各向異性導(dǎo)電膜及其制造方法
【專利摘要】具有以單層排列的導(dǎo)電粒子的多層構(gòu)造的各向異性導(dǎo)電膜，其具有第1連接層和在其一面上形成的第2連接層。第1連接層是光聚合樹(shù)脂層，第2連接層是熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層。第1連接層的第2連接層一側(cè)表面上，各向異性導(dǎo)電連接用的導(dǎo)電粒子以單層排列，第1連接層含有絕緣性填料。
【專利說(shuō)明】
各向異性導(dǎo)電膜及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明設(shè)及各向異性導(dǎo)電膜及其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002] IC忍片等電子部件的安裝中廣泛使用各向異性導(dǎo)電膜，近年來(lái)，從適用于高密度 安裝的觀點(diǎn)出發(fā)，W導(dǎo)通可靠性和絕緣性的提高、安裝導(dǎo)電粒子捕捉率的提高、制造成本的 降低等為目的，有人提出了將各向異性導(dǎo)電連接用的導(dǎo)電粒子W單層排列于絕緣性粘接層 上而得的2層構(gòu)造的各向異性導(dǎo)電膜(專利文獻(xiàn)1)。
[0003] 該2層構(gòu)造的各向異性導(dǎo)電膜如下制造:在轉(zhuǎn)印層上W單層且細(xì)密填充的方式排 列導(dǎo)電粒子后，通過(guò)對(duì)轉(zhuǎn)印層進(jìn)行巧由延伸處理，形成導(dǎo)電粒子W既定間隔均等地排列的轉(zhuǎn) 印層，然后，將該轉(zhuǎn)印層上的導(dǎo)電粒子轉(zhuǎn)印到含有熱固化性樹(shù)脂和聚合引發(fā)劑的絕緣性樹(shù) 脂層上，進(jìn)而在被轉(zhuǎn)印的導(dǎo)電粒子上層壓含有熱固化性樹(shù)脂、但不含有聚合引發(fā)劑的其他 絕緣性樹(shù)脂層(專利文獻(xiàn)1)。
[0004] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn) 專利文獻(xiàn) 專利文獻(xiàn)1:日本專利第4789738號(hào)說(shuō)明書(shū)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 發(fā)明所要解決的課題 然而，就專利文獻(xiàn)1的2層構(gòu)造的各向異性導(dǎo)電膜而言，因?yàn)槭褂貌缓芯酆弦l(fā)劑的 絕緣性樹(shù)脂層，所W，盡管W單層、既定間隔均等地排列導(dǎo)電粒子，通過(guò)各向異性導(dǎo)電連接 時(shí)的加熱，還是容易在不含有聚合引發(fā)劑的絕緣性樹(shù)脂層上產(chǎn)生比較大的樹(shù)脂流，導(dǎo)電粒 子也變得容易沿著該流而流動(dòng)，故而產(chǎn)生安裝導(dǎo)電粒子捕捉率的降低、導(dǎo)通可靠性等問(wèn)題。
[0006] 本發(fā)明的目的是解決W上的現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題點(diǎn)，在具有W單層排列的導(dǎo)電粒子的 多層構(gòu)造的各向異性導(dǎo)電膜中實(shí)現(xiàn)良好的導(dǎo)通可靠性及良好的安裝導(dǎo)電粒子捕捉率。
[0007] 用于解決課題的手段 本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，使光聚合性樹(shù)脂層中含有絕緣填料，在該光聚合性樹(shù)脂層上使光導(dǎo)電 粒子W單層排列后，通過(guò)照射紫外線使導(dǎo)電粒子固定化或假固定化，進(jìn)而在固定化或假固 定化的導(dǎo)電粒子上層疊熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層，如此得到的各向異 性導(dǎo)電膜是能夠達(dá)到上述的本發(fā)明的目的的結(jié)構(gòu)，從而完成了本發(fā)明。
[000引目P，本發(fā)明提供各向異性導(dǎo)電膜，其是具有第1連接層和在其一面上形成的第2連 接層的各向異性導(dǎo)電膜，其特征在于， 第1連接層是光聚合樹(shù)脂層， 第2連接層是熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層， 第1連接層的第2連接層一側(cè)表面上，各向異性導(dǎo)電連接用的導(dǎo)電粒子W單層排列， 第1連接層含有絕緣填料。
[0009] 此外，第2連接層優(yōu)選為使用通過(guò)加熱引發(fā)聚合反應(yīng)的熱聚合引發(fā)劑的熱聚合性 樹(shù)脂層，但也可W是使用通過(guò)光引發(fā)聚合反應(yīng)的光聚合引發(fā)劑的光聚合性樹(shù)脂層。也可W 是并用熱聚合引發(fā)劑和光聚合引發(fā)劑的熱光聚合性樹(shù)脂層。運(yùn)里，第2連接層有時(shí)限定為制 造上使用熱聚合引發(fā)劑的熱聚合性樹(shù)脂層。
[0010] 對(duì)于本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜，為了應(yīng)力緩沖等防止接合體的翅曲的目的，也可 W在第1連接層的另一面上具有與第2連接層大致同樣結(jié)構(gòu)的第3連接層。即，也可W在第1 連接層的另一面上具有由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第3連接層。
[0011] 此外，第3連接層優(yōu)選是使用通過(guò)加熱引發(fā)聚合反應(yīng)的熱聚合引發(fā)劑的熱聚合性 樹(shù)脂層，但也可W是使用通過(guò)光引發(fā)聚合反應(yīng)的光聚合引發(fā)劑的光聚合性樹(shù)脂層。也可W 是并用熱聚合引發(fā)劑和光聚合引發(fā)劑的熱光聚合性樹(shù)脂層。運(yùn)里，第3連接層有時(shí)限定為在 制造上使用熱聚合引發(fā)劑的熱聚合性樹(shù)脂層。
[0012] 另外，本發(fā)明提供上述的各向異性導(dǎo)電膜的制造方法，其中，所述制造方法具有通 過(guò)一階段的光聚合反應(yīng)形成第1連接層的W下的工序(A)~(C)或通過(guò)二階段的光聚合反應(yīng) 形成第1連接層的后述的工序(AA)~(DD)。
[0013] (通過(guò)一階段的光聚合反應(yīng)形成第1連接層的情況） 工序(A) 在含有絕緣填料的光聚合性樹(shù)脂層上使導(dǎo)電粒子W單層排列的工序； 工序(B) 通過(guò)相對(duì)于排列有導(dǎo)電粒子的光聚合性樹(shù)脂層照射紫外線來(lái)進(jìn)行光聚合反應(yīng)，W形成 導(dǎo)電粒子固定化于表面的第1連接層的工序;和 工序(C) 在第1連接層的導(dǎo)電粒子一側(cè)表面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù) 脂層構(gòu)成的第2連接層的工序。
