一種用于探針臺(tái)的map圖增加墨點(diǎn)標(biāo)識(shí)的方法
【專利摘要】一種用于探針臺(tái)的MAP圖增加墨點(diǎn)標(biāo)識(shí)的方法，涉及集成電路測(cè)試、制造領(lǐng)域。本發(fā)明方法包括如下步驟：1）得到晶圓空跑出來(lái)標(biāo)準(zhǔn)的UF200原始圖像數(shù)據(jù)調(diào)用MAP圖文件。2）打開(kāi)MAP圖文件，將頭文件和每個(gè)芯片的坐標(biāo)、標(biāo)識(shí)符參數(shù)提取出來(lái)，輸出到asicc編碼的《UF200.txt》模板。3）打開(kāi)需要打點(diǎn)的MAP圖文件統(tǒng)一格式，轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)的asicc編碼的《OTHER.txt》MAP文件。4）讀取需要打點(diǎn)的asicc編碼的《OTHER.txt》文件將每個(gè)芯片的行列參數(shù)提取出來(lái)，結(jié)合其在《UF200.txt》模板的位置信息，將其還原，輸出到“ink_MAP.txt”文件。5）打開(kāi)“ink_MAP.txt”文件，將頭文件表頭和每個(gè)芯片的坐標(biāo)、參數(shù)提取出來(lái)生成“UF200_ink_MAP.dat”。本發(fā)明提高了設(shè)備能力和生產(chǎn)效率。
【專利說(shuō)明】
—種用于探針臺(tái)的MAP圖增加墨點(diǎn)標(biāo)識(shí)的方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及集成電路測(cè)試、制造領(lǐng)域，特別是集成電路的晶圓制造中TSK UF系列探針臺(tái)的MAP圖增加墨點(diǎn)標(biāo)識(shí)的方法。
【背景技術(shù)】
[0002]基于摩爾定律，集成電路制造工藝不斷進(jìn)步，芯片的集成度越來(lái)越高，晶圓直徑達(dá)到了 300mm，芯片的特征線寬已達(dá)22nm以下。在制造過(guò)程中需要對(duì)芯片進(jìn)行測(cè)試、減劃、封裝，在這三個(gè)環(huán)節(jié)中芯片的相關(guān)信息需要識(shí)別、共享和高效傳遞。其中測(cè)試由測(cè)試系統(tǒng)(ATE)和探針臺(tái)(Prober)來(lái)共同完成物理的連接與測(cè)試，通過(guò)晶圓測(cè)試對(duì)所有芯片進(jìn)行分類:分出失效、合格的芯片以便后續(xù)的減劃、封裝。
[0003]現(xiàn)有技術(shù)中，為了滿足先進(jìn)的工藝和自動(dòng)化的要求，一般采用電子式MAP圖，該MAP圖是探針臺(tái)在測(cè)試過(guò)程中由探針臺(tái)或測(cè)試系統(tǒng)自動(dòng)生成的。MAP圖不僅記錄著芯片的好與壞狀態(tài)，還記載著被測(cè)芯片的其它測(cè)試信息。生產(chǎn)中需要把測(cè)試過(guò)的晶圓和電子式MAP圖同步傳遞到下一道工序，比如JEMAP圖錄入，該工序的設(shè)備就能自動(dòng)完成芯片的識(shí)別與操作，做到生產(chǎn)自動(dòng)化，因此MAP圖的生成和應(yīng)用非常重要。
[0004]由于國(guó)際上還沒(méi)有制定探針臺(tái)和測(cè)試儀的MAP圖格式文件通用標(biāo)準(zhǔn)，所以不同類型的探針臺(tái)、測(cè)試儀生成的MAP圖格式及信息存在差異，各設(shè)備之間并不能做到完全相互共享。在分工精細(xì)的當(dāng)今，生產(chǎn)制造越來(lái)越模塊化，大部分的芯片廠都將測(cè)試、減劃等后道制程外包出去，MAP上的差異會(huì)給生產(chǎn)制造帶來(lái)極大不便。
