一種封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)的制作方法
【專(zhuān)利摘要】本發(fā)明公開(kāi)了一種封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)，其包括第一手動(dòng)閥等，第一手動(dòng)閥和第二手動(dòng)閥都與氮?dú)夤捱B接，第一氣動(dòng)閥連接于第一手動(dòng)閥下方，第二氣動(dòng)閥連接于第一手動(dòng)閥下方，氮?dú)饧訜峁艿膬啥朔謩e與第一氣動(dòng)閥和噴淋管相連，第二流量計(jì)的兩端分別與第二氣動(dòng)閥和噴淋管相連，第一流量計(jì)與噴淋管相連，第三氣動(dòng)閥的兩端分別與第三手動(dòng)閥和第一流量計(jì)相連，臭氧發(fā)生機(jī)和氧氣罐相連且位于第三手動(dòng)閥上方，抽風(fēng)機(jī)的兩端分別與出風(fēng)口、甩干機(jī)連接，第一流量計(jì)、噴淋管、第二流量計(jì)都位于甩干機(jī)內(nèi)。本發(fā)明解決了臭氧外泄問(wèn)題，使氧化層更加均勻，減少氧氣用量，提高生產(chǎn)效率。
【專(zhuān)利說(shuō)明】
一種封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)
技術(shù)領(lǐng)域
[0001 ]本發(fā)明涉及一種臭氧噴淋系統(tǒng)，特別是涉及一種封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)。
【背景技術(shù)】
[0002]目前，刻蝕后氧化采用的傳統(tǒng)臭氧方式是一個(gè)常規(guī)工藝，但傳統(tǒng)的臭氧方式穩(wěn)定性較差，受環(huán)境影響較大。由于臭氧噴淋板是半封閉狀態(tài)，設(shè)備抽風(fēng)和環(huán)境負(fù)壓都會(huì)對(duì)臭氧效果造成影響。
[0003]針對(duì)傳統(tǒng)臭氧方式的不足，提出設(shè)計(jì)一種新的封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)，以減小環(huán)境對(duì)氧化層的影響，充分發(fā)揮氧化層的最大化優(yōu)勢(shì)。

【發(fā)明內(nèi)容】

[0004]本發(fā)明所要解決的技術(shù)問(wèn)題是提供一種封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)，不但可以有效解決臭氧外泄問(wèn)題，也可以使氧化層更加均勻穩(wěn)定，減少氧氣用量，提高生產(chǎn)效率。
[0005]本發(fā)明是通過(guò)下述技術(shù)方案來(lái)解決上述技術(shù)問(wèn)題的:一種封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)，其特征在于，其包括第一手動(dòng)閥、第一氣動(dòng)閥、第二手動(dòng)閥、第二氣動(dòng)閥、第三手動(dòng)閥、第三氣動(dòng)閥、第一流量計(jì)、噴淋管、第二流量計(jì)、氮?dú)饧訜峁?、甩干機(jī)、抽風(fēng)機(jī)、出風(fēng)口、氧氣罐、氮?dú)夤?、臭氧發(fā)生機(jī)，第一手動(dòng)閥和第二手動(dòng)閥都與氮?dú)夤捱B接，第一氣動(dòng)閥連接于第一手動(dòng)閥下方，第二氣動(dòng)閥連接于第一手動(dòng)閥下方，氮?dú)饧訜峁艿膬啥朔謩e與第一氣動(dòng)閥和噴淋管相連，第二流量計(jì)的兩端分別與第二氣動(dòng)閥和噴淋管相連，第一流量計(jì)與噴淋管相連，第三氣動(dòng)閥的兩端分別與第三手動(dòng)閥和第一流量計(jì)相連，臭氧發(fā)生機(jī)和氧氣罐相連且位于第三手動(dòng)閥上方，抽風(fēng)機(jī)的兩端分別與出風(fēng)口、甩干機(jī)連接，第一流量計(jì)、噴淋管、第二流量計(jì)都位于甩干機(jī)內(nèi)。
