基板處理裝置的制造方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001] 本發(fā)明設(shè)及一種對(duì)基板進(jìn)行液體處理的裝置。
【背景技術(shù)】
[0002] 近來(lái)，液晶顯示裝置在電話(huà)、便攜式電腦等電子設(shè)備的顯示屏上被廣泛使用。運(yùn)種 液晶顯示裝置是將液晶注入到由黑矩陣、彩色濾光片、公共電極W及配向膜形成的彩色濾 光片基板和由薄膜晶體管（TFT)、像素電極W及配向膜形成的陣列基板之間的空間，從而利 用根據(jù)液晶的各向異性的光的折射率的差異來(lái)得到影像效果。
[0003] 作為在彩色濾光片基板和陣列基板上涂敷如配向液或液晶的處理液的裝置，主要 使用噴墨方式的涂敷裝置。圖1為示出在常規(guī)的涂敷裝置中將處理液供給到液體供給單元 的圖。參照?qǐng)D1，液體供給單元包括更換罐2和緩沖罐4。更換罐2和緩沖罐4分別具有相 同大小的瓶子（未示出）。更換罐2內(nèi)儲(chǔ)存的處理液可W供給到緩沖罐4,被提供到緩沖罐 4的處理液被供給到噴射頭6。當(dāng)儲(chǔ)存在更換罐2的處理液都被耗盡時(shí)，更換設(shè)在更換罐2 內(nèi)的瓶子。
[0004] 然而，瓶子的儲(chǔ)存空間大概為3至4升，且為了去除更換瓶子時(shí)發(fā)生的氣泡，應(yīng)排 出至少0. 6至0. 7升的處理液。運(yùn)樣的瓶子更換作業(yè)，在幾十至幾百次工藝進(jìn)行中將頻繁 發(fā)生，而且此過(guò)程中將有大量的處理液被排出。

【發(fā)明內(nèi)容】
陽(yáng)00引 本發(fā)巧要解決的巧術(shù)間顆
[0006] 本發(fā)明的目的在于提供能夠迅速進(jìn)行基板的液體處理工藝的裝置。
[0007] 另外，本發(fā)明的目的在于提供能夠減少對(duì)耗盡處理液的罐內(nèi)的瓶子進(jìn)行更換作業(yè) 的頻率。
[0008] 另外，本發(fā)明的目的在于提供能夠盡量減少在更換瓶子的作業(yè)時(shí)消耗的處理液的 裝置。
[0009] 巧術(shù)方案
[0010] 本發(fā)明的實(shí)施例提供對(duì)基板進(jìn)行液體處理的裝置。基板處理裝置包括用于支撐基 板的基板支撐單元W及將處理液供給到上述基板處理單元的液體供給單元，上述液體供給 單元包括：內(nèi)部具有儲(chǔ)存處理液的儲(chǔ)存空間的供給罐；內(nèi)部具有儲(chǔ)存處理液的緩沖空間的 多個(gè)緩沖罐；將上述緩沖罐提供的處理液供給到基板上的處理液噴嘴，W及將上述供給罐 分別并列連接到上述多個(gè)緩沖罐的一次供給線。
[0011] 上述液體供給單元可W包括將上述多個(gè)緩沖罐并聯(lián)連接到上述處理液噴嘴的二 次供給線。上述液體供給單元還可W包括調(diào)節(jié)被提供到上述一次供給線的處理液的供給的 一次閥口部件及控制上述一次閥口部件的控制器，上述控制器可W開(kāi)閉上述一次供給線， W便處理液能從上述供給罐被供給到上述多個(gè)緩沖罐各自的上述緩沖空間中消耗了處理 液的緩沖空間內(nèi)。還包括調(diào)節(jié)被提供到上述二次供給線的處理液的供給的二次閥口部件， 上述控制器可W開(kāi)閉上述二次供給線，W便處理液能從上述多個(gè)緩沖罐中填滿(mǎn)處理液的緩 沖罐被供給到上述處理液噴嘴。上述儲(chǔ)存空間可W具有比上述緩沖空間大的空間。上述 液體供給單元還可W包括：調(diào)節(jié)上述多個(gè)緩沖罐各自的上述緩沖空間的壓力的壓力調(diào)節(jié)部 件，上述控制器可W調(diào)節(jié)上述壓力調(diào)節(jié)部件，W便上述多個(gè)緩沖罐各自的上述緩沖空間中 耗盡處理液的緩沖空間的壓力比上述儲(chǔ)存空間的壓力小。上述供給罐的材質(zhì)可W包括丙締 酸材質(zhì)。上述液體供給單元還可W包括測(cè)定上述儲(chǔ)存空間所儲(chǔ)存的處理液的水位的液位傳 感器。
