各向異性導(dǎo)電膜及其制造方法
【專(zhuān)利摘要】各向異性導(dǎo)電膜具有第1連接層和在其一面上形成的第2連接層。第1連接層是光聚合樹(shù)脂層，第2連接層是熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層。第1連接層的第2連接層一側(cè)表面上，各向異性導(dǎo)電連接用的導(dǎo)電粒子以單層排列。關(guān)于第1連接層的固化率，具有比該一面的固化率低的固化率的區(qū)域相對(duì)于第1連接層的厚度方向傾斜地存在?；蛘撸c第1連接層的該一面的固化率相比，在第1連接層的導(dǎo)電粒子附近區(qū)域中與第1連接層的另一面相對(duì)近的區(qū)域的固化率低。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
各向異性導(dǎo)電膜及其制造方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001] 本發(fā)明設(shè)及各向異性導(dǎo)電膜及其制造方法。
【背景技術(shù)】
[0002] IC忍片等電子部件的安裝中廣泛使用各向異性導(dǎo)電膜，近年來(lái)，從適用于高密度 安裝的觀點(diǎn)出發(fā)，W導(dǎo)通可靠性和絕緣性的提高、安裝導(dǎo)電粒子捕捉率的提高、制造成本的 降低等為目的，有人提出了將各向異性導(dǎo)電連接用的導(dǎo)電粒子W單層排列于絕緣性粘接層 上而得的2層構(gòu)造的各向異性導(dǎo)電膜(專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。
[0003] 該2層構(gòu)造的各向異性導(dǎo)電膜如下制造:在轉(zhuǎn)印層上W單層且細(xì)密填充的方式排 列導(dǎo)電粒子后，通過(guò)對(duì)轉(zhuǎn)印層進(jìn)行巧由延伸處理，形成導(dǎo)電粒子W既定間隔均等地排列的轉(zhuǎn) 印層，然后，將該轉(zhuǎn)印層上的導(dǎo)電粒子轉(zhuǎn)印到含有熱固化性樹(shù)脂和聚合引發(fā)劑的絕緣性樹(shù) 脂層上，進(jìn)而在被轉(zhuǎn)印的導(dǎo)電粒子上層壓含有熱固化性樹(shù)脂、但不含有聚合引發(fā)劑的其他 絕緣性樹(shù)脂層(專(zhuān)利文獻(xiàn)1)。
[0004] 現(xiàn)有技術(shù)文獻(xiàn) 專(zhuān)利文獻(xiàn) 專(zhuān)利文獻(xiàn)1:日本專(zhuān)利第4789738號(hào)說(shuō)明書(shū)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005] 發(fā)明所要解決的課題 然而，就專(zhuān)利文獻(xiàn)1的2層構(gòu)造的各向異性導(dǎo)電膜而言，因?yàn)槭褂貌缓芯酆弦l(fā)劑的 絕緣性樹(shù)脂層，所W，盡管W單層、既定間隔均等地排列導(dǎo)電粒子，通過(guò)各向異性導(dǎo)電連接 時(shí)的加熱，還是容易在不含有聚合引發(fā)劑的絕緣性樹(shù)脂層上產(chǎn)生比較大的樹(shù)脂流，導(dǎo)電粒 子也變得容易沿著該流而流動(dòng)，故而產(chǎn)生安裝導(dǎo)電粒子捕捉率的降低、短路的發(fā)生、絕緣性 的降低等問(wèn)題。
[0006] 本發(fā)明的目的是解決W上的現(xiàn)有技術(shù)的問(wèn)題點(diǎn)，在具有W單層排列的導(dǎo)電粒子的 多層構(gòu)造的各向異性導(dǎo)電膜中實(shí)現(xiàn)良好的導(dǎo)通可靠性、良好的絕緣性和良好的安裝導(dǎo)電粒 子捕捉率。
[0007] 用于解決課題的手段 本發(fā)明人發(fā)現(xiàn)，在光聚合性樹(shù)脂層上使導(dǎo)電粒子W單層排列后，通過(guò)傾斜地照射紫外 線(xiàn)或通過(guò)從至少2個(gè)方向傾斜地照射紫外線(xiàn)來(lái)固定化或假固定化導(dǎo)電粒子，進(jìn)而在固定化 或假固定化的導(dǎo)電粒子上層疊熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層，如此得到的 各向異性導(dǎo)電膜是能夠達(dá)到上述本發(fā)明的目的的結(jié)構(gòu)，從而完成了本發(fā)明。
[000引目P，本發(fā)明的第1方式提供各向異性導(dǎo)電膜，其是具有第1連接層和在其一面上形 成的第2連接層的各向異性導(dǎo)電膜，其特征在于， 第1連接層是光聚合樹(shù)脂層， 第2連接層是熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層， 第I連接層的該一面上，各向異性導(dǎo)電連接用的導(dǎo)電粒子W單層排列， 關(guān)于第1連接層的固化率，具有比該一面的固化率低的固化率的區(qū)域相對(duì)于第1連接層 的厚度方向傾斜地存在。
[0009] 另外，本發(fā)明的第2方式提供各向異性導(dǎo)電膜，其是具有第1連接層和在其一面上 形成的第2連接層的各向異性導(dǎo)電膜，其特征在于， 第1連接層是光聚合樹(shù)脂層， 第2連接層是熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層， 第1連接層的該一面上，各向異性導(dǎo)電連接用的導(dǎo)電粒子W單層排列， 與第1連接層的該一面的固化率相比，在第1連接層的導(dǎo)電粒子附近區(qū)域中與第1連接 層的另一面相對(duì)近的區(qū)域的固化率低。
[0010] 此外，本發(fā)明中，第2連接層優(yōu)選是使用通過(guò)加熱引發(fā)聚合反應(yīng)的熱聚合引發(fā)劑的 熱聚合性樹(shù)脂層，但也可W是使用通過(guò)光引發(fā)聚合反應(yīng)的光聚合引發(fā)劑的光聚合性樹(shù)脂 層。也可W是并用熱聚合引發(fā)劑和光聚合引發(fā)劑的熱光聚合性樹(shù)脂層。運(yùn)里，第2連接層有 時(shí)限定為制造上使用熱聚合引發(fā)劑的熱聚合性樹(shù)脂層。
[0011] 對(duì)于本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜，為了應(yīng)力緩沖等防止接合體的翅曲的目的，也可 W在第1連接層的另一面上具有與第2連接層大致同樣結(jié)構(gòu)的第3連接層。即，也可W在第1 連接層的另一面上具有由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第3連接層。
[0012] 此外，第3連接層優(yōu)選是使用通過(guò)加熱引發(fā)聚合反應(yīng)的熱聚合引發(fā)劑的熱聚合性 樹(shù)脂層，但也可W是使用通過(guò)光引發(fā)聚合反應(yīng)的光聚合引發(fā)劑的光聚合性樹(shù)脂層。也可W 是并用熱聚合引發(fā)劑和光聚合引發(fā)劑的熱光聚合性樹(shù)脂層。運(yùn)里，第3連接層有時(shí)限定為制 造上使用熱聚合引發(fā)劑的熱聚合性樹(shù)脂層。
[0013] 另外，本發(fā)明提供上述本發(fā)明的第1方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造方法，其中，所 述制造方法具有通過(guò)一階段的光聚合反應(yīng)形成第1連接層的W下的工序(A)~(C)或通過(guò)二 階段的光自由基聚合反應(yīng)形成第1連接層的后述的工序(AA)~(DD)。
[0014] (通過(guò)一階段的光聚合反應(yīng)形成第1連接層的情況） 工序(A) 在光聚合性樹(shù)脂層上使導(dǎo)電粒子W單層排列的工序； 工序(B) 通過(guò)相對(duì)于排列有導(dǎo)電粒子的光聚合性樹(shù)脂層傾斜地照射紫外線(xiàn)來(lái)進(jìn)行光自由基聚 合反應(yīng)，W形成導(dǎo)電粒子固定化于表面的第1連接層的工序;和 工序(C) 在第1連接層的導(dǎo)電粒子一側(cè)表面上形成由熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合性樹(shù)脂層、或 者熱或光自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第2連接層的工序。
[0015] (通過(guò)二階段的光聚合反應(yīng)形成第1連接層的情況） 工序(AA) 在光聚合性樹(shù)脂層上使導(dǎo)電粒子W單層排列的工序； 工序(BB) 通過(guò)相對(duì)于排列有導(dǎo)電粒子的光聚合性樹(shù)脂層傾斜地照射紫外線(xiàn)來(lái)進(jìn)行光自由基聚 合反應(yīng)，W形成導(dǎo)電粒子假固定化于表面的假第1連接層的工序； 工序(CC) 在假第I連接層的導(dǎo)電粒子一側(cè)表面上形成由熱陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂 層構(gòu)成的第2連接層的工序;和 工序化D) 通過(guò)從與第2連接層相反一側(cè)對(duì)假第1連接層照射紫外線(xiàn)來(lái)進(jìn)行光聚合反應(yīng)，W使假第 1連接層真正固化而形成第1連接層的工序。
[0016] 另外，本發(fā)明提供上述本發(fā)明的第2方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造方法，其中，所 述制造方法具有通過(guò)一階段的光聚合反應(yīng)形成第1連接層的W下的工序(A^ )~(CO或通過(guò) 二階段的光聚合反應(yīng)形成第1連接層的后述工序(AA^ )~(DD^ )。
[0017] (通過(guò)一階段的光聚合反應(yīng)形成第1連接層的情況） 工序(A') 在光聚合性樹(shù)脂層上使導(dǎo)電粒子W單層排列的工序； 工序(BO 通過(guò)相對(duì)于排列有導(dǎo)電粒子的光聚合性樹(shù)脂層從至少2個(gè)方向傾斜地照射紫外線(xiàn)來(lái)進(jìn) 行光聚合反應(yīng)，W形成導(dǎo)電粒子固定化于表面的第1連接層的工序;和 工序(C) 在第1連接層的導(dǎo)電粒子一側(cè)表面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù) 脂層構(gòu)成的第2連接層的工序。
[0018] (通過(guò)二階段的光聚合反應(yīng)形成第1連接層的情況） 工序(AA') 在光聚合性樹(shù)脂層上使導(dǎo)電粒子W單層排列的工序； 工序(BB') 通過(guò)相對(duì)于排列有導(dǎo)電粒子的光聚合性樹(shù)脂層從至少2個(gè)方向傾斜地照射紫外線(xiàn)來(lái)進(jìn) 行光聚合反應(yīng)，W形成導(dǎo)電粒子假固定化于表面的假第1連接層的工序； 工序(CC') 在假第1連接層的導(dǎo)電粒子一側(cè)表面上形成由熱陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂 層構(gòu)成的第2連接層的工序;和 工序化〇/) 通過(guò)從與第2連接層相反一側(cè)對(duì)假第1連接層照射紫外線(xiàn)來(lái)進(jìn)行光聚合反應(yīng)，W使假第 1連接層真正固化而形成第1連接層的工序。