[0014] (通過(guò)二階段的光聚合反應(yīng)形成第1連接層的情況） 工序(AA) 在含有絕緣填料的光聚合性樹(shù)脂層上使導(dǎo)電粒子W單層排列的工序； 工序(BB) 通過(guò)相對(duì)于排列有導(dǎo)電粒子的光聚合性樹(shù)脂層照射紫外線來(lái)進(jìn)行光聚合反應(yīng)，W形成 導(dǎo)電粒子假固定化于表面的假第1連接層的工序； 工序(CC) 在假第1連接層的導(dǎo)電粒子一側(cè)表面上形成由熱陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂 層構(gòu)成的第2連接層的工序;和 工序化D) 通過(guò)從與第2連接層相反一側(cè)對(duì)假第1連接層照射紫外線來(lái)進(jìn)行光聚合反應(yīng)，W使假第 1連接層真正固化而形成第1連接層的工序。
[0015] 將工序(CC)中形成第2連接層時(shí)使用的引發(fā)劑限定為熱聚合引發(fā)劑，是為了不對(duì) 作為各向異性導(dǎo)電膜的制品壽命、連接及連接構(gòu)造體的穩(wěn)定性產(chǎn)生不良影響。也就是說(shuō)，在 分二階段對(duì)第1連接層照射紫外線時(shí)，由于其工序上的制約，有時(shí)不得不將第2連接層限定 為熱聚合固化性。此外，在連續(xù)進(jìn)行二階段照射時(shí)，由于可W通過(guò)與一階段大致同樣的工序 形成，所W可W期待相等的作用效果。
[0016] 另外，本發(fā)明提供在第1連接層的另一面上具有與第2連接層同樣結(jié)構(gòu)的第3連接 層的各向異性導(dǎo)電膜的制造方法，其中，所述制造方法:除了 W上的工序(A)~(C)之外在工 序(C)之后還具有W下的工序(Z)，或除了 W上的工序(AA)~(孤)之外在工序化D)之后還具 有W下的工序(Z)。
[0017] 工序(Z) 在第1連接層的與導(dǎo)電粒子一側(cè)相反的面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚 合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第3連接層的工序。
[0018] 此外，本發(fā)明提供在第1連接層的另一面上具有與第2連接層大致同樣結(jié)構(gòu)的第3 連接層的各向異性導(dǎo)電膜的制造方法，其中，所述制造方法:除了 W上的工序(A)~(C)之外 在工序(A)之前還具有W下的工序(a),或除了 W上的工序(AA)~(DD)之外在工序(AA)之前 還具有W下的工序(a)。
[0019] 工序(a) 在含有絕緣填料的光聚合性樹(shù)脂層的一面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚 合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第3連接層的工序。
[0020] 此外，在具有該工序(a)的制造方法的工序(A)或工序(AA)中，在光聚合性樹(shù)脂層 的另一面上使導(dǎo)電粒子W單層排列即可。
[0021] 在運(yùn)樣的工序中設(shè)置第3連接層時(shí)，由于上述的理由，優(yōu)選將聚合引發(fā)劑限定為基 于熱反應(yīng)的聚合引發(fā)劑。然而，只要是在設(shè)置第1連接層之后通過(guò)不對(duì)制品壽命或連接造成 不良影響的方法設(shè)置含有光聚合引發(fā)劑的第2及第3連接層，就不對(duì)含有光聚合引發(fā)劑的按 照本發(fā)明的主旨的各向異性導(dǎo)電膜的制作有特別限制。
[0022] 此外，本發(fā)明的第2連接層或第3連接層中的任一方作為粘性層發(fā)揮功能的方式也 包括在本發(fā)明中。
[0023] 另外，本發(fā)明提供連接構(gòu)造體，其是通過(guò)上述的各向異性導(dǎo)電膜使第1電子部件與 第2電子部件進(jìn)行各向異性導(dǎo)電連接而得。
[0024] 發(fā)明效果 本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜具有：由使含有絕緣填料的光聚合性樹(shù)脂層進(jìn)行光聚合而得 的光聚合樹(shù)脂層構(gòu)成的第1連接層;和在其一面上形成的由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基 聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第2連接層，進(jìn)而，第1連接層的第2連接層一側(cè)表面上，各向異性導(dǎo)電 連接用的導(dǎo)電粒子W單層排列。而且，第1連接層中滲混有絕緣填料。因此，可W將導(dǎo)電粒子 牢固地固定化于第1連接層上。自然地，可W實(shí)現(xiàn)良好的導(dǎo)通可靠性和良好的安裝導(dǎo)電粒子 捕捉率。此外，對(duì)于第1連接層中的導(dǎo)電粒子的下方(背側(cè)）的光聚合性樹(shù)脂層，由于導(dǎo)電粒 子的存在，所W可W使紫外線的照射量相對(duì)低而降低固化率。因此，可W實(shí)現(xiàn)良好的壓入 性。
[0025] 在該接合利用熱時(shí)，成為與通常的各向異性導(dǎo)電膜的連接方法同樣的方法。在利 用光時(shí)，進(jìn)行利用連接工具的壓入直到反應(yīng)結(jié)束即可。在該情況下，為了促進(jìn)樹(shù)脂流動(dòng)或粒 子的壓入，也多將連接工具等加熱。另外，在并用熱和光時(shí)，也與上述同樣地進(jìn)行即可。
[0026] 在利用光反應(yīng)的各向異性導(dǎo)電連接的情況下，從透光部一側(cè)進(jìn)行光照射。雖然運(yùn) 存在受到布線阻礙之虞，但本發(fā)明是在布線狹小化（即狹間距化)的部件的各向異性導(dǎo)電連 接中表現(xiàn)效果，因此，即使是包括含有可能對(duì)抗連接的光反應(yīng)化合物的方式，也不會(huì)特別地 產(chǎn)生矛盾。
【附圖說(shuō)明】
[0027] 圖1是本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的截面圖。
[0028] 圖2是本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(A)的說(shuō)明圖。
[0029] 圖3A是本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(B)的說(shuō)明圖。
[0030] 圖3B是本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(B)的說(shuō)明圖。
[0031] 圖4A是本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(C)的說(shuō)明圖。
[0032] 圖4B是本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(C)的說(shuō)明圖。
[0033] 圖5是本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的截面圖。
[0034] 圖6是本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(AA)的說(shuō)明圖。
