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具有共同圍繞焊料黏結(jié)物以防止焊料散布的凹槽的半導(dǎo)體裝置的制造方法_5

文檔序號(hào):9757068閱讀:來(lái)源:國(guó)知局
裝置200中的焊料箔的類型的數(shù)量。
[0121]利用根據(jù)本實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置200的結(jié)構(gòu),在第二方向Y上并排布置在被金屬板36的凹槽70圍繞的框架內(nèi)的半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件206側(cè)的焊料構(gòu)件46和二極管208側(cè)的焊料構(gòu)件52之間的布置位置關(guān)系,或者在第二方向Y上并排布置在被金屬板56的凹槽72圍繞的框架內(nèi)的半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件210側(cè)的焊料構(gòu)件46和二極管212側(cè)的焊料構(gòu)件52之間的布置位置關(guān)系,允許在由對(duì)應(yīng)的一個(gè)凹槽70、72圍繞的框架內(nèi)顛倒。也即,半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件206和焊料構(gòu)件46可以布置在金屬板36上的在第二方向Y上設(shè)置接頭部36a的一側(cè)處,二極管208和焊料構(gòu)件52可以布置在第二方向Y上不設(shè)置接頭部36a的一側(cè)處,或者半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件210和焊料構(gòu)件46可以布置在金屬板56上的在第二方向Y上設(shè)置接頭部56a的一側(cè)處,二極管212和焊料構(gòu)件52可以布置在第二方向Y上不設(shè)置接頭部56a的一側(cè)處。可替換地,二極管208和焊料構(gòu)件52可以布置在金屬板36上的在第二方向Y上設(shè)置接頭部36a的一側(cè)處,半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件206和焊料構(gòu)件46可以布置在第二方向Y上不設(shè)置接頭部36a的一側(cè)處,或者二極管212和焊料構(gòu)件52可以布置在金屬板56上的在第二方向Y上設(shè)置接頭部56a的一側(cè)處,半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件210和焊料構(gòu)件46可以布置在第二方向Y上不設(shè)置接頭部56a的一側(cè)處。
[0122]因此,同樣利用根據(jù)本實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置200,能夠共用用于上臂功率單元202的金屬板36和用于下臂功率單元204的金屬板56,以及能夠通過(guò)改變?cè)诰哂邢嗤螤畹慕饘侔?6、56上在第二方向Y上的半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件206和二極管208的布置順序以及半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件210和二極管212的布置順序,來(lái)構(gòu)成上臂功率單元202和下臂功率單元204。因此,能夠?qū)⑹褂迷诎雽?dǎo)體裝置200中的部件(具體地,金屬板36、56)的類型減少為僅一個(gè)類型部件。
[0123]在上述第二實(shí)施例中,半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件206、210和二極管208、212可以視為根據(jù)本發(fā)明的方案的“半導(dǎo)體元件”。
[0124]圖13是根據(jù)本發(fā)明第三實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置300的上臂功率單元302和下臂功率單元304的相關(guān)部分的構(gòu)造的平面布置圖。圖14A和圖14B是沿著圖13中線XIVA-XIVA和線XIVB-XIVB截取的根據(jù)本實(shí)施例的上臂功率單元302的截面圖。圖14A示出了沿著線XIVA-XIVA截取的截面圖。圖14B示出了沿著線XIVB-XIVB截取的截面圖。在圖13、圖14A和圖14B中,類似附圖標(biāo)記指代與使用在上述第一實(shí)施例中的那些部件相同的部件,省略或者簡(jiǎn)化對(duì)其的描述。
[0125]根據(jù)本實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置300包括上臂功率單元302和下臂功率單元304。上臂功率單元302構(gòu)成連接至高電位電源的上臂。下臂功率單元304構(gòu)成連接至低電位電源的下臂。上臂功率單元302包括兩個(gè)不同類型的半導(dǎo)體元件306、308。下臂功率單元304包括兩個(gè)不同類型的半導(dǎo)體元件310、312。