[0012] 另外，基板處理裝置包括支撐基板的基板支撐單元；將處理液供給到上述基板處 理單元的液體供給單元，其中，上述液體供給單元包括：內(nèi)部具有儲(chǔ)存處理液的儲(chǔ)存空間的 供給罐；內(nèi)部具有儲(chǔ)存處理液的緩沖空間的緩沖罐；將上述緩沖罐提供的處理液供給到基 板上的處理液噴嘴；調(diào)節(jié)上述緩沖空間的壓力的壓力調(diào)節(jié)部件；W及隨著上述緩沖空間的 狀態(tài)調(diào)節(jié)上述壓力調(diào)節(jié)部件的控制器，上述控制器調(diào)節(jié)上述壓力調(diào)節(jié)部件，使得在上述緩 沖空間上處理液被耗盡的耗盡狀態(tài)下上述緩沖空間的壓力比上述儲(chǔ)存空間的壓力小，而調(diào) 節(jié)上述壓力調(diào)節(jié)部件，使得在上述緩沖空間上處理液被填充的填充狀態(tài)下上述緩沖空間的 壓力與上述儲(chǔ)存空間的壓力相同。
[0013] 上述供給罐的材質(zhì)可W包括丙締酸材質(zhì)。上述液體供給單元還可W包括測(cè)定上述 儲(chǔ)存空間所儲(chǔ)存的處理液的水位的液位傳感器，上述液位傳感器可W位于上述供給罐的外 側(cè)。
[0014] 有益效果
[0015] 根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，設(shè)置多個(gè)緩沖罐。因而，將處理液填充到耗盡狀態(tài)的緩沖罐 時(shí)也可W通過(guò)處于填充狀態(tài)的緩沖罐繼續(xù)執(zhí)行對(duì)基板的液體處理工藝。
[0016] 另外，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，供給罐的儲(chǔ)存空間被設(shè)置為比緩沖罐的緩沖空間大。 因而，即使緩沖空間上的處理液被耗盡，也可W在不更換供給罐的情況下向該緩沖空間供 給處理液。
[0017] 另外，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，緩沖罐的緩沖空間的壓力小于儲(chǔ)存空間的壓力，從而 可W從儲(chǔ)存空間供給得到處理液。因而，供給罐的材質(zhì)可W設(shè)置為比不誘鋼材質(zhì)（SU巧節(jié) 省成本的丙締酸材質(zhì)（O^a幫劉豆）。
[001引另外，根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例，供給罐的材質(zhì)可W設(shè)為透明材質(zhì)，因而可W從供給罐 的外部準(zhǔn)確得知儲(chǔ)存在儲(chǔ)存空間的處理液的容量。
【附圖說(shuō)明】
[0019] 圖1為示出在常規(guī)的涂敷裝置中供給處理液的液體供給單元的圖。
[0020] 圖2為顯示根據(jù)本發(fā)明的實(shí)施例的噴墨方式的基板處理裝置的結(jié)構(gòu)的圖。
[0021] 圖3為示出圖2中液晶排出部的立體圖。 陽(yáng)022] 圖4為示出圖3中構(gòu)臺(tái)移動(dòng)單元的截面圖。
[0023] 圖5為示出圖3的頭部移動(dòng)單元的側(cè)面的圖。
[0024] 圖6為示出圖3的液體供給單元的圖。
[00巧]圖7為示出向圖6的第一緩沖罐填充處理液，并通過(guò)第二緩沖罐向噴射頭供給處 理液的過(guò)程的圖。
【具體實(shí)施方式】
