一種盲孔的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及化學(xué)技術(shù)領(lǐng)域，更具體地說，涉及一種盲孔的制作方法。
【背景技術(shù)】
[0002]隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展，指紋檢測被廣泛的應(yīng)用到人們的日常生活以及工作中，為人們的日常生活以及工作帶來了巨大的便利，成為人們?nèi)粘Ｉ钜约肮ぷ髦胁豢苫蛉钡闹匾ぞ摺?br>[0003]—般的，指紋檢測模組安裝在設(shè)置有通孔的玻璃基板上，但是玻璃基板上形成設(shè)置指紋檢測模組的通孔會影響玻璃基板的機械強度。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]為解決上述問題，本發(fā)明提供了一種盲孔的制作方法，該盲孔的制作方法可以解決所述基板因機械外力造成損傷而導(dǎo)致強度不高的問題。
[0005]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:
[0006]—種盲孔的制作方法，該盲孔的制作方法包括:
[0007]提供一基板，所述基板包括:相對設(shè)置的第一表面以及第二表面；
[0008]在所述第一表面形成掩膜層，在所述第二表面形成保護層；其中，所述掩膜層包括:用于形成盲孔的鏤空區(qū)域；
[0009]對所述鏤空區(qū)域進行蝕刻，形成盲孔;其中，所述盲孔為深度小于所述基本厚度的凹槽；
[0010]當(dāng)蝕刻完成后，去除所述掩膜層。
[0011]優(yōu)選的，在上述盲孔的制作方法中，所述在所述第一表面形成掩膜層，在所述第二表面形成保護層包括:在所述第二表面涂覆抗蝕刻油層。
[0012]在所述第一表面以及所述抗蝕刻油層表面涂覆光刻膠；
[0013]對位于所述第一表面以及位于所述抗蝕刻油層表面的光刻膠進行曝光，其中，位于所述第一表面的光刻膠采用設(shè)定模具進行曝光；
[0014]對所述光刻膠層進行固化處理后，再進行顯影處理，清洗掉所述第一表面上對應(yīng)所述鏤空區(qū)域的光刻膠。
[0015]優(yōu)選的，在上述盲孔的制作方法中，所述進行蝕刻包括:
[0016]將所述基板放入蝕刻試劑中設(shè)定時間，對所述基板進行蝕刻，在所述基板對應(yīng)所述鏤空區(qū)域的位置形成預(yù)設(shè)深度的凹槽，以形成所述盲孔，所述預(yù)設(shè)深度小于所述基板的厚度。
[0017]優(yōu)選的，在上述盲孔的制作方法中，當(dāng)所述基板面積超過預(yù)設(shè)尺寸時，所述掩膜層包括多個鏤空區(qū)域；
[0018]所述將所述基板放入蝕刻試劑中設(shè)定時間進行蝕刻前包括:
[0019]將所述基板分割為多個設(shè)定面積的單元結(jié)構(gòu)，每一所述單元結(jié)構(gòu)的掩膜層具有至少一所述鏤空區(qū)域；
[0020]采用所述蝕刻試劑對所述單元結(jié)構(gòu)進行蝕刻，形成具有盲孔的面板。
[0021 ]優(yōu)選的，在上述盲孔的制作方法中，當(dāng)所述基板面積小于預(yù)設(shè)范圍時，所述掩膜層包括多個鏤空區(qū)域;對所述鏤空區(qū)域進行蝕刻包括:
[0022]對所述基板進行蝕刻，形成盲孔；
[0023]將蝕刻后的基板分割為多個至少具有一個所述盲孔的面板。
[0024]優(yōu)選的，在上述盲孔的制作方法中，還包括:對所述面板進行鋼化。
[0025]優(yōu)選的，在上述盲孔的制作方法中，所述基板是:玻璃板。
[0026]優(yōu)選的，在上述盲孔的制作方法中，所述蝕刻試劑為氫氟酸。
[0027]優(yōu)選的，在上述盲孔的制作方法中，還包括:對所述盲孔進行點拋光。
[0028]本發(fā)明還提供了一種蓋板，該蓋板包括:基板以及設(shè)置在所述基板表面的盲孔，所述盲孔為深度小于所述基板厚度的凹槽。
[0029]本發(fā)明還提供了一種指紋檢測面板，該指紋檢測面板包括:蓋板，所述蓋板包括:基板以及設(shè)置在所述基板表面的盲孔，所述盲孔為深度小于所述基板厚度的凹槽;所述指紋檢測模組設(shè)置在所述盲孔內(nèi)。
[0030]本發(fā)明還提供了一種電子設(shè)備，該電子設(shè)備包括:上述所述的指紋檢測模組面板。
[0031]通過上述描述可知，本發(fā)明提供的一種盲孔的制作方法，該盲孔的制作方法包括:提供一基板，所述基板包括:相對設(shè)置的第一表面以及第二表面;在所述第一表面形成掩膜層;所述掩膜層包括:用于形成盲孔的鏤空區(qū)域;對所述鏤空區(qū)域進行蝕刻，形成盲孔；當(dāng)蝕刻完成后，去除所述掩膜層。該盲孔的制作方法可以解決所述基板因機械外力造成損傷而導(dǎo)致強度不高的問題。
【附圖說明】
[0032]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)提供的附圖獲得其他的附圖。
[0033]圖1為本申請實施例提供的一種盲孔的制作方法的流程示意圖；
[0034]圖2為本申請實施例提供的另一種盲孔的制作方法的流程示意圖；
[0035]圖3為本申請實施例提供的又一種盲孔的制作方法的流程示意圖；
[0036]圖4為本申請實施例提供的一種蓋板的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0037]圖5為本申請實施例提供的一種指紋檢測面板的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實施方式】
[0038]下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例。基于本發(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。.
