一種光學(xué)諧振腔的制作方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種光學(xué)諧振腔，適用于氣體激光器，包括輸出鏡支撐板、反射鏡支撐板、輸出鏡托板和反射鏡托板，本方案提供的氣體激光器增加了定位銷、第一緩沖件、第二緩沖件和限位塊。其中定位銷能夠保證輸出鏡輸出光線的方向；在車載運輸過程中第一緩沖件和第二緩沖件能夠減緩沖擊和上下震動，起到保護整體桁架和輸出鏡與反射鏡安全的作用，降低了對氣體激光器的損傷，保證了光學(xué)諧振腔在車載條件下的穩(wěn)定性；反射鏡支撐板能夠沿著諧振腔的長度方向滑動，當溫度出現(xiàn)較大變化時，車基底會發(fā)生伸縮變化，反射鏡托板的運動能夠消除因為基底伸縮造成的反射鏡托板和輸出鏡托板之間的位置變化，保證整個桁架的穩(wěn)定性。
【專利說明】
一種光學(xué)諧振腔
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及激光器技術(shù)領(lǐng)域，特別涉及一種光學(xué)諧振腔。
【背景技術(shù)】
[0002]氣體激光器在軍事領(lǐng)域、工業(yè)加工、新材料領(lǐng)域及核物理領(lǐng)域具有廣闊的應(yīng)用前景。
[0003]氣體激光器是利用氣體作為工作物質(zhì)產(chǎn)生激光的器件，它由光學(xué)諧振腔、放電腔和電源三個主要部分組成，光學(xué)諧振腔是光波在其中來回震蕩從而提供光能反饋的空腔，其通常由兩塊與工作介質(zhì)軸線垂直的平面或凹球面反射鏡構(gòu)成。
[0004]穩(wěn)定的光學(xué)諧振腔，光線在光學(xué)諧振腔內(nèi)往返任意多次也不會橫向逸出腔外。
[0005]現(xiàn)有技術(shù)氣體激光器的光學(xué)諧振腔包括輸出鏡、反射鏡、固定輸出鏡的輸出鏡支撐板、固定反射鏡的反射鏡支撐板和用于連接輸出鏡支撐板與反射鏡支撐板的三根銦鋼管，輸出鏡支撐板通過輸出鏡托板固定，反射鏡支撐板通過反射鏡托板固定，氣體激光器在車載條件下使用或者溫度劇烈變化條件下使用時，會因為車身震動或者溫度變化造成光學(xué)諧振腔失穩(wěn)，影響光學(xué)諧振腔的穩(wěn)定性。
[0006]因此，如何保證光學(xué)諧振腔在車載條件下或者溫度劇烈變化條件下的穩(wěn)定性，成為本領(lǐng)域技術(shù)人員亟待解決的技術(shù)問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0007]有鑒于此，本發(fā)明提供了一種光學(xué)諧振腔，以保證光學(xué)諧振腔在車載條件下或者溫度劇烈變化條件下的穩(wěn)定性。
[0008]為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案:
[0009]—種光學(xué)諧振腔，適用于于氣體激光器，包括輸出鏡支撐板、與所述輸出鏡支撐板相對平行布置的反射鏡支撐板、固定所述輸出鏡支撐板的輸出鏡托板和固定所述反射鏡支撐板的反射鏡托板，所述反射鏡支撐板能夠沿所述諧振腔的長度方向滑動；
[0010]還包括:
[0011]設(shè)置在所述輸出鏡支撐板的下端中部用于保證輸出鏡的輸出光線方向不變的定位銷，所述輸出鏡支撐板與所述輸出鏡托板通過所述定位銷連接；
[0012]與所述輸出鏡支撐板連接能夠?qū)λ鲚敵鲧R支撐板的上下震動起緩沖作用的第一緩沖件，所述第一緩沖件與所述輸出鏡托板連接；
[0013]與所述反射鏡支撐板連接對所述反射鏡支撐板的上下震動起緩沖作用的第二緩沖件；
[0014]控制所述反射鏡支撐板沿直線方向滑動的限位塊，所述限位塊與所述反射鏡托板固定連接，所述限位塊通過所述第二緩沖件與所述反射鏡支撐板連接。
[0015]優(yōu)選的，在上述光學(xué)諧振腔中，所述第一緩沖件包括:
[0016]第一連接板，所述第一連接板包括第一水平板和與所述第一水平板豎直布置的第一豎直板，所述第一水平板位于所述輸出鏡支撐板與所述輸出鏡托板之間，所述第一豎直板與所述輸出鏡支撐板通過螺栓連接，所述第一水平板伸出所述輸出鏡支撐板的部分設(shè)置有第一安裝孔；
[0017]與所述第一安裝孔間隙配合的導(dǎo)向柱，所述導(dǎo)向柱的中部開設(shè)有第二安裝孔，所述第二安裝孔與所述第一安裝孔同軸布置；
