一種電機運動限位的方法
【技術領域】
[0001]本發(fā)明涉及一種電機運動限位的方法，特別是應用在離子注入機某些角度敏感的工藝，從而實現精確采集束流及測量束流角度。
【背景技術】
[0002]隨著半導體生產線進入到45nm及以下級別的工藝時，產品對離子注入角度要求的窗口越來越小，對于中束流注入設備來說，某些角度敏感的工藝，注入角度偏移設計角度
0.1度就會造成產品報廢。而目前我們設計的中束流離子注入機可以精確測量水平及垂直方向的束流角度和平行度，并且通過精確的結構控制，可以使在水平方向的注入角度控制在0.1度以內，量化角度偏差。從最近在生產線上的工藝測試數據來看，上電或者關電瞬間軸4 二次編碼在正向限位處卡死以及采集過程中由于皮帶打滑等造成采集的位置和束流值不對應，從而造成角度變化，不僅會影響到注入角度的偏差，而且會因為角度偏差引起總體劑量的偏差，直接導致RS-matching達不到生產線的要求。所以，優(yōu)化電機運動已經勢在必行，按照客戶嚴格的要求，優(yōu)化電機運動已經勢在必行。

【發(fā)明內容】

[0003]本發(fā)明專利即是針對上述現有技術中存在的問題而提出的一種結構簡單、實現可靠的用于離子注入機某些角度敏感的工藝角度測量技術。
[0004]本發(fā)明專利通過以下技術方案來實現:
[0005]一種電機運動限位的方法，其特征在于:該系統包括起始讀位置模塊(I)、啟動運行模塊⑵、錯誤檢測模塊⑶、讀中斷I/O模塊⑷、電機狀態(tài)檢測模塊(5)、運行過程中讀位置模塊￠)、軟件限位模塊(7)及限位檢測處理模塊(8)。
[0006]所述的起始讀位置模塊(I)置于初始化動作完成之后，用于精確采集軸3電機運動及軸4 二次編碼在開始采集時的精確位置，嚴格對應位置與束流值；在采集過程中軸3電機通過啟動運行模塊(2)帶動軸4 二次編碼運動，在運動過程中實時采集位置值，并且與起始讀位置模塊(I)進行比較，經由軟件限位模塊(7)嚴格將軸4 二次編碼值限定在行程范圍內，從而避免了機械撞擊；通過限位檢測處理模塊(8)進行相應的處理動作。
[0007]相對現有技術，本發(fā)明所述方法的有益效果在于:
[0008]1.軸4 二次編碼通過起始讀位置模塊(I)在中斷采集開始時精確采集位置值，從而將位置與束流值嚴格對應。
[0009]2.通過軟件限位精確控制行程，可以實時精準測量軸4 二次編碼位置，并且避免軸4超過行程時帶來的機械撞擊。
[0010]3.限位檢測精確可靠，由限位檢測處理模塊⑶實時處理軸3電機運動及軸4 二次編碼在超出行程的動作。
【附圖說明】
[0011]圖1是本發(fā)明所述電機運動限位的程序原理框圖；
[0012]圖2是本發(fā)明所述電機運動初始化控制原理圖；
[0013]圖3是本發(fā)明所述角度測量系統傳動及外觀。
【具體實施方式】
[0014]下面結合附圖和具體實施例對本發(fā)明作進一步的介紹，但不作為對本發(fā)明的限定。
[0015]如圖1所示:一種電機運動限位的方法，其特征在于:該系統包括起始讀位置模塊
(I)、啟動運行模塊⑵、錯誤檢測模塊(3)、讀中斷I/O模塊(4)、電機狀態(tài)檢測模塊(5)、運行過程中讀位置模塊￠)、軟件限位模塊(7)及限位檢測處理模塊(8)。
[0016]所述的起始讀位置模塊(I)置于初始化動作完成之后，用于精確采集軸3電機運動及軸4 二次編碼在開始采集時的精確位置，嚴格對應位置與束流值；在采集過程中軸3電機通過啟動運行模塊(2)帶動軸4 二次編碼運動，在運動過程中實時采集位置值，并且與起始讀位置模塊(I)進行比較，經由軟件限位模塊(7)嚴格將軸4 二次編碼值限定在行程范圍內，從而避免了機械撞擊；通過限位檢測處理模塊(8)進行相應的處理動作。
[0017]如圖2所示:為電機初始化運動控制程序。設備在上電動作開始時電機處于任何位置上，初始化動作使電機準確尋找反向限位位置；該反向限位位置由軟件限位完成，使軸3電機運動帶動軸4 二次編碼準確快速歸位，為系統節(jié)省時間。當軸3電機帶動軸4 二次編碼運動至限位位置后，進行相應的中斷采集與行程設置比較，完成該系統一次角度檢測。
[0018]本發(fā)明專利的特定實施例已對本發(fā)明專利的內容做了詳盡說明。對本領域一般技術人員而言，在不背離本發(fā)明專利精神的前提下對它所做的任何顯而易見的改動，都構成對本發(fā)明專利的侵犯，將承擔相應的法律責任。
【主權項】
1.一種電機運動限位的方法，其特征在于:該系統包括起始讀位置模塊(I)、啟動運行模塊⑵、錯誤檢測模塊⑶、讀中斷I/o模塊⑷、電機狀態(tài)檢測模塊(5)、運行過程中讀位置模塊￠)、軟件限位模塊(7)及限位檢測處理模塊(8)。2.如權利要求1所述的一種電機運動限位的方法，其特征在于:電機初始化動作完成后，帶動二次編碼進入起始讀位置模塊(I)，精確采集中斷起始位置值，使采集過程中的位置與采樣值嚴格對應。3.如權利要求1所述的一種電機運動限位的方法，其特征在于:軸3電機運動控制與軸4 二次編碼采樣通過錯誤檢測模塊(3)檢測采集過程中各軸的運動狀態(tài)并通過電機狀態(tài)檢測模塊(5)進行相應的錯誤處理。4.如權利要求1所述的一種電機運動限位的方法，其特征在于:軸3電機運動帶動軸4 二次編碼采樣，實時通過運行過程中讀位置模塊(6)讀取電機以及二次編碼位置值，并通過軟件限位模塊(7)進行實時處理。5.如權利要求1所述的一種電機運動限位的方法，其特征在于:軸3電機運動以及軸4二次編碼實時位置由軟件限位模塊(7)處理后，經限位檢測處理模塊(8)進行相應的錯誤處理。
【專利摘要】本發(fā)明涉及一種電機運動限位的方法，特別是應用在離子注入機某些角度敏感的工藝，從而實現精確采集束流及精確測量束流角度。一種電機運動限位的方法，包括起始讀位置模塊(1)、啟動運行模塊(2)、錯誤檢測模塊(3)、讀中斷I/O模塊(4)、電機狀態(tài)檢測模塊(5)、運行過程中讀位置模塊(6)、軟件限位模塊(7)及限位檢測模塊(8)。說明書對一種電機運動限位的方法作出了詳細說明，并給出了具體實施例。
【IPC分類】H01J37/317
【公開號】CN105428192
【申請?zhí)枴緾N201410442820
【發(fā)明人】吳巧艷
【申請人】北京中科信電子裝備有限公司
【公開日】2016年3月23日
【申請日】2014年9月2日