一種多自由度微動調(diào)整裝置的制造方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了一種多自由度微動調(diào)整裝置,包括固定臺、上下移動單元、水平移動單元和微動調(diào)整臂,其中上下移動單元沿著豎直方向設(shè)置在固定臺上,其包括彼此連接的導(dǎo)向部和安裝有上下驅(qū)動電機的移動部;水平移動單元沿著水平方向設(shè)置在上下移動單元的移動部上,并包括彼此滑動連接的第一關(guān)聯(lián)部件、第二關(guān)聯(lián)部件和第三關(guān)聯(lián)部件,其中第一關(guān)聯(lián)部件上安裝有左右驅(qū)動電機,第二關(guān)聯(lián)部件上安裝有前后驅(qū)動電機,第三關(guān)聯(lián)部件上安裝有旋轉(zhuǎn)運動電機,旋轉(zhuǎn)運動電機上安裝有微動調(diào)整臂。本發(fā)明通過對驅(qū)動電機與移動部的高精度控制,能夠有效保證微動調(diào)整操作的精確性,同時具備運動精度高、調(diào)節(jié)靈活和結(jié)構(gòu)緊湊的優(yōu)點。
【專利說明】
一種多自由度微動調(diào)整裝置
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明屬于納米操作設(shè)備領(lǐng)域,更具體地,涉及一種多自由度微動調(diào)整裝置。
【背景技術(shù)】
[0002]目如,納米技術(shù)尚速發(fā)展,并對制造、彳目息、生物、醫(yī)學(xué)、能源、環(huán)境、宇航等尚科技領(lǐng)域產(chǎn)生深遠的影響。納米材料操控,對于納米材料機電性能測試、基于納米材料的納米制造等具有重要意義。根據(jù)現(xiàn)有文獻資料,目前通常使用微納表征測量設(shè)備,例如原子力顯微鏡、半導(dǎo)體測量儀等來對納米材料執(zhí)行擷取、放置、電性測量、組裝等多種操控。
[0003]然而,進一步的研究表明,上述微納表征測量設(shè)備在對納米材料進行操作時至少存在以下的缺陷或不足:第一、現(xiàn)有的表征測量設(shè)備只能對特定樣品進行部分參數(shù)表征測量,其對納米材料的操控應(yīng)用范圍有限,不能同時實現(xiàn)多種操控動作,例如原子力顯微鏡可以測量微納結(jié)構(gòu)的表面形狀參數(shù),但不能對納米材料進行組裝;第二、表征測量設(shè)備的使用比較繁復(fù),需要對使用人員進行專業(yè)培訓(xùn),有些甚至需要對樣品進行預(yù)先處理制備,例如半導(dǎo)體測量儀使用前需對樣品進行濺鍍或者蒸鍍導(dǎo)電電極等預(yù)處理;第三、不能實現(xiàn)視覺監(jiān)控下的操作,效率很低;第四、表征測量設(shè)備的購買、維護費用昂貴,工作環(huán)境對溫度、濕度、震動等要求頗高,日常使用所需耗材所費巨大;而且盡管現(xiàn)在某些微納表征測量設(shè)備可以充當納米操作儀器,但是由于它們的設(shè)計功能并不在納米操作上,所以在工作效率、可實現(xiàn)功能等多個方面仍難以滿足實際需求。相應(yīng)地,相關(guān)領(lǐng)域亟需開發(fā)出功能更為完善的納米材料操作臺,以便有效解決以上問題。
【發(fā)明內(nèi)容】
[0004]針對現(xiàn)有技術(shù)的以上缺陷或改進需求,本發(fā)明的目的在于提供一種多自由度微動調(diào)整裝置,其中結(jié)合納米材料操控自身的應(yīng)用特點,來對微動調(diào)整裝置關(guān)鍵組件的構(gòu)造及其設(shè)置方式進行設(shè)計,相應(yīng)能夠有效克服現(xiàn)有技術(shù)中應(yīng)用范圍窄、操作繁復(fù)和工作效率低下的問題,本發(fā)明裝置結(jié)構(gòu)緊湊、可多自由度靈活操作、精度高和功能強。
[0005]為實現(xiàn)上述目的,按照本發(fā)明,提供了一種多自由度微動調(diào)整裝置,其特征在于,該多自由度微動調(diào)整裝置安裝在掃描電子顯微鏡的真空腔內(nèi),并包括固定臺、上下移動單元、水平移動單元和微動調(diào)整臂,其中:
[0006]所述上下移動單元沿著豎直方向設(shè)置在固定臺上,并包括通過滾珠導(dǎo)軌彼此連接的導(dǎo)向部和移動部,其中導(dǎo)向部與固定臺保持相連,用于對整個操作臺進行支撐;移動部上直接安裝有上下驅(qū)動電機,且在該電機驅(qū)動下使移動部沿著Z軸方向移動;此外,移動部的端部與導(dǎo)向部的底部之間設(shè)置有復(fù)位彈簧,由此實現(xiàn)上下移動單元在Z軸方向上的往復(fù)直線運動;
[0007]所述水平移動單元通過L形連接板沿著水平方向設(shè)置在上下移動單元的移動部上,并包括通過滾珠導(dǎo)軌彼此并聯(lián)以滑動連接的第一關(guān)聯(lián)部件、第二關(guān)聯(lián)部件和第三關(guān)聯(lián)部件,其中第一關(guān)聯(lián)部件與上下移動單元的移動部保持相連,用于對整個水平移動單元進行支撐,第一關(guān)聯(lián)部件上直接安裝有左右驅(qū)動直線電機;第二關(guān)聯(lián)部件與左右驅(qū)動直線電機的轉(zhuǎn)子直接相連,并直接安裝有前后直線驅(qū)動電機;第三關(guān)聯(lián)部件與前后直線驅(qū)動電機的轉(zhuǎn)子相連,并直接安裝有旋轉(zhuǎn)運動電機,由此在左右、前后直線驅(qū)動電機各自的驅(qū)動下,第二關(guān)聯(lián)部件、第三關(guān)聯(lián)部件可同時相對于第一關(guān)聯(lián)部件可同時沿X軸、Y軸方向運動,并在旋轉(zhuǎn)運動電機的驅(qū)動下實現(xiàn)豎直平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)運動;此外,所述第一關(guān)聯(lián)部件和第二關(guān)聯(lián)部件間設(shè)置有復(fù)位彈簧,所述第二關(guān)聯(lián)部件和第三關(guān)聯(lián)部件之間也設(shè)置有復(fù)位彈簧,在此兩處設(shè)置復(fù)位彈簧能使水平移動單元在X軸方向和Y軸方向上往復(fù)運動;所述微動調(diào)整臂設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)運動電機上,由此實現(xiàn)X軸、Y軸和Z軸方向的直線運動以及垂直平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)運動。
[0008]以上發(fā)明構(gòu)思中,所述左右、前后、上下直線驅(qū)動電機的直線運動最小分辨率被設(shè)定為1nm,所述旋轉(zhuǎn)運動電機的旋轉(zhuǎn)運動最小分辨率被設(shè)定為0.5mrad、最大運動速度為0.9毫米/分鐘,并且所有驅(qū)動電機均可在10—6Pa的真空真空環(huán)境下工作;
[0009]作為進一步優(yōu)選地,所述水平移動單元的臺面尺寸優(yōu)選為50mm X 50mm,行程為土5mm,并且移動精度包括以下參數(shù):直線度0.002mm,直線移動俯仰角30〃,直線移動左右擺動25〃。
[00?0] 作為進一步優(yōu)選地,所述上下移動單元的臺面尺寸優(yōu)選為50mm X 50mm,行程為土5mm,并且移動精度包括以下參數(shù):直線度0.002mm,移動平行度0.02mm。
[0011]作為進一步優(yōu)選地,所述驅(qū)動電機優(yōu)選各自具有兩路控制信號輸入端,且其中一路為接地端;此外,所有驅(qū)動電機的控制信號接地端被串聯(lián)為一路,旋轉(zhuǎn)運動電機的兩路控制信號輸入端設(shè)計為排針排母式。
[0012]作為進一步優(yōu)選地,所述多自由度微動調(diào)整裝置還配備有驅(qū)動器、上位機和控制盒,其中驅(qū)動器通過排線與各個驅(qū)動電機相連,并且它的控制信號輸出端與電機的控制信號輸入端相連;所述上位機通過RS485接口與所述驅(qū)動器相連,所述控制盒通過USB接口與所述上位機相連。
