一種提高反應(yīng)室使用效率的方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及集成電路制造領(lǐng)域，具體涉及一種提高反應(yīng)室使用效率的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]在集成電路生產(chǎn)中，主要由晶圓機臺來生產(chǎn)晶圓，即一批晶圓要進入一晶圓機臺的反應(yīng)室中進行處理；而每個晶圓機臺可能擁有若干個反應(yīng)室，而同一個晶圓機臺的不同反應(yīng)室針對同一種生產(chǎn)工藝(RECIPE)的處理方式可能是一樣的，若處理方式相同，則晶圓可以進入這個機臺的任何一個反應(yīng)室進行處理。
[0003]在實際生產(chǎn)中，具體的生產(chǎn)工藝可以在哪個反應(yīng)室進行處理是由制程工程師在生產(chǎn)工藝控制系統(tǒng)(Recipe Control Program簡稱，RCP)中進行配置的,針對一個生產(chǎn)工藝需要配置多個反應(yīng)室。當(dāng)一晶圓要到機臺進行處理時，它所進入的反應(yīng)室可能正在處理其他晶圓，所以這個晶圓就要等待后處理，這樣就不僅加長了晶圓的處理時間，還會使晶圓機臺有的反應(yīng)室比較空閑而有的反應(yīng)室比較忙碌，降低了有些反應(yīng)室的使用效率，所以需要有一種方法可以提高晶圓機臺每個反應(yīng)室的使用效率，使機臺的每個反應(yīng)室都可以得到充分的利用，也可以減少晶圓等待處理的時間，從而可以提聞生廣效率減少晶圓生廣時間。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明公開了一種提高反應(yīng)室使用效率的方法，在進行一道生產(chǎn)工藝前，通過生產(chǎn)工藝控制系統(tǒng)得到進行上述生產(chǎn)工藝的機臺上可用反應(yīng)室數(shù)量，并于該生產(chǎn)工藝控制系統(tǒng)中設(shè)定參與上述生產(chǎn)工藝的最小反應(yīng)室的數(shù)量，繼續(xù)將上述的數(shù)據(jù)信息傳輸至機臺自動化系統(tǒng)，而該機臺自動化系統(tǒng)繼續(xù)利用上述可用反應(yīng)室的屬性信息選擇符合最小反應(yīng)室數(shù)量的空閑的可用反應(yīng)室，繼續(xù)均衡上述的空閑的可用反應(yīng)室將要處理晶圓的數(shù)量后，于該空閑的可用反應(yīng)室中進行生產(chǎn)工藝，從而減少了晶圓等待處理的時間，有效提高了反應(yīng)室的使用效率。
[0005]本發(fā)明記載了一種提高反應(yīng)室使用效率的方法，應(yīng)用于設(shè)置有若干反應(yīng)室的晶圓機臺上，其中，所述方法包括:
[0006]步驟S1:在進行一道生產(chǎn)工藝前，于生產(chǎn)工藝控制系統(tǒng)中，根據(jù)該道生產(chǎn)工藝的條件和每個反應(yīng)室的參數(shù)數(shù)據(jù)設(shè)置所述晶圓機臺上可用于進行所述生產(chǎn)工藝的反應(yīng)室，并根據(jù)工藝需求設(shè)定參與所述生產(chǎn)工藝的最小反應(yīng)室數(shù)量；
[0007]步驟S2:當(dāng)若干個晶圓進入一所述晶圓機臺進行所述生產(chǎn)工藝時，機臺自動化系統(tǒng)根據(jù)生產(chǎn)工藝控制系統(tǒng)中設(shè)置的可用于進行所述生產(chǎn)工藝的反應(yīng)室，得出可用反應(yīng)室的屬性信息，并獲取該晶圓機臺上可用反應(yīng)室數(shù)量和所述最小反應(yīng)室數(shù)量；
[0008]步驟S3:所述機臺自動化系統(tǒng)將當(dāng)前晶圓機臺上可用反應(yīng)室數(shù)量與所述最小反應(yīng)室數(shù)量進行比對；
[0009]若當(dāng)前晶圓機臺上可用反應(yīng)室數(shù)量大于所述最小反應(yīng)室數(shù)量時，所述機臺自動化系統(tǒng)根據(jù)所述可用反應(yīng)室的屬性信息，在當(dāng)前晶圓機臺上選擇空閑的可用反應(yīng)室進行所述生產(chǎn)工藝；
[0010]否則，所述機臺自動化系統(tǒng)根據(jù)所述可用反應(yīng)室的屬性信息，在當(dāng)前晶圓機臺上選擇所有的可用反應(yīng)室進行所述生產(chǎn)工藝；
[0011]其中，所述空閑的可用反應(yīng)室的數(shù)量與所述最小反應(yīng)室數(shù)量相等。
