一種真空系統(tǒng)的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001]本發(fā)明涉及真空技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種真空系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]多腔室的真空系統(tǒng)應(yīng)用于半導(dǎo)體加工領(lǐng)域，利用干法刻蝕機(jī)(DryEtcher)、化學(xué)氣象沉積成膜機(jī)(ChemicaI Vapor Deposit1n，CVD)、物理氣象沉積成膜機(jī)(PhysicaIVapor Deposit 1n，PVD)等真空系統(tǒng)對(duì)半導(dǎo)體加工材料在真空環(huán)境下進(jìn)行加工。在多腔室的真空系統(tǒng)中，通常采用獨(dú)立的真空栗對(duì)某一腔室抽真空，通過(guò)不斷改變栗內(nèi)吸氣空腔的體積，使被抽腔室內(nèi)氣體的體積不斷膨脹，從而獲得需要的真空環(huán)境，長(zhǎng)時(shí)間的運(yùn)轉(zhuǎn)會(huì)使真空栗由于溫度異?；虮硥焊叩仍虍惓ＭC(jī)，導(dǎo)致相應(yīng)的腔室也停止工作，無(wú)法進(jìn)行生產(chǎn)，而對(duì)真空栗修復(fù)的過(guò)程耗時(shí)一般較長(zhǎng)，降低真空系統(tǒng)的可運(yùn)作時(shí)間，影響生產(chǎn)產(chǎn)能。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0003]本發(fā)明的目的在于提供一種真空系統(tǒng)，旨在解決因真空栗異常停機(jī)時(shí)，導(dǎo)致相應(yīng)的腔室無(wú)法繼續(xù)工作的問(wèn)題。
[0004]為實(shí)現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供一種真空系統(tǒng)，包括:
[0005]第一腔室、第二腔室、第一真空栗、第二真空栗及控制設(shè)備；
[0006]第一真空栗連接于第一腔室，用于正常工作狀態(tài)下對(duì)第一腔室抽真空，第二真空栗連接于第二腔室，用于正常工作狀態(tài)下對(duì)第二腔室抽真空，第一腔室進(jìn)一步與第二真空栗連接；
[0007]控制設(shè)備用于在第一真空栗異常停機(jī)狀態(tài)下，使用第二真空栗同時(shí)對(duì)第一腔室和第二腔室抽真空。
[0008]其中，第一真空栗通過(guò)第一管路直接或間接與第一腔室連接，第二真空栗通過(guò)第二管路直接或間接與第二腔室連接，控制設(shè)備檢測(cè)第一真空栗是否處于正常工作狀態(tài)下，在第一真空栗處于正常工作狀態(tài)時(shí)控制第一管路與第二真空栗不連通，在第一真空栗異常停機(jī)狀態(tài)下，使第一管路與第二真空栗連通。
[0009]其中，第一管路上設(shè)有第一閥門(mén)，第二管路上設(shè)有第二閥門(mén)，第一閥門(mén)和第二閥門(mén)之間連接有第三管路，并且控制設(shè)備連接第一閥門(mén)和第二閥門(mén)，其中控制設(shè)備在第一真空栗處于正常工作狀態(tài)下時(shí)，控制第一閥門(mén)使第一真空栗與第一腔室之間維持連通狀態(tài)，并且控制第一閥門(mén)和第二閥門(mén)使第三管路與第一管路不連通，在第一真空栗處于異常停機(jī)狀態(tài)時(shí)，控制第一閥門(mén)使第一真空栗與第一腔室之間維持不連通狀態(tài)，并且控制第一閥門(mén)和第二閥門(mén)使第三管路與第一管路和第二管路連通。
[0010]其中，第一閥門(mén)至少包括第一端口、第二端口、第三端口，第二閥門(mén)至少包括第四端口、第五端口、第六端口，第一端口及第二端口通過(guò)第一管路分別連接第一腔室及第一真空栗，第四端口及第五端口通過(guò)第二管路分別連接第二腔室及第二真空栗，第三端口及第六端口之間連接有第三管路；[0011 ]其中控制設(shè)備在第一真空栗處于正常工作狀態(tài)下時(shí)，控制第一閥門(mén)的第一端口與第二端口維持連通狀態(tài)，并且控制第一端口和第三端口不連通，第二閥門(mén)的第五端口和第六端口不連通，在第一真空栗處于異常停機(jī)狀態(tài)時(shí)，控制第一閥門(mén)的第一端口和第二端口維持不連通狀態(tài)，并且控制第一端口和第三端口連通，控制第二閥門(mén)的第五端口和第六端口連通。