[0035] 圖7A是本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(BB)的說(shuō)明圖。
[0036] 圖7B是本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(BB)的說(shuō)明圖。
[0037] 圖8A是本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(CC)的說(shuō)明圖。
[0038] 圖8B是本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(CC)的說(shuō)明圖。
[0039] 圖9A是本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(DD)的說(shuō)明圖。
[0040] 圖9B是本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(DD)的說(shuō)明圖。
【具體實(shí)施方式】
[0041] <<各向異性導(dǎo)電膜>> W下，詳細(xì)地說(shuō)明本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的優(yōu)選的一個(gè)例子。
[0042] 如圖1所示，本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜1具有如下的構(gòu)造:在由使含有絕緣填料的 光聚合性樹(shù)脂層進(jìn)行光聚合而得的光聚合樹(shù)脂層構(gòu)成的第1連接層2的一面上，形成有由熱 或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第2連接層3。而且，第1連接層2的第2連 接層3-側(cè)的表面2a上，為了各向異性導(dǎo)電連接，導(dǎo)電粒子4W單層排列，優(yōu)選均等地排列。 運(yùn)里，均等意指導(dǎo)電粒子在平面方向上排列的狀態(tài)。對(duì)于該規(guī)則性，也可W W-定的間隔設(shè) 置。另外，第1連接層2中滲混有絕緣填料。
[00創(chuàng) <第推接層2> 構(gòu)成本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜1的第1連接層2是使含有絕緣填料的光聚合性樹(shù)脂層進(jìn) 行光聚合而得的光聚合樹(shù)脂層，因此可W使導(dǎo)電粒子固定化。另外，由于是聚合狀態(tài)，所W， 即使在各向異性導(dǎo)電連接時(shí)進(jìn)行加熱，樹(shù)脂也難W流動(dòng)，故而能夠大幅抑制短路的發(fā)生，因 此可W提高導(dǎo)通可靠性，且還可W提高安裝導(dǎo)電粒子捕捉率。特別優(yōu)選第1連接層2是使含 有丙締酸醋化合物、光自由基聚合引發(fā)劑和絕緣填料的光自由基聚合性樹(shù)脂層進(jìn)行光自由 基聚合而得的光自由基聚合樹(shù)脂層。W下，就第1連接層2是光自由基聚合樹(shù)脂層的情況進(jìn) 行說(shuō)明。
[0044](絕緣填料） 絕緣填料特別是為了提高第1連接層2的導(dǎo)通可靠性而使用。運(yùn)樣的絕緣填料的平均粒 徑優(yōu)選為5皿W上且500皿W下，更優(yōu)選為7皿W上且300皿W下。若在該范圍內(nèi)，則可W提高 導(dǎo)通可靠性，也可W提高安裝導(dǎo)電粒子捕捉率。另外，為了使第I連接層2整體充分進(jìn)行光固 化，優(yōu)選絕緣填料具有光散射性。運(yùn)里，光散射性意指使外光在層內(nèi)擴(kuò)散的特性。作為運(yùn)樣 的絕緣填料的具體例，可W列舉二氧化娃微粒、金紅石型氧化鐵等。
[0045] 絕緣填料的第1連接層2中的含量?jī)?yōu)選為0.5~20質(zhì)量％，更優(yōu)選為2~7質(zhì)量％。若在 該范圍內(nèi)，則不損害導(dǎo)電粒子的壓入，可W提高導(dǎo)通可靠性，也可W提高安裝導(dǎo)電粒子捕捉 率。
[0046] (丙締酸醋化合物） 作為變成丙締酸醋單元的丙締酸醋化合物，可W使用W往公知的光自由基聚合性丙締 酸醋。例如，可W使用單官能（甲基）丙締酸醋（運(yùn)里，（甲基）丙締酸醋中包括丙締酸醋和甲 基丙締酸醋）、二官能W上的多官能（甲基)丙締酸醋。本發(fā)明中，為了使粘接劑為熱固化性， 優(yōu)選丙締系單體的至少一部分使用多官能（甲基)丙締酸醋。
[0047] 就第1連接層2中的丙締酸醋化合物的含量而言，過(guò)少則存在難W賦予與第2連接 層3的粘度之差的傾向，過(guò)多則存在固化收縮大而操作性降低的傾向，因此優(yōu)選為2~70質(zhì) 量％，更優(yōu)選為10~50質(zhì)量％。
[0048] (光自由基聚合引發(fā)劑） 作為光自由基聚合引發(fā)劑，可W從公知的光自由基聚合引發(fā)劑中適當(dāng)選擇使用。例如， 可W列舉苯乙酬類光聚合引發(fā)劑、苯甲基縮酬類光聚合引發(fā)劑、憐類光聚合引發(fā)劑等。
[0049] 就光自由基聚合引發(fā)劑的使用量而言，相對(duì)于丙締酸醋化合物100質(zhì)量份，過(guò)少則 光自由基聚合不充分進(jìn)行，過(guò)多則成為剛性降低的原因，因此優(yōu)選為0.1~25質(zhì)量份，更優(yōu) 選為0.5~15質(zhì)量份。
[0050] (導(dǎo)電粒子） 作為導(dǎo)電粒子，可W從W往公知的用于各向異性導(dǎo)電膜的導(dǎo)電粒子中適當(dāng)選擇使用。 例如，可列舉:儀、鉆、銀、銅、金、鈕等金屬粒子，金屬包覆樹(shù)脂粒子等。也能夠并用巧巾W上。
[0051] 作為導(dǎo)電粒子的平均粒徑，過(guò)小則存在不能夠吸收布線的高度偏差而電阻變高的 傾向，過(guò)大則存在成為短路的原因的傾向，因此優(yōu)選為1~10皿，更優(yōu)選為2~6皿。
[0052] 就運(yùn)樣的導(dǎo)電粒子的第1連接層2中的粒子量而言，過(guò)少則安裝導(dǎo)電粒子捕捉數(shù)降 低而各向異性導(dǎo)電連接變難，過(guò)多則有短路之虞，因此優(yōu)選為每1平方mm為50~50000個(gè)，更 優(yōu)選為200~30000個(gè)。
[0053] 根據(jù)需要，可W在第1連接層2中并用苯氧基樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、不飽和聚醋樹(shù)脂、飽 和聚醋樹(shù)脂、聚氨醋樹(shù)脂、下二締樹(shù)脂、聚酷亞胺樹(shù)脂、聚酷胺樹(shù)脂、聚締控樹(shù)脂等的成膜樹(shù) 月旨。第2連接層3及第3連接層5中也可同樣地并用。
[0054] 就第1連接層2的層厚而言，過(guò)薄則存在安裝導(dǎo)電粒子捕捉率降低的傾向，過(guò)厚則 存在導(dǎo)通電阻變高的傾向，因此優(yōu)選為1.0~6.0M1，更優(yōu)選為2.0~5.Owii。