[0012]上述的提高反應(yīng)室使用效率的方法，其中，所述生產(chǎn)工藝控制系統(tǒng)與機臺自動化系統(tǒng)雙向通訊連接，所述機臺自動化系統(tǒng)與所述晶圓機臺雙向通訊連接；
[0013]其中，所述機臺自動化系統(tǒng)實時接收所述晶圓機臺上所有反應(yīng)室的屬性信息，并對其中的可用反應(yīng)室的屬性信息進行處理后，以在當(dāng)前晶圓機臺上選擇空閑的可用反應(yīng)室進行所述生產(chǎn)工藝。
[0014]上述的提高反應(yīng)室使用效率的方法，其中，所述可用反應(yīng)室的屬性信息包括:
[0015]晶圓機臺中每個所述可用反應(yīng)室的編號；
[0016]每個所述可用反應(yīng)室正在等待處理的晶圓數(shù)量；
[0017]每個等待處理的晶圓在所述可用反應(yīng)室的處理時間。
[0018]上述的提高反應(yīng)室使用效率的方法，其中，所述步驟S3中所述機臺自動化系統(tǒng)在當(dāng)前晶圓機臺上選擇空閑的可用反應(yīng)室進行所述生產(chǎn)工藝的步驟，具體為:
[0019]所述機臺自動化系統(tǒng)獲取所述晶圓機臺上需要處理的晶圓數(shù)量，并根據(jù)所述可用反應(yīng)室的屬性信息得出每個可用反應(yīng)室進行所述生產(chǎn)工藝的工藝等待時間，以根據(jù)該工藝等待時間長短得出空閑的可用反應(yīng)室；
[0020]其中，所述空閑的可用反應(yīng)室的工藝等待時間小于非空閑的可用反應(yīng)室的工藝等待時間。
[0021]上述的提高反應(yīng)室使用效率的方法，其中，所述自動化機臺系統(tǒng)根據(jù)每個所述可用反應(yīng)室正在等待處理的晶圓數(shù)量及該晶圓在所述可用反應(yīng)室的處理時間獲取每個所述可用反應(yīng)室的所述工藝等待時間。
[0022]上述的提高反應(yīng)室使用效率的方法，其中，所述方法還包括:所述機臺自動化系統(tǒng)根據(jù)進行所述生產(chǎn)工藝的可用反應(yīng)室的所述工藝等待時間，設(shè)定進入該可用反應(yīng)室的晶圓的數(shù)量；
[0023]其中，進入可用反應(yīng)室的晶圓的數(shù)量與該可用反應(yīng)室的工藝等待時間成反比。
[0024]上述的提高反應(yīng)室使用效率的方法，其中，位于一個所述晶圓機臺上的所述可用反應(yīng)室為不同類型的反應(yīng)室或相同類型的反應(yīng)室。
[0025]本發(fā)明具有如下技術(shù)優(yōu)勢:
[0026]1、機臺自動化系統(tǒng)根據(jù)具體的反應(yīng)室情況選擇一定數(shù)量的空閑的反應(yīng)室進行晶圓處理，從而解決了晶圓機臺內(nèi)反應(yīng)室使用不均的問題，提高了反應(yīng)室的使用效率。
[0027]2、選擇多臺可用反應(yīng)室可以避免晶圓在某些反應(yīng)室使用過于頻繁，減少晶圓等待機臺反應(yīng)室處理的時間，提高了反應(yīng)室的使用效率。
【附圖說明】
[0028]構(gòu)成本發(fā)明的一部分的附圖用來提供對本發(fā)明的進一步理解，本發(fā)明的示意性實施例及其說明用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對本發(fā)明的不當(dāng)限定。在附圖中:
[0029]圖1為本發(fā)明提聞反應(yīng)室使用效率方法的架構(gòu)TJK意圖；
[0030]圖2為本發(fā)明提高反應(yīng)室使用效率方法的流程圖。
【具體實施方式】
[0031]結(jié)合以下具體實施例和附圖，對本發(fā)明作進一步的詳細說明。實施本發(fā)明的過程、條件、實驗方法等，除以下專門提及的內(nèi)容之外，均為本領(lǐng)域的普遍知識和公知常識，本發(fā)明沒有特別限制內(nèi)容。
[0032]實施例一
[0033]圖1為本發(fā)明提聞反應(yīng)室使用效率方法的架構(gòu)TJK意圖，如圖1所7JK，一種提聞反應(yīng)室使用率的方法，應(yīng)用于設(shè)置有若干反應(yīng)室104 (該若干反應(yīng)室的類型可相同或不同)的機臺103上，優(yōu)選的，所有反應(yīng)室104針對同一種生產(chǎn)工藝的處理方式均相同。
