全自動(dòng)雙槽清洗機(jī)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明涉及全自動(dòng)雙槽清洗機(jī)，包括機(jī)體、橫移電機(jī)、電機(jī)座、升降電機(jī)、加熱器、石英槽、排風(fēng)法蘭、機(jī)械臂、照明系統(tǒng)，加熱器優(yōu)選石英外壁。石英槽分別為酸洗槽與快排清洗槽。石英槽中的快排清洗槽內(nèi)設(shè)置快速?lài)娖峒皼_洗系統(tǒng)。本發(fā)明是一種可以自動(dòng)補(bǔ)充進(jìn)液與排液，由機(jī)械臂執(zhí)行運(yùn)輸及工藝切換的自動(dòng)化設(shè)備。由于機(jī)械臂、升降電機(jī)、橫移電機(jī)、加熱器、排風(fēng)法蘭、照明系統(tǒng)、石英槽、加熱器均通過(guò)線(xiàn)纜與外接的信息處理終端連接，因此可以通過(guò)信息處理終端對(duì)各部件進(jìn)行控制，產(chǎn)品主要通過(guò)機(jī)械臂來(lái)正確地切換工藝流程并保證運(yùn)輸。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
全自動(dòng)雙槽清洗機(jī)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]本發(fā)明涉及光伏生產(chǎn)設(shè)備領(lǐng)域，具體是全自動(dòng)雙槽清洗機(jī)。
【背景技術(shù)】
[0002]光伏(Solar Power):是太陽(yáng)能光伏發(fā)電系統(tǒng)(Solar power system)的簡(jiǎn)稱(chēng)，是一種利用太陽(yáng)電池半導(dǎo)體材料的光伏效應(yīng)，將太陽(yáng)光輻射能直接轉(zhuǎn)換為電能的一種新型發(fā)電系統(tǒng)，有獨(dú)立運(yùn)行和并網(wǎng)運(yùn)行兩種方式。同時(shí)，太陽(yáng)能光伏發(fā)電系統(tǒng)分類(lèi)，一種是集中式，如大型西北地面光伏發(fā)電系統(tǒng);一種是分布式(以>6MW為分界)，如工商企業(yè)廠(chǎng)房屋頂光伏發(fā)電系統(tǒng)，民居屋頂光伏發(fā)電系統(tǒng)。這種技術(shù)的關(guān)鍵元件是太陽(yáng)能電池。太陽(yáng)能電池經(jīng)過(guò)串聯(lián)后進(jìn)行封裝保護(hù)可形成大面積的太陽(yáng)電池組件，再配合上功率控制器等部件就形成了光伏發(fā)電裝置。太陽(yáng)能電池的重要原料之一為晶體硅，晶體硅包括單晶硅和多晶硅，晶體硅的制備方法大致是先用碳還原Si02成為Si，用HCl反應(yīng)再提純獲得更尚純度多晶娃，單晶娃的制法通常是先制得多晶硅或無(wú)定形硅，然后用直拉法或懸浮區(qū)熔法從熔體中生長(zhǎng)出棒狀單晶硅。硅的單晶體。具有基本完整的點(diǎn)陣結(jié)構(gòu)的晶體。不同的方向具有不同的性質(zhì)，是一種良好的半導(dǎo)材料。純度要求達(dá)到99.9999%，甚至達(dá)到99.9999999%以上。用于制造半導(dǎo)體器件、太陽(yáng)能電池等。用高純度的多晶硅在單晶爐內(nèi)拉制而成。
[0003]由于太陽(yáng)能電池硅片的生產(chǎn)需要嚴(yán)格杜絕雜質(zhì)影響，因此，在太陽(yáng)能電池硅片的生產(chǎn)過(guò)程中，需要對(duì)產(chǎn)品進(jìn)行多次清洗。但目前還沒(méi)有一種專(zhuān)門(mén)針對(duì)太陽(yáng)能硅晶片生產(chǎn)過(guò)程中的清洗步驟使用的全自動(dòng)雙槽清洗機(jī)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明正是針對(duì)以上技術(shù)問(wèn)題，提供一種專(zhuān)門(mén)針對(duì)太陽(yáng)能硅晶片生產(chǎn)過(guò)程中的清洗步驟使用的全自動(dòng)雙槽清洗機(jī)。