[0055] 第1連接層2中還可W含有環(huán)氧化合物和熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合引發(fā)劑。在該 情況下，如后所述，優(yōu)選第2連接層3也為含有環(huán)氧化合物和熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合引 發(fā)劑的熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合性樹(shù)脂層。由此，可W提高層間剝離強(qiáng)度。對(duì)于環(huán)氧化合 物和熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合引發(fā)劑，通過(guò)第2連接層3進(jìn)行說(shuō)明。
[0056] 第1連接層2中，如圖1所示，優(yōu)選導(dǎo)電粒子4陷入第2連接層3中（換言之，導(dǎo)電粒子4 在第1連接層2的表面露出）。運(yùn)是因?yàn)?，若?dǎo)電粒子4全部埋入第1連接層2中，則有導(dǎo)通電阻 變高之虞。就陷入的程度而言，過(guò)小則存在安裝導(dǎo)電粒子捕捉率降低的傾向，過(guò)大則存在導(dǎo) 通電阻變高的傾向，因此優(yōu)選為導(dǎo)電粒子的平均粒徑的10~90%，更優(yōu)選為20~80%。
[0057] 另外，對(duì)光自由基聚合性樹(shù)脂層照射紫外線W形成第1連接層2時(shí)，也可W從未配 置導(dǎo)電粒子的一側(cè)的面和配置導(dǎo)電粒子的一側(cè)的面的任一個(gè)照射。在從未配置導(dǎo)電粒子的 一側(cè)照射時(shí)，第1連接層2中，可W使位于導(dǎo)電粒子4和第1連接層2的最外表面化之間的區(qū)域 的第1連接層部分2X的固化率與位于相互鄰接的導(dǎo)電粒子4間的區(qū)域的第1連接層部分2Y的 固化率相比低。在該情況下，各向異性導(dǎo)電連接的熱壓接時(shí)，容易排除第1連接層部分2X，可 W期待提高導(dǎo)通可靠性的效果。運(yùn)里，固化率是定義為乙締基的減少比率的數(shù)值，第1連接 層部分2X的固化率優(yōu)選為40~80%，第1連接層部分2Y的固化率優(yōu)選為70~100%。
[0058] 另外，在絕緣填料具有良好的光散射性或光擴(kuò)散性時(shí)，存在第1連接層部分2X的固 化率與不含有運(yùn)樣的絕緣填料時(shí)相比提高的傾向，優(yōu)選第1連接層部分2X和第1連接層部分 2 Y之間的固化率差不到10%。
[0059] 此外，第1連接層部分2X和2Y之間的固化率的差也可W實(shí)質(zhì)上不存在。運(yùn)是因?yàn)椋?在制造中，促進(jìn)導(dǎo)電粒子的固定化，可W確保穩(wěn)定的質(zhì)量。運(yùn)是因?yàn)椋鳛橹破愤M(jìn)行一般的 連續(xù)化(長(zhǎng)尺化)時(shí)，使卷取開(kāi)始和卷取結(jié)束時(shí)施加于排列的導(dǎo)電粒子的壓力均勻化，防止 排列的錯(cuò)亂。
[0060] 此外，對(duì)于形成第1連接層2時(shí)的光自由基聚合，可W W-階段（即，一次光照射)進(jìn) 行，也可W W二階段(即，二次光照射)進(jìn)行。在該情況下，對(duì)于第二階段的光照射，優(yōu)選在第 1連接層2的一面上形成第2連接層3之后，在含氧氣氛(大氣中）下從第1連接層2的另一面?zhèn)?進(jìn)行。由此，可W期待下述效果：自由基聚合反應(yīng)受到氧阻礙，未固化成分的表面濃度變高， 可W提高粘性。另外，通過(guò)W二階段進(jìn)行固化，也使聚合反應(yīng)復(fù)雜化，因此，還可W期待樹(shù)脂 或粒子的流動(dòng)性的精細(xì)控制成為可能。
[0061] 運(yùn)樣的二階段的光自由基聚合中的第1連接層部分2X在第一階段中的固化率優(yōu)選 為10~50%，第二階段中的固化率優(yōu)選為40~80%，第1連接層部分2Y在第一階段中的固化率 優(yōu)選為30~90%，第二階段中的固化率優(yōu)選為70~100%。
[0062] 在運(yùn)樣的二階段的光自由基聚合中，絕緣填料具有良好的光擴(kuò)散性時(shí)，存在第1連 接層部分2X的固化率與不含有運(yùn)樣的絕緣填料時(shí)相比提高的傾向，但優(yōu)選第1連接層部分 2X和第1連接層部分2Y之間的固化率差不到10%。
[0063] 另外，在形成第1連接層2時(shí)的光自由基聚合反應(yīng)W二階段進(jìn)行時(shí)，作為自由基聚 合引發(fā)劑也可W僅使用1種，但由于粘性提高而優(yōu)選使用引發(fā)自由基反應(yīng)的波長(zhǎng)范圍不同 的巧中光自由基聚合引發(fā)劑。例如，優(yōu)選并用:通過(guò)來(lái)自LED光源的波長(zhǎng)365nm的光引發(fā)自由 基反應(yīng)的IRGACURE 369(BASUapan(株））和通過(guò)來(lái)自高壓水銀燈光源的光引發(fā)自由基反應(yīng) 的IRGACURE 2959(BASF化pan(株））。運(yùn)樣，通過(guò)使用巧巾不同的固化劑使樹(shù)脂的結(jié)合復(fù)雜 化，因此，可更精細(xì)地控制連接時(shí)樹(shù)脂的熱流動(dòng)行為。運(yùn)是因?yàn)?，在各向異性?dǎo)電連接的壓 入時(shí)，粒子容易受到在厚度方向上施加的力，但由于面方向上的流動(dòng)受到抑制，所W更容易 表現(xiàn)本發(fā)明的效果。
[0064] 另外，第1連接層2的經(jīng)流變儀測(cè)定時(shí)的最低烙融粘度比第2連接層3的最低烙融粘 度高，具體而言，[第1連接層2的最低烙融粘度(m化IS)]/[第2連接層3的最低烙融粘度 (mPa，S)]的數(shù)值優(yōu)選為1~1000，更優(yōu)選為4~400。此外，就各自的優(yōu)選最低烙融粘度而言， 前者為100~1000 OOmPa? S，更優(yōu)選為500~SOOOOmPa? S。后者優(yōu)選為O. I~1000 OmPa? S，更優(yōu) 選為 0.5 ~lOOOmPa-s。
[0065] 第1連接層2的形成可如下進(jìn)行:在含有光自由基聚合性丙締酸醋和光自由基聚合 引發(fā)劑的光自由基聚合性樹(shù)脂層上，通過(guò)膜轉(zhuǎn)印法、模具轉(zhuǎn)印法、噴墨法、靜電附著法等方 法附著導(dǎo)電粒子，從導(dǎo)電粒子側(cè)、其相反側(cè)或兩側(cè)照射紫外線。特別是，從可W將第1連接層 部分2X的固化率控制為相對(duì)低的方面出發(fā)，優(yōu)選僅從導(dǎo)電粒子側(cè)照射紫外線。
[0066] <第2連接層3> 第2連接層3由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成，優(yōu)選由含有環(huán)氧化 合物和熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合引發(fā)劑的熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成，或 由含有丙締酸醋化合物和熱或光自由基聚合引發(fā)劑的熱或光自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成。運(yùn) 里，由熱聚合性樹(shù)脂層形成第2連接層3在生產(chǎn)的簡(jiǎn)便性及質(zhì)量穩(wěn)定性方面優(yōu)選，因?yàn)椴粫?huì) 由于形成第1連接層2時(shí)的紫外線照射而發(fā)生第2連接層3的2聚合反應(yīng)。