[0018]套設(shè)在所述導(dǎo)向柱上的第一彈性件，所述第一彈性件的末端與所述第一水平板的上端面相抵；
[0019]套設(shè)在所述第一彈性件外側(cè)的第一殼體，所述第一殼體的頂壁與所述第一彈性件和所述導(dǎo)向柱的上端面相抵，所述第一殼體的下端面距離所述第一水平板上端面的距離為3-5mm，所述第一殼體的頂壁開設(shè)有第三安裝孔，所述第三安裝孔與所述第二安裝孔同軸；
[0020]依次穿過所述第三安裝孔和所述第二安裝孔用于將所第一緩沖件固定在所述輸出鏡托板上的緊固件，所述輸出鏡托板3上設(shè)置有與所述緊固件配合的安裝孔。
[0021 ]優(yōu)選的，在上述光學(xué)諧振腔中，所述緊固件為螺栓，所述安裝孔為螺栓孔。
[0022]優(yōu)選的，在上述光學(xué)諧振腔中，所述螺栓與所述第一殼體之間設(shè)置有第一調(diào)平墊圈。
[0023]優(yōu)選的，在上述光學(xué)諧振腔中，所述限位塊的下端設(shè)置有兩個支撐腳，所述限位塊內(nèi)沿豎直方向開設(shè)有容納空腔，所述限位塊的支撐腳與所述反射鏡托板固定連接；
[0024]所述第二緩沖件包括:
[0025]第二連接板，所述第二連接板包括第二水平板和與所述第二水平板豎直布置的第二豎直板，所述第二豎直板與所述反射鏡支撐板螺栓連接，所述第二水平板的上端面與所述反射鏡支撐板的下端面配合，所述第二水平板的下端面與所述反射鏡托板的上端面配合，所述第二水平板伸出所述反射鏡支撐板的部分位于所述限位塊與所述反射鏡托板之間，所述第二水平板上設(shè)置有兩個用于供所述支撐腳滑動的滑動槽；
[0026]第二彈性件，所述第二彈性件位于所述容納空腔內(nèi)，所述第二彈性件一端與所述容納空腔的頂壁相抵，另一端與所述第二水平板相抵。
[0027]優(yōu)選的，在上述光學(xué)諧振腔中，所述第二緩沖件還包括:
[0028]與所述第二彈性件的頂端配合的壓塊；
[0029]用于調(diào)整所述壓塊施加在所述第二彈性件上的壓緊力的壓緊螺釘，所述壓緊螺釘與所述限位塊螺紋配合；
[0030]與所述第二彈性件的末端配合的滑塊。
[0031]優(yōu)選的，在上述光學(xué)諧振腔中，還包括套設(shè)在所述滑塊外側(cè)的滑塊套，所述滑塊套與所述第二彈性件的末端配合。
[0032]優(yōu)選的，在上述光學(xué)諧振腔中，還包括滾珠結(jié)構(gòu)，所述滾珠結(jié)構(gòu)包括:
[0033]開設(shè)于所述反射鏡托板上的橢圓形通槽，所述橢圓形通槽的長軸延伸方向與所述諧振腔的長度方向相同，所述橢圓形通槽內(nèi)設(shè)有鋼珠，所述鋼珠與所述第二水平板的下端面相抵；
[0034]設(shè)置在所述反射鏡托板下端面的鋼珠支撐板，所述鋼珠支撐板與所述反射鏡托板通過螺釘連接；
[0035]開設(shè)于所述反射鏡托板上且位于所述橢圓形通槽一端的通孔，所述通孔內(nèi)設(shè)置有第三彈性件，所述第三彈性件的頂端與所述鋼珠相抵，所述第三彈性件與所述鋼珠之間設(shè)置有第一彈性件保護套；
[0036]與所述第三彈性件的末端配合的固定桿，所述固定桿與所述反射鏡托板螺栓連接；
[0037]開設(shè)于所述反射鏡托板上且與所述通孔沿同一直線布置的臺階狀通孔，所述臺階狀通孔直徑較大的一端設(shè)置有第四彈性件，所述第四彈性件的頂端與所述鋼珠相抵，所述第四彈性件與所述鋼珠之間設(shè)置有第二彈性件保護套；
[0038]與所述第四彈性件的末端相抵的壓桿，所述壓桿位于所述臺階狀通孔直徑較小的一端，所述壓桿通過頂絲調(diào)整對所述第四彈性件提供的壓緊力，所述頂絲上設(shè)置有鎖緊螺母。
[0039]優(yōu)選的，在上述光學(xué)諧振腔中，所述第一緩沖件的個數(shù)為兩個，且對稱布置在所述定位銷的兩側(cè)；
[0040]所述第二緩沖件的個數(shù)為一個，且位于所述反射鏡托板的中部；
[0041 ]所述第二緩沖件的兩側(cè)設(shè)置有緩沖墊。
[0042]優(yōu)選的，在上述光學(xué)諧振腔中，所述定位銷與所述輸出鏡支撐板通過螺栓連接，所述定位銷與所述輸出鏡托板通過銷連接。
