一種提高太陽電池擴散均勻性的裝置及其方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及光伏領(lǐng)域，具體是一種提高太陽電池擴散均勻性的裝置及其方法。
【背景技術(shù)】
[0002]太陽能電池，也稱光伏電池，是一種太陽能的光能直接轉(zhuǎn)化為電能的半導(dǎo)體器件。因其是綠色的環(huán)保產(chǎn)品，不會引起環(huán)境污染，而且是可再生資源，所以在當(dāng)今能源短缺的情形下，太陽能電池是一種有廣闊發(fā)展前途的新型能源。
[0003]擴散制作P-N結(jié)是晶體硅太陽電池的核心，同時也對電池質(zhì)量的好壞產(chǎn)生重要影響。對于擴散工藝，保障擴散的均勻性就顯得非常重要。擴散均勻性好的電池，其后續(xù)工藝參數(shù)可控性高，可以較好的保證電池性能和參數(shù)的穩(wěn)定性。現(xiàn)行的工藝方式，即攜磷源氮氣從擴散爐爐尾口吹進爐內(nèi)，經(jīng)勻流板后進入恒溫區(qū)進行擴散。但此種方式不能夠使爐管內(nèi)氣體氛圍分布十分均勻，會造成擴散電池片片間方阻不均勻，片間方阻離散大。
[0004]對于另一種噴淋式工藝方法，即向恒溫區(qū)電池片噴淋工藝氣體，此種方式可提高擴散片片間均勻性，但由于片內(nèi)表面氣體流速的影響，會造成片內(nèi)擴散方阻離散高。所以需要進一步改進工藝氣體進氣方式，使得擴散氣場氛圍均勻性進一步提高，從而提高片間片內(nèi)擴散均勻性。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0005]發(fā)明目的:本發(fā)明的目的是為了解決現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種提高太陽電池擴散均勻性的裝置及其方法，通過改進擴散工藝中工藝氣體的進氣方式，提高石英管內(nèi)氣體氛圍的均勻性，從而提高電池片片間及片內(nèi)擴散均勻性。
[0006]技術(shù)方案:為了實現(xiàn)以上目的，本發(fā)明所述的一種提高太陽電池擴散均勻性的裝置，它包括:擴散石英管、位于擴散石英管一側(cè)的爐門、固設(shè)于擴散石英管內(nèi)的石英舟、置于石英舟上的硅片和套設(shè)在擴散石英管外側(cè)的保溫棉，其它還包括:進氣管、排氣管、流量監(jiān)控表和開孔，所述的進氣管位于石英舟的下方，進氣管的兩端分別為開口端和封閉端，進氣管的開口端上設(shè)有流量監(jiān)控表，進氣管上設(shè)有的開孔面對擴散石英管的底部，進氣管的封閉端置于擴散石英管內(nèi)，排氣管位于硅片的上方。
[0007]作為本發(fā)明的進一步優(yōu)選，所述的進氣管的數(shù)量為長度相同的3根或者長度不同的5根，以保證擴散石英管內(nèi)不同溫區(qū)均有進氣管分布。
[0008]作為本發(fā)明的進一步優(yōu)選，所述的開孔均勻分布在進氣管上，以保證進氣管在擴散石英管內(nèi)的恒溫區(qū)輸出氣體的均勻。
[0009]作為本發(fā)明的進一步優(yōu)選，所述的進氣管的封閉端側(cè)壁開孔，進氣管的封閉端開孔處置于擴散石英管內(nèi)，開孔朝向爐門，從而使進氣管輸出的氣體不會直接吹至硅片表面。
[0010]作為本發(fā)明的進一步優(yōu)選，所述的進氣管的開口端與氣栗相連，排氣管與排氣裝置相連。
[0011]—種提高太陽電池擴散均勻性的方法，該制作方法的具體步驟如下: (a):將的3長度相同或者5根長度不同的進氣管置于石英舟的下方，進氣管上設(shè)有的開孔面對擴散石英管的底部，進氣管的開口端與氣栗相連，進氣管的封閉端置于擴散石英管內(nèi)，封閉端側(cè)壁開孔且開孔朝向爐門；
(b):將I根兩端開口的排氣管固定在擴散石英管內(nèi)的石英舟的上方，排氣管的一端置于擴散石英管內(nèi)，排氣管的另一端置于擴散石英管外；
(d):打開氣栗和排氣裝置，進氣管上的開孔開始向擴散石英管的底部輸出氣體，進氣管上的封閉端的側(cè)壁開孔朝向爐門輸出氣體，位于擴散石英管內(nèi)的石英舟的上方的排氣管在排氣裝置的作用下，開始將擴散石英管內(nèi)的氣體吸出；
(c):打開爐門，將硅片置于擴散石英管內(nèi)的石英舟上；
(e):根據(jù)P-N結(jié)的擴散結(jié)果，控制流量監(jiān)控表，調(diào)整擴散石英管內(nèi)的各溫區(qū)氣體流量，直至擴散結(jié)束，將硅片從擴散石英管內(nèi)取出即可，如有需要可重復(fù)操作。