[0067] 在第2連接層3是熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合性樹(shù)脂層時(shí)，還可W含有丙締酸醋化 合物和熱或光自由基聚合引發(fā)劑。由此，可W提高與第1連接層2的層間剝離強(qiáng)度。
[0068] (環(huán)氧化合物） 在第2連接層3是含有環(huán)氧化合物和熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合引發(fā)劑的熱或光陽(yáng)離 子或陰離子聚合性樹(shù)脂層時(shí)，作為環(huán)氧化合物，可優(yōu)選列舉出在分子內(nèi)具有2個(gè)W上的環(huán)氧 基的化合物或樹(shù)脂。它們可W是液狀，也可W是固體狀。
[0069] (熱陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑） 作為熱陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑，可W采用作為環(huán)氧化合物的熱陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑公知的引 發(fā)劑，例如，可W使用通過(guò)熱使陽(yáng)離子聚合性化合物進(jìn)行陽(yáng)離子聚合而產(chǎn)生得到的酸的公 知的艦鐵鹽、硫鐵鹽、憐鐵鹽、二茂鐵類等，可W優(yōu)選使用對(duì)溫度顯示良好的潛在性的芳香 族硫鐵鹽。
[0070] 就熱陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑的滲混量而言，過(guò)少則存在固化不良的傾向，過(guò)多則存在 制品壽命降低的傾向，因此，相對(duì)于環(huán)氧化合物100質(zhì)量份，優(yōu)選為2~60質(zhì)量份，更優(yōu)選為5 ~40質(zhì)量份。
[0071] (熱陰離子聚合引發(fā)劑） 作為熱陰離子聚合引發(fā)劑，可W采用作為環(huán)氧化合物的熱陰離子聚合引發(fā)劑公知的引 發(fā)劑，例如，可W使用通過(guò)熱使陰離子聚合性化合物進(jìn)行陰離子聚合而發(fā)生得到的堿的公 知的脂肪族胺類化合物、芳香族胺類化合物、二級(jí)或=級(jí)胺類化合物、咪挫類化合物、聚硫 醇類化合物、=氣化棚-胺絡(luò)合物、雙氯胺、有機(jī)酷阱等，可W優(yōu)選使用對(duì)溫度顯示良好的潛 在性的膠囊化咪挫類化合物。
[0072] 就熱陰離子聚合引發(fā)劑的滲混量而言，過(guò)少則存在固化不良的傾向，過(guò)多則存在 制品壽命降低的傾向，因此，相對(duì)于環(huán)氧化合物100質(zhì)量份，優(yōu)選為2~60質(zhì)量份，更優(yōu)選為5 ~40質(zhì)量份。
[0073] (光陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑及光陰離子聚合引發(fā)劑） 作為環(huán)氧化合物用的光陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑或光陰離子聚合引發(fā)劑，可W適當(dāng)使用公知 的引發(fā)劑。
[0074] (丙締酸醋化合物） 在第2連接層3是含有丙締酸醋化合物和熱或光自由基聚合引發(fā)劑的熱或光自由基聚 合性樹(shù)脂層時(shí)，作為丙締酸醋化合物，可W從關(guān)于第1連接層2說(shuō)明的那些中適當(dāng)選擇使用。
[0075] (熱自由基聚合引發(fā)劑） 另外，作為熱自由基聚合引發(fā)劑，例如，可列舉有機(jī)過(guò)氧化物或偶氮類化合物等，但可 優(yōu)選使用不發(fā)生成為氣泡的原因的氮的有機(jī)過(guò)氧化物。
[0076] 就熱自由基聚合引發(fā)劑的使用量而言，過(guò)少則固化不良，過(guò)多則制品壽命降低，因 此，相對(duì)于丙締酸醋化合物100質(zhì)量份，優(yōu)選為2~60質(zhì)量份，更優(yōu)選為5~40質(zhì)量份。
[0077] (光自由基聚合引發(fā)劑） 作為丙締酸醋化合物用的光自由基聚合引發(fā)劑，可W使用公知的光自由基聚合引發(fā) 劑。
[0078] 就光自由基聚合引發(fā)劑的使用量而言，過(guò)少則固化不良，過(guò)多則制品壽命降低，因 此，相對(duì)于丙締酸醋化合物100質(zhì)量份，優(yōu)選為2~60質(zhì)量份，更優(yōu)選為5~40質(zhì)量份。
[0079] (第3連接層5) W上，對(duì)圖1的2層構(gòu)造的各向異性導(dǎo)電膜進(jìn)行了說(shuō)明，但如圖5所示，也可W在第1連接 層2的另一面上形成第3連接層5。由此，可得到更精細(xì)地控制層整體的流動(dòng)性成為可能的效 果。運(yùn)里，作為第3連接層5,也可使其與上述的第2連接層3為相同結(jié)構(gòu)。即，第3連接層5與第 2連接層3同樣，由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成。對(duì)于運(yùn)樣的第3連接 層5,可W在第1連接層的一面上形成第2連接層之后在第1連接層的另一面上形成，也可W 在形成第2連接層前，在第1連接層或作為其前體的光聚合性樹(shù)脂層的另一面(未形成第2連 接層的面)上預(yù)先形成第3連接層。
[0080] <<各向異性導(dǎo)電膜的制造方法>> 對(duì)于本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的制造方法，可列舉進(jìn)行一階段的光聚合反應(yīng)的制造方 法和進(jìn)行二階段的光聚合反應(yīng)的制造方法。
[0081] <進(jìn)行一階段的光聚合反應(yīng)的制造方法> 說(shuō)明W-階段進(jìn)行光聚合來(lái)制造圖1(圖4B)的各向異性導(dǎo)電膜的一個(gè)例子。該制造例 具有W下的工序(A)~(C)。
[0082] (工序(A)) 如圖2所示，在根據(jù)需要于剝離膜30上形成的含有絕緣填料的光聚合性樹(shù)脂層31上，W 單層排列導(dǎo)電粒子4。作為導(dǎo)電粒子4的排列方法，無(wú)特別限制，可W采用：日本專利第 4789738號(hào)的實(shí)施例1的對(duì)未延伸聚丙締膜利用2軸延伸操作的方法，和日本特開(kāi)2010- 33793號(hào)公報(bào)的使用模具的方法等。此外，作為排列的程度，考慮到連接對(duì)象的尺寸、導(dǎo)通可 靠性、絕緣性、安裝導(dǎo)電粒子捕捉率等，優(yōu)選在2維上相互間隔1~IOOwii程度地排列。