[0012]其中，第一閥門(mén)及第二閥門(mén)為T(mén)型三通閥。
[0013]其中，第一腔室與第一閥門(mén)之間連接有分子栗，分子栗與第一真空栗或第二真空栗同時(shí)對(duì)第一腔室抽真空。
[0014]其中，第一腔室為工藝腔室，第二腔室為傳送腔室，第一腔室與第二腔室串聯(lián)連接。
[0015]其中，第一真空栗及第二真空栗為干式機(jī)械栗。
[0016]其中，第一真空栗及第二真空栗分別連接廢氣處理裝置。
[0017]本發(fā)明的有益效果是:區(qū)別于現(xiàn)有技術(shù)的情況，本發(fā)明真空系統(tǒng)通過(guò)第一真空栗與第一腔室連接，用于正常工作狀態(tài)下對(duì)第一腔室抽真空，第二真空栗與第二腔室連接，用于正常工作狀態(tài)下對(duì)第二腔室抽真空，進(jìn)一步通過(guò)第一腔室與第二真空栗連接，利用控制設(shè)備在第一真空栗異常停機(jī)狀態(tài)下，使用第二真空栗同時(shí)對(duì)第一腔室和第二腔室抽真空，使得第一腔室不會(huì)因第一真空栗的異常停機(jī)而停機(jī)，在第一真空栗修復(fù)過(guò)程中，通過(guò)第二真空栗的運(yùn)作繼續(xù)進(jìn)行生產(chǎn)，從而提高整個(gè)系統(tǒng)的可運(yùn)作時(shí)間，提升產(chǎn)能。
【附圖說(shuō)明】
[0018]圖1是本發(fā)明真空系統(tǒng)實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0019]圖2是本發(fā)明真空系統(tǒng)實(shí)施例一的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0020]圖3是本發(fā)明真空系統(tǒng)實(shí)施例二的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0021 ]圖4是本發(fā)明真空系統(tǒng)實(shí)施例三的結(jié)構(gòu)示意圖。
【具體實(shí)施方式】
[0022]為使本領(lǐng)域的技術(shù)人員更好地理解本發(fā)明的技術(shù)方案，下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明所提供的一種真空系統(tǒng)做進(jìn)一步詳細(xì)描述。
[0023]如圖1所示，本發(fā)明真空系統(tǒng)實(shí)施例一，包括:
[0024]第一腔室11、第二腔室12、第一真空栗13、第二真空栗14及控制設(shè)備15;
[0025]第一真空栗13連接于第一腔室11，用于正常工作狀態(tài)下對(duì)第一腔室11抽真空，第二真空栗14連接于第二腔室12，用于正常工作狀態(tài)下對(duì)第二腔室12抽真空，第一腔室11進(jìn)一步與第二真空栗14連接；
[0026]控制設(shè)備15用于在第一真空栗13異常停機(jī)狀態(tài)下，使用第二真空栗14同時(shí)對(duì)第一腔室11和第二腔室12抽真空。
[0027]正常工作狀態(tài)下，第一腔室11與第一真空栗13維持連通狀態(tài)，與第二真空栗14連接但不連通，第一真空栗13獨(dú)立對(duì)第一腔室11抽真空，第二腔室12與第二真空栗14維持連通狀態(tài)，第二真空栗14獨(dú)立對(duì)第二腔室12抽真空，當(dāng)?shù)谝徽婵绽?3處于異常停機(jī)狀態(tài)下，而第一腔室11無(wú)異常時(shí)，利用控制設(shè)備15使第一腔室11與第二真空栗14連通，從而使第二真空栗14同時(shí)對(duì)第一腔室11和第二腔室12抽真空。這里所述的第一、第二是相對(duì)概念，上述的兩個(gè)真空栗中其中一個(gè)異常停機(jī)時(shí)，另一個(gè)真空栗均可實(shí)現(xiàn)同時(shí)對(duì)兩個(gè)腔室抽真空。
[0028]圖1所示的連接關(guān)系是一種示意關(guān)系，基于不同的實(shí)現(xiàn)方式，可選多種連接方式，比如控制設(shè)備15與第二真空栗14的連接，可直接連接，也可間接連接，中間可有其他的一些連接部件，控制設(shè)備15通過(guò)與第二真空栗14的連接實(shí)現(xiàn)控制，使第二真空栗14在第一真空栗13異常停機(jī)的狀態(tài)下，同時(shí)對(duì)第一腔室11和第二腔室12抽真空。