[0005]在當(dāng)前芯片的測(cè)試環(huán)節(jié)中可以做到直接對(duì)測(cè)試失效芯片進(jìn)行打墨點(diǎn)標(biāo)識(shí)，也可以在減劃前由獨(dú)立的打墨點(diǎn)設(shè)備來(lái)完成。在現(xiàn)有的封裝設(shè)備中有一部分是基于墨點(diǎn)識(shí)別的方式來(lái)拾取芯片的，另一方面出于預(yù)防錯(cuò)誤的考慮很多廠家也會(huì)對(duì)芯片進(jìn)行打墨點(diǎn)標(biāo)識(shí)，防止封裝的時(shí)候因?yàn)檎{(diào)用MAP錯(cuò)誤導(dǎo)致封裝拾片錯(cuò)誤。因此在實(shí)際生產(chǎn)過(guò)程中會(huì)面臨以下幾種打墨點(diǎn)需求:
一:不同格式編碼的MAP，在打點(diǎn)設(shè)備上識(shí)別追加墨點(diǎn)二:同一格式編碼，但缺失打點(diǎn)標(biāo)記的MAP在打點(diǎn)設(shè)備上識(shí)別追加墨點(diǎn)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006]針對(duì)上述現(xiàn)有技術(shù)中存在的不足，本發(fā)明的目的是提供一種用于TSK UF系列的UF200探針臺(tái)的MAP圖增加墨點(diǎn)標(biāo)識(shí)的方法。
[0007]UF200系列(適應(yīng)直徑200mm晶圓測(cè)試)探針臺(tái)由日本東京精密TSK公司制造，UF200探針臺(tái)具有運(yùn)行速度快、時(shí)間短，精度高，操作靈活等優(yōu)點(diǎn)，是業(yè)內(nèi)主流的探針臺(tái)。
[0008]為了達(dá)到上述發(fā)明目的，本發(fā)明的技術(shù)方案以如下方式實(shí)現(xiàn):
一種用于探針臺(tái)的MAP圖增加墨點(diǎn)標(biāo)識(shí)的方法，其包括如下步驟:
I)得到晶圓WAFER在UF200系列探針臺(tái)的測(cè)試機(jī)上空跑出來(lái)標(biāo)準(zhǔn)的UF200原始圖像數(shù)據(jù)調(diào)用MAP圖文件。
[0009]2)采用十六進(jìn)制模式打開(kāi)MAP圖文件，按照UF200探針臺(tái)設(shè)定的數(shù)據(jù)格式和長(zhǎng)度將頭文件和每個(gè)芯片的坐標(biāo)、標(biāo)識(shí)符參數(shù)提取出來(lái)，輸出到asicc編碼的《UF200.txt))模板。
[0010]3)采用文本方式打開(kāi)需要打點(diǎn)的MAP圖文件統(tǒng)一格式，轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)的asicc編碼的《OTHER, txt)) MAP 文件。
[0011]4)讀取需要打點(diǎn)的asicc編碼的《OTHER, txt》文件將每個(gè)芯片的行列參數(shù)提取出來(lái)，結(jié)合其在《UF200.txt))模板的位置信息，將其還原，輸出到“ink_MAP.txt”文件。
[0012]5)打開(kāi)“ink_MAP.txt”文件，按照UF200探針臺(tái)設(shè)定的數(shù)據(jù)格式和長(zhǎng)度將頭文件表頭和每個(gè)芯片的坐標(biāo)、參數(shù)提取出來(lái)生成“UF200_ink_ MAP.dat”。
[0013]本發(fā)明由于采用了上述方法，通過(guò)獲取各探針臺(tái)的標(biāo)準(zhǔn)MAP模板，取舍相關(guān)參數(shù)，輸出為asiic編碼的統(tǒng)一格式的文本MAP模板，從而實(shí)現(xiàn)可視化的訪問(wèn)與編輯，將需要打點(diǎn)的MAP根據(jù)打點(diǎn)需要還原到標(biāo)準(zhǔn)MAP模板文件中，還原其坐標(biāo)系等記錄信息，然后反解析前面生成的MAP文件生成對(duì)應(yīng)平臺(tái)的MAP文件。采用本發(fā)明方法，提高了設(shè)備能力和生產(chǎn)效率。