[0005]本發(fā)明通過(guò)以下技術(shù)方案來(lái)實(shí)現(xiàn)。
[0006]全自動(dòng)雙槽清洗機(jī)，包括機(jī)體、橫移電機(jī)、電機(jī)座、升降電機(jī)、加熱器、石英槽、排風(fēng)法蘭、機(jī)械臂、照明系統(tǒng)，其特征在于照明系統(tǒng)位于機(jī)體上部，照明系統(tǒng)下方設(shè)置有機(jī)械臂，所述機(jī)械臂前方為夾爪部分，后方為支撐部分，機(jī)械臂的支撐部分下端固定在升降電機(jī)輸出端上，升降電機(jī)設(shè)置在電機(jī)座上，電機(jī)座與橫移電機(jī)連接，橫移電機(jī)設(shè)置在機(jī)體下部的槽形軌道上，機(jī)械臂的夾爪部分下面設(shè)置有石英槽，石英槽為并列的兩個(gè)，石英槽下方設(shè)置有加熱器，機(jī)體上與石英槽上表面等高位置設(shè)置有排風(fēng)法蘭，機(jī)體通過(guò)排風(fēng)法蘭連接機(jī)體內(nèi)外空間，機(jī)械臂、升降電機(jī)、橫移電機(jī)、加熱器、排風(fēng)法蘭、照明系統(tǒng)、石英槽、加熱器均通過(guò)線(xiàn)纜與外接的信息處理終端連接。加熱器優(yōu)選石英外壁。石英槽分別為酸洗槽與快排清洗槽。石英槽中的快排清洗槽內(nèi)設(shè)置快速?lài)娖峒皼_洗系統(tǒng)。
[0007]本發(fā)明是一種可以自動(dòng)補(bǔ)充進(jìn)液與排液，由機(jī)械臂執(zhí)行運(yùn)輸及工藝切換的自動(dòng)化設(shè)備。由于機(jī)械臂、升降電機(jī)、橫移電機(jī)、加熱器、排風(fēng)法蘭、照明系統(tǒng)、石英槽、加熱器均通過(guò)線(xiàn)纜與外接的信息處理終端連接，因此可以通過(guò)信息處理終端對(duì)各部件進(jìn)行控制，產(chǎn)品主要通過(guò)機(jī)械臂來(lái)正確地切換工藝流程并保證運(yùn)輸。
[0008]本發(fā)明結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，使用方便。
【附圖說(shuō)明】
[0009]附圖中，圖1是本發(fā)明結(jié)構(gòu)示意圖，其中:
I一機(jī)體，2—橫移電機(jī)，3—電機(jī)座，4一升降電機(jī)，5—加熱器，6—石英槽，7—排風(fēng)法蘭，8一機(jī)械臂，9一照明系統(tǒng)。
【具體實(shí)施方式】
[0010]下面結(jié)合附圖對(duì)本發(fā)明作進(jìn)一步說(shuō)明。
[0011 ]全自動(dòng)雙槽清洗機(jī)，包括機(jī)體1、橫移電機(jī)2、電機(jī)座3、升降電機(jī)4、加熱器5、石英槽
6、排風(fēng)法蘭7、機(jī)械臂8、照明系統(tǒng)9，其特征在于照明系統(tǒng)9位于機(jī)體I上部，照明系統(tǒng)9下方設(shè)置有機(jī)械臂8，所述機(jī)械臂8前方為夾爪部分，后方為支撐部分，機(jī)械臂8的支撐部分下端固定在升降電機(jī)4輸出端上，升降電機(jī)4設(shè)置在電機(jī)座3上，電機(jī)座3與橫移電機(jī)2連接，橫移電機(jī)2設(shè)置在機(jī)體I下部的槽形軌道上，機(jī)械臂8的夾爪部分下面設(shè)置有石英槽6，石英槽6為并列的兩個(gè)，石英槽6下方設(shè)置有加熱器5，機(jī)體I上與石英槽6上表面等高位置設(shè)置有排風(fēng)法蘭7，機(jī)體I通過(guò)排風(fēng)法蘭7連接機(jī)體I內(nèi)外空間，機(jī)械臂8、升降電機(jī)4、橫移電機(jī)2、加熱器