[0019] 將工序(CC)及(CC^ )中形成第2連接層時(shí)使用的引發(fā)劑限定為熱聚合引發(fā)劑，是為 了不對(duì)作為各向異性導(dǎo)電膜的制品壽命、連接及連接構(gòu)造體的穩(wěn)定性產(chǎn)生不良影響。也就 是說(shuō)，在分二階段對(duì)第1連接層照射紫外線(xiàn)時(shí)，由于其工序上的制約，有時(shí)不得不將第2連接 層限定為熱聚合固化性。此外，在連續(xù)進(jìn)行二階段照射時(shí)，由于可W通過(guò)與一階段大致同樣 的工序形成，所W可W期待相等的作用效果。
[0020] 另外，本發(fā)明提供在第1連接層的另一面上具有與第2連接層同樣結(jié)構(gòu)的第3連接 層的各向異性導(dǎo)電膜的制造方法，其中，所述制造方法:除了 W上的工序(A)~(C)之外在工 序(C)之后(或除了工序(y)~(CO之外在工序(C^ )之后)還具有W下的工序(Z)，或除了 W 上的工序(AA)~(DD)之外在工序(孤)之后（或除了工序(AA^ )~(孤/)之外在工序(DD^ )之 后)還具有W下的工序(z)。
[0021] 工序(Z) 在第1連接層的與導(dǎo)電粒子一側(cè)相反的面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚 合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第3連接層的工序。
[0022] 此外，本發(fā)明提供在第1連接層的另一面上具有與第2連接層大致同樣結(jié)構(gòu)的第3 連接層的各向異性導(dǎo)電膜的制造方法，其中，所述制造方法:除了 W上的工序(A)~(C)之外 在工序(A)之前(或除了工序(A^ )~(C^ )之外在工序(y )之前)還具有W下的工序(a),或除 了 W上的工序（AA)~（DD)之外在工序(AA)之前（或除了工序（AA^ )~（DD^ )之外在工序 (AA^ )之前)還具有W下的工序(a)。
[0023] 工序(a) 在光聚合性樹(shù)脂層的一面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成 的第3連接層的工序。
[0024] 此外，在具有該工序(a)的制造方法的工序(A)或工序(A^ )或者工序(AA)或工序 (AA^ )中，在光聚合性樹(shù)脂層的另一面上使導(dǎo)電粒子W單層排列即可。
[0025] 在運(yùn)樣的工序中設(shè)置第3連接層時(shí)，由于上述的理由，優(yōu)選將聚合引發(fā)劑限定為基 于熱反應(yīng)的聚合引發(fā)劑。然而，只要是在設(shè)置第1連接層之后通過(guò)不對(duì)制品壽命或連接造成 不良影響的方法設(shè)置含有光聚合引發(fā)劑的第2及第3連接層，就不對(duì)含有光聚合引發(fā)劑的按 照本發(fā)明主旨的各向異性導(dǎo)電膜的制作有特別限制。
[0026] 此外，第2連接層或第3連接層的任一方作為粘性層發(fā)揮功能的方式也包括在本發(fā) 明中。
[0027] 另外，本發(fā)明提供連接構(gòu)造體，其是通過(guò)上述的各向異性導(dǎo)電膜使第1電子部件與 第2電子部件進(jìn)行各向異性導(dǎo)電連接而得。
[0028] 發(fā)明效果 本發(fā)明的第1方式及第2方式的各向異性導(dǎo)電膜具有由光聚合樹(shù)脂層構(gòu)成的第1連接層 和在其一面上形成的由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第2連接層，此 夕h第1連接層的第2連接層一側(cè)表面上，各向異性導(dǎo)電連接用的導(dǎo)電粒子W單層排列。因 此，可W將導(dǎo)電粒子牢固地固定化于第1連接層上。而且，本發(fā)明的第1方式的各向異性導(dǎo)電 膜的情況下，關(guān)于第1連接層的固化率，由于傾斜地進(jìn)行光照射，所W具有比其第2連接層一 側(cè)表面的固化率低的固化率的區(qū)域相對(duì)于第1連接層的厚度方向傾斜地存在。其結(jié)果是，各 向異性導(dǎo)電連接時(shí)，由于可W使低固化率的區(qū)域及導(dǎo)電粒子的流動(dòng)方向在傾斜方向上一 致，所W可W在不損失初始導(dǎo)通特性或?qū)煽啃缘那闆r下大幅抑制短路的發(fā)生。另外，本 發(fā)明的第2方式的各向異性導(dǎo)電膜的情況下，由于從至少2個(gè)方向傾斜地進(jìn)行紫外線(xiàn)的照 射，所W第1連接層中的導(dǎo)電粒子下方(背側(cè)）的區(qū)域因?qū)щ娏Ｗ拥拇嬖诙幢怀浞值卣丈?紫外線(xiàn)，因此固化率相對(duì)低。換言之，與第1連接層的一面(第2連接層一側(cè)表面)的固化率相 比，第1連接層的導(dǎo)電粒子附近區(qū)域中與第1連接層的另一面相對(duì)近的區(qū)域的固化率低。其 結(jié)果是，第1連接層中的導(dǎo)電粒子下方(背側(cè)）的區(qū)域顯示良好的壓入性(押性），因此 可W實(shí)現(xiàn)良好的導(dǎo)通可靠性、絕緣性、安裝導(dǎo)電粒子捕捉率。此外，所謂第1連接層的導(dǎo)電粒 子附近區(qū)域，是指包圍導(dǎo)電粒子的導(dǎo)電粒子粒徑的0.2~5倍寬度的區(qū)域。該第1連接層樹(shù)脂 層的固化率相對(duì)低的區(qū)域優(yōu)選僅存在于第1連接層內(nèi)。運(yùn)是為了防止在開(kāi)始連接時(shí)的壓入 時(shí)導(dǎo)電粒子偏離到連接方向W外。
[0029] 此外，在各向異性導(dǎo)電連接利用熱時(shí)，變成與通常的各向異性導(dǎo)電膜的連接方法 同樣的方法。在利用光時(shí)，進(jìn)行利用連接工具的壓入直到反應(yīng)結(jié)束即可。在該情況下，為了 促進(jìn)樹(shù)脂流動(dòng)或粒子的壓入，也多將連接工具等加熱。另外，在并用熱和光時(shí)，也與上述同 樣地進(jìn)行即可。
【附圖說(shuō)明】
[0030] 圖1是本發(fā)明的第1方式的各向異性導(dǎo)電膜的截面圖。
[0031] 圖2是本發(fā)明的第1方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(A)的說(shuō)明圖。
[0032] 圖3A是本發(fā)明的第1方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(B)的說(shuō)明圖。
[0033] 圖3B是本發(fā)明的第1方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(B)的說(shuō)明圖。
[0034] 圖4A是本發(fā)明的第1方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(C)的說(shuō)明圖。
[0035] 圖4B是本發(fā)明的第1方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(C)的說(shuō)明圖。
[0036] 圖5是本發(fā)明的第1方式所包含的各向異性導(dǎo)電膜的截面圖。
[0037] 圖6是本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(AA)的說(shuō)明圖。
[0038] 圖7A是本發(fā)明的第1方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(BB)的說(shuō)明圖。
[0039] 圖7B是本發(fā)明的第1方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(BB)的說(shuō)明圖。
[0040] 圖8A是本發(fā)明的第1方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(CC)的說(shuō)明圖。
[0041] 圖8B是本發(fā)明的第1方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(CC)的說(shuō)明圖。
[0042] 圖9A是本發(fā)明的第1方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(DD)的說(shuō)明圖。
[0043] 圖9B是本發(fā)明的第1方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(DD)的說(shuō)明圖。
[0044] 圖10是本發(fā)明的第2方式的各向異性導(dǎo)電膜的截面圖。
[0045] 圖11是本發(fā)明的第2方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(AO的說(shuō)明圖。
[0046] 圖12A是本發(fā)明的第2方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(BO的說(shuō)明圖。
[0047] 圖12B是本發(fā)明的第2方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(BO的說(shuō)明圖。
[0048] 圖13A是本發(fā)明的第2方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(CO的說(shuō)明圖。
[0049] 圖13B是本發(fā)明的第2方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(CO的說(shuō)明圖。
[0050] 圖14是本發(fā)明的第2方式的各向異性導(dǎo)電膜的截面圖。
[0051] 圖15是本發(fā)明的第2方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(AA^ )的說(shuō)明圖。
[0052] 圖16A是本發(fā)明的第2方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(BB^ )的說(shuō)明圖。
[0053] 圖16B是本發(fā)明的第2方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(BB^ )的說(shuō)明圖。
[0054] 圖17A是本發(fā)明的第2方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(CC^ )的說(shuō)明圖。