[0126]半導(dǎo)體元件306、308、310、312均由形成為薄的矩形形狀的半導(dǎo)體芯片形成,并且除了它們的寬度之外,分別具有與根據(jù)上述第一實(shí)施例的半導(dǎo)體元件26、28、30、32相同的構(gòu)造以及功能。除了半導(dǎo)體元件306、308、310、312的寬度、與寬度關(guān)聯(lián)的焊料構(gòu)件的尺寸等之外,上臂功率單元302和下臂功率單元304分別具有與根據(jù)第一實(shí)施例的上臂功率單元22和下臂功率單元24相同的構(gòu)造以及功能。
[0127]在第一方向X上半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件306的寬度不同于在第一方向X上二極管308的寬度。在第一方向X上半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件310的寬度不同于在第一方向X上二極管312的寬度。具體地,在第一方向X上二極管308的寬度小于在第一方向X上半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件306的寬度,并且在第一方向X上二極管312的寬度小于在第一方向X上半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件310的寬度。
[0128]在上臂功率單元302中,半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件306的一面經(jīng)由焊料構(gòu)件38黏結(jié)至金屬板34。二極管308的一面經(jīng)由焊料構(gòu)件40黏結(jié)至金屬板34。半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件306的另一面經(jīng)由焊料構(gòu)件42、金屬塊314和焊料構(gòu)件46黏結(jié)至金屬板36。二極管308的另一面經(jīng)由焊料構(gòu)件48、金屬塊316和焊料構(gòu)件52黏結(jié)至金屬板36。
[0129]在下臂功率單元304中,半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件310的一面經(jīng)由焊料構(gòu)件38黏結(jié)至金屬板54。二極管312的一面經(jīng)由焊料構(gòu)件40黏結(jié)至金屬板54。半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件310的另一面經(jīng)由焊料構(gòu)件42、金屬塊314和焊料構(gòu)件46黏結(jié)至金屬板56。二極管312的另一面經(jīng)由焊料構(gòu)件48,金屬塊316和焊料構(gòu)件52黏結(jié)至金屬板36。
[0130]金屬塊314具有的尺寸設(shè)計(jì)成用于半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件306或者半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件310的尺寸,以及如圖14A所示形成為大致矩形平行六面體形狀。金屬塊316具有的尺寸設(shè)計(jì)成用于二極管308或者二極管312的尺寸,但是金屬塊316形成為不同于金屬塊314的形狀的形狀。
[0131]也即,金屬塊314的形狀不同于金屬塊316的形狀。金屬塊314的形狀是大致矩形平行六面體形狀,而金屬塊316的形狀為如圖14B所示的在截面中突出的形狀。金屬塊316的形成如下。在第一方向X上設(shè)置有金屬板36側(cè)的焊料構(gòu)件52的部分的寬度大致相同于在第一方向X上金屬塊314的寬度,在第一方向X上設(shè)置有金屬板56側(cè)焊料構(gòu)件52的部分的寬度大致相同于在第一方向X上金屬塊314的寬度。另一方面,在第一方向X上設(shè)置有二極管308側(cè)焊料構(gòu)件48的部分的寬度設(shè)計(jì)成用于在第一方向X上二極管308的寬度,以及小于在第一方向X上設(shè)置有金屬板36側(cè)焊料構(gòu)件52的部分的寬度(也即,在第一方向X上金屬塊314的寬度),在第一方向X上設(shè)置有二極管312側(cè)焊料構(gòu)件48的部分的寬度設(shè)計(jì)成用于在第一方向X上二極管312的寬度,以及小于在第一方向X上設(shè)置有金屬板56側(cè)焊料構(gòu)件52的部分的寬度(也即,在第一方向X上金屬塊314的寬度)。
[0132]在該方案中,在上臂功率單元302中,在第一方向X上金屬塊314的寬度大致相同于在第一方向X上金屬塊316的設(shè)置有金屬板36側(cè)焊料構(gòu)件52的部分的寬度。在下臂功率單元304中,在第一方向X上金屬塊314的寬度大致相同于在第一方向X上金屬塊316的設(shè)置有金屬板56側(cè)焊料構(gòu)件52的部分的寬度。
