片；
[0038](4)氣壓調(diào)節(jié)設(shè)計，避免氣體膨脹損壞晶圓；
[0039](5)平衡補(bǔ)償設(shè)計，平衡墊圈避免長期使用時頂蓋形變進(jìn)而影響密封效果；
[0040](6)夾持穩(wěn)固，密封件部分鑲嵌入環(huán)形槽內(nèi)，不會相對移動，密封應(yīng)力大，不易漏液；
[0041](7)螺栓扣合的設(shè)計，結(jié)構(gòu)簡單操作便捷。
【附圖說明】
[0042]圖1為本實施例無損晶圓的濕法腐蝕保護(hù)夾具示意圖；
[0043]圖2為圖1中濕法腐蝕保護(hù)夾具的底座示意圖；
[0044]圖3為圖1中濕法腐蝕保護(hù)夾具的底座剖視圖；
[0045]圖4為圖1中濕法腐蝕保護(hù)夾具的頂蓋示意圖；
[0046]圖5為圖1中濕法腐蝕保護(hù)夾具的通氣手柄示意圖；
[0047]圖6為圖1中濕法腐蝕保護(hù)夾具的螺栓示意圖。
【具體實施方式】
[0048]下面結(jié)合【附圖說明】本發(fā)明【具體實施方式】。
[0049]如圖1所示，一種無損晶圓的濕法腐蝕保護(hù)夾具，包括相互配合以夾持晶圓的底座1和頂蓋4，所述晶圓包括需保護(hù)的正面和待腐蝕的背面，所述底座容納并密封包裹所述正面，所述頂蓋4為環(huán)形且抵壓在所述背面的邊緣部位，所述底座1和頂蓋4均通過彈性緩沖的密封件與晶圓接觸。
[0050]該無損晶圓的濕法腐蝕保護(hù)夾具具有成本低、使用方便并且密封性能好、對晶圓無損的優(yōu)點。其結(jié)構(gòu)具體包括底座1、下密封件2、平衡墊圈3、頂蓋4、上密封件5、通氣手柄
6、密封塞7和螺栓8。
[0051]如圖2?圖3所示，底座1正面為中部下凹結(jié)構(gòu)1-1，下凹圖形與所腐蝕晶圓一致，直徑尺寸為晶圓標(biāo)準(zhǔn)直徑加上相應(yīng)標(biāo)準(zhǔn)公差，保證所有晶圓都能順利放置里面但不允許有較大松動；在本實施例中，晶圓為直徑為150±0.5mm的六英寸硅片，下凹區(qū)域1-1直徑相應(yīng)的選用150.5mm。下凹部分靠近邊沿處有個下環(huán)形槽1_2，中部有個通氣孔1_3 ;底座正面切邊處有個方便鑷子取片槽1-4，外圍有一組固定螺孔1-5，再外圍有個平衡環(huán)形槽1-6 ;側(cè)面有個通氣通道1-7，通氣通道1-7中間細(xì)孔與中部通氣孔相通。
[0052]如圖4所示，頂蓋4是與底座1配合使用的，相應(yīng)地在頂蓋靠近內(nèi)圈處有個環(huán)狀上凸結(jié)構(gòu)4-1，并且凸起結(jié)構(gòu)中間還有個上環(huán)形槽4-2，頂蓋4凸出部分外圍尺寸比底座1相應(yīng)下凹尺寸略小，以保證兩部分能順利耦合但又不允許有較大松動；上凸高度再加上晶圓厚度的值比底座1上的下凹深度值還要小，保證夾具與晶圓不會有硬接觸；頂蓋4外圍是一組用于螺栓8的通孔4-3。
[0053]如圖5所不，通氣手柄6和密封塞7分別用于晶圓垂直放置時連接通氣孔1-3和水平放置時密封導(dǎo)氣孔1-3。通氣手柄6為中空結(jié)構(gòu)6-1，靠底端螺紋6-2固定于底座側(cè)壁通氣通道1-7時，保證晶圓被保護(hù)面氣壓與外界實時相通；無需被保護(hù)面氣壓與外界實時相通時，可用密封塞7堵住底座側(cè)壁氣孔1-3，可平躺在腐蝕液中腐蝕，使用更為方便。
[0054]如圖6所示，螺栓8的螺帽為六邊形帶有吊耳，吊耳為一字形的凸起8-1，兼容扳手工具和方便手?jǐn)Q，一字凸起中間還有穿孔8-2，可穿引線，方便在水平腐蝕時從溶液中取出夾具。
[0055]在本實施例中，除密封件外所有結(jié)構(gòu)均選用耐酸堿、耐高溫的硬質(zhì)聚四氟乙烯；密封墊圈可選用即耐腐蝕又有良好彈性的氟橡膠。相應(yīng)的，使用同樣的材料性能而不同材質(zhì)的發(fā)明應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
[0056]使用過程如下:
[0057]在需要加熱腐蝕晶圓時，將通氣手柄6與底座1固定牢固；在無需加熱腐蝕晶圓時，可用密封塞7密封住底座1的通氣孔1-3，并在部分螺栓8上引線孔8-2中穿上耐腐蝕的細(xì)繩。
[0058]將下密封件2放進(jìn)靠近底座中部下凹邊緣處的固定槽1-2中，并保證密封墊圈2高出固定槽1-2兩邊足夠高度。
[0059]將晶圓放置在底座1中間下凹處的墊圈2上，注意對齊切邊。