[0055] 圖17B是本發(fā)明的第2方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(CC^ )的說(shuō)明圖。
[0056] 圖18A是本發(fā)明的第2方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(DD^ )的說(shuō)明圖。
[0057] 圖18B是本發(fā)明的第2方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造工序(DD^ )的說(shuō)明圖。
【具體實(shí)施方式】
[005引 << 本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜>> W下，詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的第1方式及第2方式的各向異性導(dǎo)電膜(W下，有時(shí)僅稱(chēng)為本發(fā) 明的各向異性導(dǎo)電膜)的優(yōu)選的一個(gè)例子。
[0059] 圖1所示的本發(fā)明的第1方式的各向異性導(dǎo)電膜IW及圖10所示的本發(fā)明的第2方 式的各向異性導(dǎo)電膜1具有:在由使光聚合性樹(shù)脂層進(jìn)行光聚合而得的光聚合樹(shù)脂層構(gòu)成 的第1連接層2的一面上形成有由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第2 連接層3的構(gòu)造。而且，第1連接層2的第2連接層3-側(cè)的表面2a上，為了各向異性導(dǎo)電連接， 導(dǎo)電粒子4W單層排列，優(yōu)選均等地排列。運(yùn)里，均等意指導(dǎo)電粒子在平面方向上排列的狀 態(tài)。對(duì)于該規(guī)則性，也可W W-定的間隔設(shè)置。
[0060] <第推接層2> 構(gòu)成本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜1的第1連接層2是使光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性 樹(shù)脂層等的光聚合性樹(shù)脂層進(jìn)行光聚合而得的光聚合樹(shù)脂層，因此可W使導(dǎo)電粒子固定 化。另外，由于是聚合狀態(tài)，所W，即使在各向異性導(dǎo)電連接時(shí)進(jìn)行加熱，樹(shù)脂也難W流動(dòng)， 故而能夠大幅抑制短路的發(fā)生，因此可W提高導(dǎo)通可靠性和絕緣性，且還可W提高安裝粒 子捕捉率。特別優(yōu)選第1連接層2是使含有丙締酸醋化合物和光自由基聚合引發(fā)劑的光自由 基聚合性樹(shù)脂層進(jìn)行光自由基聚合而得的光自由基聚合樹(shù)脂層。W下，就第1連接層2是光 自由基聚合樹(shù)脂層的情況進(jìn)行說(shuō)明。
[0061] (丙締酸醋化合物） 作為變成丙締酸醋單元的丙締酸醋化合物，可W使用W往公知的光自由基聚合性丙締 酸醋。例如，可W使用單官能（甲基）丙締酸醋（運(yùn)里，（甲基）丙締酸醋中包括丙締酸醋和甲 基丙締酸醋）、二官能W上的多官能（甲基)丙締酸醋。本發(fā)明中，為了使粘接劑為熱固化性， 優(yōu)選丙締系單體的至少一部分使用多官能（甲基)丙締酸醋。
[0062] 就第1連接層2中的丙締酸醋化合物的含量而言，過(guò)少則存在難W賦予與第2連接 層3的粘度之差的傾向，過(guò)多則存在固化收縮大而操作性降低的傾向，因此優(yōu)選為2~70質(zhì) 量％，更優(yōu)選為10~50質(zhì)量％。
[0063] (光自由基聚合引發(fā)劑） 作為光自由基聚合引發(fā)劑，可W從公知的光自由基聚合引發(fā)劑中適當(dāng)選擇使用。例如， 可W列舉苯乙酬類(lèi)光聚合引發(fā)劑、苯甲基縮酬類(lèi)光聚合引發(fā)劑、憐類(lèi)光聚合引發(fā)劑等。
[0064] 就光自由基聚合引發(fā)劑的使用量而言，相對(duì)于丙締酸醋化合物100質(zhì)量份，過(guò)少則 光自由基聚合不充分進(jìn)行，過(guò)多則成為剛性降低的原因，因此優(yōu)選為0.1~25質(zhì)量份，更優(yōu) 選為0.5~15質(zhì)量份。
[00化](導(dǎo)電粒子） 作為導(dǎo)電粒子，可W從W往公知的用于各向異性導(dǎo)電膜的導(dǎo)電粒子中適當(dāng)選擇使用。 例如，可列舉:儀、鉆、銀、銅、金、鈕等金屬粒子，金屬包覆樹(shù)脂粒子等。也能夠并用巧巾W上。
[0066] 作為導(dǎo)電粒子的平均粒徑，過(guò)小則存在不能夠吸收布線(xiàn)的高度偏差而電阻變高的 傾向，過(guò)大也存在成為短路的原因的傾向，因此優(yōu)選為1~10皿，更優(yōu)選為2~6皿。
[0067] 就運(yùn)樣的導(dǎo)電粒子在第1連接層2中的粒子量而言，過(guò)少則安裝導(dǎo)電粒子捕捉數(shù)降 低而各向異性導(dǎo)電連接變難，過(guò)多則有短路之虞，因此優(yōu)選為每1平方mm為50~50000個(gè)，更 優(yōu)選為200~30000個(gè)。
[0068] 根據(jù)需要，可W在第1連接層2中并用苯氧基樹(shù)脂、環(huán)氧樹(shù)脂、不飽和聚醋樹(shù)脂、飽 和聚醋樹(shù)脂、聚氨醋樹(shù)脂、下二締樹(shù)脂、聚酷亞胺樹(shù)脂、聚酷胺樹(shù)脂、聚締控樹(shù)脂等的成膜樹(shù) 月旨。第2連接層及第3連接層中也可同樣地并用。
[0069] 就第1連接層2的層厚而言，過(guò)薄則存在安裝導(dǎo)電粒子捕捉率降低的傾向，過(guò)厚則 存在導(dǎo)通電阻變高的傾向，因此優(yōu)選為1.0~6.0M1，更優(yōu)選為2.0~5.Owii。
[0070] 第1連接層2中還可W含有環(huán)氧化合物和熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合引發(fā)劑。在該 情況下，如后所述，優(yōu)選第2連接層3也為含有環(huán)氧化合物和熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合引 發(fā)劑的熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合性樹(shù)脂層。由此，可W提高層間剝離強(qiáng)度。對(duì)于環(huán)氧化合 物和熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合引發(fā)劑，通過(guò)第2連接層3進(jìn)行說(shuō)明。
[0071] 第1連接層2中，如圖1(或圖10)所示，優(yōu)選導(dǎo)電粒子4陷入第2連接層3中（換言之， 導(dǎo)電粒子4在第1連接層2的表面上露出）。運(yùn)是因?yàn)?，若?dǎo)電粒子全部埋入第1連接層2中，貝U 有導(dǎo)通電阻變高之虞。就陷入的程度而言，過(guò)小則存在安裝導(dǎo)電粒子捕捉率降低的傾向，過(guò) 大則存在導(dǎo)通電阻變高的傾向，因此優(yōu)選為導(dǎo)電粒子的平均粒徑的10~90%，更優(yōu)選為20~ 80〇/〇。
[0072] 另外，圖1所示的本發(fā)明的第1方式的各向異性導(dǎo)電膜的第1連接層2中，由于傾斜 地進(jìn)行光照射，所W具有比第2連接層一側(cè)的第1連接層的表面的固化率低的固化率的區(qū)域 在第1連接層的厚度方向上傾斜地存在。由此，在各向異性導(dǎo)電連接的熱壓接時(shí)，容易排除 第1連接層的區(qū)域2X，提高導(dǎo)通可靠性。運(yùn)里，固化率是定義為乙締基的減少比率的數(shù)值，第 1連接層的區(qū)域2X的固化率優(yōu)選為40~80%，第1連接層的區(qū)域2Y的固化率優(yōu)選為70~100%。
[0073] 另外，圖10所示的本發(fā)明的第2方式的各向異性導(dǎo)電膜的第1連接層2中，與第1連 接層2的一面(第2連接層一側(cè)表面）（第1連接層的區(qū)域2Y)的固化率相比，優(yōu)選第1連接層2 的導(dǎo)電粒子附近區(qū)域中與第1連接層2的另一面(最外表面2b)相對(duì)近的區(qū)域(第1連接層的 區(qū)域2X)的固化率低。由此，在各向異性導(dǎo)電連接的熱壓接時(shí)，容易排除第1連接層的區(qū)域 2X，提高導(dǎo)通可靠性。運(yùn)里，固化率是定義為乙締基的減少比率的數(shù)值，第1連接層的區(qū)域2X 的固化率優(yōu)選為40~80%，第1連接層的區(qū)域2Y的固化率優(yōu)選為70~100%。
[0074] 此外，對(duì)于形成第1連接層2時(shí)的光自由基聚合，可W W-階段（即，一次光照射)進(jìn) 行，也可W W二階段(即，二次光照射)進(jìn)行。在該情況下，對(duì)于第二階段的光照射，優(yōu)選在第 1連接層2的一面上形成第2連接層3之后，在含氧氣氛(大氣中）下從第1連接層2的另一面?zhèn)?進(jìn)行。由此，可W期待下述效果：自由基聚合反應(yīng)受到氧阻礙，未固化成分的表面濃度變高， 可W提高粘性。另外，通過(guò)W二階段進(jìn)行固化，也使聚合反應(yīng)復(fù)雜化，因此，還可W期待樹(shù)脂 或粒子的流動(dòng)性的精細(xì)控制成為可能。
[0075] 運(yùn)樣的二階段的光自由基聚合中的第1連接層的區(qū)域2X在第一階段中的固化率優(yōu) 選為10~50%，第二階段中的固化率優(yōu)選為40~80%，第1連接層的區(qū)域2Y在第一階段中的固 化率優(yōu)選為30~90%，第二階段中的固化率優(yōu)選為70~100%。
[0076] 另外，在形成第1連接層2時(shí)的光自由基聚合反應(yīng)W二階段進(jìn)行時(shí)，作為自由基聚 合引發(fā)劑也可W僅使用1種，但由于粘性提高而優(yōu)選使用引發(fā)自由基反應(yīng)的波長(zhǎng)范圍不同 的巧中光自由基聚合引發(fā)劑。例如，優(yōu)選并用:通過(guò)來(lái)自LED光源的波長(zhǎng)365nm的光引發(fā)自由 基反應(yīng)的光自由基聚合引發(fā)劑(例如，IRGACURE369，BASUapan(株）），和通過(guò)來(lái)自高壓水銀 燈光源的光引發(fā)自由基反應(yīng)的光自由基聚合引發(fā)劑（例如，IRGACURE2959，BASF化pan (株））。運(yùn)樣，通過(guò)使用巧中不同的光自由基聚合引發(fā)劑使樹(shù)脂的結(jié)合復(fù)雜化，因此，可更精 細(xì)地控制連接時(shí)樹(shù)脂的熱流動(dòng)行為。運(yùn)是因?yàn)?，在各向異性?dǎo)電連接的壓入時(shí)，粒子容易受 到在厚度方向上施加的力，但由于面方向上的流動(dòng)受到抑制，所W更容易表現(xiàn)本發(fā)明的效 果。