[0012]有益效果:本發(fā)明所述的一種提高太陽電池擴散均勻性的裝置及其方法，通過改變工藝氣體進氣方式，面對石英管進氣而不是氣體沖擊硅片表面，改噴淋為溢流，減緩新進工藝氣體對管內(nèi)原有氣場氛圍的擾動，從而提高石英管內(nèi)氣體氛圍的均勻性，提高了電池片片間及片內(nèi)擴散均勻性。使得后續(xù)工藝參數(shù)可控性高，可以較好的保證電池性能和參數(shù)的穩(wěn)定性。
【附圖說明】
[0013]圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；
圖2為本發(fā)明的工作原理圖；
圖3為進氣管的結(jié)構(gòu)示意圖；
1、擴散石英管;2、爐門；3、石英舟;4、硅片；5、保溫棉;6、進氣管;61、開口端;62、封閉端;7、排氣管;8、流量監(jiān)控表。
【具體實施方式】
[0014]下面結(jié)合附圖，進一步闡明本發(fā)明。
[0015]本發(fā)明提供一種提高太陽電池擴散均勻性的裝置及其方法，如圖1所示，該裝置包括:擴散石英管1、爐門2、石英舟3、硅片4、保溫棉5、進氣管6、排氣管7、流量監(jiān)控表8和開孔9。
[0016]進氣管6位于石英舟3的下方，進氣管6的兩端分別為開口端61和封閉端62，進氣管6的開口端61上設(shè)有流量監(jiān)控表8，進氣管6上設(shè)有的開孔9面對擴散石英管I的底部，開孔9均勻分布在進氣管6上，以保證進氣管6在擴散石英管I內(nèi)的恒溫區(qū)10輸出氣體的均勻，進氣管6的封閉端62側(cè)壁開孔，開孔處置于擴散石英管I內(nèi)，開孔朝向爐門2，進氣管6的封閉端62置于擴散石英管I內(nèi)，排氣管7位于硅片4的上方。
[0017]實施例1
一種提高太陽電池擴散均勻性的方法，該制作方法的具體步驟如下:
(a):將的3長度相同的進氣管6置于石英舟3的下方，進氣管6上設(shè)有的開孔9面對擴散石英管I的底部，進氣管6的開口端61與氣栗相連，進氣管6的封閉端62置于擴散石英管I內(nèi)，封閉端62側(cè)壁開孔且開孔朝向爐門2; (b):將I根兩端開口的排氣管7固定在擴散石英管I內(nèi)的石英舟3的上方，排氣管7的一端置于擴散石英管I內(nèi)，排氣管7的另一端置于擴散石英管I外；
(d):打開氣栗和排氣裝置，進氣管6上的開孔9開始向擴散石英管I的底部輸出氣體，進氣管6上的封閉端62的側(cè)壁開孔朝向爐門2輸出氣體，位于擴散石英管I內(nèi)的石英舟3的上方的排氣管7在排氣裝置的作用下，開始將擴散石英管I內(nèi)的氣體吸出；
(c):打開爐門，將硅片4置于擴散石英管I內(nèi)的石英舟3上；
(e):根據(jù)P-N結(jié)的擴散結(jié)果，控制流量監(jiān)控表8，調(diào)整擴散石英管I內(nèi)的各溫區(qū)氣體流量，直至擴散結(jié)束，將硅片4從擴散石英管I內(nèi)取出即可，如有需要可重復(fù)操作。
[0018]實施例2
一種提高太陽電池擴散均勻性的方法，該制作方法的具體步驟如下:
(a):將的5根長度不同的進氣管6置于石英舟3的下方，進氣管6上設(shè)有的開孔9面對擴散石英管I的底部，進氣管6的開口端61與氣栗相連，進氣管6的封閉端62置于擴散石英管I內(nèi)，封閉端62側(cè)壁開孔且開孔朝向爐門2;
(b):將I根兩端開口的排氣管7固定在擴散石英管I內(nèi)的石英舟3的上方，排氣管7的一端置于擴散石英管I內(nèi)，排氣管7的另一端置于擴散石英管I外；
(d):打開氣栗和排氣裝置，進氣管6上的開孔9開始向擴散石英管I的底部輸出氣體，進氣管6上的封閉端62的側(cè)壁開孔朝向爐門2輸出氣體，位于擴散石英管I內(nèi)的石英舟3的上方的排氣管7在排氣裝置的作用下，開始將擴散石英管I內(nèi)的氣體吸出；
(c):打開爐門，將硅片4置于擴散石英管I內(nèi)的石英舟3上；
(e):根據(jù)P-N結(jié)的擴散結(jié)果，控制流量監(jiān)控表8，調(diào)整擴散石英管I內(nèi)的各溫區(qū)氣體流量，直至擴散結(jié)束，將硅片4從擴散石英管I內(nèi)取出即可，如有需要可重復(fù)操作。
