機(jī)器人手臂及對基板進(jìn)行對位的方法
【專利摘要】本發(fā)明提供一種機(jī)器人手臂，包括底座，設(shè)置于底座上的、用于承載基板的承載手臂，用于驅(qū)動承載手臂運動的驅(qū)動系統(tǒng)，還包括與承載手臂連接的基板對位裝置，基板對位裝置包括：第一位置信息采集單元，用于獲得承載手臂承載基板后，基板位于承載手臂上的第一位置時的第一位置信息；偏移信息獲取單元，用于根據(jù)第一位置信息與基板位于標(biāo)準(zhǔn)位置時的第二位置信息獲得基板的位置偏移信息；調(diào)節(jié)單元，用于根據(jù)位置偏移信息生成一控制信息，使得驅(qū)動系統(tǒng)驅(qū)動承載手臂移動以將基板投放于目標(biāo)位置。本發(fā)明還提供一種對基板進(jìn)行對位的方法。通過基板對位裝置的設(shè)置不改變當(dāng)前機(jī)器人手臂與基板的相對位置關(guān)系自動修正位置偏差，防止基板發(fā)生碰撞。
【專利說明】
機(jī)器人手臂及對基板進(jìn)行對位的方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明涉及液晶產(chǎn)品制作技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種機(jī)器人手臂及基板對位方法。
【背景技術(shù)】
[0002] TFT_LCD(thin film transistor-liquid crystal display，薄膜晶體管液晶顯 示器）因其體積小，功耗低、無輻射等特點，在當(dāng)前的平板顯示器市場占據(jù)了主導(dǎo)地位。在 TFT-LCD制造技術(shù)中，特別是在封盒之前的全部工藝對生產(chǎn)環(huán)境中的塵埃數(shù)量有著苛刻的 要求。因為塵埃微粒會對產(chǎn)品品質(zhì)產(chǎn)生嚴(yán)重的影響。為了降低塵埃產(chǎn)生，減少工藝中的人為 參與，TFT-LCD生產(chǎn)中大量使用了自動化搬運設(shè)備。ROBOT(機(jī)器人手臂）成為了設(shè)備與設(shè)備 間銜接的通道。但由于受到上游設(shè)備排出位置偏差的影響，在搬運過程中玻璃基板在機(jī)器 人手臂上的位置不固定。這一情況有可能造成基板傳遞到下游設(shè)備時發(fā)生碰撞導(dǎo)致破碎。
[0003] 為解決這一問題，部分廠家在ROBOT手臂上加裝光纖傳感器，通過記錄傳感器感知 的玻璃邊緣與機(jī)器人手臂的位置來判斷基板與機(jī)器人手臂的相對位置。但這一技術(shù)存在以 下缺點：
[0004] 1、為了使基板處于機(jī)器人手臂的預(yù)定位置，機(jī)器人手臂會反復(fù)重復(fù)取放動作，以 達(dá)到調(diào)整基板與機(jī)器人手臂相對位置的作用。過程繁瑣，耗時長，增加了運行中ROBOT的動 作，降低了生產(chǎn)節(jié)拍。
[0005] 2、該方式只能檢測前后方向和角度偏差，對左右方向的偏差不能判斷，不能徹底 解決偏移的問題。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0006] 為了解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供一種機(jī)器人手臂及對基板進(jìn)行對位的方法， 防止基板在放置到下游設(shè)備時發(fā)生碰撞。
[0007] 為了達(dá)到上述目的，本發(fā)明采用的技術(shù)方案是：一種機(jī)器人手臂，包括底座，設(shè)置 于底座上的、用于承載基板的承載手臂，用于驅(qū)動所述承載手臂運動的驅(qū)動系統(tǒng)，還包括與 所述承載手臂連接的基板對位裝置，所述基板對位裝置包括：
[0008] 第一位置信息采集單元，用于獲得所述承載手臂承載基板后，基板位于承載手臂 上的第一位置時的第一位置信息；
[0009] 偏移信息獲取單元，用于根據(jù)所述第一位置信息與基板位于標(biāo)準(zhǔn)位置時的第二位 置信息獲得基板的位置偏移信息；