[0077] 另外，第1連接層2的經(jīng)流變儀測(cè)定時(shí)的最低烙融粘度比第2連接層3的最低烙融粘 度高，具體而言，[第1連接層2的最低烙融粘度(m化IS)]/[第2連接層3的最低烙融粘度 (mPa，S)]的數(shù)值優(yōu)選為1~1000，更優(yōu)選為4~400。此外，就各自的優(yōu)選最低烙融粘度而言， 前者為100~1000 OOmPa ? S，更優(yōu)選為500~SOOOOmPa ? S。后者優(yōu)選為0.1~1000 OmPa ? S，更優(yōu) 選為 0.5 ~lOOOmPa-s。
[0078] 第1連接層2的形成可如下進(jìn)行:在含有光自由基聚合性丙締酸醋和光自由基聚合 引發(fā)劑的光自由基聚合性樹(shù)脂層上，通過(guò)膜轉(zhuǎn)印法、模具轉(zhuǎn)印法、噴墨法、靜電附著法等方 法附著導(dǎo)電粒子，從導(dǎo)電粒子側(cè)、其相反側(cè)或兩側(cè)照射紫外線(xiàn)。特別是，從可W將第1連接層 的區(qū)域2X的固化率抑制為相對(duì)低的方面出發(fā)，優(yōu)選僅從導(dǎo)電粒子側(cè)照射紫外線(xiàn)。
[0079] <第2連接層3> 第2連接層3由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成，優(yōu)選由含有環(huán)氧化 合物和熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合引發(fā)劑的熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成，或 由含有丙締酸醋化合物和熱或光自由基聚合引發(fā)劑的熱或光自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成。運(yùn) 里，由熱聚合性樹(shù)脂層形成第2連接層3在生產(chǎn)的簡(jiǎn)便性及質(zhì)量穩(wěn)定性方面優(yōu)選，因?yàn)椴粫?huì) 由于形成第1連接層2時(shí)的紫外線(xiàn)照射而產(chǎn)生第2連接層3的聚合反應(yīng)。
[0080] 在第2連接層3是熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合性樹(shù)脂層時(shí)，還可W含有丙締酸醋化 合物和熱或光自由基聚合引發(fā)劑。由此，可W提高第1連接層2和層間剝離強(qiáng)度。
[0081] (環(huán)氧化合物） 在第2連接層3是含有環(huán)氧化合物和熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合引發(fā)劑的熱或光陽(yáng)離 子或陰離子聚合性樹(shù)脂層時(shí)，作為環(huán)氧化合物，可優(yōu)選列舉出在分子內(nèi)具有2個(gè)W上的環(huán)氧 基的化合物或樹(shù)脂。它們可W是液狀，也可W是固體狀。
[0082] (熱陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑） 作為熱陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑，可W采用作為環(huán)氧化合物的熱陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑公知的引 發(fā)劑，例如，可W使用通過(guò)熱使陽(yáng)離子聚合性化合物進(jìn)行陽(yáng)離子聚合而產(chǎn)生得到的酸的公 知的艦鐵鹽、硫鐵鹽、憐鐵鹽、二茂鐵類(lèi)等，可W優(yōu)選使用對(duì)溫度顯示良好的潛在性的芳香 族硫鐵鹽。
[0083] 就熱陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑的滲混量而言，過(guò)少則存在固化不良的傾向，過(guò)多則存在 制品壽命降低的傾向，因此，相對(duì)于環(huán)氧化合物100質(zhì)量份，優(yōu)選為2~60質(zhì)量份，更優(yōu)選為5 ~40質(zhì)量份。
[0084] (熱陰離子聚合引發(fā)劑） 作為熱陰離子聚合引發(fā)劑，可W采用作為環(huán)氧化合物的熱陰離子聚合引發(fā)劑而公知的 引發(fā)劑，例如，可W使用通過(guò)熱使陰離子聚合性化合物進(jìn)行陰離子聚合而產(chǎn)生得到的堿的 公知的脂肪族胺類(lèi)化合物、芳香族胺類(lèi)化合物、二級(jí)或=級(jí)胺類(lèi)化合物、咪挫類(lèi)化合物、聚 硫醇類(lèi)化合物、=氣化棚-胺絡(luò)合物、雙氯胺、有機(jī)酷阱等，可W優(yōu)選使用對(duì)溫度顯示良好的 潛在性的膠囊化咪挫類(lèi)化合物。
[0085] 就熱陰離子聚合引發(fā)劑的滲混量而言，過(guò)少則存在固化不良的傾向，過(guò)多則存在 制品壽命降低的傾向，因此，相對(duì)于環(huán)氧化合物100質(zhì)量份，優(yōu)選為2~60質(zhì)量份，更優(yōu)選為5 ~40質(zhì)量份。
[0086] (光陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑及光陰離子聚合引發(fā)劑） 作為環(huán)氧化合物用的光陽(yáng)離子聚合引發(fā)劑或光陰離子聚合引發(fā)劑，可W適當(dāng)使用公知 的引發(fā)劑。
[0087] (丙締酸醋化合物） 在第2連接層3是含有丙締酸醋化合物和熱或光自由基聚合引發(fā)劑的熱或光自由基聚 合性樹(shù)脂層時(shí)，作為丙締酸醋化合物，可W從關(guān)于第1連接層2說(shuō)明的那些中適當(dāng)選擇使用。
[0088] (熱自由基聚合引發(fā)劑） 另外，作為熱自由基聚合引發(fā)劑，例如，可列舉有機(jī)過(guò)氧化物或偶氮類(lèi)化合物等，但可 優(yōu)選使用不發(fā)生成為氣泡的原因的氮的有機(jī)過(guò)氧化物。
[0089] 就熱自由基聚合引發(fā)劑的使用量而言，過(guò)少則固化不良，過(guò)多則制品壽命降低，因 此，相對(duì)于丙締酸醋化合物100質(zhì)量份，優(yōu)選為2~60質(zhì)量份，更優(yōu)選為5~40質(zhì)量份。
[0090] (光自由基聚合引發(fā)劑） 作為丙締酸醋化合物用的光自由基聚合引發(fā)劑，可W使用公知的光自由基聚合引發(fā) 劑。
[0091] 就光自由基聚合引發(fā)劑的使用量而言，過(guò)少則固化不良，過(guò)多則制品壽命降低，因 此，相對(duì)于丙締酸醋化合物100質(zhì)量份，優(yōu)選為2~60質(zhì)量份，更優(yōu)選為5~40質(zhì)量份。
[0092] (第3連接層5) W上，對(duì)圖1及圖10的2層構(gòu)造的各向異性導(dǎo)電膜進(jìn)行了說(shuō)明，但如圖5及圖14所示，也 可W在第1連接層2的另一面上形成第3連接層5。由此，可得到更精細(xì)地控制層整體的流動(dòng) 性成為可能的效果。運(yùn)里，作為第3連接層5,也可使其與上述的第2連接層3為相同結(jié)構(gòu)。即， 第3連接層5與第2連接層3同樣，由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成。對(duì)于 運(yùn)樣的第3連接層5,可W在第1連接層的一面上形成第2連接層之后在第1連接層的另一面 上形成，也可W在形成第2連接層前，在第1連接層或作為其前體的光聚合性樹(shù)脂層的另一 面(未形成第2連接層的面)上預(yù)先形成第3連接層。
[0093] <<本發(fā)明的第1方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造方法>> 對(duì)于本發(fā)明的第1方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造方法，可列舉進(jìn)行一階段的光聚合反 應(yīng)的制造方法和進(jìn)行二階段的光聚合反應(yīng)的制造方法。
[0094] <進(jìn)行一階段的光聚合反應(yīng)的制造方法> 說(shuō)明W-階段進(jìn)行光聚合來(lái)制造圖1(圖4B)的各向異性導(dǎo)電膜的一個(gè)例子。該制造例 具有W下的工序(A)~(C)。
[0095] (工序(A)) 如圖2所示，在根據(jù)需要于剝離膜30上形成的光聚合性樹(shù)脂層31上，W單層排列導(dǎo)電粒 子4。作為導(dǎo)電粒子4的排列方法，無(wú)特別限制，可W采用：日本專(zhuān)利第4789738號(hào)的實(shí)施例1 的對(duì)未延伸聚丙締膜利用2軸延伸操作的方法，和日本特開(kāi)2010-33793號(hào)公報(bào)的使用模具 的方法等。此外，作為排列的程度，考慮到連接對(duì)象的尺寸、導(dǎo)通可靠性、絕緣性、安裝導(dǎo)電 粒子捕捉率等，優(yōu)選在2維上相互間隔1~IOOwii程度地排列。
[0096] (工序(B)) 接著，如圖3A所示，相對(duì)于排列有導(dǎo)電粒子4的光聚合性樹(shù)脂層31，通過(guò)使用Lm)光源等 從導(dǎo)電粒子側(cè)傾斜地照射紫外線(xiàn)(UV)來(lái)進(jìn)行光聚合反應(yīng)，W形成導(dǎo)電粒子4固定化于表面 的第1連接層2。由此，如圖3B所示，可W使位于導(dǎo)電粒子4和第1連接層2的最外表面之間的 傾斜的第1連接層的區(qū)域2X的固化率與位于相互鄰接的導(dǎo)電粒子4間的第1連接層的區(qū)域2Y 的固化率相比降低。照射時(shí)，可根據(jù)需要W脈沖狀照射紫外線(xiàn)，也可設(shè)置遮光器進(jìn)行照射。 通過(guò)運(yùn)樣做，粒子的背側(cè)的固化性可靠地變低，可W使接合時(shí)的壓入容易，且使導(dǎo)電粒子的 流動(dòng)方向在傾斜方向上一致，可W防止多個(gè)導(dǎo)電粒子過(guò)度連結(jié)，可W抑制短路的發(fā)生。
[0097]所謂傾斜地照射紫外線(xiàn)，是指相對(duì)于光聚合性樹(shù)脂層31W傾斜角照射紫外線(xiàn)。該 傾斜角媽〇°< K90°，優(yōu)選為30°《K60°。在該情況下，優(yōu)選在與各向異性導(dǎo)電膜的長(zhǎng)度 方向正交的方向上傾斜。運(yùn)樣，可W使導(dǎo)電粒子的流動(dòng)方向和凸點(diǎn)的長(zhǎng)度方向（即，各向異 性導(dǎo)電膜的寬度方向）一致。在該情況下，優(yōu)選地，掩蔽各向異性導(dǎo)電膜的長(zhǎng)度方向的光聚 合性樹(shù)脂層的左半部分，相對(duì)于右半部分，W向著各向異性導(dǎo)電膜的右邊產(chǎn)生流動(dòng)的方式 傾斜地照射紫外線(xiàn)，接著，掩蔽右半部分，相對(duì)于左半部分，W向著各向異性導(dǎo)電膜的左邊 產(chǎn)生流動(dòng)的方式傾斜地照射紫外線(xiàn)。