[0043]從上述技術(shù)方案可以看出，本發(fā)明提供的光學(xué)諧振腔，包括輸出鏡支撐板、反射鏡支撐板、輸出鏡托板和反射鏡托板，本方案提供的光學(xué)諧振腔增加了定位銷、第一緩沖件、第二緩沖件和限位塊。其中定位銷能夠保證輸出鏡輸出光線的方向，避免光線在諧振腔內(nèi)往返任意多次時橫向逸出腔外，保證了光學(xué)諧振腔的穩(wěn)定性;在車載運輸過程中第一緩沖件和第二緩沖件能夠減緩沖擊和上下震動，起到保護整體桁架和輸出鏡與反射鏡安全的作用，降低了對光學(xué)諧振腔的損傷，保證了光學(xué)諧振腔在車載條件下的穩(wěn)定性;反射鏡支撐板能夠沿著諧振腔的長度方向滑動，當溫度出現(xiàn)較大變化時，車基底會發(fā)生伸縮變化，反射鏡托板的運動能夠消除因為基底伸縮造成的反射鏡托板和輸出鏡托板之間的位置變化，保證整個桁架的穩(wěn)定性，限位塊能夠?qū)Ψ瓷溏R支撐板的運動位置起到限位和導(dǎo)向作用，保證在反射鏡支撐板的運動方向不變，從而避免光線在光學(xué)諧振腔內(nèi)往返任意多次時橫向逸出腔外，保證了光學(xué)諧振腔在溫度劇烈變化時使用的穩(wěn)定性。
【附圖說明】
[0044]為了更清楚地說明本發(fā)明實施例或現(xiàn)有技術(shù)中的技術(shù)方案，下面將對實施例或現(xiàn)有技術(shù)描述中所需要使用的附圖作簡單地介紹，顯而易見地，下面描述中的附圖僅僅是本發(fā)明的一些實施例，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來講，在不付出創(chuàng)造性勞動的前提下，還可以根據(jù)這些附圖獲得其他的附圖。
[0045]圖1為本發(fā)明實施例提供的光學(xué)諧振腔的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0046]圖2為本發(fā)明實施例提供的第一緩沖件的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0047]圖3為本發(fā)明實施例提供的第二緩沖件的結(jié)構(gòu)示意圖；
[0048]圖4為本發(fā)明實施例提供的滾珠結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0049 ] 1、輸出鏡支撐板，2、反射鏡支撐板，3、輸出鏡托板，4、反射鏡托板，5、定位銷，6、限位塊，7、第一連接板，8、導(dǎo)向柱，9、第一彈性件，10、第一殼體，11、第二連接板，12、第二彈性件，13、壓塊，14、壓緊螺釘，15、滑塊，16、滑塊套，17、鋼珠，18、第三彈性件，19、固定桿，20、第四彈性件，21、壓桿，22、頂絲，23、鎖緊螺母。
【具體實施方式】
[0050]本發(fā)明公開了一種光學(xué)諧振腔，以保證光學(xué)諧振腔在車載條件下或者溫度劇烈變化條件下的穩(wěn)定性。
[0051]下面將結(jié)合本發(fā)明實施例中的附圖，對本發(fā)明實施例中的技術(shù)方案進行清楚、完整地描述，顯然，所描述的實施例僅僅是本發(fā)明一部分實施例，而不是全部的實施例?；诒景l(fā)明中的實施例，本領(lǐng)域普通技術(shù)人員在沒有做出創(chuàng)造性勞動前提下所獲得的所有其他實施例，都屬于本發(fā)明保護的范圍。
[0052]請參閱圖1-圖4，圖1為本發(fā)明實施例提供的光學(xué)諧振腔的結(jié)構(gòu)示意圖；圖2為本發(fā)明實施例提供的第一緩沖件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖3為本發(fā)明實施例提供的第二緩沖件的結(jié)構(gòu)示意圖；圖4為本發(fā)明實施例提供的滾珠結(jié)構(gòu)的結(jié)構(gòu)示意圖。
[0053]本發(fā)明公開了一種光學(xué)諧振腔，適用于氣體激光器，包括輸出鏡支撐板1、與輸出鏡支撐板I相對平行布置的反射鏡支撐板2、固定輸出鏡支撐板I的輸出鏡托板3和固定反射鏡支撐板2的反射鏡托板4，輸出鏡支撐板I和反射鏡支撐板2之前設(shè)置有三根銦鋼管，后文描述中對輸出鏡支撐板1、反射鏡支撐板2和銦鋼管的組合結(jié)構(gòu)稱為桁架。
[0054]本方案提供的光學(xué)諧振腔還包括:定位銷5、第一緩沖件、第二緩沖件和限位塊6。