[0010] 調(diào)節(jié)單元，用于根據(jù)所述位置偏移信息生成一控制信息，使得所述驅(qū)動系統(tǒng)驅(qū)動 所述承載手臂移動以將基板投放于目標(biāo)位置。
[0011] 進(jìn)一步的，還包括存儲單元，所述存儲單元用于存儲所述第二位置信息，以及所述 目標(biāo)位置信息。
[0012] 進(jìn)一步的，所述第一位置信息采集單元包括設(shè)置于所述底座上的圖像傳感器，所 述圖像傳感器位于所述承載手臂的下方，當(dāng)所述基板位于標(biāo)準(zhǔn)位置時，所述基板上預(yù)設(shè)的 定位標(biāo)記與所述圖像傳感器的視野中心點重合。
[0013] 進(jìn)一步的，所述底座上設(shè)有第一圖像傳感器和第二圖像傳感器，所述第一圖像傳 感器和第二圖像傳感器的位置分別對應(yīng)于所述承載手臂的相對的兩側(cè)，且基板上設(shè)置有與 所述第一圖像傳感器對應(yīng)的第一定位標(biāo)記、與所述第二圖像傳感器對應(yīng)的第二定位標(biāo)記。
[0014] 進(jìn)一步的，當(dāng)所述基板位于所述標(biāo)準(zhǔn)位置時，所述第一圖像傳感器在基板上的視 野中心點、所述第二圖像傳感器在基板上的視野中心點、所述基板的中心點在同一直線上。
[0015] 進(jìn)一步的，所述驅(qū)動系統(tǒng)包括：
[0016] 第一驅(qū)動結(jié)構(gòu)，用于根據(jù)所述調(diào)節(jié)單元的控制信息控制所述承載手臂沿著第一方 向運動；
[0017] 第二驅(qū)動結(jié)構(gòu)，用于根據(jù)所述調(diào)節(jié)單元的控制信息控制所述承載手臂沿著與所述 第一方向垂直的第二方向移動；
[0018] 第三驅(qū)動結(jié)構(gòu)，用于根據(jù)所述調(diào)節(jié)單元的控制信息控制所述承載手臂旋轉(zhuǎn)運動。
[0019] 進(jìn)一步的，所述位置偏移信息包括：
[0020] 第一偏移量，所述第一偏移量Y= (Y2k-Ylk) /2，其中，Ylk為基板位于當(dāng)前位置時，所 述第一定位標(biāo)記的位置與所述第一圖像傳感器在基板上的視野中心點在所述第一方向的 距離，Y 2k為基板位于當(dāng)前位置時，所述第二定位標(biāo)記的位置與所述第二圖像傳感器在基板 上的視野中心點在所述第一方向的距離；
[0021] 第二偏移量，所述第二偏移量為基板位于當(dāng)前位置時，所述第一定位標(biāo)記的位置 與所述第一圖像傳感器在基板上的視野中心點在所述第二方向的距離，
[0022] 其中，所述第一定位標(biāo)記的位置與所述第一圖像傳感器在基板上的視野中心點在 所述第二方向的距離和所述第二定位標(biāo)記的位置與所述第二圖像傳感器在基板上的視野 中心點在所述第二方向的距離相等；
[0023]角度偏移量θ，sin Θ 二 Yzk~Ylk ,其中， 匕
[0024] Ylk為基板位于當(dāng)前位置時，所述第一定位標(biāo)記的位置與所述第一圖像傳感器在基 板上的視野中心點在所述第一方向的距離，Y 2k為基板位于當(dāng)前位置時，所述第二定位標(biāo)記 的位置與第二圖像傳感器在基板上的視野中心點在所述第一方向的距離，L為第一圖像傳 感器在基板上的視野中心點到第二圖像傳感器在基板上的視野中心點的距離。
[0025] 本發(fā)明還提供一種通過上述的機(jī)器人手臂對基板進(jìn)行對位的方法，包括：
[0026] 獲得所述承載手臂承載基板后，基板位于承載手臂上的第一位置時的第一位置信 息；
[0027] 根據(jù)所述第一位置信息與基板位于標(biāo)準(zhǔn)位置時的第二位置信息獲得基板的位置 偏移信息；
[0028] 根據(jù)所述位置偏移信息生成一控制信息，使得驅(qū)動系統(tǒng)驅(qū)動承載手臂移動以將基 板投放于目標(biāo)位置。
[0029] 進(jìn)一步的，所述第一位置信息通過第一圖像傳感器和第二圖像傳感器獲得，基板 上設(shè)置有與所述第一圖像傳感器對應(yīng)的第一定位標(biāo)記、與所述第二圖像傳感器對應(yīng)的第二 定位標(biāo)記；