[009引（工序(C)) 接著，如圖4A所示，在第1連接層2的導(dǎo)電粒子4 一側(cè)表面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離 子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第2連接層3。作為具體的一個(gè)例子，將在剝離膜40上通過(guò) 常法形成的第2連接層3載置于第1連接層2的導(dǎo)電粒子4 一側(cè)表面上，熱壓接至不產(chǎn)生過(guò)度 的熱聚合的程度。然后，通過(guò)除掉剝離膜30和40,可得到圖4B的各向異性導(dǎo)電膜。
[0099] 此外，圖5的各向異性導(dǎo)電膜100可通過(guò)在工序(C)之后實(shí)施W下的工序(Z)來(lái)得 到。
[0100] (工序(Z)) 在第1連接層的與導(dǎo)電粒子一側(cè)相反的面上，優(yōu)選與第2連接層同樣地，形成由熱或光 陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第3連接層。由此，可得到圖5的各向異性導(dǎo)電 膜。
[0101] 另外，圖5的各向異性導(dǎo)電膜100也可在不進(jìn)行工序(Z)的情況下通過(guò)在工序(A)之 前實(shí)施W下的工序(a)來(lái)得到。
[0102] (工序(a)) 該工序是在光聚合性樹(shù)脂層的一面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù) 脂層構(gòu)成的第3連接層的工序。通過(guò)在該工序(a)之后繼續(xù)實(shí)施工序(A)、（B)及(C)，可得到 圖5的各向異性導(dǎo)電膜100。其中，工序(A)中，在光自由基聚合性樹(shù)脂層的另一面上使導(dǎo)電 粒子W單層排列。
[0103] (進(jìn)行二階段的光自由基聚合反應(yīng)的制造方法） 接著，說(shuō)明W二階段進(jìn)行光聚合來(lái)制造圖1(圖4B)的各向異性導(dǎo)電膜的一個(gè)例子。該制 造例具有W下的工序(AA)~(孤）。
[0104] (工序(AA)) 如圖6所示，在根據(jù)需要于剝離膜30上形成的光聚合性樹(shù)脂層31上，W單層排列導(dǎo)電粒 子4。作為導(dǎo)電粒子4的排列方法，無(wú)特別限制，可W采用：日本專(zhuān)利第4789738號(hào)的實(shí)施例1 的對(duì)未延伸聚丙締膜利用2軸延伸操作的方法，和日本特開(kāi)2010-33793號(hào)公報(bào)的使用模具 的方法等。此外，作為排列的程度，考慮到連接對(duì)象的尺寸、導(dǎo)通可靠性、絕緣性、安裝導(dǎo)電 粒子捕捉率等，優(yōu)選在2維上相互間隔I~lOOwii程度地排列。
[0105] (工序(BB)) 接著，如圖7A所示，相對(duì)于排列有導(dǎo)電粒子4的光聚合性樹(shù)脂層31，通過(guò)從導(dǎo)電粒子側(cè) 傾斜地照射紫外線(xiàn)化V)來(lái)進(jìn)行光自由基聚合反應(yīng)，W形成導(dǎo)電粒子4假固定化于表面的假 第1連接層20。由此，如圖7B所示，可W使位于導(dǎo)電粒子4和假第1連接層20的最外表面之間 的傾斜的假第1連接層的區(qū)域2X的固化率與位于相互鄰接的導(dǎo)電粒子4間的假第1連接層的 區(qū)域2Y的固化率相比降低。
[0106] (工序(CC)) 接著，如圖8A所示，在假第1連接層20的導(dǎo)電粒子4 一側(cè)表面上形成由熱陽(yáng)離子、陰離子 或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第2連接層3。作為具體的一個(gè)例子，將在剝離膜40上通過(guò)常 法形成的第2連接層3載置于第1連接層2的導(dǎo)電粒子4 一側(cè)表面上，熱壓接至不產(chǎn)生過(guò)度的 熱聚合的程度。然后，通過(guò)除掉剝離膜30和40,可得到圖8B的假各向異性導(dǎo)電膜50。
[0107] (工序(DD)) 接著，如圖9A所示，通過(guò)使用Lm)光源等從與第2連接層3相反一側(cè)對(duì)假第1連接層20照 射紫外線(xiàn)來(lái)進(jìn)行光自由基聚合反應(yīng)，W使假第1連接層20真正固化而形成第1連接層2。由 此，可得到圖9B的各向異性導(dǎo)電膜1。該工序中的紫外線(xiàn)的照射優(yōu)選從相對(duì)于假第1連接層 垂直的方向進(jìn)行。另外，優(yōu)選地，W第1連接層的區(qū)域2X和2Y的固化率差不消失的方式，隔著 掩模照射，或者通過(guò)照射部位設(shè)置照射光量的差。
[0108] 此外，W2階段進(jìn)行光自由基聚合時(shí)，圖5的各向異性導(dǎo)電膜100可W通過(guò)在工序 (DD)之后實(shí)施W下的工序(Z)來(lái)得到。
[0109] (工序(Z)) 在第1連接層的與導(dǎo)電粒子一側(cè)相反的面上，優(yōu)選與第2連接層同樣地，形成由熱或光 陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第3連接層。由此，可得到圖5的各向異性導(dǎo)電 膜。
[0110] 另外，圖5的各向異性導(dǎo)電膜100也可在不進(jìn)行工序(Z)的情況下通過(guò)在工序(AA) 之前實(shí)施W下的工序(a)來(lái)得到。
[01"](工序(a)) 該工序是在光聚合性樹(shù)脂層的一面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù) 脂層構(gòu)成的第3連接層的工序。通過(guò)在該工序(a)之后繼續(xù)實(shí)施工序(AA)~(DD)，可得到圖5 的各向異性導(dǎo)電膜100。其中，工序(AA)中，在光聚合性樹(shù)脂層的另一面上使導(dǎo)電粒子W單 層排列。在該情況下，作為形成第2連接層時(shí)使用的聚合引發(fā)劑，優(yōu)選適用熱聚合引發(fā)劑。在 光聚合引發(fā)劑的情況下，存在工序上對(duì)作為各向異性導(dǎo)電膜的制品壽命、連接及連接構(gòu)造 體的穩(wěn)定性造成不良影響之虞。
[0112] <<本發(fā)明的第2方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造方法>> 對(duì)于本發(fā)明的第2方式的各向異性導(dǎo)電膜的制造方法，與第1方式的各向異性導(dǎo)電膜的 制造方法同樣地，可列舉進(jìn)行一階段的光聚合反應(yīng)的制造方法和進(jìn)行二階段的光聚合反應(yīng) 的制造方法。
[0113] <進(jìn)行一階段的光聚合反應(yīng)的制造方法> 說(shuō)明W-階段進(jìn)行光聚合來(lái)制造圖1〇(圖13B)的各向異性導(dǎo)電膜的一個(gè)例子。該制造 例具有W下的工序(AO~(CO。
[0114] (工序(A')) 如圖11所示，在根據(jù)需要于剝離膜30上形成的光聚合性樹(shù)脂層31上，W單層排列導(dǎo)電 粒子4。作為導(dǎo)電粒子4的排列方法，無(wú)特別限制，可W采用：日本專(zhuān)利第4789738號(hào)的實(shí)施例 1的對(duì)未延伸聚丙締膜利用巧由延伸操作的方法，和日本特開(kāi)2010-33793號(hào)公報(bào)的使用模具 的方法等。此外，作為排列的程度，考慮到連接對(duì)象的尺寸、導(dǎo)通可靠性、絕緣性、安裝導(dǎo)電 粒子捕捉率等，優(yōu)選在2維上相互間隔1~IOOwii程度地排列。
[0115] (工序(B')) 接著，如圖12A所示，相對(duì)于排列有導(dǎo)電粒子4的光聚合性樹(shù)脂層31，通過(guò)使用Lm)光源 等從導(dǎo)電粒子側(cè)從至少2個(gè)方向傾斜地照射紫外線(xiàn)化V)來(lái)進(jìn)行光聚合反應(yīng)，W形成導(dǎo)電粒 子4固定化于表面的第1連接層2。由此，如圖12B所示，可W使位于導(dǎo)電粒子4和第1連接層2 的最外表面之間的第1連接層的區(qū)域2X(換言之，第1連接層的導(dǎo)電粒子背側(cè)區(qū)域)的固化率 與位于相互鄰接的導(dǎo)電粒子4間的第1連接層的區(qū)域2Y的固化率相比降低。換言之，第1連接 層2中，與第2連接層一側(cè)的第1連接層2的區(qū)域2Y的固化率相比，可W使第1連接層2的導(dǎo)電 粒子附近區(qū)域中與第1連接層2的另一面(最外表面化)相對(duì)近的區(qū)域(第1連接層的區(qū)域2X) 的固化率低。通過(guò)運(yùn)樣做，第1連接層的導(dǎo)電粒子背側(cè)區(qū)域的固化率可靠地變低，可W使接 合時(shí)的壓入容易，且還可防止導(dǎo)電粒子的流動(dòng)。
[0116] "從至少2個(gè)方向傾斜地"中的方向是相互交叉的方向，運(yùn)些方向也可不在相同面 內(nèi)。2個(gè)方向的情況下，優(yōu)選在相對(duì)于光聚合性樹(shù)脂層31垂直的平面內(nèi)線(xiàn)對(duì)稱(chēng)地傾斜。相對(duì) 于光聚合性樹(shù)脂層31，傾斜角猶選為0°< K；90°，更優(yōu)選為30°《K；60°。此外，多個(gè)方向 優(yōu)選具有相同傾斜角，但也可W具有不同傾斜角。例如，可列舉一個(gè)傾斜角媽30°而另一個(gè) 傾斜角媽60°的情況或一個(gè)為90°而另一個(gè)為30°的情況等。運(yùn)樣，通過(guò)從2個(gè)方向W上傾斜 地進(jìn)行光照射，可W使作為固化率相對(duì)低的區(qū)域的第1連接層的區(qū)域2X局部存在于導(dǎo)電粒 子的背側(cè)區(qū)域。另外，通過(guò)使2個(gè)方向的傾斜角度不對(duì)稱(chēng)，也可W控制第1連接層的區(qū)域2X的 位置。
[0117] (工序(C')) 接著，如圖13A所示，在第1連接層2的導(dǎo)電粒子4 一側(cè)表面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離 子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第2連接層3。作為具體的一個(gè)例子，將在剝離膜40上通過(guò) 常法形成的第2連接層3載置于第1連接層2的導(dǎo)電粒子4 一側(cè)表面上，熱壓接至不產(chǎn)生過(guò)度 的熱聚合的程度。然后，通過(guò)除掉剝離膜30和40,可得到圖13B的各向異性導(dǎo)電膜。
[0118] 此外，圖14的各向異性導(dǎo)電膜100可通過(guò)在工序(CO之后與本發(fā)明的第1方式的各 向異性導(dǎo)電膜的制造方法同樣地實(shí)施W下的工序(Z)來(lái)得到。
[0119] (工序(Z)) 在第1連接層的與導(dǎo)電粒子一側(cè)相反的面上，優(yōu)選與第2連接層同樣地，形成由熱或光 陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第3連接層。由此，可得到圖14的各向異性導(dǎo) 電膜。