[0029]具體地，如圖2所示，第一真空栗13通過(guò)第一管路18與第一腔室11連接，第二真空栗14通過(guò)第二管路19與第二腔室12連接，在第一管路18上設(shè)有第一閥門(mén)16，第二管路19上設(shè)有第二閥門(mén)17，第一閥門(mén)16和第二閥門(mén)17之間連接有第三管路20，控制設(shè)備15連接第一閥門(mén)16和第二閥門(mén)17，對(duì)兩個(gè)閥門(mén)進(jìn)行控制。
[0030]其中，為了使第一真空栗13更好地對(duì)第一腔室11抽真空，在第一真空栗13和第一腔室11之間還可連接有其他真空栗或控制設(shè)備，第二真空栗14和第二腔室12之間也可連接有其他真空栗或控制設(shè)備。
[0031]控制設(shè)備15對(duì)第一真空栗13進(jìn)行檢測(cè)，可通過(guò)壓力表、流量表反饋的數(shù)值進(jìn)行檢測(cè)，判斷第一真空栗13是否處于正常工作狀態(tài)下，在第一真空栗13處于正常工作狀態(tài)時(shí)控制第一管路18與第二真空栗14不連通，也即通過(guò)控制第一閥門(mén)16使第一真空栗13與第一腔室11之間維持連通狀態(tài)，并且控制第一閥門(mén)16和第二閥門(mén)17使第三管路20和第一管路18不連通，從而使第一真空栗13獨(dú)立對(duì)第一腔室11抽真空，控制第二閥門(mén)17使第二真空栗14與第二腔室12之間維持連通狀態(tài)，第二真空栗14獨(dú)立對(duì)第二腔室12抽真空;在第一真空栗13異常停機(jī)狀態(tài)下，使第一管路18和第二真空栗14連通，也即通過(guò)控制第一閥門(mén)16使第一真空栗13與第一腔室11之間維持不連通狀態(tài)，并且控制第一閥門(mén)16和第二閥門(mén)17使第三管路20與第一管路18和第二管路19連通，從而使第二真空栗14同時(shí)對(duì)第一腔室11和第二腔室12抽真空。
[0032]其中，第一管路18、第二管路19和第三管路20可選真空管，真空管是一種電子元件，真空管之間的連接需要通過(guò)連接管件如閥門(mén)等。第一閥門(mén)16設(shè)在第一管路18上，將第一管路18—分為二，第二閥門(mén)17設(shè)在第二管路19上，將第二管路19 一分為二，第一閥門(mén)16和第二閥門(mén)17之間還連接有第三管路20，因此選擇的第一閥門(mén)16和第二閥門(mén)17各自至少包括三個(gè)端口。
[0033]第一閥門(mén)16至少包括第一端口 1、第二端口 2、第三端口 3，第二閥門(mén)17至少包括第四端口4、第五端口 5、第六端口6，第一端口 I及第二端口 2通過(guò)第一管路18分別連接第一腔室11及第一真空栗13，第四端口 4及第五端口 5通過(guò)第二管路19分別連接第二腔室12及第二真空栗14，第三端口 3及第六端口 6之間連接有第三管路20。第一閥門(mén)16和第二閥門(mén)17可選T型三通閥，包括一個(gè)入口端、兩個(gè)出口端，控制T型三通閥可使入口端和其中一個(gè)出口端連通，也可使入口端同時(shí)和兩個(gè)出口端連通。
[0034]控制設(shè)備15可選PLC邏輯控制器15，將第一閥門(mén)16和第二閥門(mén)17的連接端通過(guò)導(dǎo)線分別連接PLC邏輯控制器15的不同控制端，當(dāng)檢測(cè)到第一真空栗13處在正常工作狀態(tài)下時(shí)，PLC邏輯控制器15發(fā)出控制指令使第一閥門(mén)16的第一端口 I和第二端口 2維持連通狀態(tài)，并且控制第一端口 I和第三端口 3不連通，使第一管路18與第三管路20不連通，從而使第一真空栗13獨(dú)立對(duì)第一腔室11抽真空，第二閥門(mén)17的第五端口 5和第六端口 6維持在不連通狀態(tài)，第四端口 4和第五端口 5維持在連通狀態(tài)使第二真空栗14獨(dú)立對(duì)第二腔室12抽真空；
[0035]當(dāng)檢測(cè)到第一真空栗13處于異常停機(jī)狀態(tài)時(shí)，PLC邏輯控制器15發(fā)出控制指令使第一閥門(mén)16的第一端口 I和第二端口 2維持在不連通狀態(tài)，并且控制第一端口 I和第三端口 3連通，同時(shí)控制第二閥門(mén)17的第五端口 5和第六端口 6連通，使第二真空栗14同時(shí)對(duì)第一腔室11和第二腔室12抽真空。