[0030] 當(dāng)基板位于所述標(biāo)準(zhǔn)位置時，所述第一圖像傳感器在基板上的視野中心點、所述 第二圖像傳感器在基板上的視野中心點、所述基板的中心點在同一直線上。
[0031] 進(jìn)一步的，所述位置偏移信息包括：
[0032] 第一偏移量，所述第一偏移量Y=(Y2k-Ylk)/2,其中，Y lk為基板位于當(dāng)前位置時，基 板上預(yù)設(shè)的第一定位標(biāo)記的位置與所述第一圖像傳感器在基板上的視野中心點在所述第 一方向的距離，Y 2k為基板位于當(dāng)前位置時，基板上預(yù)設(shè)的第二定位標(biāo)記的位置與所述第二 圖像傳感器在基板上的視野中心點在所述第一方向的距離；
[0033] 第二偏移量，所述第二偏移量為基板位于當(dāng)前位置時，所述第一定位標(biāo)記的位置 與所述第一圖像傳感器在基板上的視野中心點在所述第二方向的距離，
[0034] 其中，所述第一定位標(biāo)記的位置與所述第一圖像傳感器在基板上的視野中心點在 所述第二方向的距離和所述第二定位標(biāo)記的位置與所述第二圖像傳感器在基板上的視野 中心點在所述第二方向的距離相等；
[0035]角度偏移量0，sin() = ，其中， \λ
[0036] ΥΑ為基板位于當(dāng)前位置時，所述第一定位標(biāo)記的位置與所述第一圖像傳感器在 基板上的視野中心點在所述第一方向的距離，Y2k為基板位于當(dāng)前位置時，所述第二定位標(biāo) 記的位置與第二圖像傳感器在基板上的視野中心點在所述第一方向的距離，L為第一圖像 傳感器在基板上的視野中心點到第二圖像傳感器在基板上的視野中心點的距離。
[0037] 進(jìn)一步的，對基板進(jìn)行對位的方法還包括：
[0038]根據(jù)所述第一偏移量控制所述承載手臂沿著第一方向移動；
[0039] 根據(jù)所述第二偏移量控制所述承載手臂沿著與所述第一方向垂直的第二方向移 動；
[0040] 根據(jù)所述角度偏移量控制所述承載手臂旋轉(zhuǎn)運動。
[0041] 本發(fā)明有益效果是:通過基板對位裝置的設(shè)置自動獲得基板位置偏移信息，且不 改變當(dāng)前機(jī)器人手臂與基板的相對位置關(guān)系，而是在投放基板時自動修正位置偏差，不增 加機(jī)器人手臂的動作，防止基板發(fā)生碰撞且節(jié)省時間。
【附圖說明】
[0042] 圖1表示本發(fā)明實施例機(jī)器人手臂結(jié)構(gòu)示意圖；
[0043] 圖2表示本發(fā)明實施例中基板位于標(biāo)準(zhǔn)位置的定位標(biāo)記位置示意圖；
[0044] 圖3表示本發(fā)明實施例中基板位于當(dāng)前位置的定位標(biāo)記位置示意圖。 圖4表示本發(fā)明實施例中基板位于當(dāng)前位置的第二定位標(biāo)記位置示意圖
【具體實施方式】
[0045] 以下結(jié)合附圖對本發(fā)明的特征和原理進(jìn)行詳細(xì)說明，所舉實施例僅用于解釋本發(fā) 明，并非以此限定本發(fā)明的保護(hù)范圍。
[0046] 如圖1所示，本實施例提供一種機(jī)器人手臂，包括底座4，設(shè)置于底座4上的、用于承 載基板1的承載手臂3，用于驅(qū)動所述承載手臂3運動的驅(qū)動系統(tǒng)，還包括與所述承載手臂3 連接的基板對位裝置，所述基板對位裝置包括：
[0047] 第一位置信息采集單元，用于獲得所述承載手臂承載基板1后，基板1位于承載手 臂上的第一位置時的第一位置信息；
[0048] 偏移信息獲取單元，用于根據(jù)所述第一位置信息與基板1位于標(biāo)準(zhǔn)位置時的第二 位置信息獲得基板1的位置偏移信息；
[0049] 調(diào)節(jié)單元，用于根據(jù)所述位置偏移信息生成一控制信息，使得所述驅(qū)動系統(tǒng)驅(qū)動 所述承載手臂移動以將基板1投放于目標(biāo)位置。
