促進(jìn)用于多腔室的系統(tǒng)單點(diǎn)連接的緊密危險(xiǎn)性氣體線分配的制作方法
【技術(shù)領(lǐng)域】
[0001 ]本文所述的實(shí)施方式大體涉及具有用于多腔室的單點(diǎn)連接的氣體線分配系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]半導(dǎo)體制造廠(FAB)及其他研究、工業(yè)、及醫(yī)學(xué)操作(medical operat1n)需要使用多種氣體。氣體線載送所需氣體至這些氣體的使用點(diǎn)。安全法規(guī)(safety code)需要:若載送危險(xiǎn)性氣體的氣體線使用配件，那么這些配件必須位于排氣封閉體(exhaustedenclosure)內(nèi)。安全法規(guī)還需要高的排氣流經(jīng)過(guò)排氣封閉體，這導(dǎo)致排氣封閉體的尺寸變得不實(shí)際的大且占用有價(jià)值的工作空間。
[0003]若不使用配件(諸如若使用全焊接線系統(tǒng)(all-welded line system))，那么可避免排氣封閉體。盡管全焊接線系統(tǒng)維持如排氣封閉體般的安全及防護(hù)，但是全焊接線系統(tǒng)涉及額外的復(fù)雜程度(level of complexity)，因?yàn)檫@些焊接線必須在設(shè)施內(nèi)逐節(jié)地(sect1n-by-sect1n)制造。全焊接線系統(tǒng)還特別昂貴且需要長(zhǎng)時(shí)間來(lái)建立。此外，很多載送危險(xiǎn)性氣體的氣體線需要具有雙倍的容量，這大大地增加成本及復(fù)雜程度。因此，全焊接線系統(tǒng)并非令人滿意的解決方案。
[0004]運(yùn)行使用現(xiàn)有方法的單獨(dú)氣體線的成本很高。設(shè)施通常需要大量的氣體線，這快速增大運(yùn)行氣體線的總成本。例如，F(xiàn)AB內(nèi)的多個(gè)處理腔室可各自需要相同的20至30種氣體以執(zhí)行這些處理腔室的操作。使用傳統(tǒng)方法，對(duì)多個(gè)處理腔室中的每一個(gè)處理腔室來(lái)說(shuō)將需要20至30個(gè)單獨(dú)氣體線以運(yùn)行。在此常見(jiàn)狀況下，提供氣體線至FAB設(shè)備的成本快速變得異常昂貴。隨著FAB或其他設(shè)施的復(fù)雜度持續(xù)增加，提供所需氣體線的成本也會(huì)增加。
[0005]如前文所述，該領(lǐng)域所需要的是一種安全、不昂貴、且便利的用于輸送多個(gè)氣體線至FAB或其他研究、工業(yè)、或醫(yī)學(xué)設(shè)施內(nèi)的不同使用點(diǎn)的方法。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]本文公開(kāi)的實(shí)施方式使用真空源以成本有效地及安全地使包含于真空管道內(nèi)的至少一個(gè)氣體線能夠被輸送至至少一個(gè)使用點(diǎn)。更特定地，本文公開(kāi)的實(shí)施方式包括真空氣體輸送系統(tǒng)。真空氣體輸送系統(tǒng)包括真空系統(tǒng)及氣體輸送系統(tǒng)，其中該氣體輸送系統(tǒng)被容納在該真空系統(tǒng)內(nèi)。在示例性實(shí)施方式中，借助當(dāng)氣體線行進(jìn)(travel)通過(guò)FAB或在FAB底盤(pán)(floor)下方時(shí)維持圍繞單獨(dú)氣體線的真空管道處于低于大氣壓力，使用真空源來(lái)安全地輸送相同的一個(gè)或更多個(gè)氣體線至FAB內(nèi)的一個(gè)或更多個(gè)處理腔室中的每一個(gè)處理腔室。這些實(shí)施方式允許各氣體至各腔室的輸送使用針對(duì)各氣體的單一饋送氣體線。
[0007]公開(kāi)了一種用于安全地使能夠輸送至少一個(gè)單獨(dú)氣體線至設(shè)施中的至少一個(gè)使用點(diǎn)的方法，所述方法包括以下步驟:連接第一真空管道至真空源，其中所述真空管道包括管道及包含于所述管道中的至少一個(gè)單獨(dú)氣體線，且所述至少一個(gè)單獨(dú)氣體線的外部暴露于低于大氣壓力；及連接所述至少一個(gè)單獨(dú)氣體線中的每一個(gè)單獨(dú)氣體線至使用點(diǎn)，同時(shí)維持所述至少一個(gè)單獨(dú)氣體線中的每一個(gè)單獨(dú)氣體線的外部處于低于大氣壓力。
[0008]公開(kāi)了一種用于安全地使能夠輸送至少一個(gè)單獨(dú)氣體線至設(shè)施中的至少一個(gè)使用點(diǎn)的系統(tǒng)，所述系統(tǒng)包括第一真空管道，所述第一真空管道包括管道及包含于所述管道中的至少一個(gè)單獨(dú)氣體線;及真空源，所述真空源連接至所述真空管道，使得所述至少一個(gè)單獨(dú)氣體線中的每一個(gè)單獨(dú)氣體線的外部維持處于低于大氣壓力。