[0083] (工序(B)) 接著，如圖3A所示，相對(duì)于排列有導(dǎo)電粒子4的光聚合性樹(shù)脂層31，通過(guò)照射紫外線 (UV)來(lái)進(jìn)行光聚合反應(yīng)，W形成導(dǎo)電粒子4固定化于表面的第1連接層2。在該情況下，可W 從導(dǎo)電粒子側(cè)照射紫外線(UV)，也可W從相反側(cè)照射，但是，在從導(dǎo)電粒子側(cè)照射紫外線 (UV)時(shí)，如圖3B所示，可W使位于導(dǎo)電粒子4和第1連接層2的最外表面之間的區(qū)域的第1連 接層部分2X的固化率與位于相互鄰接的導(dǎo)電粒子4間的區(qū)域的第1連接層部分2Y的固化率 相比低。通過(guò)運(yùn)樣做，粒子的背側(cè)的固化性可靠地變低，可W使接合時(shí)的壓入容易，且同時(shí) 具備防止粒子的流動(dòng)的效果。
[0084] (工序(C)) 接著，如圖4A所示，在第1連接層2的導(dǎo)電粒子4 一側(cè)表面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離 子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第2連接層3。作為具體的一個(gè)例子，將在剝離膜40上通過(guò) 常法形成的第2連接層3載置于第1連接層2的導(dǎo)電粒子4 一側(cè)表面上，熱壓接至不產(chǎn)生過(guò)度 的熱聚合的程度。然后，通過(guò)除掉剝離膜30和40,可得到圖4B的各向異性導(dǎo)電膜。
[0085] 此外，圖5的各向異性導(dǎo)電膜100可通過(guò)在工序(C)之后實(shí)施W下的工序(Z)來(lái)得 到。
[0086] (工序(Z)) 在第1連接層的與導(dǎo)電粒子一側(cè)相反的面上，優(yōu)選與第2連接層同樣地，形成由熱或光 陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第3連接層。由此，可得到圖5的各向異性導(dǎo)電 膜。
[0087] 另外，圖5的各向異性導(dǎo)電膜100也可在不進(jìn)行工序(Z)的情況下在工序(A)之前實(shí) 施W下的工序(a)來(lái)得到。
[008引（工序(a)) 該工序是在含有絕緣填料的光聚合性樹(shù)脂層的一面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或 自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第3連接層的工序。通過(guò)在該工序(a)之后繼續(xù)實(shí)施工序(A)、 (B)及(C)，可得到圖5的各向異性導(dǎo)電膜100。其中，工序(A)中，在光聚合性樹(shù)脂層的另一面 上使導(dǎo)電粒子W單層排列。
[0089] <進(jìn)行二階段的光聚合反應(yīng)的制造方法> 接著，說(shuō)明W二階段進(jìn)行光聚合來(lái)制造圖1(圖4B)的各向異性導(dǎo)電膜的一個(gè)例子。該制 造例具有W下的工序(AA)~(孤）。
[0090] (工序(AA)) 如圖6所示，在根據(jù)需要于剝離膜30上形成的含有絕緣填料的光聚合性樹(shù)脂層31上，W 單層排列導(dǎo)電粒子4。作為導(dǎo)電粒子4的排列方法，無(wú)特別限制，可W采用：日本專利第 4789738號(hào)的實(shí)施例1的對(duì)未延伸聚丙締膜利用2軸延伸操作的方法，和日本特開(kāi)2010- 33793號(hào)公報(bào)的使用模具的方法等。此外，作為排列的程度，考慮到連接對(duì)象的尺寸、導(dǎo)通可 靠性、絕緣性、安裝導(dǎo)電粒子捕捉率等，優(yōu)選在2維上相互間隔1~IOOwii程度地排列。
[0091] (工序(BB)) 接著，如圖7A所示，相對(duì)于排列有導(dǎo)電粒子4的光聚合性樹(shù)脂層31，通過(guò)照射紫外線 化V)來(lái)進(jìn)行光聚合反應(yīng)，W形成導(dǎo)電粒子4假固定化于表面的假第1連接層20。在該情況下， 可W從導(dǎo)電粒子側(cè)照射紫外線(UV)，也可W從相反側(cè)照射，但是，在從導(dǎo)電粒子側(cè)照射紫外 線(UV)時(shí)，如圖7B所示，可W使位于導(dǎo)電粒子4和假第1連接層20的最外表面之間的區(qū)域的 假第1連接層部分2X的固化率與位于相互鄰接的導(dǎo)電粒子4間的區(qū)域的假第1連接層部分2Y 的固化率相比低。
[0092] (工序(CC)) 接著，如圖8A所示，在假第1連接層20的導(dǎo)電粒子4 一側(cè)表面上形成由熱陽(yáng)離子、陰離子 或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第2連接層3。作為具體的一個(gè)例子，將在剝離膜40上通過(guò)常 法形成的第2連接層3載置于第1連接層2的導(dǎo)電粒子4 一側(cè)表面上，熱壓接至不產(chǎn)生過(guò)度的 熱聚合的程度。然后，通過(guò)除掉剝離膜30和40,可得到圖SB的假各向異性導(dǎo)電膜50。
[0093] (工序(DD)) 接著，如圖9A所示，通過(guò)從與第2連接層3相反一側(cè)對(duì)假第1連接層20照射紫外線來(lái)進(jìn)行 光自由基聚合反應(yīng)，W使假第1連接層20真正固化而形成第1連接層2。由此，可得到圖9B的 各向異性導(dǎo)電膜1。該工序中的紫外線的照射優(yōu)選從相對(duì)于假第1連接層20垂直的方向進(jìn) 行。另外，優(yōu)選地，在使第1連接層部分2X和2Y之間的固化率之差不消失的情況下，隔著掩模 照射，或者通過(guò)照射部位設(shè)置照射光量的差。
[0094] 此外，W2階段進(jìn)行光自由基聚合時(shí)，圖5的各向異性導(dǎo)電膜100可W通過(guò)在工序 (DD)之后實(shí)施W下的工序(Z)來(lái)得到。
[0095] (工序(Z)) 在第1連接層的與導(dǎo)電粒子一側(cè)相反的面上，優(yōu)選與第2連接層同樣地，形成由熱或光 陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第3連接層。由此，可得到圖5的各向異性導(dǎo)電 膜。
[0096] 另外，圖5的各向異性導(dǎo)電膜100也可在不進(jìn)行工序(Z)的情況下通過(guò)在工序(AA) 之前實(shí)施W下的工序(a)來(lái)得到。
[0097] (工序(a)) 該工序是在含有絕緣填料的光聚合性樹(shù)脂層的一面上形成熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自 由基聚合性樹(shù)脂層的工序。通過(guò)在該工序(a)之后繼續(xù)實(shí)施工序(AA)~(DD)，可得到圖5的 各向異性導(dǎo)電膜100。其中，工序(AA)中，在光聚合性樹(shù)脂層的另一面上使導(dǎo)電粒子W單層 排列。在該情況下，作為形成第2連接層時(shí)使用的聚合引發(fā)劑，優(yōu)選適用熱聚合引發(fā)劑。在光 聚合引發(fā)劑的情況下，存在工序上對(duì)作為各向異性導(dǎo)電膜的制品壽命、連接及連接構(gòu)造體 的穩(wěn)定性造成不良影響之虞。