[0050]通過基板對位裝置的設(shè)置自動獲得基板1位置偏移信息，此處基板1的位置偏移信 息是基板1與承載基板1的承載手臂之間的相對位置發(fā)生偏差時的位置偏移信息，修正基板 1的位置偏差不改變當(dāng)前機(jī)器人手臂與基板1的相對位置關(guān)系，而是在投放基板1時自動修 正位置偏差，即，修正基板1投放時使得基板1位于目標(biāo)位置的目標(biāo)位置信息，這樣機(jī)器人手 臂僅需要從上游設(shè)備取下基板1，并根據(jù)目標(biāo)位置信息將基板1放置到下游設(shè)備（目標(biāo)位 置），獲得基板1位置偏移信息和修正基板1位置偏差均是在機(jī)器人手臂取下基板1后向著下 游設(shè)備移動的過程中進(jìn)行的，不增加機(jī)器人手臂的動作，節(jié)省了校對基板1位置的時間，且 防止基板1由于位置偏差而發(fā)生碰撞。
[0051] 進(jìn)一步的，機(jī)器人手臂還包括存儲單元，所述存儲單元用于存儲所述第二位置信 息，以及所述目標(biāo)位置信息。
[0052] 當(dāng)偏移信息獲取單元將基板1的第一位置信息與基板1位于標(biāo)準(zhǔn)位置時的第二位 置信息進(jìn)行比較，獲取的基板1的位置偏移信息為零，即基板1位于標(biāo)準(zhǔn)位置，則調(diào)節(jié)單元不 會生成控制信息，承載手臂會按照預(yù)設(shè)的目標(biāo)位置信息將基板1運送至目標(biāo)位置。
[0053] 當(dāng)偏移信息獲取單元將基板1的第一位置信息與基板1位于標(biāo)準(zhǔn)位置時的第二位 置信息進(jìn)行比較，獲取的基板1的位置偏移信息顯示基板1發(fā)生偏差，則調(diào)節(jié)單元會根據(jù)偏 移信息獲取單元發(fā)送的位置偏移信息生成控制驅(qū)動系統(tǒng)的控制信息，使得所述驅(qū)動系統(tǒng)驅(qū) 動所述承載手臂移動以調(diào)整使得基板1被投放于目標(biāo)位置的目標(biāo)位置信息。
[0054] 具體的，所述第一位置信息采集單元包括設(shè)置于所述底座4上的圖像傳感器，所述 圖像傳感器位于所述承載手臂的下方，當(dāng)所述基板1位于標(biāo)準(zhǔn)位置時，所述基板1上預(yù)設(shè)的 定位標(biāo)記與所述圖像傳感器的視野中心點重合。
[0055] 當(dāng)圖像傳感器采集的圖像信息中，基板1上的預(yù)設(shè)的定位標(biāo)記與圖像傳感器的視 野中心點重合，則基板1位于承載手臂上的標(biāo)準(zhǔn)位置，沒有發(fā)生偏移；當(dāng)基板1上預(yù)設(shè)的定位 標(biāo)記偏離圖像傳感器的視野中心點，則基板1的位置發(fā)生偏移（即基板1與承載手臂的相對 位置發(fā)生偏移）。
[0056] 但是，如有圖像傳感器只有一個，相應(yīng)的基板1上的定位標(biāo)記也只有一個時，當(dāng)基 板1發(fā)生旋轉(zhuǎn)，基板1的位置已經(jīng)偏離標(biāo)準(zhǔn)位置，但是圖像傳感器采集的圖像信息中，基板1 的對位標(biāo)記與圖像傳感器的視野中心點是重合的，則此時會發(fā)生誤判，為了解決這一問題， 本實施例機(jī)器人手臂的所述底座4上設(shè)有第一圖像傳感器和第二圖像傳感器2,所述第一圖 像傳感器和第二圖像傳感器2的位置分別對應(yīng)于所述承載手臂的相對的兩側(cè)，且基板1上設(shè) 置有與所述第一圖像傳感器對應(yīng)的第一定位標(biāo)記10、與所述第二圖像傳感器2對應(yīng)的第二 定位標(biāo)記20，如圖1和圖2所示。
[0057]需要說明的是，基板1上的定位標(biāo)記可以與其他工藝的定位標(biāo)記共用，不需單獨增 加，且圖像傳感器的位置可根據(jù)需要設(shè)置，只要在采集數(shù)據(jù)時圖像傳感器的視野中心點位 置相對于定位標(biāo)記靜止即可。
[0058] 所述第一圖像傳感器和所述第二圖像傳感器均采用CCD(Charge-C〇Upled Device)〇
[0059] 本實施例中優(yōu)選的，當(dāng)所述基板1位于所述標(biāo)準(zhǔn)位置時，所述第一圖像傳感器在 基板1上的視野中心點、所述第二圖像傳感器2在基板1上的視野中心點、所述基板1的中心 點50在同一直線上。