[0133]在上臂功率單元302中,半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件306和二極管308在第二方向Y上并排布置在金屬板34、36上,金屬塊314被層壓在半導(dǎo)體元件306上,金屬塊316被層壓在半導(dǎo)體元件308上。金屬塊314被層壓在半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件306上,使得在第一方向X上金屬塊314相對(duì)于半導(dǎo)體元件306位于大致中心處。金屬塊316被層壓在二極管308上,使得在第一方向X上金屬塊316相對(duì)于半導(dǎo)體元件308位于大致中心處。這些金屬塊314、316在第二方向Y上并排布置在金屬板34、36上,使得在第一方向X上的端部彼此對(duì)準(zhǔn)而在第一方向X上無(wú)任何偏移。
[0134]在下臂功率單元304中,半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件310和二極管312在第二方向Y上并排布置在金屬板54、56上,金屬塊314被層壓在半導(dǎo)體元件310上,金屬塊316被層壓在半導(dǎo)體元件312上。金屬塊314被層壓在半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件310上,使得在第一方向X上金屬塊314相對(duì)于半導(dǎo)體元件310位于大致中心處。金屬塊316被層壓在二極管312上,使得在第一方向X上金屬塊316相對(duì)于半導(dǎo)體元件312位于大致中心處。這些金屬塊314、316在第二方向Y上并排布置在金屬板54、56上,使得在第一方向X上的端部彼此對(duì)準(zhǔn)而在第一方向X上無(wú)任何偏移。
[0135]形成在金屬板36的黏結(jié)面上的凹槽70沿著其中設(shè)置有焊料構(gòu)件46、52的區(qū)域80、82的外圍形成在黏結(jié)面上,以及形成為環(huán)形和框架形狀,以便共同圍繞對(duì)應(yīng)于半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件306側(cè)的金屬塊314的焊料構(gòu)件46和對(duì)應(yīng)于二極管308側(cè)的金屬塊316的焊料構(gòu)件52。形成在金屬板56的黏結(jié)面上的凹槽72沿著其中設(shè)置有焊料構(gòu)件46、52的區(qū)域84、86的外圍形成在黏結(jié)面上,以及形成為環(huán)形和框架形狀,以便共同圍繞對(duì)應(yīng)于半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件310側(cè)的金屬塊314的焊料構(gòu)件46和對(duì)應(yīng)于二極管312側(cè)的金屬塊316的焊料構(gòu)件52。
[0136]金屬塊314兩側(cè)的凹槽70的部分之間在金屬板36上沿第一方向X的距離大致相同于金屬塊316兩側(cè)的凹槽70的部分之間在金屬板36上沿第一方向X的距離。在第一方向X上金屬板36上的區(qū)域80的寬度大致相同于在第一方向X上金屬板36上的區(qū)域82的寬度。焊料構(gòu)件46設(shè)置在區(qū)域80中。焊料構(gòu)件52設(shè)置在區(qū)域82中。凹槽70是環(huán)形凹槽,其形成為大致矩形形狀,在金屬板36的黏結(jié)面上共同圍繞焊料構(gòu)件46、52,以及在金屬板36的分別設(shè)置焊料構(gòu)件46、52的區(qū)域80、82周?chē)沁B續(xù)的。
[0137]金屬塊314兩側(cè)的凹槽72的部分之間在金屬板56上沿第一方向X的距離大致相同于金屬塊316兩側(cè)的凹槽72的部分之間在金屬板56上沿第一方向X的距離。在第一方向X上金屬板56上的區(qū)域84的寬度大致相同于在第一方向X上金屬板56上的區(qū)域86的寬度。焊料構(gòu)件46設(shè)置在區(qū)域84中。焊料構(gòu)件52設(shè)置在區(qū)域86中。凹槽72是環(huán)形凹槽,其形成為大致矩形形狀,在金屬板56的黏結(jié)面上共同圍繞焊料構(gòu)件46、52,以及在金屬板56的分別設(shè)置焊料構(gòu)件46、52的區(qū)域84、86周?chē)沁B續(xù)的。