[0060]將上密封件5放進(jìn)頂蓋4的固定槽4-2中，并保證密封墊圈5高出固定槽4-2兩邊足夠高度。
[0061]將頂蓋凸起部分4-1扣進(jìn)底座下凹部分1-2，然后用螺栓8緊固夾具。
[0062]加熱腐蝕時將夾具垂直放在腐蝕液中并保持通氣手柄末端在液面以上。
[0063]無需加熱腐蝕時可將夾具水平放在腐蝕液中，并保證穿在螺栓8上的細(xì)繩末端在腐蝕液以外，此種情況下還可以增加攪拌，將腐蝕過程中產(chǎn)生的氣泡及時脫離晶圓表面，避免影響腐蝕速度和均勻性。
[0064]以上所述僅為本發(fā)明的優(yōu)選實施例而已，并不用于限制本發(fā)明，對于本領(lǐng)域的技術(shù)人員來說，本發(fā)明可以有各種更改和變化。凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所作的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種無損晶圓的濕法腐蝕保護(hù)夾具，包括相互配合以夾持晶圓的底座和頂蓋，所述晶圓具有需保護(hù)的正面和待腐蝕的背面，其特征在于，所述底座可容納并密封包裹所述正面，所述頂蓋為環(huán)形且抵壓在所述背面的邊緣部位，所述底座和頂蓋均通過彈性緩沖的密封件與晶圓接觸。2.如權(quán)利要求1所述的無損晶圓的濕法腐蝕保護(hù)夾具，其特征在于，所述底座的中部下凹構(gòu)成與所述正面形狀互補(bǔ)的保護(hù)面。3.如權(quán)利要求2所述的無損晶圓的濕法腐蝕保護(hù)夾具，其特征在于，所述底座上設(shè)有圍繞保護(hù)面布置的下環(huán)形槽，所述頂蓋對應(yīng)位置設(shè)有上環(huán)形槽，所述密封件分為上密封件和下密封件并分別安裝在對應(yīng)的環(huán)形槽內(nèi)。4.如權(quán)利要求3所述的無損晶圓的濕法腐蝕保護(hù)夾具，其特征在于，所述底座和頂蓋設(shè)有相互配合的限位環(huán)。5.如權(quán)利要求4所述的無損晶圓的濕法腐蝕保護(hù)夾具，其特征在于，所述底座上設(shè)有用于調(diào)節(jié)所述正面在濕法腐蝕時所受氣壓的調(diào)節(jié)裝置，該調(diào)節(jié)裝置包括: 保護(hù)面上的通氣孔； 位于底座內(nèi)部連通通氣孔和大氣的通氣通道； 安裝在通氣通道出口處的內(nèi)部中空的通氣手柄。6.如權(quán)利要求4所述的無損晶圓的濕法腐蝕保護(hù)夾具，其特征在于，所述底座上設(shè)有用于調(diào)節(jié)所述正面在濕法腐蝕時所受氣壓的調(diào)節(jié)裝置，該調(diào)節(jié)裝置包括: 保護(hù)面上的通氣孔； 位于底座內(nèi)部連通通氣孔和大氣的通氣通道； 安裝在通氣通道出口處的密封塞。7.如權(quán)利要求1所述的無損晶圓的濕法腐蝕保護(hù)夾具，其特征在于，所述底座和頂蓋的外沿夾持有用于分散緊固應(yīng)力的平衡墊圈。8.如權(quán)利要求1所述的無損晶圓的濕法腐蝕保護(hù)夾具，其特征在于，所述底座和頂蓋之間通過一組帶有吊環(huán)的螺栓連接固定，所述頂蓋擁有螺栓緊固時的鎖定態(tài)和螺栓卸下時相對于底座自由活動的自由態(tài)。9.如權(quán)利要求1所述的無損晶圓的濕法腐蝕保護(hù)夾具，其特征在于，所示底座上設(shè)有便于調(diào)整和夾取晶圓的取片槽。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種無損晶圓的濕法腐蝕保護(hù)夾具，包括相互配合以夾持晶圓的底座和頂蓋，所述晶圓具有需保護(hù)的正面和待腐蝕的背面，所述底座可容納并密封包裹所述正面，所述頂蓋為環(huán)形且抵壓在所述背面的邊緣部位，所述底座和頂蓋均通過彈性緩沖的密封件與晶圓接觸。本發(fā)明具有軟性夾持的設(shè)計，使用中晶圓只與軟質(zhì)密封件接觸，減少硬性接觸對晶圓的損傷；對應(yīng)夾持的設(shè)計，上下密封件夾持受力點對應(yīng)，避免受力不均造成晶圓破裂；保護(hù)面形狀對應(yīng)設(shè)計，避免對夾具緊固時晶圓扭動導(dǎo)致受力不均進(jìn)而引起裂片。
【IPC分類】H01L21/687
【公開號】CN105405802
【申請?zhí)枴緾N201510863258
【發(fā)明人】楊青, 徐鵬飛
【申請人】浙江大學(xué)
【公開日】2016年3月16日
【申請日】2015年11月30日