[0060] 如圖2所示，基板1位于承載手臂上的標(biāo)準(zhǔn)位置時，基板1上的第一定位標(biāo)記10與第 一圖像傳感器視野中心點重合，與中心十字線重合，基板1上的第二定位標(biāo)記20與第二圖像 傳感器2視野中心點重合，與中心十字線重合。通過機(jī)械安裝位置的調(diào)整可以保證第一圖像 傳感器的視野中心點、第二圖像傳感器2視野中心點與基板1中心點50,3點處于同一直線， 且基板1中心點50是第一圖像傳感器的視野中心點、第二圖像傳感器2視野中心點的中點。
[0061] 進(jìn)一步的，所述驅(qū)動系統(tǒng)包括：
[0062] 第一驅(qū)動結(jié)構(gòu)，用于根據(jù)所述調(diào)節(jié)單元的控制信息控制所述承載手臂沿著第一方 向運動，如圖2所示，所述第一方向為X方向；
[0063] 第二驅(qū)動結(jié)構(gòu)，用于根據(jù)所述調(diào)節(jié)單元的控制信息控制所述承載手臂沿著與所述 第一方向垂直的第二方向移動，如圖2所示，所述第二方向為Y方向；
[0064] 第三驅(qū)動結(jié)構(gòu)，用于根據(jù)所述調(diào)節(jié)單元的控制信息控制所述承載手臂旋轉(zhuǎn)運動。 [0065]進(jìn)一步的，所述位置偏移信息包括：
[0066] 第一偏移量，所述第一偏移量Y=(Y2k-Ylk)/2,其中，Y lk為基板1位于當(dāng)前位置時， 所述第一定位標(biāo)記10的位置與所述第一圖像傳感器在基板1上的視野中心點在所述第一方 向的距離，Y 2k為基板1位于當(dāng)前位置時，所述第二定位標(biāo)記20的位置與所述第二圖像傳感器 2在基板1上的視野中心點在所述第一方向的距離；
[0067] 第二偏移量，所述第二偏移量為基板1位于當(dāng)前位置時，所述第一定位標(biāo)記10的位 置與所述第一圖像傳感器在基板1上的視野中心點在所述第二方向的距離，
[0068] 其中，所述第一定位標(biāo)記10的位置與所述第一圖像傳感器在基板1上的視野中心 點在所述第二方向的距離和所述第二定位標(biāo)記20的位置與所述第二圖像傳感器2在基板1 上的視野中心點在所述第二方向的距離相等；
[0069]角度偏移量Θ:sine = Yzk7YlK，其中，
[0070] Ylk為基板1位于當(dāng)前位置時，所述第一定位標(biāo)記10的位置與所述第一圖像傳感器 在基板1上的視野中心點在所述第一方向的距離，Y2k為基板1位于當(dāng)前位置(當(dāng)前位置，即承 載手臂承載基板1后，基板1位于承載手臂的第一位置)時，所述第二定位標(biāo)記20的位置與第 二圖像傳感器2在基板1上的視野中心點在所述第一方向的距離，L為第一圖像傳感器在基 板1上的視野中心點到第二圖像傳感器2在基板1上的視野中心點的距離。
[0071 ]以下具體介紹位置偏移信息獲得的過程。
[0072]如圖3所示，基板1位于第一位置時，第一定位標(biāo)記10在第一方向的偏移量為X:，第 一定位標(biāo)記10在第二方向上的偏移量為Υι;第二定位標(biāo)記20在第一方向的偏移量為X2，第一 定位標(biāo)記10在第二方向上的偏移量為Υ 2;其中，的單位為像素，第一圖像傳感器 視野中心點和第二圖像傳感器2視野中心點的距離為L。
[0073] 乂1、￥142、￥2的單位為像素，需將其轉(zhuǎn)換為距離單位，通過觀察第一圖像傳感器和 第二圖像傳感器2中實際圖像大小與顯示像素數(shù)的關(guān)系不難看出實際圖像大小與顯示像素 數(shù)的比例關(guān)系。設(shè)比例常數(shù)為K，則
[0074] 第一定位標(biāo)記10在第一方向上偏離第一圖像傳感器視野中心點的偏移量：
[0075] Xik = Xl*K
[0076] 第一定位標(biāo)記10在第二方向上偏離第一圖像傳感器視野中心點的偏移量：
[0077] Yik = Yi*K
[0078] 第二定位標(biāo)記20在第一方向上偏離第二圖像傳感器2視野中心點的偏移