[0006]優(yōu)選地，所述噴淋管貼有膠帶。
[0007]優(yōu)選地，所述清洗機(jī)貼有膠帶。
[0008]優(yōu)選地，所述甩干機(jī)的形狀為長(zhǎng)方體。
[0009]本發(fā)明的積極進(jìn)步效果在于:本發(fā)明不但可以有效解決臭氧外泄問(wèn)題，也可以使氧化層更加均勻穩(wěn)定，減少氧氣用量，提高生產(chǎn)效率，結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，成本低。
【附圖說(shuō)明】
[0010]圖1為本發(fā)明封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)的原理框圖。
【具體實(shí)施方式】
[0011]下面結(jié)合附圖給出本發(fā)明較佳實(shí)施例，以詳細(xì)說(shuō)明本發(fā)明的技術(shù)方案。
[0012]如圖1所示，本發(fā)明封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)包括第一手動(dòng)閥1、第一氣動(dòng)閥2、第二手動(dòng)閥3、第二氣動(dòng)閥4、第三手動(dòng)閥5、第三氣動(dòng)閥6、第一流量計(jì)7、噴淋管8、第二流量計(jì)9、氮?dú)饧訜峁?0、甩干機(jī)11、抽風(fēng)機(jī)12、出風(fēng)口 13、氧氣罐14、氮?dú)夤?5、臭氧發(fā)生機(jī)16，第一手動(dòng)閥I和第二手動(dòng)閥3都與氮?dú)夤?5連接，第一氣動(dòng)閥2連接于第一手動(dòng)閥I下方，第二氣動(dòng)閥4連接于第一手動(dòng)閥3下方，氮?dú)饧訜峁?0的兩端分別與第一氣動(dòng)閥2和噴淋管8相連，第二流量計(jì)9的兩端分別與第二氣動(dòng)閥4和噴淋管8相連，第一流量計(jì)7與噴淋管8相連，第三氣動(dòng)閥6的兩端分別與第三手動(dòng)閥5和第一流量計(jì)7相連，臭氧發(fā)生機(jī)16和氧氣罐14相連且位于第三手動(dòng)閥5上方，抽風(fēng)機(jī)12的兩端分別與出風(fēng)口 13、甩干機(jī)11連接，第一流量計(jì)7、噴淋管8、第二流量計(jì)9都位于用干機(jī)11內(nèi)。
[0013]本發(fā)明的工作原理如下:第一氣動(dòng)閥、第二氣動(dòng)閥、第三氣動(dòng)閥都有專(zhuān)門(mén)的氣動(dòng)控制口，當(dāng)有氣信號(hào)輸入可以執(zhí)行指令。第一手動(dòng)閥、第二手動(dòng)閥、第三手動(dòng)閥都可以手動(dòng)控制，當(dāng)出現(xiàn)意外情況時(shí)，可以人為控制。進(jìn)氣口與抽風(fēng)機(jī)同時(shí)運(yùn)行，使甩干機(jī)腔體壓力穩(wěn)定。氮?dú)夤逓樵O(shè)備輸送氮?dú)?，氧氣罐為設(shè)備輸送氧氣，流量計(jì)可以測(cè)量流量。甩干機(jī)利用離心率將物體變干燥，出風(fēng)口使得氣體由專(zhuān)門(mén)排放的地方，氮?dú)饧訜峁芸梢约訜岬獨(dú)狻?br>[0014]硅片放入甩干機(jī)內(nèi)，關(guān)閉甩干機(jī)蓋板，電機(jī)轉(zhuǎn)動(dòng)進(jìn)行甩干同時(shí)第一氣動(dòng)閥打開(kāi)進(jìn)行氮?dú)馇逑垂杵?。甩干完成后第一氣?dòng)閥關(guān)閉，第三氣動(dòng)閥和第二氣動(dòng)閥同時(shí)打開(kāi)混合后，氣體進(jìn)入甩干機(jī)腔體，臭氧的作用是在硅片表面形成氧化層，氮?dú)庾鳛槠胶鈿怏w使腔體內(nèi)氣體更加均勻，更好的與硅片接觸，在甩干和臭氧通入的整個(gè)過(guò)程抽風(fēng)機(jī)是處于工作狀態(tài)。氧化層生成后，第三氣動(dòng)閥和第二氣動(dòng)閥關(guān)閉，隨后第一氣動(dòng)閥打開(kāi)進(jìn)行清洗，主要目的稀釋臭氧并進(jìn)行抽風(fēng)，確保在甩干機(jī)打開(kāi)蓋板的時(shí)候沒(méi)有臭氧味道。過(guò)程完成后抽風(fēng)機(jī)停止抽風(fēng)，取出硅片并進(jìn)行親水性測(cè)試。