[0013]作為進一步優(yōu)選地,所述控制盒集成所有對微動調(diào)整裝置的控制功能,包括驅(qū)動電機的選擇、驅(qū)動電機速度、加速度的輸入以及電機運動方式的選擇。
[0014]作為進一步優(yōu)選的,所述微動調(diào)整臂被設(shè)定為探針型、彎曲型或者鑷子型,并且其頂部尖端半徑被設(shè)定為lOOnm。
[0015]總體而言,通過本發(fā)明所構(gòu)思的以上技術(shù)方案與現(xiàn)有技術(shù)相比,能夠取得下列有益效果:
[0016]本發(fā)明的多自由度微動調(diào)整裝置通過對上下移動單元以及水平移動單元的結(jié)構(gòu)和布置進行設(shè)計,并巧妙設(shè)置了上下、左右以及前后驅(qū)動電機,使得操作臺能進行X向、Y向以及Z向的移動,進一步的在操作臺上設(shè)置了旋轉(zhuǎn)運動電機,在旋轉(zhuǎn)驅(qū)動電機的輸出軸上設(shè)置了微動調(diào)整臂,相應(yīng)使得微動調(diào)整臂能同時進行三維運動以及旋轉(zhuǎn)運動。本發(fā)明裝置還結(jié)合了納米材料操控自身的應(yīng)用特點來設(shè)計臺面的規(guī)格參數(shù)、各種電機的運動參數(shù)以及設(shè)計控制組件,相應(yīng)能夠使得本發(fā)明裝置具有結(jié)構(gòu)精細、便于操控和運動精度的優(yōu)點,從而能實現(xiàn)納米材料的多自由度調(diào)整安裝。實際工程實踐表明,本發(fā)明裝置能夠平穩(wěn)實現(xiàn)多個自由度方向的位移和定位,尤其適用于高真空度的應(yīng)用環(huán)境。
【附圖說明】
[0017]圖1是本發(fā)明實施例中多自由度微動調(diào)整裝置的結(jié)構(gòu)主視圖;
[0018]圖2是本發(fā)明實施例中多自由度微動調(diào)整裝置的結(jié)構(gòu)后視圖;
[0019]圖3是本發(fā)明實施例中多自由度微動調(diào)整裝置的系統(tǒng)原理框圖。
[0020]在所有附圖中,相同的附圖標記用來表示相同的元件或結(jié)構(gòu),其中:
[0021]1-上下移動單元11-導(dǎo)向部12-移動部2-水平移動單元21-第一關(guān)聯(lián)部件22-第二關(guān)聯(lián)部件23-第三關(guān)聯(lián)部件3-前后驅(qū)動電機4-上下驅(qū)動電機5-旋轉(zhuǎn)運動電機6-左右驅(qū)動電機7-微動調(diào)整臂
【具體實施方式】
[0022]為了使本發(fā)明的目的、技術(shù)方案及優(yōu)點更加清楚明白,以下結(jié)合附圖及實施例,對本發(fā)明進行進一步詳細說明。應(yīng)當理解,此處所描述的具體實施例僅僅用以解釋本發(fā)明,并不用于限定本發(fā)明。此外,下面所描述的本發(fā)明各個實施方式中所涉及到的技術(shù)特征只要彼此之間未構(gòu)成沖突就可以相互組合。
[0023]本發(fā)明的以下實施例涉及多自由度微動調(diào)整裝置,尤其涉及可實現(xiàn)納米結(jié)構(gòu)機械操作、測量、納米器件組裝的多種操控功能的微動調(diào)整裝置。圖1為按照本發(fā)明優(yōu)選實施例的多自由度微動調(diào)整裝置的結(jié)構(gòu)主視圖,圖2是圖1中所示多自由度微動調(diào)整裝置的結(jié)構(gòu)后視圖。如圖1和圖2中所示,該多自由度微動調(diào)整裝置安裝在掃描電子顯微鏡的真空腔內(nèi),其主要包括固定臺、上下移動單兀I和水平移動單兀2。
[0024]具體而言,所述上下移動單元I沿著豎直方向設(shè)置在固定臺上,并包括導(dǎo)向部11和移動部12,其中導(dǎo)向部11與固定臺保持相連,用于對整個操作臺進行支撐;移動部12上直接安裝有上下驅(qū)動電機4,且在該上下驅(qū)動電機4驅(qū)動下使移動部12沿著Z軸方向移動,由此使得上下移動單元及安裝其上的部件整體發(fā)生移動;上述導(dǎo)向部11和移動部12之間通過滾珠導(dǎo)軌彼此連接,以便保證運動的精確和平穩(wěn)。此外,移動部12的頂部與導(dǎo)向部11的底部之間設(shè)置有復(fù)位彈簧,由此實現(xiàn)上下移動單元I在Z軸方向上的往復(fù)直線運動,也即通過上下驅(qū)動電機4和復(fù)位彈簧的配合使用來確保上下移動單元I在Z軸方向上實現(xiàn)直線往復(fù)運動。