[0009]公開(kāi)了一種真空密封的接線盒，所述真空密封的接線盒包括接線盒，所述接線盒耦接至第一真空管道及耦合至第二真空管道，其中所述第一真空管道及所述第二真空管道兩者都包括管道及包含于所述管道中的至少一個(gè)單獨(dú)氣體線，其中所述第一真空管道的所述管道及所述第二真空管道的所述管道在所述接線盒內(nèi)中斷一次，因此暴露所述至少一個(gè)單獨(dú)氣體線，其中所述至少一個(gè)單獨(dú)氣體線中的每一個(gè)單獨(dú)氣體線在所述接線盒內(nèi)分開(kāi)(split) 一次，使得所述至少一個(gè)單獨(dú)氣體線中的每一個(gè)單獨(dú)氣體線的第一長(zhǎng)度可連接至使用點(diǎn)，且所述至少一個(gè)單獨(dú)氣體線中的每一個(gè)單獨(dú)氣體線的第二長(zhǎng)度可變?yōu)榘谒龅诙婵展艿纼?nèi)。
[0010]附圖簡(jiǎn)要說(shuō)明
[0011]因此以可詳細(xì)理解本發(fā)明的上述特征的方式，通過(guò)參照實(shí)施方式可獲得上文簡(jiǎn)要概述的本發(fā)明的更具體的描述，這些實(shí)施方式中的一些實(shí)施方式被圖示于附圖中。然而，應(yīng)注意，這些附圖僅圖示本發(fā)明的典型的實(shí)施方式，且因此不應(yīng)被視為對(duì)本發(fā)明的范圍的限制，因?yàn)楸景l(fā)明可允許其他等效實(shí)施方式。
[0012]圖1圖示根據(jù)本文公開(kāi)的實(shí)施方式的真空管道，該真空管道具有容納于該真空管道中的多個(gè)單獨(dú)氣體線。
[0013]圖2圖示根據(jù)本文公開(kāi)的實(shí)施方式的設(shè)施中的真空氣體輸送系統(tǒng)的示意圖。
[0014]圖3A圖示根據(jù)本文公開(kāi)的實(shí)施方式的氣體輸送系統(tǒng)的接線盒及氣體面板排氣管路的頂視圖。
[0015]圖3B圖示根據(jù)本文公開(kāi)的實(shí)施方式的真空氣體輸送系統(tǒng)的多個(gè)方面的側(cè)視圖。
[0016]圖4為根據(jù)本文公開(kāi)的實(shí)施方式的真空氣體輸送系統(tǒng)的氣體線的示意圖。
[0017]具體描述
[0018]為說(shuō)明目的呈現(xiàn)本發(fā)明的多個(gè)實(shí)施方式的描述，但并不意在窮舉或限制所公開(kāi)的實(shí)施方式。對(duì)發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員而言，許多修改及變化是顯而易見(jiàn)的，并不背離所述實(shí)施方式的范圍及精神。選擇本文所使用的術(shù)語(yǔ)以最佳地解釋這些實(shí)施方式的原理、實(shí)際應(yīng)用或相對(duì)市場(chǎng)中能找到的技術(shù)的技術(shù)改進(jìn)，或使其他發(fā)明所屬技術(shù)領(lǐng)域的普通技術(shù)人員能夠理解本文所公開(kāi)的實(shí)施方式。
[0019]本文公開(kāi)的實(shí)施方式使用真空源以成本有效地及安全地使包含于真空管道內(nèi)的至少一個(gè)氣體線能夠被輸送至至少一個(gè)使用點(diǎn)。更特定地，本文公開(kāi)的實(shí)施方式包括真空氣體輸送系統(tǒng)。真空氣體輸送系統(tǒng)包括真空系統(tǒng)及氣體輸送系統(tǒng)，其中該氣體輸送系統(tǒng)被容納在該真空系統(tǒng)內(nèi)。在示例性實(shí)施方式中，借助當(dāng)氣體線行進(jìn)通過(guò)FAB或在FAB底盤(pán)下方時(shí)維持圍繞單獨(dú)氣體線的真空管道處于低于大氣壓力，使用真空源來(lái)安全地輸送相同的一個(gè)或更多個(gè)氣體線至FAB內(nèi)的一個(gè)或更多個(gè)處理腔室中的每一個(gè)處理腔室。實(shí)施方式允許各氣體至各腔室的輸送使用針對(duì)各氣體的單一饋送氣體線。真空源可提供與排氣封閉體相同的或比排氣封閉體更佳的安全特征，但真空源卻可使用具有比排氣封閉體所需的大型排氣管路小得多的直徑的真空管道。借助使用真空管道以封閉單獨(dú)氣體線及針對(duì)各氣體使用單一饋送線，本文公開(kāi)的實(shí)施方式減少了必須借助設(shè)施來(lái)運(yùn)行的單獨(dú)氣體線的數(shù)量。本文公開(kāi)的實(shí)施方式的結(jié)果是，運(yùn)行氣體線的成本大大減低，消除了由于排氣封閉體的擴(kuò)大的管路所造成的珍貴工作空間損失，且消除了與使用全焊接系統(tǒng)相關(guān)聯(lián)的潛在設(shè)備停機(jī)時(shí)間。此外，保持氣體線處于真空下保護(hù)氣體線且允許氣體線具有配件以用于容易的安裝及修理。
[0020]圖1圖示根據(jù)本文公開(kāi)的實(shí)施方式的真空管道100，真空管道100具有容納于真空管道100中的多個(gè)單獨(dú)氣體線20。盡管圖示真空管道100為圓形管道，但真空管道100可為任何形狀。真空管道100可以是例如管、密封托盤(pán)、或密封槽，但在任何情況下真空管道100都是封閉體，該封閉體可容納氣體線20且維持降低的壓力。真空管道100可由實(shí)質(zhì)不透氣的材料制成，該材料諸如是金屬或不可燃復(fù)合材料(composite material)?？墒褂玫氖纠越饘侔ㄤX、鋼、不銹鋼及上述各項(xiàng)的合金。可使用的示例性不可燃復(fù)合材料包括金屬?gòu)?fù)合物、碳纖維、玻璃纖維及其他纖維復(fù)合物。真空