高壓二極管鍍鎳硅片前處理清洗方法
【專利摘要】本發(fā)明公開了電子器件的加工領(lǐng)域的一種高壓二極管鍍鎳硅片前處理清洗方法。其特征在于：所述的處理清洗方法包括以下步驟：1）堿性溶液配制、2）DMAC超聲清洗、3）乙醇浸洗、4）乙醇超聲波清洗、5）純水超聲波清洗、6）三級水洗、7）熱堿處理和8）純水清洗。本發(fā)明具有脫脂脫砂效果好、環(huán)保和降低成本等優(yōu)點(diǎn)。
【專利說明】
高壓二極管鍍鎳硅片前處理清洗方法
技術(shù)領(lǐng)域
[0001]
本發(fā)明涉及電子器件的加工領(lǐng)域的一種高壓二極管鍍鎳硅片前處理清洗方法。
【背景技術(shù)】
[0002]
高壓二極管擴(kuò)散硅片在化學(xué)鍍鎳前要進(jìn)行表面噴砂打毛，在噴砂過程中硅片表面會(huì)不可避免地沾污一些油污分子型雜質(zhì)，表面還會(huì)附著砂粒，因此在化學(xué)鍍鎳前要對硅片進(jìn)行清潔處理?，F(xiàn)有清洗工藝是采用三氯乙烯對硅片進(jìn)行長時(shí)間蒸洗，然后再進(jìn)行超聲清洗，再用丙酮除去硅片表面三氯乙烯。目前使用三氯乙烯清洗硅片存在問題:
1、使用成本居高不下。三氯乙烯蒸洗要消耗大量的化劑，近年來，三氯乙烯的價(jià)格不斷攀升，每年漲幅均超過20%，企業(yè)使用成本不斷提高。
[0003]2、三氯乙烯蒸洗排放量大，環(huán)保安全難以達(dá)到相關(guān)要求。三氯乙烯屬于高毒性化劑，國際癌癥研究中心(IARC)已經(jīng)明確指出三氯乙烯為致癌物，REACH法案已將三氯乙烯作為受限物質(zhì)，明確規(guī)定禁止在出口產(chǎn)品使用三氯乙烯，無視此條款的企業(yè)將面臨退賠的風(fēng)險(xiǎn)。另外今年地方政府對使用三氯乙烯企業(yè)實(shí)施環(huán)保審查和環(huán)保整頓，廠家無時(shí)無刻不在環(huán)保審查監(jiān)控中。
[0004]因此有必要尋找替代三氯乙烯的高效環(huán)保安全低成本的清洗劑和對應(yīng)的清洗工
-H-
O

【發(fā)明內(nèi)容】

[0005]
本發(fā)明的目的是克服現(xiàn)有技術(shù)的不足，提供一種低毒、環(huán)保的清洗工藝，能有效進(jìn)行高壓二極管鍍鎳硅片脫脂脫砂處理，保證硅片鍍鎳質(zhì)量。
[0006]本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案實(shí)現(xiàn)的:
一種高壓二極管鍍鎳硅片前處理清洗方法，其特征在于:所述的處理清洗方法包括以下步驟:
1)堿性溶液配制
稱取250g K0H(AR級)，倒入KOH玻璃方缸槽內(nèi)，然后再用量筒量取2250ml純水倒入，用攪拌棒攪拌充分，使之溶解，所配制的氫氧化鉀溶液的濃度為10%;
2)DMAC超聲清洗
把噴砂后的硅片一片一片地放入花籃，把裝有硅片的花籃放入DMAC超聲清洗槽，打開超聲波開關(guān)，其功率設(shè)定在“強(qiáng)”的位置，并給花籃裝上把手，將裝有硅片的花籃放入N，N-二甲基乙酰胺超聲清洗槽內(nèi)進(jìn)行超聲波清洗，清洗時(shí)間為5±0.5min，清洗槽的液量能使裝有硅片后的花籃全部淹沒；
3)乙醇浸洗
將DMAC超聲清洗后的花籃取出放入乙醇槽內(nèi)，浸沒處理5±0.5min; 4)乙醇超聲波清洗
將花籃放進(jìn)乙醇超聲波槽內(nèi)清洗，時(shí)間5 ± 0.5min;
5)純水超聲波清洗
把花籃取出放入純水超聲波槽內(nèi)清洗5 ± 0.5min ；
6)三級水洗
將花籃用純水清洗三次，每次5 土 0.5min;
7)用40%氫氟酸(AR級)浸泡2土 0.2min，然后再將花籃放入純水洗凈槽清洗2 土 0.2min;
8)熱堿處理
花籃移進(jìn)10%K0H槽中處理2 土 0.2min，液溫保持在57.5 °C土2.5 °C ;
9 )花籃用純水清洗5 ± 0.5min，并上下擺動(dòng)。
[0007]至此硅片清洗結(jié)束，就可以進(jìn)行后續(xù)表面化學(xué)鍍鎳了。
[0008]
本發(fā)明具有以下有益效果:
a脫脂脫砂效果好，清洗后硅片表面潔凈，鍍鎳均一、穩(wěn)定性高；b N，N—二甲基乙酰胺(DMAC)屬于低毒性化學(xué)品，不易揮發(fā)，對人體、環(huán)境危害小，清洗過程安全環(huán)保；