[0120] 另外，圖14的各向異性導(dǎo)電膜100也可與本發(fā)明的第1方式的各向異性導(dǎo)電膜的制 造方法同樣地，通過(guò)在不進(jìn)行工序(Z)的情況下在工序(AO之前實(shí)施W下的工序(a)來(lái)得 到。
[0121] (工序(a)) 該工序是在光聚合性樹(shù)脂層的一面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù) 脂層構(gòu)成的第3連接層的工序。通過(guò)在該工序(a)之后繼續(xù)實(shí)施工序(y )、（B^ )及(C^ )，可得 到圖14的各向異性導(dǎo)電膜100。其中，工序(y)中，在光聚合性樹(shù)脂層的另一面上使導(dǎo)電粒 子W單層排列。
[0122] (進(jìn)行二階段的光聚合反應(yīng)的制造方法） 接著，說(shuō)明W二階段進(jìn)行光聚合來(lái)制造圖1〇(圖13B)的各向異性導(dǎo)電膜的一個(gè)例子。該 制造例具有W下的工序(AA^ )~(孤/ )。
[0123] (工序(AA')) 如圖15所示，在根據(jù)需要于剝離膜30上形成的光聚合性樹(shù)脂層31上，W單層排列導(dǎo)電 粒子4。作為導(dǎo)電粒子4的排列方法，無(wú)特別限制，可W采用：日本專(zhuān)利第4789738號(hào)的實(shí)施例 1的對(duì)未延伸聚丙締膜利用巧由延伸操作的方法，和日本特開(kāi)2010-33793號(hào)公報(bào)的使用模具 的方法等。此外，作為排列的程度，考慮到連接對(duì)象的尺寸、導(dǎo)通可靠性、絕緣性、安裝導(dǎo)電 粒子捕捉率等，優(yōu)選在2維上相互間隔1~IOOwii程度地排列。
[0124] (工序(BB')) 接著，如圖16A所示，相對(duì)于排列有導(dǎo)電粒子4的光聚合性樹(shù)脂層31，通過(guò)從導(dǎo)電粒子側(cè) 從至少2個(gè)方向傾斜地照射紫外線(xiàn)(UV)來(lái)進(jìn)行光聚合反應(yīng)，W形成導(dǎo)電粒子4假固定化于表 面的假第1連接層20。由此，如圖16B所示，可W使位于導(dǎo)電粒子4和假第1連接層20的最外表 面之間的假第1連接層的區(qū)域2X的固化率與位于相互鄰接的導(dǎo)電粒子4間的假第1連接層的 區(qū)域2Y的固化率相比降低。換言之，第1連接層20中，與假第1連接層20的一面(第2連接層一 側(cè)表面）（假第1連接層的區(qū)域2Y)的固化率相比，可W使假第1連接層20的導(dǎo)電粒子附近區(qū) 域中與假第1連接層20的另一面(最外表面化)相對(duì)近的區(qū)域(假第1連接層的區(qū)域2X)的固 化率低。
[0125] (工序(CC')) 接著，如圖17A所示，在假第1連接層20的導(dǎo)電粒子4側(cè)表面上形成由熱陽(yáng)離子、陰離子 或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第2連接層3。作為具體的一個(gè)例子，將在剝離膜40上通過(guò)常 法形成的第2連接層3載置于第1連接層2的導(dǎo)電粒子4 一側(cè)表面上，熱壓接至不產(chǎn)生過(guò)度的 熱聚合的程度。然后，通過(guò)除掉剝離膜30和40,可得到圖17B的假各向異性導(dǎo)電膜50。
[0126] (工序(DD')) 接著，如圖18A所示，通過(guò)使用L邸光源等從與第2連接層3相反一側(cè)對(duì)假第1連接層20照 射紫外線(xiàn)來(lái)進(jìn)行光聚合反應(yīng)，W使假第1連接層20真正固化而形成第1連接層2。由此，可得 到圖18B的各向異性導(dǎo)電膜1。該工序中的紫外線(xiàn)的照射優(yōu)選從相對(duì)于假第1連接層20垂直 的方向進(jìn)行。另外，優(yōu)選地，W第1連接層的區(qū)域2X和2Y的固化率差不消失的方式，隔著掩模 照射，或者通過(guò)照射部位設(shè)置照射光量的差。
[0127] 此外，W2階段進(jìn)行光聚合時(shí)，圖14的各向異性導(dǎo)電膜100可W與本發(fā)明的第1方式 的各向異性導(dǎo)電膜的制造方法同樣地通過(guò)在工序(DD^ )之后實(shí)施W下的工序(Z)來(lái)得到。 [012引任序(Z)) 在第1連接層的與導(dǎo)電粒子一側(cè)相反的面上，優(yōu)選與第2連接層同樣地，形成由熱或光 陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第3連接層。由此，可得到圖5的各向異性導(dǎo)電 膜。
[0129] 另外，圖14的各向異性導(dǎo)電膜100也可與本發(fā)明的第I方式的各向異性導(dǎo)電膜的制 造方法同樣地在不進(jìn)行工序(Z)的情況下通過(guò)在工序(AA^ )之前實(shí)施W下的工序(a)來(lái)得 到。
[0130] (工序(a)) 該工序是在光聚合性樹(shù)脂層的一面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù) 脂層構(gòu)成的第3連接層的工序。通過(guò)在該工序(a)之后繼續(xù)實(shí)施工序(Ay )~(DD^ )，可得到 圖14的各向異性導(dǎo)電膜100。其中，工序(AA/)中，在光聚合性樹(shù)脂層的另一面上使導(dǎo)電粒子 W單層排列。在該情況下，作為形成第2連接層時(shí)使用的聚合引發(fā)劑，優(yōu)選適用熱聚合引發(fā) 劑。在光聚合引發(fā)劑的情況下，存在工序上對(duì)作為各向異性導(dǎo)電膜的制品壽命、連接及連接 構(gòu)造體的穩(wěn)定性造成不良影響之虞。
[0131] <<連接構(gòu)造體>> 運(yùn)樣得到的本發(fā)明的各向異性導(dǎo)電膜可在對(duì)IC忍片、IC模塊等的第1電子部件和柔性 基板、玻璃基板等的第2電子部件進(jìn)行各向異性導(dǎo)電連接時(shí)優(yōu)選地適用。運(yùn)樣得到的連接構(gòu) 造體也是本發(fā)明的一部分。此外，從提高導(dǎo)通可靠性的方面出發(fā)，優(yōu)選地，將各向異性導(dǎo)電 膜的第1連接層一側(cè)配置于柔性基板等的第2電子部件一側(cè)，并將第2連接層一側(cè)配置于IC 忍片等的第1電子部件一側(cè)。 實(shí)施例
[0132] W下，通過(guò)實(shí)施例更具體地說(shuō)明本發(fā)明。
[0133] 實(shí)施例1~3、比較例1 按照日本專(zhuān)利第4789738號(hào)的實(shí)施例1(導(dǎo)電粒子的均等配置)的操作，進(jìn)行導(dǎo)電粒子的 排列，同時(shí)遵照表1所示的滲混（質(zhì)量份），制成了第1連接層和第2連接層層疊而成的2層構(gòu) 造的各向異性導(dǎo)電膜。
[0134] (第推接層） 具體而言，首先，將丙締酸醋化合物及光自由基聚合引發(fā)劑等在乙酸乙醋或甲苯中制 備成固體成分為50質(zhì)量%的混合液。將該混合液涂覆在厚度50WI1的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇醋 膜上，使干燥厚度為扣m，在8(TC的烘箱中干燥5分鐘，從而形成了作為第1連接層的前體層 的光自由基聚合性樹(shù)脂層。
[0135] 接著，相對(duì)于得到的自由基聚合性樹(shù)脂層，將平均粒徑4皿的導(dǎo)電粒子(鍛Ni/Au樹(shù) 脂粒子，A化704,積水化學(xué)工業(yè)(株））W相互間隔4皿且單層的方式排列。進(jìn)而，從該導(dǎo)電粒 子側(cè)相對(duì)于光自由基聚合性樹(shù)脂層，W表1記載的角度在與各向異性導(dǎo)電膜的長(zhǎng)度方向正 交的方向上照射來(lái)自Lm)光源的波長(zhǎng)365nm、累積光量4000mJ/cm2的紫外線(xiàn)，從而形成了導(dǎo) 電粒子固定于表面的第1連接層。在比較例1中，從導(dǎo)電粒子側(cè)W相對(duì)于光自由基聚合性樹(shù) 脂層呈90°的角度照射紫外線(xiàn)。
[0136] (第鏈接層） 將熱固化性樹(shù)脂及潛在性固化劑等在乙酸乙醋或甲苯中制備成固體成分為50質(zhì)量%的 混合液。將該混合液涂覆于厚度50皿的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇醋膜上，使干燥厚度為12皿，在 80°C的烘箱中干燥5分鐘，從而形成了第2連接層。
[0137](各向異性導(dǎo)電膜） 通過(guò)將運(yùn)樣得到的第1連接層和第2連接層W導(dǎo)電粒子位于內(nèi)側(cè)的方式層壓，得到了各 向異性導(dǎo)電膜。
[013引（連接構(gòu)造體樣品） 使用得到的各向異性導(dǎo)電膜，將0.5 X 1.8 X 20.0 mm大小的IC忍片（凸點(diǎn)(bump)尺寸30 X 85皿:凸點(diǎn)高度15皿，凸點(diǎn)間距50皿)在50 °C、5M化、1秒的條件下臨時(shí)貼合在0.5 X 50 X 30mm大小的Corning公司制的玻璃布線(xiàn)基板（1737F)上，進(jìn)而在180°C、80MPa、5秒的條件下 安裝，得到了連接構(gòu)造體樣品。
[0139] (實(shí)驗(yàn)評(píng)價(jià)） 對(duì)于得到的連接構(gòu)造體樣品，如W下說(shuō)明地，進(jìn)行"安裝導(dǎo)電粒子捕捉效率"、"各向異 性導(dǎo)電連接時(shí)的導(dǎo)電粒子的方向性"、"初始導(dǎo)通電阻"、"老化后的導(dǎo)通電阻"、"短路發(fā)生 率"的實(shí)驗(yàn)及評(píng)價(jià)。得到的結(jié)果示于表1。
[0140] "安裝導(dǎo)電粒子捕捉率" 安裝時(shí)，求得加熱加壓后實(shí)際捕捉的粒子量相對(duì)于加熱加壓前的連接構(gòu)造體樣品的凸 點(diǎn)上存在的理論粒子量的比例。對(duì)于粒子量，使用光學(xué)顯微鏡進(jìn)行計(jì)數(shù)。實(shí)際使用上，優(yōu)選 為50%W上。
[0141] "各向異性導(dǎo)電連接時(shí)的導(dǎo)電粒子的方向性" 通過(guò)光學(xué)顯微鏡觀測(cè)各向異性導(dǎo)電連接后的凸點(diǎn)所捕捉的導(dǎo)電粒子，通過(guò)Lm)的傾斜 研究了是否得到流動(dòng)方向的均勻性。對(duì)2個(gè)W上連結(jié)的導(dǎo)電粒子組計(jì)數(shù)100個(gè)單元(總計(jì)200 個(gè)），運(yùn)些中，將70%W上方向一致的計(jì)為"均勻"，不足的計(jì)為"隨機(jī)"。
[0142] "初始導(dǎo)通電阻" 使用數(shù)字萬(wàn)用表(Agilent Technologies(株）），測(cè)定了連接構(gòu)造體樣品的導(dǎo)通電阻 值。