[0025]所述水平移動單元2通過L形連接板沿著水平方向設(shè)置在上下移動單元I的移動部12上。所述水平移動單元2包括通過滾珠導(dǎo)軌彼此并聯(lián)滑動的第一關(guān)聯(lián)部件21、第二關(guān)聯(lián)部件22和第三關(guān)聯(lián)部件23。其中,第一關(guān)聯(lián)部件21與上下移動單元I的移動部12保持相連,用于對整個水平移動單元2進行支撐,其上直接安裝有左右驅(qū)動電機6;第二關(guān)聯(lián)部件22與左右驅(qū)動電機6的轉(zhuǎn)子直接相連,第二關(guān)聯(lián)部件22上直接安裝有前后驅(qū)動電機3;第三關(guān)聯(lián)部件23與前后驅(qū)動電機3的轉(zhuǎn)子相連,第三關(guān)聯(lián)部件23直接安裝有旋轉(zhuǎn)運動電機5,由此在左右驅(qū)動電機6、前后驅(qū)動電機3各自的驅(qū)動下,第二關(guān)聯(lián)部件22、第三關(guān)聯(lián)部件23相對于第一關(guān)聯(lián)部件21可同時沿X軸、Y軸方向運動,并在旋轉(zhuǎn)運動電機5的驅(qū)動下實現(xiàn)操作臺可在垂直平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)運動;此外,所述第一關(guān)聯(lián)部件21、第二關(guān)聯(lián)部件22和第三關(guān)聯(lián)部件23之間分別設(shè)置有復(fù)位彈簧,由此實現(xiàn)水平移動單元2在X軸和Y軸方向上的往復(fù)直線運動。
[0026]通過以上結(jié)構(gòu),組成一個實現(xiàn)分別沿X向、Y向以及Z向三直線軸和一個旋轉(zhuǎn)軸的多自由度微動調(diào)整裝置,從而以結(jié)構(gòu)緊湊、便于操控的方式實現(xiàn)三維空間內(nèi)的位移和定位。
[0027]尤其是,所述前后直線驅(qū)動電機3、左右直線驅(qū)動電機6、上下直線驅(qū)動電機4以及旋轉(zhuǎn)運動電機5均直接安裝在移動部12上,并通過電機軸運動推動移動部運動;回程時,電機螺旋收縮,移動部12依靠與導(dǎo)向部11之間的復(fù)位彈簧回復(fù),實現(xiàn)往復(fù)直線運動。
[0028]本發(fā)明裝置的結(jié)構(gòu)簡單可靠,而且上下驅(qū)動電機4與移動部12之間沒有連接機構(gòu),這兩者是直接連接,能夠最大程度地保證直線電機的運動精度傳遞給位移臺,借此確保操作臺的位移與定位精度。此外,所述微動調(diào)整臂7直接設(shè)置在旋轉(zhuǎn)運動電機5的電機軸上,由此實現(xiàn)微動調(diào)整臂在X軸、Y軸和Z軸方向的直線運動以及垂直平面內(nèi)的旋轉(zhuǎn)運動。
[0029]此外,考慮到本發(fā)明的多自由度微動調(diào)整裝置安裝在掃描電子顯微鏡的真空腔內(nèi),應(yīng)用環(huán)境的特殊性使得按照本發(fā)明的微動調(diào)整裝置還必需在工作規(guī)格、電機類型、組件材料選擇、裝配過程和清潔等方面進行充分考慮,以保證在應(yīng)用過程中不破壞真空腔的真空度,同時保證整個操作的高精度。為此,在電機的選擇方面,經(jīng)過較多的對比測試,按照本發(fā)明的優(yōu)選實施例將所述左右直線驅(qū)動電機6、前后直線驅(qū)動電機3和上下直線驅(qū)動電機4的直線運動最小分辨率設(shè)定為1 n m,所述旋轉(zhuǎn)運動電機的旋轉(zhuǎn)運動最小分辨率被設(shè)定為0.5mrad、最大運動速度為0.9毫米/分鐘,并且所有驅(qū)動電機均可在10—6Pa的真空環(huán)境下工作。測試結(jié)果表明,在此超高真空環(huán)境下,此馬達仍然既可以保證1nm的步距分辨率,又可以維持長行程下的運動輸出穩(wěn)定與良好的剛度。此外,當馬達斷電沒有運動輸出時還可以實現(xiàn)自鎖,確保定位精度。