[0039]正如【背景技術(shù)】中所述，一般的，指紋檢測模組安裝在設(shè)置有通孔的玻璃基板上，但是玻璃基板上形成設(shè)置指紋檢測模組的通孔會影響玻璃基板的機械強度。
[0040]為了解決該問題，本申請實施例提供了一種盲孔的制作方法，該盲孔的制作方法可以解決所述基板因機械外力造成損傷而導(dǎo)致強度不高的問題。
[0041]參考圖1，圖1為本申請實施例提供的一種盲孔的制作方法的流程示意圖。該盲孔的制作方法包括:
[0042]SI 1:提供一基板；
[0043]所述基板包括:相對設(shè)置的第一表面以及第二表面。所述基板為玻璃板。
[0044]SI 2:在所述第一表面形成掩膜層，在所述第二表面形成保護層；
[0045]所述掩膜層包括:用于形成盲孔的鏤空區(qū)域。
[0046]S13:對所述鏤空區(qū)域進行蝕刻，形成盲孔；
[0047]將所述基板放入蝕刻試劑中設(shè)定時間，對所述基板進行蝕刻，在所述基板對應(yīng)所述鏤空區(qū)域的位置形成預(yù)設(shè)深度的凹槽，以形成所述盲孔;其中，所述凹槽的深度小于所述基板的厚度。
[0048]對所述玻璃基板進行蝕刻，所用的蝕刻試劑為氫氟酸，所述氫氟酸與所述玻璃基板之間發(fā)生的腐蝕作用是:Si02+6HF = H2SiF6+2H20。在形成所述盲孔之后對其所述盲孔進行點拋光。
[0049]S14:當(dāng)蝕刻完成后，去除所述掩膜層；
[0050]最后，需要對所形成盲孔的基板進行鋼化。
[0051 ]由此可知，本申請實施例提供的這種盲孔的制作方法，采用化學(xué)蝕刻的方式，避免所述基板因機械外力的損傷而導(dǎo)致的強度不高。傳統(tǒng)的機械加工方式在外觀和強度性能上都不具有明顯優(yōu)勢，通過化學(xué)蝕刻的方式，可將所述盲孔的外觀做到完美，性能達到最好。
[0052]制作所述盲孔的工藝流程包括:首先提供基板，對所述基板進行質(zhì)量檢測看是否符合要求，達到要求之后對所述基板進行清洗。以上都為制作盲孔的準備工作。由于本申請實施例提供的盲孔的制作方法是化學(xué)蝕刻，并且盲孔為連接所述基板表層和內(nèi)層而不貫通整個基板的導(dǎo)通孔，因此在對所述基板進行加工時，要在所述基板不刻蝕盲孔的第二表面絲印抗蝕刻油。之后對所述基板進行固化，之后涂光刻膠，所述基板的第一表面與第二表面都需要涂光刻膠，在涂光刻膠之前對基板進行清洗，接下來對涂完光刻膠的基板進行預(yù)烘，之后進行曝光，在進行曝光操作時，將所述基板第一表面罩上鉻板，對預(yù)留的盲孔位進行遮光，之后再次進行堅膜操作，所述堅膜也為固化的一種方式，接下來用顯影液清洗掉所述預(yù)留盲孔位已發(fā)生化學(xué)反應(yīng)的光刻膠，此操作為顯影。
[0053]其中，由于正性光刻膠對一些溶劑不可溶，經(jīng)光照后變成可溶于顯影液的物質(zhì)。而負性光刻膠經(jīng)光照后變成不可溶物質(zhì)，不溶于顯影液。因此，所述光刻膠選為負性光刻膠。
[0054]以負性光刻膠為例，在所述第二表面涂覆所述抗蝕刻油層后，在所述第一表面以及所述抗蝕刻油層表面都需要涂覆所述負性光刻膠，之后對所述基板第一表面以及第二表面?zhèn)z側(cè)進行曝光處理，在曝光之前，在所述第一表面上方增加一個鉻板裝置，所述鉻板裝置用于對所述基板的鏤空區(qū)域遮光，其余區(qū)域正常。之后對所述基板進行曝光處理，在曝光處理完成后，所述第一表面光刻膠固化為所述掩膜層，所述第二表面光刻膠固化為所述保護層，之后清洗掉所述鏤空區(qū)域預(yù)留的負性光刻膠。
[0055]上述所述抗蝕刻油是一種黑色油墨，絲印在所述基板的第二表面，避免在曝光時，因所述基板兩個表面涂負性光刻膠，光線從所述第二表面照到所述預(yù)留盲孔位，導(dǎo)致曝光不均，顯影不干凈。主要起到一個擋光作用。
[0056]在進行顯影操作完成后，就需要對所述基板進行化學(xué)蝕刻形成盲孔的重要操作，將所述基板放入蝕刻試劑中，放入設(shè)定的時間來進行蝕刻，進而形成盲孔。由于選取的所述基板的面積有大有小，對于面積大的基板和面積相對小的基板在進行蝕刻時的操作順序不一樣。因此根據(jù)實現(xiàn)此工藝的設(shè)施，可以確定一個大小的尺寸值，來對所述基板的大小進行判斷。<