[0019]上述實施方式只為說明本發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點，其目的是讓熟悉該技術(shù)領(lǐng)域的技術(shù)人員能夠了解本發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實施，并不能以此來限制本發(fā)明的保護范圍。凡根據(jù)本發(fā)明精神實質(zhì)所做出的等同變換或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種提高太陽電池擴散均勻性的裝置，它包括:擴散石英管(I)、位于擴散石英管(I)一側(cè)的爐門(2)、固設(shè)于擴散石英管(I)內(nèi)的石英舟(3)、置于石英舟(3)上的硅片(4)和套設(shè)在擴散石英管(I)外側(cè)的保溫棉(5)，其特征在于:它還包括:進氣管(6)、排氣管(7)、流量監(jiān)控表(8)和開孔(9)，所述的進氣管(6)位于石英舟(3)的下方，進氣管(6)的兩端分別為開口端(61)和封閉端(62)，進氣管(6)的開口端(61)上設(shè)有流量監(jiān)控表(8)，進氣管(6)上設(shè)有的開孔(9)面對擴散石英管(I)的底部，進氣管(6)的封閉端(62)置于擴散石英管(I)內(nèi)，排氣管(7)位于硅片(4)的上方。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高太陽電池擴散均勻性的裝置，其特征在于:所述的進氣管(6)的數(shù)量為長度相同的3根或者長度不同的5根。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高太陽電池擴散均勻性的裝置，其特征在于:所述的開孔(9)均勾分布在進氣管(6)上。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高太陽電池擴散均勻性的裝置，其特征在于:所述的進氣管(6)的封閉端(62)側(cè)壁開孔。5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種提高太陽電池擴散均勻性的裝置，其特征在于:所述的進氣管(6)的封閉端(62)開孔處置于擴散石英管(I)內(nèi)，開孔朝向爐門(2)。6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種提高太陽電池擴散均勻性的裝置，其特征在于:所述的進氣管(6)的開口端(61)與氣栗相連，排氣管(7)與排氣裝置相連。7.一種提高太陽電池擴散均勻性的方法，其特征在于:該制作方法的具體步驟如下: (a):將的3長度相同或者5根長度不同的進氣管(6)置于石英舟(3)的下方，進氣管(6)上設(shè)有的開孔(9)面對擴散石英管(I)的底部，進氣管(6)的開口端(61)與氣栗相連，進氣管(6)的封閉端(62)置于擴散石英管(I)內(nèi)，封閉端(62)側(cè)壁開孔且開孔朝向爐門(2); (b):將I根兩端開口的排氣管(7)固定在擴散石英管(I)內(nèi)的石英舟(3)的上方，排氣管(7)的一端置于擴散石英管(I)內(nèi)，排氣管(7)的另一端置于擴散石英管(I)外； (d):打開氣栗和排氣裝置，進氣管(6)上的開孔(9)開始向擴散石英管(I)的底部輸出氣體，進氣管(6)上的封閉端(62)的側(cè)壁開孔朝向爐門(2)輸出氣體，位于擴散石英管(I)內(nèi)的石英舟(3)的上方的排氣管(7)在排氣裝置的作用下，開始將擴散石英管(I)內(nèi)的氣體吸出； (c):打開爐門，將硅片(4)置于擴散石英管(I)內(nèi)的石英舟(3)上； (e):根據(jù)P-N結(jié)的擴散結(jié)果，控制流量監(jiān)控表(8)，調(diào)整擴散石英管(I)內(nèi)的各溫區(qū)氣體流量，直至擴散結(jié)束，將硅片(4)從擴散石英管(I)內(nèi)取出即可，如有需要可重復(fù)操作。
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種提高太陽電池擴散均勻性的裝置及其方法，它包括：進氣管、排氣管、流量監(jiān)控表和開孔，所述的進氣管位于石英舟的下方，進氣管的兩端分別為開口端和封閉端，進氣管的開口端上設(shè)有流量監(jiān)控表，進氣管上設(shè)有的開孔面對擴散石英管的底部，進氣管的封閉端置于擴散石英管內(nèi)，排氣管位于硅片的上方，提高石英管內(nèi)氣體氛圍的均勻性，提高了電池片片間及片內(nèi)擴散均勻性。使得后續(xù)工藝參數(shù)可控性高，可以較好的保證電池性能和參數(shù)的穩(wěn)定性。蓋方法提高石英管內(nèi)氣體氛圍的均勻性，提高了電池片片間及片內(nèi)擴散均勻性。使得后續(xù)工藝參數(shù)可控性高，可以較好的保證電池性能和參數(shù)的穩(wěn)定性。
【IPC分類】H01L21/223, H01L31/18
【公開號】CN105551948
【申請?zhí)枴緾N201510911534
【發(fā)明人】郝杰杰, 劉仁中, 張斌
【申請人】合肥海潤光伏科技有限公司
【公開日】2016年5月4日
【申請日】2015年12月11日