[0143] "老化后的導(dǎo)通電阻" 將連接構(gòu)造體樣品在85°C、85%RH的高溫高濕環(huán)境下放置500小時(shí)，然后使用數(shù)字萬(wàn)用 表(Agilent Technologies(株））測(cè)定了導(dǎo)通電阻。實(shí)際使用上，優(yōu)選為4Q W下。
[0144] 。短路發(fā)生率" 求得7.5皿間隔的梳齒TEG圖案的短路發(fā)生率。實(shí)際使用上，只要為I(K)PPmW下，就可判 斷為絕緣性良好。
[0145] 由表1可知，對(duì)于實(shí)施例1~3的各向
異性導(dǎo)電膜，其制造時(shí)傾斜地進(jìn)行UV照射，因 此，與比較例1相比，不僅安裝導(dǎo)電粒子捕捉率略有提高，而且可使各向異性導(dǎo)電連接時(shí)的 導(dǎo)電粒子的流動(dòng)方向性均勻地一致。由此可知，與比較例相比，可W大幅降低短路的發(fā)生 率。
[0146] 實(shí)施例4~9、比較例2~3 按照日本專(zhuān)利第4789738號(hào)的實(shí)施例1的操作，進(jìn)行導(dǎo)電粒子的排列，同時(shí)遵照表1所示 的滲混(質(zhì)量份），制成了第1連接層和第2連接層層疊而成的2層構(gòu)造的各向異性導(dǎo)電膜。
[0147] (第推接層） 具體而言，首先，將丙締酸醋化合物及光自由基聚合引發(fā)劑等在乙酸乙醋或甲苯中制 備成固體成分為50質(zhì)量%的混合液。將該混合液涂覆在厚度50WI1的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇醋 膜上，使干燥厚度為扣m，在8(TC的烘箱中干燥5分鐘，從而形成了作為第1連接層的前體層 的光自由基聚合性樹(shù)脂層。
[014引接著，相對(duì)于得到的光自由基聚合性樹(shù)脂層，將平均粒徑4WI1的導(dǎo)電粒子(鍛Ni/Au 樹(shù)脂粒子，A化704,積水化學(xué)工業(yè)(株））W相互間隔4皿且單層的方式排列。進(jìn)而，從該導(dǎo)電 粒子側(cè)相對(duì)于光自由基聚合性樹(shù)脂層，W表2所示的方向和角度照射來(lái)自LED光源的波長(zhǎng) 365nm、累積光量4000mJ/cm2的紫外線(xiàn)，從而形成了導(dǎo)電粒子固定于表面的第1連接層。
[0149]此外，實(shí)施例4~6中，從導(dǎo)電粒子側(cè)相對(duì)于光自由基聚合性樹(shù)脂層，在垂直的平面 內(nèi)從分別60°的角度且?jiàn)A角為60°的2個(gè)方向照射紫外線(xiàn)。實(shí)施例7中，從導(dǎo)電粒子側(cè)相對(duì)于 光自由基聚合性樹(shù)脂層，在垂直的平面內(nèi)從60°和30°的角度且?jiàn)A角為90°的2個(gè)方向照射紫 外線(xiàn)。實(shí)施例8中，從導(dǎo)電粒子側(cè)相對(duì)于光自由基聚合性樹(shù)脂層，在垂直的平面內(nèi)從90°和 30°的角度且?jiàn)A角為60°的2個(gè)方向照射紫外線(xiàn)。實(shí)施例9中，從導(dǎo)電粒子側(cè)相對(duì)于光自由基 聚合性樹(shù)脂層，在垂直的平面內(nèi)從90°的方向和60°的角度且?jiàn)A角為30°的2個(gè)方向照射紫外 線(xiàn)。比較例2中，從光自由基聚合性樹(shù)脂層的背面(未排列導(dǎo)電粒子的一側(cè)的表面）W90°的 角度照射紫外線(xiàn)。比較例3中，相反地，從導(dǎo)電粒子側(cè)相對(duì)于光自由基聚合性樹(shù)脂層，W9〇D 的一個(gè)方向照射紫外線(xiàn)。
[0150] (第鏈接層） 將熱固化性樹(shù)脂及潛在性固化劑等在乙酸乙醋或甲苯中制備成固體成分為50質(zhì)量%的 混合液。將該混合液涂覆于厚度50皿的聚對(duì)苯二甲酸乙二醇醋膜上，使干燥厚度為12皿，在 80°C的烘箱中干燥5分鐘，從而形成了第2連接層。
[0151] (各向異性導(dǎo)電膜） 通過(guò)將運(yùn)樣得到的第1連接層和第2連接層W導(dǎo)電粒子位于內(nèi)側(cè)的方式層壓，得到了各 向異性導(dǎo)電膜。
[0152] (連接構(gòu)造體樣品） 使用得到的各向異性導(dǎo)電膜，將0.5 X 1.8 X 20.0 mm大小的IC忍片（凸點(diǎn)尺寸30 X 85皿： 凸點(diǎn)高度15WH，凸點(diǎn)間距50WH)在50 °C、5MPa、1秒的條件臨時(shí)貼合在0.5 X 50 X 30mm大小的 Corning公司制的玻璃布線(xiàn)基板（1737F)上，進(jìn)而在180°C、80MPa、5秒的條件下安裝，得到了 連接構(gòu)造體樣品。
[0153] (實(shí)驗(yàn)評(píng)價(jià)） 對(duì)于得到的連接構(gòu)造體樣品，為了研究連接時(shí)的凸點(diǎn)平面內(nèi)的導(dǎo)電粒子的行為，如W 下說(shuō)明地，研究了 "第1連接層的固化率為90%W上的厚度比例(％)"、"凸點(diǎn)邊緣載置的導(dǎo)電 粒子的比例(％)"及"凸點(diǎn)平面內(nèi)的平均導(dǎo)電粒子間距離(皿)"。得到的結(jié)果示于表2。
[0154] "第1連接層的固化率為909似上的厚度比例(％r 通過(guò)截面研磨，使第1連接層的截面從連接構(gòu)造體樣品露出，IR測(cè)定露出的導(dǎo)電粒子附 近有無(wú)乙締基，求得固化率為90%W上的區(qū)域的厚度相對(duì)于總厚度的比例。
[0155] "凸點(diǎn)邊緣載置的導(dǎo)電粒子的比例(％r 在制成連接構(gòu)造體樣品時(shí)，使用光學(xué)顯微鏡對(duì)臨時(shí)貼合時(shí)凸點(diǎn)邊緣(凸點(diǎn)的6WI1寬度的 外緣部)載置的導(dǎo)電粒子數(shù)進(jìn)行計(jì)數(shù)，另外，對(duì)安裝后存在于相同外緣部的導(dǎo)電粒子數(shù)進(jìn)行 計(jì)數(shù)，求得安裝后的導(dǎo)電粒子數(shù)相對(duì)于臨時(shí)貼合時(shí)的導(dǎo)電粒子數(shù)的比例。
[0156] "凸點(diǎn)平面內(nèi)的平均導(dǎo)電粒子間距離(皿r 對(duì)于連接構(gòu)造體樣品的凸點(diǎn)平面內(nèi)的100個(gè)導(dǎo)電粒子，使用光學(xué)顯微鏡測(cè)定導(dǎo)電粒子 的相互間距離，求出測(cè)定結(jié)果的算術(shù)平均，作為平均導(dǎo)電粒子間距離。
[0157] [表 2]
由表2可知，對(duì)于實(shí)施例4~9的各向異性導(dǎo)電膜，第I連接層中的導(dǎo)電粒子附近區(qū)域的 下方(與第2連接層相反一側(cè)的第1連接層表面方向）的區(qū)域中，固化率為90%W上的厚度比 例為20~90%，因此，可W W在安裝時(shí)導(dǎo)電粒子不發(fā)生位置偏離的方式(換言之，抑制向平面 方向的運(yùn)動(dòng)的同時(shí)）良好地壓入導(dǎo)電粒子，其結(jié)果是，凸點(diǎn)上的導(dǎo)電粒子間距離難W變化， 導(dǎo)電粒子從凸點(diǎn)邊緣流出到凸點(diǎn)外的比例大幅減少。由此可知，可W實(shí)現(xiàn)良好的導(dǎo)通可靠 性、良好的絕緣性及良好的安裝導(dǎo)電粒子捕捉率。
[0158] 與之相比，對(duì)于比較例2的各向異性導(dǎo)電膜，第1連接層的整體為90%W上的固化 率，因此可知，不能夠在抑制向平面方向的運(yùn)動(dòng)的同時(shí)良好地壓入，其結(jié)果是，凸點(diǎn)上的導(dǎo) 電粒子間距離擴(kuò)大，導(dǎo)電粒子從凸點(diǎn)邊緣流出到凸點(diǎn)外的比例大幅增加。對(duì)于比較例3的各 向異性導(dǎo)電膜，不是來(lái)自2個(gè)方向的紫外線(xiàn)照射，而是從導(dǎo)電粒子側(cè)從90°方向（垂直方向） 的一個(gè)方向照射紫外線(xiàn)，因此可知，導(dǎo)電粒子下方的90%W上的固化率的比例不到10%，過(guò) 小，所W與實(shí)施例4~6相比，不能夠在抑制向平面方向的運(yùn)動(dòng)的同時(shí)良好地壓入，其結(jié)果 是，凸點(diǎn)上的導(dǎo)電粒子間距離擴(kuò)大，導(dǎo)電粒子從凸點(diǎn)邊緣流出到凸點(diǎn)外的比例大幅增加。
[0159] 產(chǎn)業(yè)上的可利用性 本發(fā)明的第1方式的各向異性導(dǎo)電膜具有下述層層疊而成的2層構(gòu)造:使光自由基聚合 性樹(shù)脂層進(jìn)行光自由基聚合而得的第1連接層;和由熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合性樹(shù)脂層、 或優(yōu)選由含有丙締酸醋化合物和熱或光自由基聚合引發(fā)劑的熱或光自由基聚合性樹(shù)脂層 構(gòu)成的第2連接層，進(jìn)而，第1連接層的第2連接層一側(cè)表面上，各向異性導(dǎo)電連接用的導(dǎo)電 粒子W單層排列。而且，關(guān)于第1連接層的固化率，具有比一面(第2連接層一側(cè)表面)的固化 率低的固化率的區(qū)域相對(duì)于第1連接層的厚度方向傾斜地存在。因此，各向異性導(dǎo)電連接 時(shí)，可W使導(dǎo)電粒子的流動(dòng)方向均勻。因此，顯示良好的導(dǎo)通可靠性、絕緣性、安裝導(dǎo)電粒子 捕捉率。
[0160] 本發(fā)明的第2方式的各向異性導(dǎo)電膜具有下述層層疊而成的2層構(gòu)造：由光聚合樹(shù) 脂層構(gòu)成的第1連接層;和由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第2連接 層，進(jìn)而，第1連接層的第2連接層一側(cè)表面上，各向異性導(dǎo)電連接用的導(dǎo)電粒子W單層排 列。而且，與第1連接層的一面(第2連接層一側(cè)表面）的固化率相比，第1連接層的導(dǎo)電粒子 附近區(qū)域中與第1連接層的另一面相對(duì)近的區(qū)域的固化率低。因此，顯示良好的導(dǎo)通可靠 性、絕緣性、安裝導(dǎo)電粒子捕捉率。因此，可用于與IC忍片等電子部件的布線(xiàn)基板的各向異 性導(dǎo)電連接。運(yùn)樣的電子部件的布線(xiàn)持續(xù)地狹小化，本發(fā)明在對(duì)運(yùn)樣的技術(shù)的進(jìn)歩有貢獻(xiàn) 的情況下尤其表現(xiàn)其效果。
[0161] 附圖標(biāo)記說(shuō)明 UlOO 各向異性導(dǎo)電膜 2 第1連接層 2a 第1連接層的第2連接層一側(cè)的表面 化 第2連接層的最外表面 2X.2Y (假)第1連接層的區(qū)域 3 第2連接層 4 導(dǎo)電粒子 5 第3連接層 30、40 剝離膜 20 假第1連接層 31 光聚合性樹(shù)脂層 50 假各向異性導(dǎo)電膜。
【主權(quán)項(xiàng)】