[0055]定位銷5設(shè)置在輸出鏡支撐板I的下端中部，輸出鏡支撐板I與輸出鏡托板3通過定位銷5連接，定位銷5能夠固定輸出鏡支撐板I在輸出鏡托板3上的位置，從而保證輸出鏡的輸出光線的方向，保證光學(xué)諧振腔使用的穩(wěn)定性。
[0056]第一緩沖件與輸出鏡支撐板I連接，且第一緩沖件與輸出鏡托板3連接，能夠?qū)敵鲧R支撐板I的上下震動起緩沖作用。車載過程中車輛震動，輸出鏡支撐板I隨著車身一起震動，震動的過程中會對桁架和輸出鏡造成一定的損傷，第一緩沖件能夠有效減緩車輛行駛過程中的沖擊和震動，對桁架和輸出鏡起到有效的保護作用，從而避免由于桁架和輸出鏡受損影響光學(xué)諧振腔的穩(wěn)定性。
[0057]第二緩沖件與反射鏡支撐板2連接，能夠?qū)Ψ瓷溏R支撐板2的上下震動起緩沖作用。車載過程中車輛震動，反射鏡支撐板2隨著車身一起震動，震動的過程中會對桁架和反射鏡造成一定的損傷，第二緩沖件能夠有效減緩車輛行駛過程中的沖擊和震動，對桁架和反射鏡起到有效的保護作用，從而避免由于桁架和反射鏡受損影響光學(xué)諧振腔的穩(wěn)定性。
[0058]第一緩沖件和第二緩沖件分別對氣體激光器的輸出鏡支撐板I和反射鏡支撐板2起到了保護作用，即從兩個方面對光學(xué)諧振腔起到了保護作用，相對于現(xiàn)有技術(shù)中沒有設(shè)置緩沖件的光學(xué)諧振腔，不僅保證了光學(xué)諧振腔的穩(wěn)定性，還在一定程度上提高了光學(xué)諧振腔的使用壽命。該調(diào)節(jié)過程中通過第一緩沖件和第二緩沖件自動實現(xiàn)，不需要進行人工調(diào)節(jié)，從而降低了調(diào)節(jié)光學(xué)諧振腔的人工勞動強度。
[0059]當外界溫度發(fā)生劇烈變化時，車基底會因為溫度變化伸縮，由于輸出鏡托板與反射鏡托板均與車基底固定連接，輸出鏡托板和反射鏡托板會隨著車基底的伸縮而與車基底一起發(fā)生位置的變化，進而影響桁架的結(jié)構(gòu)，影響桁架的穩(wěn)定性，本方案中反射鏡支撐板2能夠沿諧振腔的長度方向滑動，當反射鏡托板4隨著車基底發(fā)生位置的變化時，反射鏡支撐板2能夠通過沿著諧振腔長度方向的滑動，反射鏡支撐板2的運動方向與反射鏡托板4的運動方向相反，實現(xiàn)對反射鏡支撐板2與輸出鏡支撐板I之間的位置調(diào)整，保證桁架的結(jié)構(gòu)不會發(fā)生變化，保證了桁架的穩(wěn)定性，從而保證了光學(xué)諧振腔在溫度發(fā)生劇烈變化時的穩(wěn)定性。
[0060]另外，該調(diào)節(jié)過程為自動調(diào)節(jié)過程，不需要人工介入，進一步降低了人工勞動強度。
[0061]限位塊6控制反射鏡支撐板2在直線上的滑動方向，保證反射鏡支撐板2只能沿著諧振腔的長度方向滑動，且不會發(fā)生左右擺動，保證輸出激光束的方向性，避免光線在諧振腔內(nèi)往返任意多次時橫向逸出腔外，保證了光學(xué)諧振腔的穩(wěn)定性。
[0062]本方案中限位塊6與反射鏡托板4固定連接，限位塊6通過第二緩沖件與反射鏡支撐板2連接，從而也就實現(xiàn)了第二緩沖件與反射鏡托板4的間接連接，從而實現(xiàn)了反射鏡支撐板2與反射鏡托板4的連接。
[0063]在本發(fā)明的一個具體實施例中，第一緩沖件包括:第一連接板7、導(dǎo)向柱8、第一彈性件9、第一殼體10和緊固件。
[0064]第一連接板7包括第一水平板和與第一水平板豎直布置的第一豎直板，第一水平板位于輸出鏡支撐板I與輸出鏡托板3之間，第一豎直板與輸出鏡支撐板I通過螺栓連接。
[0065]第一水平板伸出輸出鏡支撐板I的部分設(shè)置有第一安裝孔，第一水平板的一部分被輸出鏡支撐板I遮擋，另一部分不被輸出鏡支撐板I遮擋，不被遮擋的部分用來安裝導(dǎo)向柱8、第一彈性件9和第一殼體10。
[0066]優(yōu)選的，第一連接板7的第一水平板為T型結(jié)構(gòu)，第一殼體10對第一連接板7的上下震動起到限位作用。
[0067]與第一安裝孔間隙配合的導(dǎo)向柱8，導(dǎo)向柱8能夠?qū)Φ谝粡椥约?的伸縮運動起到導(dǎo)向作用，導(dǎo)向柱8的中部開設(shè)有第二安裝孔，第二安裝孔與第一安裝孔同軸布置；