[0079] 量：：χ21? = χ2*κ
[0080] 第二定位標(biāo)記20在第一方向上偏離第二圖像傳感器2視野中心點的偏移
[0081] 量：γ21? = γ2*κ
[0082] 父11^11^21{、￥21 {的單位為毫米。
[0083]由于基板1中心點位于第一圖像傳感器視野中心點和第二圖像傳感器2視野中心 點連線的中點，所以，第一偏移量Y為：
[0084] Y=(Y2k-Yik)/2
[0085] 由于每張基板1上第一定位標(biāo)記10和第二定位標(biāo)記20間的距離沒有變化，所以第 二偏移量X為：
[0086] xlk = x2k = x
[0087] 依據(jù)三角公式，角度偏移量Θ:
[0088]
[0089] 在將基板1放置于目標(biāo)位置時，調(diào)節(jié)單元根據(jù)上述位置偏移信息和預(yù)設(shè)的目標(biāo)位 置信息生成新的目標(biāo)位置信息（只需在原有的目標(biāo)位置信息的基礎(chǔ)上減去偏移量即可獲得 新的目標(biāo)位置信息），然后根據(jù)新的目標(biāo)位置信息生成一控制信息，使得驅(qū)動系統(tǒng)驅(qū)動承載 手臂移動以將基板1投放于目標(biāo)位置，且基板1不會發(fā)生碰撞。
[0090] 通過基板對位裝置自動獲得基板1位置偏移信息，然后根據(jù)位置偏移信息對預(yù)設(shè) 的目標(biāo)位置信息進(jìn)行修正以獲得新的目標(biāo)位置信息，然后根據(jù)新的目標(biāo)位置信息生成控制 信息，使得驅(qū)動系統(tǒng)驅(qū)動承載手臂移動以將基板1投放于正確的目標(biāo)位置，不需要改變基板 1與承載手臂的相對位置，也不會增加承載手臂的動作，即可將基板1運送至目標(biāo)位置且不 會發(fā)生碰撞。
[0091] 本發(fā)明還提供一種通過上述的機(jī)器人手臂對基板1進(jìn)行對位的方法，包括：
[0092] 獲得所述承載手臂承載基板1后，基板1位于承載手臂上的第一位置時的第一位置 信息；
[0093] 根據(jù)所述第一位置信息與基板1位于標(biāo)準(zhǔn)位置時的第二位置信息獲得基板1的位 置偏移信息；
[0094] 根據(jù)所述位置偏移信息生成一控制信息，使得驅(qū)動系統(tǒng)驅(qū)動承載手臂移動以將基 板1投放于目標(biāo)位置。
[0095] 進(jìn)一步的，所述第一位置信息通過第一圖像傳感器和第二圖像傳感器2獲得，基板 1上設(shè)置有與所述第一圖像傳感器對應(yīng)的第一定位標(biāo)記10、與所述第二圖像傳感器2對應(yīng)的 第二定位標(biāo)記20;
[0096]當(dāng)基板1位于所述標(biāo)準(zhǔn)位置時，所述第一圖像傳感器在基板1上的視野中心點、所 述第二圖像傳感器2在基板1上的視野中心點、所述基板1的中心點在同一直線上。
[0097]進(jìn)一步的，所述位置偏移信息包括：
[0098] 第一偏移量，所述第一偏移量Y=(Y2k-Ylk)/2,其中，Y lk為基板1位于當(dāng)前位置時， 基板1上預(yù)設(shè)的第一定位標(biāo)記10的位置與所述第一圖像傳感器在基板1上的視野中心點在 所述第一方向的距離，Y 2k為基板1位于當(dāng)前位置時，基板1上預(yù)設(shè)的第二定位標(biāo)記20的位置 與所述第二圖像傳感器2在基板1上的視野中心點在所述第一方向的距離；
[0099] 第二偏移量，所述第二偏移量為基板1位于當(dāng)前位置時，所述第一定位標(biāo)記10的位 置與所述第一圖像傳感器在基板1上的視野中心點在所述第二方向的距離，
[0100] 其中，所述第一定位標(biāo)記10的位置與所述第一圖像傳感器在基板1上的視野中心 點在所述第二方向的距離和所述第二定位標(biāo)記20的位置與所述第二圖像傳感器2在基板1 上的視野中心點在所述第二方向的距離相等；
[0101] 角度偏移量Θ
，其中，