5、排風(fēng)法蘭7、照明系統(tǒng)9、石英槽6、加熱器5均通過(guò)線(xiàn)纜與外接的信息處理終端連接。加熱器5優(yōu)選石英外壁。石英槽6分別為酸洗槽與快排清洗槽。石英槽6中的快排清洗槽內(nèi)設(shè)置快速?lài)娖峒皼_洗系統(tǒng)。
[0012]本發(fā)明是一種可以自動(dòng)補(bǔ)充進(jìn)液與排液，由機(jī)械臂8執(zhí)行運(yùn)輸及工藝切換的自動(dòng)化設(shè)備。由于機(jī)械臂8、升降電機(jī)4、橫移電機(jī)2、加熱器5、排風(fēng)法蘭7、照明系統(tǒng)9、石英槽6、加熱器5均通過(guò)線(xiàn)纜與外接的信息處理終端連接，因此可以通過(guò)信息處理終端對(duì)各部件進(jìn)行控制，產(chǎn)品主要通過(guò)機(jī)械臂8來(lái)正確地切換工藝流程并保證運(yùn)輸。
[0013]上述只是說(shuō)明了發(fā)明的技術(shù)構(gòu)思及特點(diǎn)，其目的是在于讓本領(lǐng)域內(nèi)的普通技術(shù)人員能夠了解發(fā)明的內(nèi)容并據(jù)以實(shí)施，并不能限制本發(fā)明的保護(hù)范圍。凡是根據(jù)本
【發(fā)明內(nèi)容】
的實(shí)質(zhì)所作出的等效的變化或修飾，都應(yīng)涵蓋在本發(fā)明的保護(hù)范圍。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.全自動(dòng)雙槽清洗機(jī)，包括機(jī)體、橫移電機(jī)、電機(jī)座、升降電機(jī)、加熱器、石英槽、排風(fēng)法蘭、機(jī)械臂、照明系統(tǒng)，其特征在于照明系統(tǒng)位于機(jī)體上部，照明系統(tǒng)下方設(shè)置有機(jī)械臂，所述機(jī)械臂前方為夾爪部分，后方為支撐部分，機(jī)械臂的支撐部分下端固定在升降電機(jī)輸出端上，升降電機(jī)設(shè)置在電機(jī)座上，電機(jī)座與橫移電機(jī)連接，橫移電機(jī)設(shè)置在機(jī)體下部的槽形軌道上，機(jī)械臂的夾爪部分下面設(shè)置有石英槽，石英槽為并列的兩個(gè)，石英槽下方設(shè)置有加熱器，機(jī)體上與石英槽上表面等高位置設(shè)置有排風(fēng)法蘭，機(jī)體通過(guò)排風(fēng)法蘭連接機(jī)體內(nèi)外空間，機(jī)械臂、升降電機(jī)、橫移電機(jī)、加熱器、排風(fēng)法蘭、照明系統(tǒng)、石英槽、加熱器均通過(guò)線(xiàn)纜與外接的信息處理終端連接。2.根據(jù)權(quán)利要求1所述全自動(dòng)雙槽清洗機(jī)，其特征在于所述加熱器優(yōu)選石英外壁。3.根據(jù)權(quán)利要求1所述全自動(dòng)雙槽清洗機(jī)，其特征在于所述石英槽分別為酸洗槽與快排清洗槽。4.根據(jù)權(quán)利要求1所述全自動(dòng)雙槽清洗機(jī)，其特征在于所述石英槽中的快排清洗槽內(nèi)設(shè)置快速?lài)娖峒皼_洗系統(tǒng)。
【文檔編號(hào)】H01L21/02GK106098536SQ201610554953
【公開(kāi)日】2016年11月9日
【申請(qǐng)日】2016年7月15日
【發(fā)明人】袁樹(shù)明, 韋建晶
【申請(qǐng)人】蘇州偉仕泰克電子科技股份有限公司