[009引 << 連接構(gòu)造體>> 運(yùn)樣得到的各向異性導(dǎo)電膜可在對(duì)IC忍片、I對(duì)莫塊等的第1電子部件和柔性基板、玻璃 基板等第2電子部件進(jìn)行各向異性導(dǎo)電連接時(shí)優(yōu)選地適用。運(yùn)樣得到的連接構(gòu)造體也是本 發(fā)明的一部分。此外，從提高導(dǎo)通可靠性的方面出發(fā)，優(yōu)選地，將各向異性導(dǎo)電膜的第1連接 層一側(cè)配置于柔性基板等的第2電子部件一側(cè)，并將第2連接層一側(cè)配置于IC忍片等的第1 電子部件一側(cè)。 實(shí)施例
[0099] W下，通過(guò)實(shí)施例更具體地說(shuō)明本發(fā)明。
[0100] 實(shí)施例1~10、比較例1 按照日本專利第4789738號(hào)的實(shí)施例1的操作，進(jìn)行導(dǎo)電粒子的排列，同時(shí)遵照表1所示 的滲混(質(zhì)量份），制成了第1連接層和第2連接層層疊而成的2層構(gòu)造的各向異性導(dǎo)電膜。 [OW](第推接層） 具體而言，首先，將丙締酸醋化合物、光自由基聚合引發(fā)劑及絕緣填料等在乙酸乙醋或 甲苯中制備成固體成分為50質(zhì)量％的混合液。將該混合液涂覆在厚度50WI1的聚對(duì)苯二甲酸 乙二醇醋膜上，使干燥厚度為扣m，在80°C的烘箱中干燥5分鐘，從而形成了作為第1連接層 的前體層的光自由基聚合性樹(shù)脂層。
[0102]接著，相對(duì)于得到的光自由基聚合性樹(shù)脂層，將平均粒徑4WI1的導(dǎo)電粒子(鍛Ni/Au 樹(shù)脂粒子，A化704,積水化學(xué)工業(yè)(株））W相互間隔4皿且單層的方式排列。進(jìn)而，從該導(dǎo)電 粒子側(cè)相對(duì)于光自由基聚合性樹(shù)脂層，W累積光量4000mJ/cm2照射波長(zhǎng)365nm的紫外線，從 而形成了導(dǎo)電粒子固定于表面的第1連接層。此外，在實(shí)施例6~10的情況下，W累積光量 200mJ/cm2照射紫外線。
[010引（第鏈接層） 將熱固化性樹(shù)脂及潛在性固化劑等在乙酸乙醋或甲苯中制備成固體成分為50質(zhì)量%的 混合液。將該混合液涂覆于厚度50皿的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇醋膜上，使干燥厚度為12皿，在 80°C的烘箱中干燥5分鐘，從而形成了第2連接層。
[0104] (各向異性導(dǎo)電膜） 通過(guò)將運(yùn)樣得到的第1連接層和第2連接層W導(dǎo)電粒子位于內(nèi)側(cè)的方式層壓，得到了各 向異性導(dǎo)電膜。
[0105] 此外，對(duì)于實(shí)施例6~10的各向異性導(dǎo)電膜，從其第1連接層側(cè)，進(jìn)而W累積光量 2000mJ/cm2照射了波長(zhǎng)365nm的紫外線。
[0106] (連接構(gòu)造體樣品） 使用得到的各向異性導(dǎo)電膜，將0.5 X 1.8 X 20.0 mm大小的IC忍片（凸點(diǎn)尺寸30 X 85皿， 凸點(diǎn)高度15WI1，凸點(diǎn)間距sown)在180°C、SOMPa、5秒的條件下安裝到0.5 X 50 X 30mm大小的 Corning公司制的玻璃布線基板(1737巧上，得到了連接構(gòu)造體樣品。
[0107] (實(shí)驗(yàn)評(píng)價(jià)） 對(duì)于得到的連接構(gòu)造體樣品，如W下所說(shuō)明地，進(jìn)行各向異性導(dǎo)電膜的"安裝導(dǎo)電粒子 捕捉率"、"初始導(dǎo)通電阻"及"導(dǎo)通可靠性"的實(shí)驗(yàn)評(píng)價(jià)。得到的結(jié)果示于表1。
[010引"安裝導(dǎo)電粒子捕捉率" 按照W下的數(shù)學(xué)式，求得"加熱加壓后(實(shí)際安裝后）的連接構(gòu)造體樣品的凸點(diǎn)上實(shí)際 捕捉的粒子量"相對(duì)于"加熱加壓前的連接構(gòu)造體樣品的凸點(diǎn)上存在的理論粒子量"的比 例： 安裝導(dǎo)電粒子捕捉率(％) = {[加熱加壓后的凸點(diǎn)上的導(dǎo)電粒子數(shù)]/[加熱加壓前的凸 點(diǎn)上的導(dǎo)電粒子數(shù)]} X 100 "初始導(dǎo)通電阻" 使用數(shù)字萬(wàn)用表(Agilent Technologies)，測(cè)定了連接構(gòu)造體樣品的導(dǎo)通電阻值。實(shí) 際使用上，優(yōu)選為2 Q W下。
[0109] 。導(dǎo)通可靠性" 將連接構(gòu)造體樣品在85°C、85%RH的高溫高濕環(huán)境下放置500小時(shí)后，使用數(shù)字萬(wàn)用表 (Agilent Technologies)測(cè)定了導(dǎo)通電阻。實(shí)際使用上，只要為4 Q W下，就可判斷為導(dǎo)通 可靠性良好。
[0110] [表 1]
由表1可知，對(duì)于實(shí)施例1~10的各向異性導(dǎo)電膜，安裝導(dǎo)電粒子捕捉率、初始導(dǎo)通電 阻、導(dǎo)通可靠性的各評(píng)價(jià)項(xiàng)目均顯示在實(shí)際使用上優(yōu)選的結(jié)果，與第1連接層中未滲混絕緣 填料的比較例I的各向異性導(dǎo)電膜相比，改善了安裝導(dǎo)電粒子捕捉率及導(dǎo)通可靠性。
[011U 產(chǎn)業(yè)上的可利用性 本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜具有下述層層疊而成的2層構(gòu)造：由光聚合樹(shù)脂層構(gòu)成的第1 連接層和熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層，進(jìn)而，第1連接層的第2連接層一側(cè) 表面上，各向異性導(dǎo)電連接用的導(dǎo)電粒子W單層排列。而且，第1連接層中滲混有絕緣填料。 因此，顯示良好的導(dǎo)通可靠性、安裝導(dǎo)電粒子捕捉率。因此，可用于與IC忍片等電子部件的 布線基板的各向異性導(dǎo)電連接。運(yùn)樣的電子部件的布線持續(xù)地狹小化，本發(fā)明在對(duì)運(yùn)樣的 技術(shù)的進(jìn)步有貢獻(xiàn)的情況下尤其表現(xiàn)其效果。