[0034]進一步的，如圖1所示，生產(chǎn)工藝控制系統(tǒng)101通過機臺自動化系統(tǒng)102與晶圓機臺103雙向通訊連接，且該生產(chǎn)工藝控制系統(tǒng)101中設(shè)置有用戶操作端(圖中未標注)；當(dāng)需要對一批次晶圓進行一道生產(chǎn)工藝時，首先需要通過上述的用戶操作端，在該生產(chǎn)工藝控制系統(tǒng)101中設(shè)定需要對上述晶圓進行的生產(chǎn)工藝以及進行該生產(chǎn)工藝的晶圓機臺103及參與該生產(chǎn)工藝的最小反應(yīng)室數(shù)量。
[0035]其中，上述的生產(chǎn)工藝控制系統(tǒng)101中存儲有所有晶圓需要進行的生產(chǎn)工藝的種類以及所有的晶圓機臺的編號及每個晶圓機臺上的反應(yīng)腔室的編號等數(shù)據(jù)，上述的用戶操作端根據(jù)工藝需求在該生產(chǎn)工藝控制系統(tǒng)101中選定生產(chǎn)工藝的種類以及進行該生產(chǎn)工藝的晶圓機臺及可用于進行該生產(chǎn)工藝的可用反應(yīng)腔室的編號后，還可借助進行上述生產(chǎn)工藝的歷史數(shù)據(jù)或工程經(jīng)驗數(shù)據(jù)等來設(shè)定參與該生產(chǎn)工藝的最小反應(yīng)室數(shù)量；具體的，該最小反應(yīng)室數(shù)量為滿足該批晶圓進入晶圓機臺103進行該生產(chǎn)工藝的最小數(shù)量，優(yōu)選的該最小反應(yīng)數(shù)量大于I (如2、3、4或5等)。
[0036]其次，上述的生產(chǎn)工藝控制系統(tǒng)101將上述選定生產(chǎn)工藝的種類、進行該生產(chǎn)工藝的晶圓機臺以及可用于進行該生產(chǎn)工藝的可用反應(yīng)腔室的編號及設(shè)定的參與該生產(chǎn)工藝的最小反應(yīng)室數(shù)量發(fā)送至機臺自動化系統(tǒng)102(EAP)，機臺自動化系統(tǒng)102則根據(jù)上述進行該生產(chǎn)工藝的晶圓機臺103和可用于進行該生產(chǎn)工藝的可用反應(yīng)腔室的編號獲取晶圓機臺103上相應(yīng)可用反應(yīng)室的屬性信息，具體的，該屬性信息包括:晶圓機臺中每個可用反應(yīng)室的編號；每個可用反應(yīng)室正在等待處理的晶圓數(shù)量；每個等待處理的晶圓在可用反應(yīng)室的處理時間。
[0037]機臺自動化系統(tǒng)102根據(jù)可用反應(yīng)室的屬性信息獲取當(dāng)前晶圓機臺103上可用反應(yīng)室數(shù)量和參與該生產(chǎn)工藝的最小反應(yīng)室數(shù)量，并將當(dāng)前晶圓機臺上可用反應(yīng)室數(shù)量與最小反應(yīng)室數(shù)量進行比對。
[0038]若晶圓機臺103上可用反應(yīng)室數(shù)量大于最小反應(yīng)室數(shù)量時，機臺自動化系統(tǒng)根據(jù)可用反應(yīng)室的屬性信息，在當(dāng)前晶圓機臺103上選擇空閑的可用反應(yīng)室進行生產(chǎn)工藝，空閑的可用反應(yīng)室的數(shù)量與最小反應(yīng)室數(shù)量相等；具體的，機臺自動化系統(tǒng)102獲取該生產(chǎn)工藝中晶圓機臺103上需要處理的晶圓數(shù)量，并根據(jù)可用反應(yīng)室的屬性信息得出每個可用反應(yīng)室104進行生產(chǎn)工藝的工藝等待時間，并根據(jù)該工藝等待時間長短得出空閑的可用反應(yīng)室；其中，空閑的可用反應(yīng)室的等待時間小于非空閑的可用反應(yīng)室的等待時間；具體的，自動化機臺系統(tǒng)102根據(jù)每個可用反應(yīng)室正在等待處理的晶圓數(shù)量及該晶圓在可用反應(yīng)室的處理時間獲取每個可用反應(yīng)室的工藝等待時間，優(yōu)選的，當(dāng)可用反應(yīng)室正在等待處理的晶圓均相同并進行相同生產(chǎn)工藝時，每個可用反應(yīng)室的工藝等待時間為可用反應(yīng)室正在等待處理的晶圓數(shù)量及該晶圓在可用反應(yīng)室的處理時間的乘積，當(dāng)可用反應(yīng)室正在等待處理的晶圓的種類不同或者進行不同的生產(chǎn)工藝時，可用反應(yīng)室的工藝等待時間為每種正在等待處理的晶圓與該種晶圓在該可用反應(yīng)室的處理時間的乘積之和。
[0039]當(dāng)晶圓機臺103上可用反應(yīng)室數(shù)量不大于最小反應(yīng)室數(shù)量時，機臺自動化系統(tǒng)