[0015]噴淋管貼有膠帶，這樣可以防止環(huán)境負(fù)壓對(duì)臭氧的影響。氮?dú)饧訜峁茚槍?duì)的對(duì)象是硅片，這樣可以使硅片表面更加清潔，氧化層更加容易生成。甩干機(jī)的形狀為長(zhǎng)方體，這樣更加節(jié)省材料，減少體積。
[0016]綜上所述，本發(fā)明采用的是全封閉式的臭氧氧化方式，不但可以有效解決臭氧外泄問(wèn)題，也可以使氧化層更加均勻穩(wěn)定，封閉式臭氧噴淋使生產(chǎn)環(huán)境更加安全，減少氧氣用量，提高生產(chǎn)效率。本發(fā)明采用對(duì)硅片進(jìn)行加熱氮?dú)忸A(yù)清洗，使硅片表面更加清潔，使氧化層更容易生成。本發(fā)明采用進(jìn)氣與主動(dòng)抽風(fēng)方式同時(shí)進(jìn)行，使甩干機(jī)腔體壓力穩(wěn)定。
[0017]以上所述的具體實(shí)施例，對(duì)本發(fā)明的解決的技術(shù)問(wèn)題、技術(shù)方案和有益效果進(jìn)行了進(jìn)一步詳細(xì)說(shuō)明，所應(yīng)理解的是，以上所述僅為本發(fā)明的具體實(shí)施例而已，并不用于限制本發(fā)明，凡在本發(fā)明的精神和原則之內(nèi)，所做的任何修改、等同替換、改進(jìn)等，均應(yīng)包含在本發(fā)明的保護(hù)范圍之內(nèi)。
【主權(quán)項(xiàng)】
1.一種封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)，其特征在于，其包括第一手動(dòng)閥、第一氣動(dòng)閥、第二手動(dòng)閥、第二氣動(dòng)閥、第三手動(dòng)閥、第三氣動(dòng)閥、第一流量計(jì)、噴淋管、第二流量計(jì)、氮?dú)饧訜峁?、甩干機(jī)、抽風(fēng)機(jī)、出風(fēng)口、氧氣罐、氮?dú)夤蕖⒊粞醢l(fā)生機(jī)，第一手動(dòng)閥和第二手動(dòng)閥都與氮?dú)夤捱B接，第一氣動(dòng)閥連接于第一手動(dòng)閥下方，第二氣動(dòng)閥連接于第一手動(dòng)閥下方，氮?dú)饧訜峁艿膬啥朔謩e與第一氣動(dòng)閥和噴淋管相連，第二流量計(jì)的兩端分別與第二氣動(dòng)閥和噴淋管相連，第一流量計(jì)與噴淋管相連，第三氣動(dòng)閥的兩端分別與第三手動(dòng)閥和第一流量計(jì)相連，臭氧發(fā)生機(jī)和氧氣罐相連且位于第三手動(dòng)閥上方，抽風(fēng)機(jī)的兩端分別與出風(fēng)口、甩干機(jī)連接，第一流量計(jì)、噴淋管、第二流量計(jì)都位于甩干機(jī)內(nèi)。2.如權(quán)利要求1所述的封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述噴淋管貼有膠帶。3.如權(quán)利要求1所述的封閉式臭氧噴淋系統(tǒng)，其特征在于，所述甩干機(jī)的形狀為長(zhǎng)方體。
【文檔編號(hào)】H01L21/67GK106098597SQ201610574943
【公開(kāi)日】2016年11月9日
【申請(qǐng)日】2016年7月14日
【發(fā)明人】常宇峰, 王亞豪, 龐國(guó)峰, 張亦平
【申請(qǐng)人】江蘇永能光伏科技有限公司