[0068]套設(shè)在導(dǎo)向柱8上的第一彈性件9，第一彈性件9為起到緩沖作用的主要部件，第一彈性件9的末端與第一水平板的上端面相抵，頂端與第一殼體10相抵，第一彈性件9能夠有效減緩車輛行駛過程中的沖擊和震動。
[0069]優(yōu)選的，第一彈性件9的下端與第一水平板固定連接。
[0070]套設(shè)在第一彈性件9外側(cè)的第一殼體10，第一殼體10的頂壁與第一彈性件9和導(dǎo)向柱8的上端面相抵，導(dǎo)向柱8可以對第一殼體10起到支撐作用，第一殼體10也能夠第一彈性件9和導(dǎo)向柱8起到保護作用。
[0071]第一殼體10的頂壁開設(shè)有第三安裝孔，第三安裝孔與第二安裝孔同軸，第三安裝孔和第二安裝孔為緊固件提供了安裝基礎(chǔ)。
[0072]第一殼體10的下端距離第一水平板上端面的距離為3_5mm，該距離為輸出鏡支撐板I的上下運動提供了空間，同時能夠限制輸出鏡支撐板3的彈起高度。
[0073]依次穿過第三安裝孔和第二安裝孔用于將所第一緩沖件固定在輸出鏡托板3上的緊固件，緊固件將導(dǎo)向柱8和第一殼體10固定在輸出鏡托板3上，輸出鏡托板3上開設(shè)有與緊固件配合的安裝孔。
[0074]導(dǎo)向柱8通過緊固件固定在輸出鏡托板3上，使得導(dǎo)向柱8不會隨著第一連接板7上下運動，但是第一連接板7可以沿著導(dǎo)向柱8的軸線方向上下運動。
[0075]第一緩沖件由外到內(nèi)的結(jié)構(gòu)依次為第一殼體10、第一彈性件9、導(dǎo)向柱8、緊固件，其中，導(dǎo)向柱8的長度較外殼10的長度長，緊固件依次穿過第一殼體10和導(dǎo)向柱8后與輸出軸托板3連接。
[0076]導(dǎo)向柱8可以為金屬導(dǎo)向柱。
[0077]本方案中第一彈性件9可以為壓縮彈簧、橡膠圈或者彈片。
[0078]優(yōu)選的，緊固件為螺栓或者螺釘，輸出鏡托板3上開設(shè)有與螺栓配合的螺栓孔，螺栓孔與第二安裝孔和第三安裝孔同軸布置。通過擰緊或者擰松螺栓或者螺釘可以調(diào)節(jié)第一殼體10施加在第一彈性件9上的壓緊力，從而對第一緩沖件的緩沖效果進行調(diào)整。
[0079]優(yōu)選的，螺栓或者螺釘與第一殼體10之間設(shè)置有第一調(diào)平墊圈，第一調(diào)平墊圈為球形調(diào)平墊圈。
[0080]限位塊6的下端設(shè)置有兩個支撐腳，限位塊6內(nèi)沿豎直方向開設(shè)有容納空腔，限位塊6的支撐腳與反射鏡托板4固定連接，限位塊6的兩個支撐腳之間設(shè)置有凹槽，該凹槽與限位塊6的容納空腔連通。
[0081 ]第二緩沖件包括:第二連接板11和第二彈性件12。
[0082]第二連接板11包括第二水平板和與第二水平板豎直布置的第二豎直板，第二豎直板與反射鏡支撐板2螺栓連接，第二水平板的上端面與反射鏡支撐板2的下端面配合，第二水平板的下端面與反射鏡托板4的上端面配合，第二水平板伸出反射鏡支撐板2的部分位于限位塊6與反射鏡托板4之間，第二水平板的一部分被反射鏡支撐板2遮擋，另一部分沒有被反射鏡支撐板2遮擋，沒有被反射鏡支撐板2遮擋的部分用于與限位塊6配合，第二水平板上設(shè)置有與兩個用于供支撐腳滑動的滑動槽，滑動槽的寬度與限位塊6的支撐腳的寬度相等，滑動槽的長度較支撐腳的長度長，從而為反射鏡支撐板2的滑動提供了空間。第二連接板11的第二水平板也可以起到對反射鏡支撐板2的跳動限位作用，反射鏡支撐板2的跳動空間為限位塊6的兩個支腳形成的凹槽。
[0083]第二彈性件12位于限位塊6的容納空腔內(nèi)，第二彈性件12—端與容納空腔的頂壁相抵，另一端與第二水平板相抵。
[0084]第二彈性件12能夠起到有效減緩車輛行駛過程中的沖擊和震動，優(yōu)選的，第二彈性件12的下端與第二水平板固定連接。
[0085]限位塊6的容納空腔能夠?qū)Φ诙椥约?2的運動起到導(dǎo)向作用，也能夠?qū)Φ诙椥约?2起到保護作用。
[0086]第二彈性件12可以為壓縮彈簧，也可以為橡膠圈，也可以為彈片。
[0087]第二連接板11與反射鏡支撐板2連接，第二連接板11的第二水平板通過限位塊6可滑動的連接在反射鏡托板4上，當反射鏡托板4隨著車基底運動時，反射鏡支撐板2也運動，輸出鏡支撐板I不動，反射鏡支撐板2的運動方向與反射鏡托板4的運動方向相反，滑動槽為反射鏡支撐板2的提供的滑動空間，該種設(shè)計方式能夠保證光學(xué)諧振腔在溫度劇烈變化條件下的穩(wěn)定性。