[0112]附圖標(biāo)記說(shuō)明 1、1〇〇各向異性導(dǎo)電膜 2第1連接層 2X、2Y第1連接層部分 3第2連接層 4導(dǎo)電粒子 5第3連接層 30、40剝離膜 20假第1連接層 31光聚合性樹(shù)脂層 50假各向異性導(dǎo)電膜。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 各向異性導(dǎo)電膜，所述各向異性導(dǎo)電膜是具有第1連接層和在其一面上形成的第2連 接層的各向異性導(dǎo)電膜，其特征在于， 第1連接層是光聚合樹(shù)脂層， 第2連接層是熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層， 第1連接層的第2連接層一側(cè)表面上，各向異性導(dǎo)電連接用的導(dǎo)電粒子以單層排列， 第1連接層含有絕緣性填料。2. 權(quán)利要求1所述的各向異性導(dǎo)電膜，其中，絕緣性填料的平均粒徑是5nm以上且500nm 以下。3. 權(quán)利要求1或2記載的各向異性導(dǎo)電膜，其中，絕緣性填料具有光散射性。4. 權(quán)利要求1~3中任一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電膜，其中，第1連接層是使含有丙烯酸酯 化合物和光自由基聚合引發(fā)劑的光自由基聚合性樹(shù)脂層進(jìn)行光自由基聚合而得的光自由 基聚合樹(shù)脂層。5. 權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電膜，其中，第1連接層還含有環(huán)氧化合物 和熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合引發(fā)劑。6. 權(quán)利要求1~5中任一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電膜，其中，第2連接層是:含有環(huán)氧化合 物和熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合引發(fā)劑的熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合性樹(shù)脂層，或含有丙 烯酸酯化合物和熱或光自由基聚合引發(fā)劑的熱或光自由基聚合性樹(shù)脂層。7. 權(quán)利要求6所述的各向異性導(dǎo)電膜，其中，第2連接層是:含有環(huán)氧化合物和熱或光陽(yáng) 離子或陰離子聚合引發(fā)劑的熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合性樹(shù)脂層，還含有丙烯酸酯化合物 和熱或光自由基聚合引發(fā)劑。8. 權(quán)利要求1~7中任一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電膜，其中，導(dǎo)電粒子陷入第2連接層中。9. 權(quán)利要求1~8中任一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電膜，其中，第1連接層中，位于導(dǎo)電粒子 和第1連接層的最外表面之間的區(qū)域的第1連接層部分的固化率比位于相互鄰接的導(dǎo)電粒 子間的區(qū)域的第1連接層部分的固化率低。10. 權(quán)利要求1~9中任一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電膜，其中，第1連接層的最低熔融粘度 比第2連接層的最低熔融粘度高。11. 權(quán)利要求1所述的各向異性導(dǎo)電膜的制造方法，其中，所述制造方法具有以下的工 序(A)~(C): 工序⑷ 在含有絕緣填料的光聚合性樹(shù)脂層上使導(dǎo)電粒子以單層排列的工序； 工序⑶ 通過(guò)相對(duì)于排列有導(dǎo)電粒子的光聚合性樹(shù)脂層照射紫外線來(lái)進(jìn)行光聚合反應(yīng)，以形成 導(dǎo)電粒子固定化于表面的第1連接層的工序;和 工序(C) 在第1連接層的導(dǎo)電粒子一側(cè)表面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù) 脂層構(gòu)成的第2連接層的工序。12. 權(quán)利要求11所述的制造方法，其中，從光聚合性樹(shù)脂層的排列有導(dǎo)電粒子的一側(cè)進(jìn) 行工序(B)的紫外線照射。13. 權(quán)利要求1所述的各向異性導(dǎo)電膜的制造方法，其中，所述制造方法具有以下的工 序(AA)~(DD): 工序(AA) 在含有絕緣填料的光聚合性樹(shù)脂層上使導(dǎo)電粒子以單層排列的工序； 工序(BB) 通過(guò)相對(duì)于排列有導(dǎo)電粒子的光聚合性樹(shù)脂層照射紫外線來(lái)進(jìn)行光聚合反應(yīng)，以形成 導(dǎo)電粒子假固定化于表面的假第1連接層的工序； 工序(CC) 在假第1連接層的導(dǎo)電粒子一側(cè)表面上形成由熱陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂 層構(gòu)成的第2連接層的工序;和 工序(DD) 通過(guò)從與第2連接層相反一側(cè)對(duì)假第1連接層照射紫外線來(lái)進(jìn)行光聚合反應(yīng)，以使假第 1連接層真正固化而形成第1連接層的工序。14. 權(quán)利要求13所述的制造方法，其中，從光聚合性樹(shù)脂層的排列有導(dǎo)電粒子的一側(cè)進(jìn) 行工序(BB)的紫外線照射。15. 權(quán)利要求11所述的制造方法，其中，所述制造方法在工序(C)之后具有以下的工序 (Z)： 工序⑵ 在第1連接層的與導(dǎo)電粒子一側(cè)相反的面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚 合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第3連接層的工序。16. 權(quán)利要求11所述的制造方法，其中，所述制造方法在工序(A)之前具有以下的工序 (a)： 工序(a) 在含有絕緣填料的光聚合性樹(shù)脂層的一面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚 合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第3連接層工序， 工序(A)中，在光聚合性樹(shù)脂層的另一面上使導(dǎo)電粒子以單層排列。17. 權(quán)利要求13所述的制造方法，其中，所述制造方法在工序(DD)之后具有以下的工 序⑵： 工序⑵ 在第1連接層的與導(dǎo)電粒子一側(cè)相反的面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚 合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第3連接層的工序。18. 權(quán)利要求13所述的制造方法，其中，所述制造方法在工序(AA)之前具有以下的工 序(a): 工序(a) 在含有絕緣填料的光聚合性樹(shù)脂層的一面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚 合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第3連接層的工序， 工序(AA)中，在光聚合性樹(shù)脂層的另一面上使導(dǎo)電粒子以單層排列。19. 連接構(gòu)造體，其是通過(guò)權(quán)利要求1~10中任一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電膜使第1電子 部件與第2電子部件進(jìn)行各向異性導(dǎo)電連接而得。
【文檔編號(hào)】C09J4/00GK105940559SQ201580007299
【公開(kāi)日】2016年9月14日
【申請(qǐng)日】2015年2月3日
【發(fā)明人】塚尾憐司, 阿久津恭志
【申請(qǐng)人】迪睿合株式會(huì)社