1. 各向異性導(dǎo)電膜，所述各向異性導(dǎo)電膜是具有第1連接層和在其一面上形成的第2連 接層的各向異性導(dǎo)電膜，其特征在于， 第1連接層是光聚合樹(shù)脂層， 第2連接層是熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層， 第1連接層的該一面上，各向異性導(dǎo)電連接用的導(dǎo)電粒子以單層排列， 關(guān)于第1連接層的固化率，具有比該一面的固化率低的固化率的區(qū)域相對(duì)于第1連接層 的厚度方向傾斜地存在。2. 各向異性導(dǎo)電膜，其是具有第1連接層和在其一面上形成的第2連接層的各向異性導(dǎo) 電膜，其特征在于， 第1連接層是光聚合樹(shù)脂層， 第2連接層是熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層， 第1連接層的該一面上，各向異性導(dǎo)電連接用的導(dǎo)電粒子以單層排列， 與第1連接層的該一面的固化率相比，在第1連接層的導(dǎo)電粒子附近區(qū)域中與第1連接 層的另一面相對(duì)近的區(qū)域的固化率低。3. 權(quán)利要求1或2記載的各向異性導(dǎo)電膜，其中，第1連接層是使含有丙烯酸酯化合物和 光自由基聚合引發(fā)劑的光自由基聚合性樹(shù)脂層進(jìn)行光自由基聚合而得的自由基聚合樹(shù)脂 層。4. 權(quán)利要求3所述的各向異性導(dǎo)電膜，其中，第1連接層還含有環(huán)氧化合物和熱或光陽(yáng) 離子或陰離子聚合引發(fā)劑。5. 權(quán)利要求1~4中任一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電膜，其中，第2連接層是:含有環(huán)氧化合 物和熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合引發(fā)劑的熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合性樹(shù)脂層，或含有丙 烯酸酯化合物和熱或光自由基聚合引發(fā)劑的熱或光自由基聚合性樹(shù)脂層。6. 權(quán)利要求5所述的各向異性導(dǎo)電膜，其中，第2連接層是:含有環(huán)氧化合物和熱或光陽(yáng) 離子或陰離子聚合引發(fā)劑的熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合性樹(shù)脂層，還含有丙烯酸酯化合物 和熱或光自由基聚合引發(fā)劑。7. 權(quán)利要求1~6中任一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電膜，其中，導(dǎo)電粒子陷入第2連接層中。8. 權(quán)利要求1~7中任一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電膜，其中，第1連接層的最低熔融粘度比 第2連接層的最低熔融粘度高。9. 權(quán)利要求1所述的各向異性導(dǎo)電膜的制造方法，其中，所述制造方法具有以下的工 序(A)~(C): 工序⑷ 在光聚合性樹(shù)脂層上使導(dǎo)電粒子以單層排列的工序； 工序⑶ 通過(guò)相對(duì)于排列有導(dǎo)電粒子的光聚合性樹(shù)脂層傾斜地照射紫外線(xiàn)來(lái)進(jìn)行光聚合反應(yīng)， 以形成導(dǎo)電粒子固定化于表面的第1連接層的工序;和 工序(C) 在第1連接層的導(dǎo)電粒子一側(cè)表面上形成由熱或光陽(yáng)離子或陰離子聚合性樹(shù)脂層、或 者熱或光自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第2連接層的工序。10. 權(quán)利要求9所述的制造方法，其中，從光聚合性樹(shù)脂層的排列有導(dǎo)電粒子的一側(cè)進(jìn) 行工序(B)的紫外線(xiàn)照射。11. 權(quán)利要求1所述的各向異性導(dǎo)電膜的制造方法，其中，所述制造方法具有以下的工 序(AAHDD): 工序(AA) 在光聚合性樹(shù)脂層上使導(dǎo)電粒子以單層排列的工序； 工序(BB) 通過(guò)相對(duì)于排列有導(dǎo)電粒子的光聚合性樹(shù)脂層傾斜地照射紫外線(xiàn)來(lái)進(jìn)行光聚合反應(yīng)， 以形成導(dǎo)電粒子假固定化于表面的假第1連接層的工序； 工序(CC) 在假第1連接層的導(dǎo)電粒子一側(cè)表面上形成由熱陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂 層構(gòu)成的第2連接層的工序;和 工序(DD) 通過(guò)從與第2連接層相反一側(cè)對(duì)假第1連接層照射紫外線(xiàn)來(lái)進(jìn)行光聚合反應(yīng)，以使假第 1連接層真正固化而形成第1連接層的工序。12. 權(quán)利要求11所述的制造方法，其中，從光聚合性樹(shù)脂層的排列有導(dǎo)電粒子的一側(cè)進(jìn) 行工序(BB)的紫外線(xiàn)照射。13. 權(quán)利要求9所述的制造方法，其中，所述制造方法在工序(C)之后具有以下的工序 (Z)： 工序⑵ 在第1連接層的與導(dǎo)電粒子一側(cè)相反的面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚 合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第3連接層的工序。14. 權(quán)利要求9所述的制造方法，其中，所述制造方法在工序(A)之如具有以下的工序 (a)： 工序(a) 在光聚合性樹(shù)脂層的一面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成 的第3連接層的工序， 工序(A)中，在光聚合性樹(shù)脂層的另一面上使導(dǎo)電粒子以單層排列。15. 權(quán)利要求11所述的制造方法，其中，所述制造方法在工序(DD)之后具有以下的工 序⑵： 工序⑵ 在第1連接層的與導(dǎo)電粒子一側(cè)相反的面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚 合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第3連接層的工序。16. 權(quán)利要求11所述的制造方法，其中，所述制造方法在工序(AA)之前具有以下的工 序(a): 工序(a) 在光聚合性樹(shù)脂層的一面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成 的第3連接層的工序， 工序(AA)中，在光聚合性樹(shù)脂層的另一面上使導(dǎo)電粒子以單層排列。17. 權(quán)利要求2所述的各向異性導(dǎo)電膜的制造方法，其中，所述制造方法具有以下的工 序(A，）~(C，）： 工序(A，） 在光聚合性樹(shù)脂層上使導(dǎo)電粒子以單層排列的工序； 工序(B，） 通過(guò)相對(duì)于排列有導(dǎo)電粒子的光聚合性樹(shù)脂層從至少2個(gè)方向傾斜地照射紫外線(xiàn)來(lái)進(jìn) 行光聚合反應(yīng)，以形成導(dǎo)電粒子固定化于表面的第1連接層的工序;和 工序(C，） 在第1連接層的導(dǎo)電粒子一側(cè)表面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù) 脂層構(gòu)成的第2連接層的工序。18. 權(quán)利要求17所述的制造方法，其中，從光聚合性樹(shù)脂層的排列有導(dǎo)電粒子的一側(cè)進(jìn) 行工序(B')的紫外線(xiàn)照射。19. 權(quán)利要求2所述的各向異性導(dǎo)電膜的制造方法，其中，所述制造方法具有以下的工 序(AA，HDD，）： 工序(AA，） 在光聚合性樹(shù)脂層上使導(dǎo)電粒子以單層排列的工序； 工序(BB，） 通過(guò)相對(duì)于排列有導(dǎo)電粒子的光聚合性樹(shù)脂層從至少2個(gè)方向傾斜地照射紫外線(xiàn)來(lái)進(jìn) 行光聚合反應(yīng)，以形成導(dǎo)電粒子假固定化于表面的假第1連接層的工序； 工序(CC，） 在假第1連接層的導(dǎo)電粒子一側(cè)表面上形成由熱陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂 層構(gòu)成的第2連接層的工序;和 工序(DD') 通過(guò)從與第2連接層相反一側(cè)對(duì)假第1連接層照射紫外線(xiàn)來(lái)進(jìn)行光聚合反應(yīng)，以使假第 1連接層真正固化而形成第1連接層的工序。20. 權(quán)利要求19所述的制造方法，其中，從光聚合性樹(shù)脂層的排列有導(dǎo)電粒子的一側(cè)進(jìn) 行工序(BBO的紫外線(xiàn)照射。21. 權(quán)利要求17所述的制造方法，其中，所述制造方法在工序(〇之后具有以下的工 序⑵： 工序⑵ 在第1連接層的與導(dǎo)電粒子一側(cè)相反的面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚 合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第3連接層的工序。22. 權(quán)利要求17所述的制造方法，其中，所述制造方法在工序(Y )之前具有以下的工 序(a): 工序(a) 在光聚合性樹(shù)脂層的一面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成 的第3連接層的工序， 工序(A')中，在光聚合性樹(shù)脂層的另一面上使導(dǎo)電粒子以單層排列。23. 權(quán)利要求19所述的制造方法，其中，所述制造方法在工序(DD')之后具有以下的工 序⑵： 工序⑵ 在第1連接層的與導(dǎo)電粒子一側(cè)相反的面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚 合性樹(shù)脂層構(gòu)成的第3連接層的工序。24. 權(quán)利要求19所述的制造方法，其中，所述制造方法在工序(AY )之前具有以下的工 序(a): 工序(a) 在光聚合性樹(shù)脂層的一面上形成由熱或光陽(yáng)離子、陰離子或自由基聚合性樹(shù)脂層構(gòu)成 的第3連接層的工序， 工序(AAO中，在光聚合性樹(shù)脂層的另一面上使導(dǎo)電粒子以單層排列。25. 連接構(gòu)造體，其是通過(guò)權(quán)利要求1~8中任一項(xiàng)所述的各向異性導(dǎo)電膜使第1電子部 件與第2電子部件進(jìn)行各向異性導(dǎo)電連接而得。
【文檔編號(hào)】C09J7/00GK105940563SQ201580007321
【公開(kāi)日】2016年9月14日
【申請(qǐng)日】2015年2月3日
【發(fā)明人】阿久津恭志, 塚尾憐司
【申請(qǐng)人】迪睿合株式會(huì)社