[0088]在本發(fā)明的一個具體實施例中，第二緩沖件還包括:壓塊13、壓緊螺釘14和滑塊15。其中，
[0089]第二緩沖件從上到下的結(jié)構(gòu)依次為壓緊螺釘14、壓塊13、第二彈性件12和滑塊15。其中，
[0090]壓塊13與第二彈性件12的頂端配合，優(yōu)選的，在第二彈性件12的頂端設(shè)置有與壓塊13配合的凹槽，能夠?qū)簤K13起到有效的限位作用；
[0091]壓緊螺釘14用于調(diào)整壓塊13施加在第二彈性件12上的壓緊力，壓緊螺釘14與限位塊6螺紋配合，限位塊6的頂端開設(shè)與壓緊螺釘配合的螺紋孔，通過調(diào)節(jié)壓緊螺釘14調(diào)整壓塊13對第二彈性件12的壓緊力；
[0092]滑塊15與第二彈性件12的末端配合，優(yōu)選的，第二彈性件12的末端開設(shè)與滑塊15配合的凹槽，滑塊15的下端面露出凹槽與第二水平板接觸，滑塊15的設(shè)計能夠減小第二緩沖件與第二水平板之間的摩擦力，同時降低對第二水平板的損傷。優(yōu)選的，滑塊15的材料為聚四氟乙烯。
[0093]優(yōu)選的，本發(fā)明提供的第二緩沖件還包括套設(shè)在滑塊15外側(cè)的滑塊套16，滑塊套16與第二彈性件12的末端配合。
[0094]第二緩沖件從上到下的結(jié)構(gòu)依次為壓緊螺釘15、壓塊13、第二彈性件12、滑塊套16和滑塊15。
[0095]第二彈性件12的末端開設(shè)與滑塊套16配合的凹槽，滑塊套16位于凹槽內(nèi)，滑塊套16內(nèi)開設(shè)與滑塊15配合的凹槽，滑塊15位于滑塊套16的凹槽內(nèi)。
[0096]優(yōu)選的，滑塊套16的末端設(shè)置有折邊，折邊與第二彈性件13的末端配合，對第二彈性件起到良好的保護作用。
[0097]當?shù)诙椥约?2為壓縮彈簧時，壓塊13位于壓縮彈簧的中空部分，滑塊套16也位于壓縮彈簧的中空部分。
[0098]本發(fā)明提供的氣體激光器還包括滾珠結(jié)構(gòu)，具體如下。
[0099]開設(shè)于反射鏡支撐板4上的橢圓形通槽，橢圓形通槽的長軸延伸方向與諧振腔的長度方向相同，橢圓形通槽內(nèi)設(shè)有鋼珠17，鋼珠17可以在橢圓形通槽內(nèi)滑動，鋼珠17與第二水平板的下端面相抵，能夠進一步降低反射鏡支撐板3的滑動阻力，實現(xiàn)反射鏡支撐板4位置的快速調(diào)節(jié)。
[0100]設(shè)置在反射鏡托板4的下端面的鋼珠支撐板，鋼珠支撐板與反射鏡托板4通過螺釘連接，避免鋼珠17從橢圓形凹槽內(nèi)掉落。
[0101]開設(shè)于反射鏡托板4上且位于橢圓形通槽一端的通孔，通孔內(nèi)設(shè)置有第三彈性件18，第三彈性件18的頂端與鋼珠17相抵，第三彈性件18能夠輔助鋼珠17回到初始位置，第三彈性件18與鋼珠之間設(shè)置有第一彈性件保護套，第一彈性件保護套能夠?qū)︿撝?3和第三彈性件18起到保護作用。
[0102]與第三彈性件18的末端配合的固定桿19，固定桿19能夠?qū)ν灼鸬椒舛伦饔?，避免第三彈性?8從通孔內(nèi)被推出，保證裝置的穩(wěn)定工作。
[0103]固定桿19與反射鏡托板4配合的一端設(shè)置有連接板，固定桿19整體為T字型形狀，固定桿19的連接板與反射鏡托板4螺栓連接。
[0104]連接板與反射鏡托板4采用螺栓連接的方式能夠方便裝置的安裝和維修，固定桿19與反射鏡托板4還可以采用其他連接方式，在此不做具體限定。
[0105]開設(shè)于反射鏡托板4上且與通孔沿同一直線布置的臺階狀通孔，該臺階狀通孔一端的直徑較大，另一端的直徑較小。其直徑較大的一端靠近鋼珠17。
[0106]臺階狀通孔直徑較大的一端設(shè)置有第四彈性件20，第四彈性件20的頂端與鋼珠17相抵，第四彈性件20能夠輔助鋼珠17回復(fù)到初始位置，第四彈性件20與鋼珠17之間設(shè)置有第二彈性件保護套，第二彈性件保護套能夠?qū)Φ谒膹椥约?0和鋼珠17起到保護作用；
[0107]與第四彈性件20的末端相抵的壓桿21，壓板21位于臺階狀通孔直徑較小的一端，通過調(diào)整頂絲22的位置能夠調(diào)整壓桿21對第四彈性件20的壓緊力，頂絲22上設(shè)置有鎖緊螺母23，鎖緊螺母23能夠?qū)斀z23起到固定作用，保證頂絲23對壓桿21起到穩(wěn)定的壓緊作用。