C綜合成本低。N—二甲基乙酰胺揮發(fā)度低，藥液壽命長，材料消耗少，有較大成本優(yōu)勢。
[0009]
【附圖說明】
[0010]
圖1為高壓二極管鍍鎳硅片前處理清洗方法工藝流程圖。
[0011]
【具體實(shí)施方式】
[0012]下面結(jié)合附圖對本發(fā)明的內(nèi)容作進(jìn)一步的說明
如圖所示為高壓二極管鍍鎳硅片前處理清洗方法工藝流程圖。
[0013]具體實(shí)施工藝
一、配制10%氫氧化鉀溶液
稱取250g K0H(AR級)，倒入KOH玻璃方缸槽內(nèi)，然后再用量筒量取2250ml純水倒入，用攪拌棒攪拌充分，使之溶解。
[0014]二、作業(yè)準(zhǔn)備
1.確認(rèn)DMAC超聲波槽、乙醇槽、乙醇超聲波槽、流水超聲波槽，氫氟酸槽的液量能使裝有硅片后的花籃全部淹沒。
[0015]2.打開各個(gè)超聲波開關(guān)，其功率設(shè)定在“強(qiáng)”的位置。
[0016]3.把噴砂后的硅片一片一片地放入花籃，并給花籃裝上把手。(以后出現(xiàn)“花籃”代表裝有硅片的花籃)。
4.打開KOH槽加熱器，使液溫達(dá)55 0C?60 °C。
[0017]二、正式操作
1.DMAC超聲清洗。把裝有硅片的花籃放入N，N-二甲基乙酰胺超聲清洗槽進(jìn)行5 土0.5min的超聲波清洗。
[0018]2.乙醇浸洗。將花籃取出放入乙醇槽內(nèi)，浸沒處理5 ± 0.5min。
[0019]3.乙醇超洗。將花籃放進(jìn)乙醇超聲波槽清洗5±0.5min。
[0020]4.純水超洗。把花籃取出放入純水超聲波槽清洗5 ± 0.5min。
[0021 ] 5.三級水洗。將花籃用純水清洗三次，每次5 ±0.5min。
[0022]6.40%氫氟酸(AR級)浸泡2 ± 0.2min。然后再將花籃放入純水洗凈槽清洗2 土
0.2mino
[0023]7.熱堿處理?；ɑ@移進(jìn)KOH槽中處理2±0.2min，液溫保持在57.5°C土2.5°C。
[0024]8.純水清洗5±0.511^11 (上下擺動(dòng))。
[0025]至此硅片清洗結(jié)束，就可以進(jìn)行后續(xù)表面化學(xué)鍍鎳了。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種高壓二極管鍍鎳硅片前處理清洗方法，其特征在于:所述的處理清洗方法包括以下步驟: 堿性溶液配制 稱取250g KOH(AR級)，倒入KOH玻璃方缸槽內(nèi)，然后再用量筒量取2250ml純水倒入，用攪拌棒攪拌充分，使之溶解，所配制的氫氧化鉀溶液的濃度為10%; 2)DMAC超聲清洗 把噴砂后的硅片一片一片地放入花籃，把裝有硅片的花籃放入DMAC超聲清洗槽，打開超聲波開關(guān)，其功率設(shè)定在“強(qiáng)”的位置，并給花籃裝上把手，將裝有硅片的花籃放入N，N-二甲基乙酰胺超聲清洗槽內(nèi)進(jìn)行超聲波清洗，清洗時(shí)間為5±0.5min，清洗槽的液量能使裝有硅片后的花籃全部淹沒； 乙醇浸洗 將DMAC超聲清洗后的花籃取出放入乙醇槽內(nèi)，浸沒處理5±0.5min; 乙醇超聲波清洗 將花籃放進(jìn)乙醇超聲波槽內(nèi)清洗，時(shí)間5 ± 0.5min; 純水超聲波清洗 把花籃取出放入純水超聲波槽內(nèi)清洗5 ± 0.5min ； 三級水洗 將花籃用純水清洗三次，每次5 土 0.5min; .7 )用40%氫氟酸(AR級)浸泡2 ± 0.2min，然后再將花籃放入純水洗凈槽清洗2 ± 0.2min; .8)熱堿處理 花籃移進(jìn)10%K0H槽中處理2±0.2min，液溫保持在57.5°C土2.5°C ; .9)花籃用純水清洗5土 0.5min，并上下擺動(dòng)。
【文檔編號】H01L21/02GK106098537SQ201610686750
【公開日】2016年11月9日
【申請日】2016年8月19日 公開號201610686750.8, CN 106098537 A, CN 106098537A, CN 201610686750, CN-A-106098537, CN106098537 A, CN106098537A, CN201610686750, CN201610686750.8
【發(fā)明人】陳許平
【申請人】南通皋鑫電子股份有限公司