[0030]按照本發(fā)明的一個優(yōu)選實施方式,所述水平移動單元2的臺面尺寸被設(shè)定為50X50mm,行程設(shè)定為± 5mm,并且移動精度包括以下參數(shù):直線度0.002mm,直線移動俯仰角30〃,直線移動左右擺動25〃。所述上下移動單元I的臺面尺寸被設(shè)計為50 X 50mm,行程為土5mm,并且移動精度包括以下參數(shù):直線度0.002mm,移動平行度0.02mm。所述微動調(diào)整臂7被設(shè)定為探針型、彎曲型或者鑷子型,頂部尖端半徑設(shè)定為lOOnm。通過以上規(guī)格參數(shù)的設(shè)計,能夠進一步提高整個水平移動單元的整體移動精度。微動調(diào)整臂的設(shè)定是本發(fā)明裝置并尤其適用于納米材料的操控應(yīng)用場合。
[0031]此外,盡管在裝配過程中存在安裝誤差等影響因素,但按照上述優(yōu)選實施方式所選用的各種直線電機或者旋轉(zhuǎn)電機具有極高的步距分辨率,同時位移臺具有優(yōu)異的剛性、直線型、定位性能,二者的配合使用時可以進一步保證位移臺的定位精度。實際操作中,本發(fā)明使用的掃描電子顯微鏡的放大倍率可以達到X 100,000,分辨率0.2nm,操作臺的位移輸出可以通過掃描電子顯微鏡的實時圖像由操作人員判斷調(diào)整。
[0032]圖3是本發(fā)明的多自由度微動調(diào)整裝置控制系統(tǒng)原理框圖,如圖3中所示,該系統(tǒng)除了作為控制對象的驅(qū)動電機之外,還可包括控制盒、上位機和驅(qū)動器。其中,控制盒與上位機可通過USB接口通信,上位機與驅(qū)動器可通過RS485接口通信,驅(qū)動器與驅(qū)動電機通過排線通信。在一個優(yōu)選實施例中,將三個可實現(xiàn)三維直線運動的驅(qū)動電機與一個旋轉(zhuǎn)運動電機編為一組,驅(qū)動器可以連接控制多組,配合使用。
[0033]上述系統(tǒng)的工作原理可解釋如下:
[0034]由控制盒向上位機發(fā)送驅(qū)動位移信號,驅(qū)動位移信號包括驅(qū)動電機的選擇、速度的輸入、加速度的輸入、運動方式(點動、長動)的選擇。上位機在通過人機界面顯示上述信號的同時打包發(fā)送給驅(qū)動器,驅(qū)動器根據(jù)信息包中的速度加速度數(shù)值以及運動方式驅(qū)動所選擇的驅(qū)動電機。驅(qū)動電機推動所對應(yīng)的位移臺運動,微動調(diào)整裝置輸出位移。
[0035]按照本發(fā)明的多自由度微動調(diào)整裝置能夠順利實現(xiàn)納米結(jié)構(gòu)的擷取、放置的機械操作,以及進行電性測量和納米器件組裝的納米操作。
[0036]該操作臺具有應(yīng)用范圍廣、操作簡便、工作效率高、成本低的特點,其直線運動最小分辨率10nm,旋轉(zhuǎn)運動最小分辨率0.5mrad,最大運動速度0.9mm/min。測試表明,其能夠平穩(wěn)實現(xiàn)多個自由度方向的位移和定位,并尤其適用于高真空度的應(yīng)用環(huán)境。
[0037]本領(lǐng)域的技術(shù)人員容易理解,以上所述僅為本發(fā)明的較佳實施例而已,并不用以限制本發(fā)明,凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)所作的任何修改、等同替換和改進等,均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項】