[0108]第一彈性件保護套和第二彈性件保護套均采用聚四氟乙烯材料制作，可以在一定程度上減小與鋼珠17之間的摩擦力。
[0109]本方案中第三彈性件18和第四彈性件20可以為壓縮彈簧、橡膠圈或者彈片。
[0110]優(yōu)選的，發(fā)明中第一緩沖件的個數(shù)為兩個，且對稱布置在定位銷5的兩側(cè)，能夠起到有效的緩沖作用。
[0111]第二緩沖件的個數(shù)為一個，且位于反射鏡托板4的中部。
[0112]第二緩沖件的兩側(cè)設(shè)置有緩沖墊，緩沖墊也可以起到緩解沖擊和震動的作用。
[0113]定位銷5與輸出鏡支撐板I通過螺栓連接，定位銷5與輸出鏡托板3通過銷連接，采用銷連接能夠方便對光學(xué)諧振腔的調(diào)整本方案中限位塊6、鋼珠支撐板和鋼珠17均需進行淬火處理，防止受力過大發(fā)生變形影響使用。
[0114]對所公開的實施例的上述說明，使本領(lǐng)域?qū)I(yè)技術(shù)人員能夠?qū)崿F(xiàn)或使用本發(fā)明。對這些實施例的多種修改對本領(lǐng)域的專業(yè)技術(shù)人員來說將是顯而易見的，本文中所定義的一般原理可以在不脫離本發(fā)明的精神或范圍的情況下，在其它實施例中實現(xiàn)。因此，本發(fā)明將不會被限制于本文所示的這些實施例，而是要符合與本文所公開的原理和新穎特點相一致的最寬的范圍。
【主權(quán)項】
1.一種光學(xué)諧振腔，適用于氣體激光器，包括輸出鏡支撐板(I)、與所述輸出鏡支撐板(I)相對平行布置的反射鏡支撐板(2)、固定所述輸出鏡支撐板(I)的輸出鏡托板(3)和固定所述反射鏡支撐板(2)的反射鏡托板(4)，其特征在于，所述反射鏡支撐板(2)能夠沿所述諧振腔的長度方向滑動； 還包括: 設(shè)置在所述輸出鏡支撐板(I)的下端中部用于保證輸出鏡的輸出光線方向不變的定位銷(5)，所述輸出鏡支撐板(I)與所述輸出鏡托板(3)通過所述定位銷(5)連接； 與所述輸出鏡支撐板(I)連接能夠?qū)λ鲚敵鲧R支撐板(I)的上下震動起緩沖作用的第一緩沖件，所述第一緩沖件與所述輸出鏡托板(3)連接； 與所述反射鏡支撐板(2)連接對所述反射鏡支撐板(2)的上下震動起緩沖作用的第二緩沖件； 控制所述反射鏡支撐板(2)沿直線方向滑動的限位塊(6)，所述限位塊(6)與所述反射鏡托板(4)固定連接，所述限位塊(6)通過所述第二緩沖件與所述反射鏡支撐板(2)連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)諧振腔，其特征在于，所述第一緩沖件包括: 第一連接板(7)，所述第一連接板(7)包括第一水平板和與所述第一水平板豎直布置的第一豎直板，所述第一水平板位于所述輸出鏡支撐板(I)與所述輸出鏡托板(3)之間，所述第一豎直板與所述輸出鏡支撐板(I)通過螺栓連接，所述第一水平板伸出所述輸出鏡支撐板(I)的部分設(shè)置有第一安裝孔； 與所述第一安裝孔間隙配合的導(dǎo)向柱(8)，所述導(dǎo)向柱(8)的中部開設(shè)有第二安裝孔，所述第二安裝孔與所述第一安裝孔同軸布置； 套設(shè)在所述導(dǎo)向柱(8)上的第一彈性件(9)，所述第一彈性件(9)的末端與所述第一水平板的上端面相抵； 套設(shè)在所述第一彈性件(9)外側(cè)的第一殼體(10)，所述第一殼體(10)的頂壁與所述第一彈性件(9)和所述導(dǎo)向柱(8)的上端面相抵，所述第一殼體(10)的下端面距離所述第一水平板上端面的距離為3-5mm，所述第一殼體(10)的頂壁開設(shè)有第三安裝孔，所述第三安裝孔與所述第二安裝孔同軸； 依次穿過所述第三安裝孔和所述第二安裝孔用于將所第一緩沖件固定在所述輸出鏡托板(3)上的緊固件，所述輸出鏡托板(3)上設(shè)置有與所述緊固件配合的安裝孔。3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的光學(xué)諧振腔，其特征在于，所述緊固件為螺栓，所述安裝孔為螺栓孔。4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的光學(xué)諧振腔，其特征在于，所述螺栓與所述第一殼體(10)之間設(shè)置有第一調(diào)平墊圈。