[0014]下面結(jié)合附圖和【具體實(shí)施方式】對(duì)本發(fā)明做進(jìn)一步說(shuō)明。
【附圖說(shuō)明】
[0015]圖1是本發(fā)明實(shí)施例中UF200MAP圖存儲(chǔ)芯片信息；
圖2是本發(fā)明實(shí)施例中根據(jù)芯片在探針臺(tái)上生成的模板MAP示意圖；
圖3是本發(fā)明實(shí)施例中生成交互的可視化ASICC編碼的txt格式MAP示意圖；
圖4是本發(fā)明實(shí)施例中還原到模板坐標(biāo)系后ASICC編碼格式的MAP示意圖；
圖5是本發(fā)明實(shí)施例中根據(jù)UF200的MAP編碼結(jié)構(gòu)反解析生成對(duì)應(yīng)的打點(diǎn)MAP圖；
圖6是本發(fā)明實(shí)施例中在UF200上面的識(shí)別打點(diǎn)信息圖。
【具體實(shí)施方式】
[0016]本發(fā)明用于TSK UF系列探針臺(tái)的MAP圖增加墨點(diǎn)標(biāo)識(shí)的方法,其包括如下步驟:
I)得到晶圓WAFER在UF200系列探針臺(tái)的測(cè)試機(jī)上空跑出來(lái)標(biāo)準(zhǔn)的UF200原始圖像數(shù)據(jù)調(diào)用MAP圖文件。
[0017]2)采用十六進(jìn)制模式打開(kāi)MAP圖文件，按照UF200探針臺(tái)設(shè)定的數(shù)據(jù)格式和長(zhǎng)度將頭文件和每個(gè)芯片的坐標(biāo)、標(biāo)識(shí)符參數(shù)提取出來(lái)，輸出到asicc編碼的《UF200.txt))模板。
[0018]3)采用文本方式打開(kāi)需要打點(diǎn)的MAP圖文件統(tǒng)一格式，轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)的asicc編碼的《OTHER, txt)) MAP 文件。
[0019]4)讀取需要打點(diǎn)的asicc編碼的《OTHER, txt》文件將每個(gè)芯片的行列參數(shù)提取出來(lái)，結(jié)合其在《UF200.txt))模板的位置信息，將其還原，輸出到“ink_MAP.txt”文件。
[0020]5)打開(kāi)“ ink_MAP.txt”文件，按照UF200探針臺(tái)設(shè)定的數(shù)據(jù)格式和長(zhǎng)度將頭文件表頭和每個(gè)芯片的坐標(biāo)、參數(shù)提取出來(lái)生成“UF200_ink_ MAP.dat”。
[0021]首先解剖UF200探針臺(tái)的文件格式與信息。
[0022]參看圖1，UF200的MAP圖是二進(jìn)制編碼的文檔，前236字節(jié)為固定字段的WAFER的相關(guān)記錄，后面每6個(gè)字節(jié)為MAP中的一顆芯片記錄，涵蓋芯片的測(cè)試與否、pass\fail、X\Y坐標(biāo)、BIN信息、打點(diǎn)信息、測(cè)試site。其坐標(biāo)數(shù)據(jù)的方式可以描述為對(duì)圓形wafer的外切正方形內(nèi)所有區(qū)域進(jìn)行die尺寸的分解，產(chǎn)生最大行數(shù)乘以最大列數(shù)個(gè)的分解單元。據(jù)此獲取產(chǎn)品在UF200上面的模板MAP。
[0023]其次，編寫(xiě)軟件進(jìn)行轉(zhuǎn)換，將探針臺(tái)的模板MAP轉(zhuǎn)為assic編碼的可視化的模板MAP0
[0024]將需要打點(diǎn)的MAP圖格式根據(jù)pass、fail統(tǒng)一起來(lái)。將統(tǒng)一格式后打點(diǎn)MAP圖根據(jù)模板、角度、行列坐標(biāo)信息還原到模板MAP中，生成完整的ASICC編碼的打點(diǎn)MAP。將上面的的MAP圖處理轉(zhuǎn)換，增加MARK標(biāo)識(shí)，以16進(jìn)制的方式，按照UF200的編碼格式輸出最終的打點(diǎn)MAP。
