以及蓋用支撐構(gòu)件的側(cè)視圖。
[0078]圖4A是基板處理裝置的俯視圖，圖4B是基板處理裝置的側(cè)視圖。
[0079]圖5A、圖5B、圖5C是表示將蓋相對(duì)于框體裝卸時(shí)的基板容納容器的內(nèi)部的圖。
[0080]圖6是表示將蓋從框體離開(kāi)時(shí)的基板容納容器的內(nèi)部的圖。
[0081]圖7是表示實(shí)施例2的框體的內(nèi)部的俯視圖。
[0082]圖8A、圖8B、圖8C是表示將蓋相對(duì)于框體裝卸時(shí)的基板容納容器的內(nèi)部的俯視圖。
[0083]圖9是表示實(shí)施例3的基板容納容器和加載端口裝置的放大側(cè)視圖。
[0084]圖10A、圖10B是表示實(shí)施例4的蓋的主視圖和側(cè)視圖。
[0085]圖11A、圖11B、圖11C是表示將蓋相對(duì)于框體裝卸時(shí)的基板容納容器的內(nèi)部的側(cè)視圖。
[0086]圖12A、圖12B、圖12C是表示將蓋相對(duì)于框體裝卸時(shí)的基板容納容器的內(nèi)部的側(cè)視圖。
[0087]圖13A是表示實(shí)施例6的蓋的后視圖，圖13B、圖13C、圖13D是表示實(shí)施例6的蓋的側(cè)視圖。
[0088]圖14A、圖14B、圖14C是表示將蓋相對(duì)于框體裝卸時(shí)的基板容納容器的內(nèi)部的側(cè)視圖。
[0089]圖15A、圖15B、圖15C、圖1?是表示變形實(shí)施例的蓋的側(cè)視圖。
[0090]圖16是表示變形實(shí)施例的框體的內(nèi)部的俯視圖。
[0091]圖17是表示變形實(shí)施例的框體的內(nèi)部的俯視圖。
[0092]圖18是表示變形實(shí)施例的基板容納容器和加載端口裝置的放大側(cè)視圖。
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