5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)諧振腔，其特征在于，所述限位塊(6)的下端設(shè)置有兩個支撐腳，所述限位塊(6)內(nèi)沿豎直方向開設(shè)有容納空腔，所述限位塊(6)的支撐腳與所述反射鏡托板(4)固定連接； 所述第二緩沖件包括: 第二連接板(11)，所述第二連接板(11)包括第二水平板和與所述第二水平板豎直布置的第二豎直板，所述第二豎直板與所述反射鏡支撐板(2)螺栓連接，所述第二水平板的上端面與所述反射鏡支撐板(2)的下端面配合，所述第二水平板的下端面與所述反射鏡托板(4)的上端面配合，所述第二水平板伸出所述反射鏡支撐板(2)的部分位于所述限位塊(6)與所述反射鏡托板(4)之間，所述第二水平板上設(shè)置有兩個用于供所述支撐腳滑動的滑動槽； 第二彈性件(12)，所述第二彈性件(12)位于所述容納空腔內(nèi)，所述第二彈性件(12) —端與所述容納空腔的頂壁相抵，另一端與所述第二水平板相抵。6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學(xué)諧振腔，其特征在于，所述第二緩沖件還包括: 與所述第二彈性件(12)的頂端配合的壓塊(13); 用于調(diào)整所述壓塊(13)施加在所述第二彈性件(12)上的壓緊力的壓緊螺釘(14)，所述壓緊螺釘(14)與所述限位塊(6)螺紋配合； 與所述第二彈性件(12)的末端配合的滑塊(15)。7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的光學(xué)諧振腔，其特征在于，還包括套設(shè)在所述滑塊(15)外側(cè)的滑塊套(16)，所述滑塊套(16)與所述第二彈性件(12)的末端配合。8.根據(jù)權(quán)利要求5所述的光學(xué)諧振腔，其特征在于，還包括滾珠結(jié)構(gòu)，所述滾珠結(jié)構(gòu)包括: 開設(shè)于所述反射鏡托板(4)上的橢圓形通槽，所述橢圓形通槽的長軸延伸方向與所述諧振腔的長度方向相同，所述橢圓形通槽內(nèi)設(shè)有鋼珠(17)，所述鋼珠(17)與所述第二水平板的下端面相抵； 設(shè)置在所述反射鏡托板(4)下端面的鋼珠支撐板，所述鋼珠支撐板與所述反射鏡托板(4)通過螺釘連接； 開設(shè)于所述反射鏡托板(4)上且位于所述橢圓形通槽一端的通孔，所述通孔內(nèi)設(shè)置有第三彈性件(18)，所述第三彈性件(18)的頂端與所述鋼珠(17)相抵，所述第三彈性件(18)與所述鋼珠之間設(shè)置有第一彈性件保護套； 與所述第三彈性件(18)的末端配合的固定桿(19)，所述固定桿(19)與所述反射鏡托板(4)螺栓連接； 開設(shè)于所述反射鏡托板(4)上且與所述通孔沿同一直線布置的臺階狀通孔，所述臺階狀通孔直徑較大的一端設(shè)置有第四彈性件(20)，所述第四彈性件(20)的頂端與所述鋼珠(17)相抵，所述第四彈性件(20)與所述鋼珠(17)之間設(shè)置有第二彈性件保護套； 與所述第四彈性件(20)的末端相抵的壓桿(21)，所述壓桿(21)位于所述臺階狀通孔直徑較小的一端，所述壓桿(21)通過頂絲(22)調(diào)整對所述第四彈性件(20)提供的壓緊力，所述頂絲(22)上設(shè)置有鎖緊螺母(23)。9.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)諧振腔，其特征在于，所述第一緩沖件的個數(shù)為兩個，且對稱布置在所述定位銷(5)的兩側(cè)； 所述第二緩沖件的個數(shù)為一個，且位于所述反射鏡托板(4)的中部； 所述第二緩沖件的兩側(cè)設(shè)置有緩沖墊。10.根據(jù)權(quán)利要求1所述的光學(xué)諧振腔，其特征在于，所述定位銷(5)與所述輸出鏡支撐板(I)通過螺栓連接，所述定位銷(5)與所述輸出鏡托板(3)通過銷連接。
【文檔編號】G02B7/198GK105846298SQ201610397285
【公開日】2016年8月10日
【申請日】2016年6月7日
【發(fā)明人】楊貴龍, 邵明振, 張闊, 陳飛, 郭勁
【申請人】中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機械與物理研究所