[0025]參看圖2，為根據(jù)芯片在探針臺(tái)上生成含完整芯片信息的模板MAP，其中S代表空即不存在的芯片，M代表WAFER邊緣不完整芯片，O代表完整的有效芯片。
[0026]參看圖3，為生成統(tǒng)一格式交互的可視化ASICC編碼的txt格式MAP，其中包含必要的MAP參數(shù)信息，用于信息的交互，可視化查看和編輯。交互的可視化ASICC編碼的txt格式MAP,用于信息的交互，只含有含有3種字符信息，notch方向一致，lot\die尺寸、數(shù)量等關(guān)鍵信息，便于可視化查看、編輯，作為格式轉(zhuǎn)換的橋梁。
[0027]參看圖4，為還原到模板坐標(biāo)系后ASICC編碼格式的MAP，其中涉及到轉(zhuǎn)換角度等。
[0028]參看圖5，為根據(jù)UF200的MAP編碼結(jié)構(gòu)，反解析生成對(duì)應(yīng)的MAP，其中已經(jīng)添加了MARK標(biāo)識(shí)，用于打點(diǎn)操作的MAP文件內(nèi)容。
[0029]參看圖6，為在UF200上面的識(shí)別打點(diǎn)信息。
[0030]采用上述方案進(jìn)行轉(zhuǎn)換，經(jīng)實(shí)際使用已驗(yàn)證其真實(shí)可靠。通過(guò)對(duì)圖4、圖6進(jìn)行對(duì)t匕，雖然兩種類型探針臺(tái)MAP圖顯示軟件在色彩顯示上有所差異，但是轉(zhuǎn)換前后的結(jié)果完全一致。
[0031]上面雖然通過(guò)實(shí)施例描繪了本發(fā)明，但本領(lǐng)域普通技術(shù)人員，在不脫離本發(fā)明技術(shù)思路的基礎(chǔ)上能有許多變形和變化，這些顯而易見(jiàn)而形成的技術(shù)方案也包含在本發(fā)明保護(hù)的技術(shù)范圍內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種用于探針臺(tái)的MAP圖增加墨點(diǎn)標(biāo)識(shí)的方法，其包括如下步驟: 1)得到晶圓(WAFER)在UF系列探針臺(tái)的測(cè)試機(jī)上空跑出來(lái)標(biāo)準(zhǔn)的UF原始圖像數(shù)據(jù)調(diào)用MAP圖文件； 2)采用十六進(jìn)制模式打開(kāi)MAP圖文件，按照UF探針臺(tái)設(shè)定的數(shù)據(jù)格式和長(zhǎng)度將頭文件和每個(gè)芯片的坐標(biāo)、標(biāo)識(shí)符參數(shù)提取出來(lái)，根據(jù)坐標(biāo)位置，輸出到asicc編碼的《UF.txt))模板； 3)采用文本方式打開(kāi)需要打點(diǎn)的MAP圖統(tǒng)一格式文件，轉(zhuǎn)換為標(biāo)準(zhǔn)asicc編碼的《OTHER, txt)) MAP 文件； 4)讀取需要打點(diǎn)的asicc編碼的《OTHER,txt))文件將每個(gè)芯片的行列參數(shù)提取出來(lái)，結(jié)合其在《UF.txt》模板的位置信息，將其還原到UF探針臺(tái)坐標(biāo)系上位置，輸出到“ink_MAP.txt” 文件； 5)打開(kāi)“ink_MAP.txt”文件，按照UF探針臺(tái)設(shè)定的數(shù)據(jù)格式和長(zhǎng)度將頭文件表頭和每個(gè)芯片的坐標(biāo)、參數(shù)提取出來(lái)生成“UF_ink_ MAP.dat”。
【文檔編號(hào)】G06F17/50GK105895545SQ201410198997
【公開(kāi)日】2016年8月24日
【申請(qǐng)日】2014年5月13日
【發(fā)明人】歐陽(yáng)睿, 王國(guó)兵, 肖金磊, 王生鵬, 朱萬(wàn)才, 鄒歡
【申請(qǐng)人】北京同方微電子有限公司