1.一種多自由度微動調(diào)整裝置,其特征在于,該多自由度微動調(diào)整裝置安裝在掃描電子顯微鏡的真空腔內(nèi),其包括固定臺、上下移動單元(I)、水平移動單元(2)和微動調(diào)整臂(7),其中, 所述上下移動單元(I)沿著豎直方向設(shè)置在固定臺上,其包括通過滾珠導(dǎo)軌彼此連接的導(dǎo)向部(11)和移動部(12), 所述導(dǎo)向部(11)與固定臺相連,導(dǎo)向部用于對設(shè)置其上的結(jié)構(gòu)進行支撐, 所述移動部(12)上安裝有上下驅(qū)動電機(4),所述上下驅(qū)動電機(4)用于帶動移動部(12)沿Z軸方向上下移動,所述移動部(12)的頂部與所述導(dǎo)向部(11)的底部之間設(shè)置有復(fù)位彈貪, 所述水平移動單元(2)通過連接板沿著水平方向設(shè)置在上下移動單元(I)的移動部(12)上,其包括第一關(guān)聯(lián)部件(21)、第二關(guān)聯(lián)部件(22)以及第三關(guān)聯(lián)部件(23),所述第一關(guān)聯(lián)部件(21)和第二關(guān)聯(lián)部件(22)通過滾珠導(dǎo)軌彼此滑動連接,所述第二關(guān)聯(lián)部件(22)和第三關(guān)聯(lián)部件(23)也通過滾珠導(dǎo)軌彼此滑動連接, 所述第一關(guān)聯(lián)部件(21)與上下移動單元的移動部(12)保持相連,用于對水平移動單元(2)進行支撐,所述第一關(guān)聯(lián)部件(21)上安裝有左右驅(qū)動電機(6), 所述第二關(guān)聯(lián)部件(22)與左右驅(qū)動電機(6)的轉(zhuǎn)子相連,第二關(guān)聯(lián)部件(22)上安裝有前后驅(qū)動電機(3), 所述第三關(guān)聯(lián)部件(23)與前后驅(qū)動電機(3)的轉(zhuǎn)子相連,所述第三關(guān)聯(lián)部件(23)上安裝有旋轉(zhuǎn)運動電機(5), 所述第一關(guān)聯(lián)部件(21)和第二關(guān)聯(lián)部件(22)間設(shè)置有復(fù)位彈簧,所述第二關(guān)聯(lián)部件(22)和第三關(guān)聯(lián)部件(23)之間也設(shè)置有復(fù)位彈簧,在此兩處設(shè)置復(fù)位彈簧能使水平移動單元(2)在X軸方向和Y軸方向上往復(fù)運動, 所述微動調(diào)整臂(7)設(shè)置在所述旋轉(zhuǎn)運動電機(5)輸出軸上。2.如權(quán)利要求1所述的多自由度微動調(diào)整裝置,其特征在于,所述水平移動單元的臺面尺寸為50mm X 50mm,行程為土 5mm, 并且移動精度為:直線度0.002mm,直線移動俯仰角30〃,直線移動左右擺動25〃。3.如權(quán)利要求2所述的多自由度微動調(diào)整裝置,其特征在于,所述上下移動單元的臺面尺寸為50mm X 50mm,行程為土 5mm, 并且移動精度為:直線度0.002mm,移動平行度0.02mm。4.如權(quán)利要求1-3所述的多自由度微動調(diào)整裝置,其特征在于,所述上下驅(qū)動電機、所述前后驅(qū)動電機以及所述左右驅(qū)動電機均具有兩路控制信號輸入端,且其中一路控制信號輸入端為接地端,所述上下驅(qū)動電機、所述前后驅(qū)動電機以及所述左右驅(qū)動電機的接地端被串聯(lián)為一路。5.如權(quán)利要求4所述的多自由度微動調(diào)整裝置,其特征在于,所述多自由度微動調(diào)整裝置還配備有驅(qū)動器、上位機和控制盒,所述驅(qū)動器通過排線與所述上下驅(qū)動電機、所述前后驅(qū)動電機、所述左右驅(qū)動電機以及所述旋轉(zhuǎn)運動電機相連,所述驅(qū)動器的控制信號輸出端與各個電機的控制信號輸入端相連;所述上位機通過RS485接口與所述驅(qū)動器相連,所述控制盒通過USB接口與所述上位機相連。6.如權(quán)利要求1-3之一所述的多自由度微動調(diào)整裝置,其特征在于,所述微動調(diào)整臂為探針型、彎曲型或者鑷子型,并且其頂部尖端半徑為lOOnm。
【文檔編號】H01J37/20GK105869977SQ201610377057
【公開日】2016年8月17日
【申請日】2016年5月31日
【發(fā)明人】雷自力, 薛富利, 劉曉軍, 胡明軍, 盧文龍, 薛龍
【申請人】襄陽宏偉航空器有限責任公司