[0102] Ylk為基板1位于當(dāng)前位置時，所述第一定位標(biāo)記10的位置與所述第一圖像傳感器 在基板1上的視野中心點在所述第一方向的距離，Y 2k為基板1位于當(dāng)前位置時，所述第二定 位標(biāo)記20的位置與第二圖像傳感器2在基板1上的視野中心點在所述第一方向的距離，L為 第一圖像傳感器在基板1上的視野中心點到第二圖像傳感器2在基板1上的視野中心點的距 離。
[0103] 進(jìn)一步的，對基板1進(jìn)行對位的方法還包括：
[0104] 根據(jù)所述第一偏移量控制所述承載手臂沿著第一方向移動；
[0105] 根據(jù)所述第二偏移量控制所述承載手臂沿著與所述第一方向垂直的第二方向移 動；
[0106] 根據(jù)所述角度偏移量控制所述承載手臂旋轉(zhuǎn)運動。
[0107]以上所述為本發(fā)明較佳實施例，需要說明的是，對于本領(lǐng)域普通技術(shù)人員來說，在 不脫離本發(fā)明所述原理的前提下，還可做出若干改進(jìn)和潤飾，這些改進(jìn)和潤飾也應(yīng)視為本 發(fā)明保護(hù)范圍。
【主權(quán)項】
1. 一種機(jī)器人手臂，包括底座，設(shè)置于底座上的、用于承載基板的承載手臂，用于驅(qū)動 所述承載手臂運動的驅(qū)動系統(tǒng)，其特征在于，還包括與所述承載手臂連接的基板對位裝置， 所述基板對位裝置包括： 第一位置信息采集單元，用于獲得所述承載手臂承載基板后，基板位于承載手臂上的 第一位置時的第一位置信息； 偏移信息獲取單元，用于根據(jù)所述第一位置信息與基板位于標(biāo)準(zhǔn)位置時的第二位置信 息獲得基板的位置偏移信息； 調(diào)節(jié)單元，用于根據(jù)所述位置偏移信息生成一控制信息，使得驅(qū)動系統(tǒng)驅(qū)動承載手臂 移動以將基板投放于目標(biāo)位置。2. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)器人手臂，其特征在于，還包括存儲單元，所述存儲單元用 于存儲所述第二位置信息，以及所述目標(biāo)位置信息。3. 根據(jù)權(quán)利要求1所述的機(jī)器人手臂，其特征在于，所述第一位置信息采集單元包括設(shè) 置于所述底座上的圖像傳感器，所述圖像傳感器位于所述承載手臂的下方，當(dāng)所述基板位 于標(biāo)準(zhǔn)位置時，所述基板上預(yù)設(shè)的定位標(biāo)記與所述圖像傳感器的視野中心點重合。4. 根據(jù)權(quán)利要求3所述的機(jī)器人手臂，其特征在于，所述底座上設(shè)有第一圖像傳感器和 第二圖像傳感器，所述第一圖像傳感器和第二圖像傳感器的位置分別對應(yīng)于所述承載手臂 的相對的兩側(cè)，且基板上設(shè)置有與所述第一圖像傳感器對應(yīng)的第一定位標(biāo)記、與所述第二 圖像傳感器對應(yīng)的第二定位標(biāo)記。5. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的機(jī)器人手臂，其特征在于，當(dāng)所述基板位于所述標(biāo)準(zhǔn)位置時， 所述第一圖像傳感器在基板上的視野中心點、所述第二圖像傳感器在基板上的視野中心 點、所述基板的中心點在同一直線上。6. 根據(jù)權(quán)利要求4所述的機(jī)器人手臂，其特征在于，所述驅(qū)動系統(tǒng)包括： 第一驅(qū)動結(jié)構(gòu)，用于根據(jù)所述調(diào)節(jié)單元的控制信息控制所述承載手臂沿著第一方向運 動； 第二驅(qū)動結(jié)構(gòu)，用于根據(jù)所述調(diào)節(jié)單元的控制信息控制所述承載手臂沿著與所述第一 方向垂直的第二方向移動； 第三驅(qū)動結(jié)構(gòu)，用于根據(jù)所述調(diào)節(jié)單元的控制信息控制所述承載手臂旋轉(zhuǎn)運動。7. 