[00%] 在下文中，將參考所附的附圖，對(duì)本發(fā)明的優(yōu)選的實(shí)施例進(jìn)行詳細(xì)說(shuō)明。如上所述 的本發(fā)明所要解決的課題、技術(shù)解決手段及效果可通過(guò)所附的附圖和相關(guān)的實(shí)施例而輕易 理解。為了清楚地進(jìn)行說(shuō)明，各附圖中的一部分被簡(jiǎn)略或夸張地表示。應(yīng)注意在各附圖的 結(jié)構(gòu)要素中附加附圖標(biāo)記時(shí)，對(duì)同樣的結(jié)構(gòu)要素即使在不同的附圖上也盡可能地標(biāo)識(shí)為相 同的符號(hào)。另外，在本發(fā)明W下的說(shuō)明中，如果認(rèn)為對(duì)相關(guān)的已知結(jié)構(gòu)或功能的具體說(shuō)明會(huì) 模糊本發(fā)明的要點(diǎn)，那么將省略對(duì)其的詳細(xì)說(shuō)明。
[0027] 本實(shí)施例中，對(duì)通過(guò)排出液滴的噴墨方式將處理液涂敷于對(duì)象物的基板處理裝置 進(jìn)行說(shuō)明。例如，對(duì)象物可W為液晶顯示面板的彩色濾光片（C巧基板或薄膜晶體管（TFT) 基板；處理液可W為液晶化iquid化ystal)、配向液、在溶劑中混入顏料顆粒的紅色（時(shí)、 綠色（G)、藍(lán)色做的油墨。其中，作為配向液可使用聚酷亞胺（POlymide)。
[002引配向液可涂敷于彩色濾光片（C巧基板和薄膜晶體管（TFT)基板的整個(gè)面上，液晶 可涂敷于彩色濾光片（C巧基板或者薄膜晶體管（TFT)基板的整個(gè)面上。油墨可涂敷于彩 色濾光片（C巧基板上W格子狀排列的黑矩陣的內(nèi)部區(qū)域。
[0029] 本實(shí)施例的基板處理裝置1是W排出液滴的噴墨方式在基板上涂敷液晶化iquid Crystal)的設(shè)備。
[0030] 基板可W為液晶顯示面板的彩色濾光片（C巧基板或薄膜晶體管（TFT)基板，液晶 可W涂敷于彩色濾光片（C巧基板或者薄膜晶體管（TFT)基板的整個(gè)面上。
[0031] 圖2為顯示噴墨方式的基板處理裝置的圖。參照?qǐng)D2,基板處理裝置1包括：液晶 排出部10、基板移送部20、裝載部30、卸載部40、液晶供給部50 W及主控制部90。液晶排 出部10與基板移送部20可W沿第一方向I配置成一列，并且可W設(shè)置為彼此相鄰。液晶 供給部50和主控制部90配置在W液晶排出部10為中屯、且與基板移送部20相對(duì)的位置。 液晶供給部50和主控制部90可W沿第二方向II配置成一列。裝載部30和卸載部40配置 在W基板移送部20為中屯、且與液晶排出部10相對(duì)的位置。裝載部30和卸載部40可W沿 第二方向II排成一列。
[0032] 其中，第一方向I為液晶排出部10與基板移送部20的排列方向，第二方向II為 在水平面上垂直于第一方向I的方向，第立方向III為垂直于第一方向I和第二方向II的方 向。
[0033] 待涂敷液晶的基板將被搬入至裝載部30?；逡扑筒?0將搬入到裝載部30的基 板移送到液晶排出部10。液晶排出部10從液晶供給部50得到液晶，W噴墨方式向基板上 排出液晶。當(dāng)完成液晶的排出后，基板移送部20從液晶排出部10移送基板至卸載部40。 涂敷了液晶的基板從卸載部40搬出。主控制部90控制液晶排出部10、基板移送部20、裝 載部30、卸載部40及液晶供給部50的整體動(dòng)作。
[0034] 圖3為示出圖2中液晶排出部的立體圖。參照?qǐng)D3,液晶排出部10包括基座B、基 板支撐單兀100、構(gòu)臺(tái)200、構(gòu)臺(tái)移動(dòng)單兀300、頭部單兀400、頭部移動(dòng)單兀500、頭部巧制單 元600、清洗單元700、檢查單元800 W及液體供給單元900。
[0035] 基座B可W為具有一定厚度的長(zhǎng)方體形狀?；鵅的上面配置基板支撐單元100。 基板支撐單元100具有放置基板S的支撐板1