[0138]在根據(jù)本實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置300的結(jié)構(gòu)中,上臂功率單元302的凹槽70防止半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件306側(cè)的焊料構(gòu)件46和二極管308側(cè)的焊料構(gòu)件52的散布。下臂功率單元304的凹槽72防止半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件310側(cè)的焊料構(gòu)件46和二極管312側(cè)的焊料構(gòu)件52的散布。同樣利用上述構(gòu)造,對(duì)應(yīng)于焊料構(gòu)件46的凹槽和對(duì)應(yīng)于焊料構(gòu)件52的凹槽不需要為:在金屬板36的黏結(jié)面上的設(shè)置有半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件306側(cè)的焊料構(gòu)件46的區(qū)域和設(shè)置有二極管308側(cè)的焊料構(gòu)件52的區(qū)域,或者在金屬板56的黏結(jié)面上的設(shè)置有半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件310側(cè)的焊料構(gòu)件46的區(qū)域和設(shè)置有二極管312側(cè)的焊料構(gòu)件52的區(qū)域,單獨(dú)地設(shè)置。
[0139]因此,同樣利用根據(jù)本實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置300,能夠減小每個(gè)金屬板34、36在第二方向Y上的寬度,在每個(gè)金屬板34、36上的上臂功率單元302的兩種類型的半導(dǎo)體元件306、308在第二方向Y上并排布置,并且能夠減小每個(gè)金屬板54、56在第二方向Y上的寬度,在每個(gè)金屬板54、56上的下臂功率單元304的兩種類型的半導(dǎo)體元件310、312在第二方向Y上并排布置。因此,能夠減小每個(gè)金屬板34、36、54、56的尺寸和重量,并進(jìn)一步地,能夠減小半導(dǎo)體裝置300本身的尺寸和重量。
[0140]在半導(dǎo)體裝置300的結(jié)構(gòu)中,在上臂功率單元302中用作將金屬塊314黏結(jié)至金屬板36的焊料構(gòu)件46的焊料箔的卷筒寬度大致相同于用作將金屬塊316黏結(jié)至金屬板36的焊料構(gòu)件52的焊料箔的卷筒寬度。類似地,在下臂功率單元304中,用作將金屬塊314黏結(jié)至金屬板56的焊料構(gòu)件46的焊料箔的卷筒寬度大致相同于用作將金屬塊316黏結(jié)至金屬板56的焊料構(gòu)件52的焊料箔的卷筒寬度。
[0141]在該方案中,同樣利用根據(jù)本實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置300,能夠使用相同材料用于焊料箔,附著的焊料箔作為分別介于金屬塊314和金屬板36、56之間的焊料構(gòu)件46;以及附著的焊料箔作為分別介于金屬塊316和金屬板36、56之間的焊料構(gòu)件52。因此,能夠減少使用在半導(dǎo)體裝置300中的焊料箔的類型的數(shù)量。
[0142]利用根據(jù)本實(shí)施例的半導(dǎo)體裝置300的結(jié)構(gòu),在第二方向Y上并排布置在被金屬板36的凹槽70圍繞的框架內(nèi)的半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件306側(cè)的焊料構(gòu)件46和二極管308側(cè)的焊料構(gòu)件52之間的布置位置關(guān)系,或者在第二方向Y上并排布置在被金屬板56的凹槽72圍繞的框架內(nèi)的半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件310側(cè)的焊料構(gòu)件46和二極管312側(cè)的焊料構(gòu)件52之間的布置位置關(guān)系,允許在由對(duì)應(yīng)的一個(gè)凹槽70、72圍繞的框架內(nèi)顛倒。也即,半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件306和焊料構(gòu)件46可以布置在金屬板36上的在第二方向Y上設(shè)置接頭部36a的一側(cè)處,二極管308和焊料構(gòu)件52可以布置在第二方向Y上不設(shè)置接頭部36a的一側(cè)處,或者半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件310和焊料構(gòu)件46可以布置在金屬板56上的在第二方向Y上設(shè)置接頭部56a的一側(cè)處,二極管312和焊料構(gòu)件52可以布置在第二方向Y上不設(shè)置接頭部56a的一側(cè)處??商鎿Q地,二極管308和焊料構(gòu)件52可以布置在金屬板36上的在第二方向Y上設(shè)置接頭部36a的一側(cè)處,半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件306和焊料構(gòu)件46可以布置在第二方向Y上不設(shè)置接頭部36a的一側(cè)處,或者二極管312和焊料構(gòu)件52可以布置在金屬板56上的在第二方向Y上設(shè)置接頭部56a的一側(cè)處,半導(dǎo)體開(kāi)關(guān)元件310和焊料構(gòu)件46可以布置在第二方向Y上不設(shè)置
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