根據(jù)權(quán)利要求6所述的機(jī)器人手臂，其特征在于，所述位置偏移信息包括： 第一偏移量，所述第一偏移量Y= (YA-Y1IO /2，其中，Yik為基板位于當(dāng)前位置時，所述 第一定位標(biāo)記的位置與所述第一圖像傳感器在基板上的視野中心點在所述第一方向的距 離，Y2k為基板位于當(dāng)前位置時，所述第二定位標(biāo)記的位置與所述第二圖像傳感器在基板上 的視野中心點在所述第一方向的距離；第二偏移量，所述第二偏移量為基板位于當(dāng)前位置時，所述第一定位標(biāo)記的位置與所 述第一圖像傳感器在基板上的視野中心點在所述第二方向的距離，其中，所述第一定位標(biāo) 記的位置與所述第一圖像傳感器在基板上的視野中心點在所述第二方向的距離和所述第 二定位標(biāo)記的位置與所述第二圖像傳感器在基板上的視野中心點在所述第二方向的距離 相等； 角度偏移量Θ，Sn Yik為基板位于當(dāng)前位置時，所述第一定位標(biāo)記的位置與所述第一圖像傳感器在基板上 的視野中心點在所述第一方向的距離，Y2k為基板位于當(dāng)前位置時，所述第二定位標(biāo)記的位 置與第二圖像傳感器在基板上的視野中心點在所述第一方向的距離，L為第一圖像傳感器 在基板上的視野中心點到第二圖像傳感器在基板上的視野中心點的距離。8. -種通過權(quán)利要求1-7任一項所述的機(jī)器人手臂對基板進(jìn)行對位的方法，其特征在 于，包括： 獲得所述承載手臂承載基板后，基板位于承載手臂上的第一位置時的第一位置信息； 根據(jù)所述第一位置信息與基板位于標(biāo)準(zhǔn)位置時的第二位置信息獲得基板的位置偏移 信息； 根據(jù)所述位置偏移信息生成一控制信息，使得驅(qū)動系統(tǒng)驅(qū)動承載手臂移動以將基板投 放于目標(biāo)位置。9. 根據(jù)權(quán)利要求8所述對基板進(jìn)行對位的方法，其特征在于，所述第一位置信息通過第 一圖像傳感器和第二圖像傳感器獲得，基板上設(shè)置有與所述第一圖像傳感器對應(yīng)的第一定 位標(biāo)記、與所述第二圖像傳感器對應(yīng)的第二定位標(biāo)記； 當(dāng)基板位于所述標(biāo)準(zhǔn)位置時，所述第一圖像傳感器在基板上的視野中心點、所述第二 圖像傳感器在基板上的視野中心點、所述基板的中心點在同一直線上。10. 根據(jù)權(quán)利要求9所述對基板進(jìn)行對位的方法，其特征在于，所述位置偏移信息包括： 第一偏移量，所述第一偏移量Y=(Y2k_Ylk)/2,其中，Ylk為基板位于當(dāng)前位置時，基板上 預(yù)設(shè)的第一定位標(biāo)記的位置與所述第一圖像傳感器在基板上的視野中心點在所述第一方 向的距離，Y2k為基板位于當(dāng)前位置時，基板上預(yù)設(shè)的第二定位標(biāo)記的位置與所述第二圖像 傳感器在基板上的視野中心點在所述第一方向的距離；第二偏移量，所述第二偏移量為基板位于當(dāng)前位置時，所述第一定位標(biāo)記的位置與所 述第一圖像傳感器在基板上的視野中心點在所述第二方向的距離，其中，所述第一定位標(biāo) 記的位置與所述第一圖像傳感器在基板上的視野中心點在所述第二方向的距離和所述第 二定位標(biāo)記的位置與所述第二圖像傳感器在基板上的視野中心點在所述第二方向的距離 相等； 角度偏移量Θ，sin Ylk為基板位于當(dāng)前位置時，所述第一定位標(biāo)記的位置與所述第一圖像傳感器在基板上 的視野中心點在所述第一方向的距離，Y2k為基板位于當(dāng)前位置時，所述第二定位標(biāo)記的位 置與第二圖像傳感器在基板上的視野中心點在所述第一方向的距離，L為第一圖像傳感器 在基板上的視野中心點到第二圖像傳感器在基板上的視野中心點的距離。11. 根據(jù)權(quán)利要求10所述對基板進(jìn)行對位的方法，其特征在于，還包括： 根據(jù)所述第一偏移量控制所述承載手臂沿著第一方向移動； 根據(jù)所述第二偏移量控制所述承載手臂沿著與所述第一方向垂直的第二方向移動； 根據(jù)所述角度偏移量控制所述承載手臂旋轉(zhuǎn)運動。
【文檔編號】H01L21/68GK105895562SQ201610158135
【公開日】2016年8月24日
【申請日】2016年3月18日
【發(fā)明人】陳鑫, 高超, 姚慶陽, 齊江華, 程玉江
【申請人】京東方科技集團(tuán)股份有限公司, 北京京東方光電科技有限公司